JPH028724A - 圧力検出装置 - Google Patents
圧力検出装置Info
- Publication number
- JPH028724A JPH028724A JP15888688A JP15888688A JPH028724A JP H028724 A JPH028724 A JP H028724A JP 15888688 A JP15888688 A JP 15888688A JP 15888688 A JP15888688 A JP 15888688A JP H028724 A JPH028724 A JP H028724A
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- Pending
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は圧力検出装置の構造に関するものである。
従来、流体圧力の検出、測定をする圧力検出装置、例え
ば、半導体圧力センサについて、流体圧力のＸＡ置内へ
の導入方式は被測定圧力値に応じて、各種のものの内か
ら、選択して使用される。それらの方式の従来構造を第
１図、第２図、及び第３］２１に夫々、示す、第１１Ｘ
Ｉは直接裏面導入型の圧力検出装置の断面構造図であり
５１はセンサ部、２は台座、３はステム、４は圧力導入
パイプ、５は流体導入口、６はセンサ部１の裏側、Ａ、
Ｂは接合面である。第１図において、流体導入口５から
被測定流体を導入し、センサ部１の裏側に直接、圧力を
作用せしめる。センサ部１は本実施例では、シリコン等
の半導体材料に裏１！Ｉ ６となる凹所を設けてダイア
フラムを形成し、表側にピエゾ抵抗等を設ける。
ば、半導体圧力センサについて、流体圧力のＸＡ置内へ
の導入方式は被測定圧力値に応じて、各種のものの内か
ら、選択して使用される。それらの方式の従来構造を第
１図、第２図、及び第３］２１に夫々、示す、第１１Ｘ
Ｉは直接裏面導入型の圧力検出装置の断面構造図であり
５１はセンサ部、２は台座、３はステム、４は圧力導入
パイプ、５は流体導入口、６はセンサ部１の裏側、Ａ、
Ｂは接合面である。第１図において、流体導入口５から
被測定流体を導入し、センサ部１の裏側に直接、圧力を
作用せしめる。センサ部１は本実施例では、シリコン等
の半導体材料に裏１！Ｉ ６となる凹所を設けてダイア
フラムを形成し、表側にピエゾ抵抗等を設ける。
第１図の構造において高圧の流体を直接、裏（！ｌ ６
に導入する方式では、センサ部ｌと台座２の接合面Ａや
、台座２とステム３の接合面Ｂに引張り応力が強く作用
し、はく跋による損傷を生ずるため、通常５０ Ｋ ｇ
／ ｃ ｒｔ？以下の圧力の検出、測定に用いられる
。第２図は直接表面導入型の圧力検出装置の断面１Ｉ９
Ｉ造図であり、第１図と同一符号は同一部分を示す、第
２図においては図の上部を高圧側の流体導入口５とし、
センサ部ｌの表側がら流体を導入し、歪を与えるように
するため、接合面Ａ、及びＢを加圧する方向になし、は
く離の恐れがない、しかしながら、導入する流体が直接
、ピエゾ抵抗等の要部を設けたセンサ部ｌの表側に接触
するため、流体を非腐食性、電気的絶縁性のものに限定
する必要がある。なお、７は外装ケースである。
に導入する方式では、センサ部ｌと台座２の接合面Ａや
、台座２とステム３の接合面Ｂに引張り応力が強く作用
し、はく跋による損傷を生ずるため、通常５０ Ｋ ｇ
／ ｃ ｒｔ？以下の圧力の検出、測定に用いられる
。第２図は直接表面導入型の圧力検出装置の断面１Ｉ９
Ｉ造図であり、第１図と同一符号は同一部分を示す、第
２図においては図の上部を高圧側の流体導入口５とし、
センサ部ｌの表側がら流体を導入し、歪を与えるように
するため、接合面Ａ、及びＢを加圧する方向になし、は
く離の恐れがない、しかしながら、導入する流体が直接
、ピエゾ抵抗等の要部を設けたセンサ部ｌの表側に接触
するため、流体を非腐食性、電気的絶縁性のものに限定
する必要がある。なお、７は外装ケースである。
第３１には間接導入型の圧力検出装置の断面構造図であ
り、第２図と同一符号は同一部分を示す、第３図におい
ては、８のシールダイアフラムと外装ケース７で形成す
る空間に、センサ部ｌを９の封入液で包囲するため、流
体がセンサ部１に直接接触しないので、流体の性質の限
定を生じにくく、いろいろな流体の圧力を検出出来る。
り、第２図と同一符号は同一部分を示す、第３図におい
ては、８のシールダイアフラムと外装ケース７で形成す
る空間に、センサ部ｌを９の封入液で包囲するため、流
体がセンサ部１に直接接触しないので、流体の性質の限
定を生じにくく、いろいろな流体の圧力を検出出来る。
しかしながら、シールダイアフラム８の溶接、封入液９
の封入の工程が必要となり、作業が厄介で、高価となる
。
の封入の工程が必要となり、作業が厄介で、高価となる
。
本発明は、従来装置の欠点を解消し、比較的高圧の圧力
検出装置を簡単な構造で安価に提供することを目的とす
る。
検出装置を簡単な構造で安価に提供することを目的とす
る。
以ＩＪに、本発明の実施例として第４図に（ａ） （ｂ
）に示す断面構造図及び説明図を基に説明する第４図（
ａ）のセンサ一部１の裏面６の面ｆａ Ｓ 。
）に示す断面構造図及び説明図を基に説明する第４図（
ａ）のセンサ一部１の裏面６の面ｆａ Ｓ 。
は圧力導入口面ｆａ Ｓ ｏよりも面積Ｓ１分だけ大き
くなっている。測定圧力は、裏面６全体をｙ方向に押し
」ユげるごとく働くと同時に、ダイヤフラム対向面７を
マイナスｙ方向へ押し下げるごとく働く、（第４図ｂ）
この為センサ１を台座２に対してｙ方向に引きはがす力
の合力Ｆは Ｆ ＝ Ｓ Ｄ ｘ Ｐ −Ｓ 、 ｘ Ｐ＝（Ｓ
ｏ ５ｐ）ｘｐ ＝ｓｏ ｘｐ ■式 となる、（Ｐは測定圧力を表わす、） ■式より明白な様に、第４図（ａ）で示された本発明の
センサ一部においては、力Ｆは圧力導入口Ｓｏによって
のみ決まる為、高圧の圧力測定においても接合面Ａ、Ｂ
の強度範囲内にＳｏを調整する事により、接合面Ａ、Ｂ
にはく離による損傷が起る事はない。この為、接合面Ａ
、Ｂの強度の制約の観点から、第３図の方式を取る必要
のあったより高圧力の圧力検出素子においても、第１と
同様なセンサー裏面への直接的圧力導入方式が採用出来
る為、構造及び工程が簡略化されるので、より安価な圧
力検出素子の供給を可能にする事が出来る。
くなっている。測定圧力は、裏面６全体をｙ方向に押し
」ユげるごとく働くと同時に、ダイヤフラム対向面７を
マイナスｙ方向へ押し下げるごとく働く、（第４図ｂ）
この為センサ１を台座２に対してｙ方向に引きはがす力
の合力Ｆは Ｆ ＝ Ｓ Ｄ ｘ Ｐ −Ｓ 、 ｘ Ｐ＝（Ｓ
ｏ ５ｐ）ｘｐ ＝ｓｏ ｘｐ ■式 となる、（Ｐは測定圧力を表わす、） ■式より明白な様に、第４図（ａ）で示された本発明の
センサ一部においては、力Ｆは圧力導入口Ｓｏによって
のみ決まる為、高圧の圧力測定においても接合面Ａ、Ｂ
の強度範囲内にＳｏを調整する事により、接合面Ａ、Ｂ
にはく離による損傷が起る事はない。この為、接合面Ａ
、Ｂの強度の制約の観点から、第３図の方式を取る必要
のあったより高圧力の圧力検出素子においても、第１と
同様なセンサー裏面への直接的圧力導入方式が採用出来
る為、構造及び工程が簡略化されるので、より安価な圧
力検出素子の供給を可能にする事が出来る。
以上のごとく、本発明によって圧力検出装置の構成部品
間の接合手段の選択を容易とし、従って、高圧流体の圧
力検出装置に適用して、特に効果があり、更に被測定流
体の性質に制限されない。
間の接合手段の選択を容易とし、従って、高圧流体の圧
力検出装置に適用して、特に効果があり、更に被測定流
体の性質に制限されない。
構造簡雫で、安価に製造し得るもので、産業上の利用効
果大なるものである。
果大なるものである。
体導入口、６は１の裏側、７は外装ケース、８はシール
ダイアフラム、９は封入液、１０はダイアフラム対向面
、Ａ、Ｂは接合面である。
ダイアフラム、９は封入液、１０はダイアフラム対向面
、Ａ、Ｂは接合面である。
Claims (2)
- （１）半導体基板の主表面にゲージ抵抗を形成すると共
に、前記主表面と反対面にダイヤフラム部を形成するた
めの凹部を設けた圧力検出装置において前記ダイヤフラ
ム面積よりも凹部開口部面積を小さくしたことを特徴と
する圧力検出装置。 - （２）凹部開口側に圧力導入管を設置した特許請求の範
囲第（１）項記載の圧力検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15888688A JPH028724A (ja) | 1988-06-27 | 1988-06-27 | 圧力検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15888688A JPH028724A (ja) | 1988-06-27 | 1988-06-27 | 圧力検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH028724A true JPH028724A (ja) | 1990-01-12 |
Family
ID=15681534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15888688A Pending JPH028724A (ja) | 1988-06-27 | 1988-06-27 | 圧力検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH028724A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100908425B1 (ko) * | 2008-08-12 | 2009-07-21 | 한국해양연구원 | 해조류를 이용한 바이오에탄올 제조용 고압 액화 추출물 및이의 제조방법 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5944634A (ja) * | 1982-09-07 | 1984-03-13 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体圧力センサ |
-
1988
- 1988-06-27 JP JP15888688A patent/JPH028724A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5944634A (ja) * | 1982-09-07 | 1984-03-13 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体圧力センサ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100908425B1 (ko) * | 2008-08-12 | 2009-07-21 | 한국해양연구원 | 해조류를 이용한 바이오에탄올 제조용 고압 액화 추출물 및이의 제조방법 |
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