JPH0279352A - Filler gas analyzer and analysis method - Google Patents
Filler gas analyzer and analysis methodInfo
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- 238000004458 analytical method Methods 0.000 title claims description 8
- 239000000945 filler Substances 0.000 title abstract description 6
- 230000006378 damage Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 96
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 abstract description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 abstract description 3
- 238000005086 pumping Methods 0.000 abstract 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
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- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ランプなどの破壊可能な封体に封入されたガ
スの分析装置と分析方法に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an apparatus and method for analyzing gas sealed in a breakable enclosure such as a lamp.
白熱電球や放電灯などのランプは、そのガラス封体内に
不活性ガスやハロゲンガスなどの各種のガスが封入され
ているが、所定のランプ特性を発揮させるためには、こ
れらのガスは所定量だけ正確に封入する必要がある。従
って、製造されたランプのロットから供試ランプをサン
プリングし、その封入ガスを分析して点検する必要が生
じる。Lamps such as incandescent bulbs and discharge lamps have various gases such as inert gas and halogen gas sealed inside their glass enclosures, but in order to achieve the desired lamp characteristics, these gases must be present in specified amounts. It is necessary to enclose it accurately. Therefore, it becomes necessary to sample test lamps from a lot of manufactured lamps and analyze and inspect the gas filled therein.
ところで従来の分析装置は、例えば、真空計が取り付け
られたガスリザーバー室を真空に排気し、このガスリザ
ーバー室内で封体を破壊してガス圧を測定し、その後ヘ
リウムなどのキャリアーガスをガスリザーバー室に導入
して２０００ トール程度の設定圧にし、この混合ガス
をガスクロマ１−グラフィーＧＣへ導入し、ＧＣでガス
成分を分離後、質量分析計ＭＳへガスを導入し１分析し
ていた。従って、先ず、キャリアーガスをガスリザーバ
ー室に導入して数十トール程度の封入ガスを拡散させて
均一に混合し、設定圧にするのに１０分間程度の時間を
要していた。また、ガスリザーバー室内で封体を破壊す
るため、ガスリザーバー室から破壊された封体を取り出
す作業が煩雑であり、手間を要していた。By the way, conventional analyzers, for example, evacuate a gas reservoir chamber equipped with a vacuum gauge, break the seal in this gas reservoir chamber to measure the gas pressure, and then pump a carrier gas such as helium into the gas reservoir. The mixed gas was introduced into a chamber to a set pressure of about 2000 Torr, and the mixed gas was introduced into a gas chromagraph GC, and after gas components were separated by GC, the gas was introduced into a mass spectrometer MS for one analysis. Therefore, it takes about 10 minutes to first introduce the carrier gas into the gas reservoir chamber, diffuse the sealed gas at about several tens of torr, mix it uniformly, and bring it to the set pressure. Furthermore, since the seal is destroyed in the gas reservoir chamber, the work of removing the broken seal from the gas reservoir chamber is complicated and time-consuming.
そこで本発明は、短時間で、かつ簡単にランプなどの封
入ガスのガス圧とガス成分を同時に正確に分析できる装
置と方法を提供することを目的とするものである。SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to provide an apparatus and method that can accurately analyze the gas pressure and gas components of a gas filled in a lamp or the like simultaneously and easily in a short time.
本発明の分析装置は、カセット式の封体破壊室と、標準
ガス供給器と、この封体破壊室および標準ガス供給器に
バルブと必要に応じてオリフィスを介して連結され、隔
膜真空計が取り付けられたガスリザーバー室と、このガ
スリザーバー室にオリフィスとバルブを介して連結され
た質量分析計と、ガスリザーバー室に空圧式自動バルブ
を介して連結された真空ポンプとよりなることを特徴と
するものである。The analyzer of the present invention includes a cassette-type seal breaking chamber, a standard gas supply device, a diaphragm vacuum gauge connected to the seal breaking chamber and the standard gas supply device via a valve and an orifice as necessary. It is characterized by comprising an attached gas reservoir chamber, a mass spectrometer connected to the gas reservoir chamber through an orifice and a valve, and a vacuum pump connected to the gas reservoir chamber through a pneumatic automatic valve. It is something to do.
また、分析方法は、真空排気されたカセット式の封体破
壊室内で封体を破壊して封入ガスを隔膜真空計が取り付
けられたガスリザーバー室に導き、隔膜真空計でガス量
を測定した後に、空圧式自動バルブを開閉させてガスリ
ザーバー室を所定圧力にポンプダウンし、ガスリザーバ
ー室内の封入ガスを質量分析計に導いて分析することを
特徴とするものである。In addition, the analysis method involves destroying the envelope in an evacuated cassette-type envelope destruction chamber, guiding the sealed gas into a gas reservoir chamber equipped with a diaphragm vacuum gauge, and measuring the amount of gas with the diaphragm vacuum gauge. , the gas reservoir chamber is pumped down to a predetermined pressure by opening and closing an automatic pneumatic valve, and the sealed gas in the gas reservoir chamber is guided to a mass spectrometer for analysis.
すなわち、先ず、封体破壊室がカセット式であるので、
供試ランプの交換が極めて容易で、破壊された封体の回
収に手間を要しない。そして、封入ガスは封体破壊室か
ら真空排気されたガスリザーバー室に瞬時に導かれ、ガ
ス圧が８１１定される。That is, first of all, since the seal destruction chamber is a cassette type,
Replacing the sample lamp is extremely easy and requires no effort to recover the broken envelope. Then, the sealed gas is instantaneously led from the seal breaking chamber to the evacuated gas reservoir chamber, and the gas pressure is regulated at 811.
続いて、真空ポンプとガスリザーバー室との間に配置さ
れた空圧式自動バルブを開閉させてガス量ザーバー室を
所定圧力にポンプダウンし、減圧された封入ガスを質量
分析計にオリフィスを通して直接導くので、キャリヤー
ガスを必要とせず、封入ガスとキャリヤーガスを均一に
混合する必要がなく、極めて短時間でガス圧とガス組成
を測定することができる。また、キャリヤーガスとの均
一性の問題もないので、正確に測定することができる。Next, the gas volume reservoir chamber is pumped down to a predetermined pressure by opening and closing an automatic pneumatic valve placed between the vacuum pump and the gas reservoir chamber, and the reduced pressure is guided directly into the mass spectrometer through the orifice. Therefore, there is no need for a carrier gas, no need to uniformly mix the filler gas and the carrier gas, and the gas pressure and gas composition can be measured in an extremely short time. Furthermore, since there is no problem of uniformity with the carrier gas, accurate measurements can be made.
以下に図面に示す実施例に基いて本発明を具体的に説明
する。The present invention will be specifically described below based on embodiments shown in the drawings.
図面は分析装置を概念的に示したものであるが、封体破
壊室１は、カセット式であり、封体破壊室１そのものを
ＯリングシールＳにより装置に着脱することができる。Although the drawing conceptually shows the analyzer, the seal breaking chamber 1 is of a cassette type, and the seal breaking chamber 1 itself can be attached to and removed from the apparatus using an O-ring seal S.
そして、封体破壊室１はバルブＶ、を介してガスリザー
バー室２に連結され、かつバルブｖ６ を介してターボ
モレキュラーポンプＴＭＰに連結されている。不活性ガ
スやハロゲンガスのボンベからなる標準ガス供給器５も
バルブｖ５ を介してガスリザーバー室２に連結されて
＝４−
いる。ガスリザーバー室２には、圧力によって内部に配
置された隔膜が変化する隔膜真空計３が取り付けられて
おり、ガスリザーバー室２内のガス圧が測定可能になっ
ている。このガスリザーバー室２は、バルブｖ４および
オリフィス０１を介して質量分析計ＭＳに接続され、か
つバルブ■２を介してターボモレキュラーポンプＴＭＰ
に連結されている。また、ターボモレキュラーポンプＴ
ＭＰとロータリーポンプＲＰはバルブｖ３を介して接続
されている。そして、ガスリザーバー室２は、空圧によ
って開閉時間が自動的に制御される空圧式自動バルブ４
を介してロータリーポンプＲＰに接続されている。The seal breaking chamber 1 is connected to the gas reservoir chamber 2 via a valve V, and is also connected to the turbo molecular pump TMP via a valve v6. A standard gas supply device 5 consisting of an inert gas or halogen gas cylinder is also connected to the gas reservoir chamber 2 via a valve v5. A diaphragm vacuum gauge 3 whose diaphragm disposed inside changes depending on the pressure is attached to the gas reservoir chamber 2, so that the gas pressure within the gas reservoir chamber 2 can be measured. This gas reservoir chamber 2 is connected to a mass spectrometer MS via a valve v4 and an orifice 01, and is connected to a turbo molecular pump TMP via a valve v2.
is connected to. Also, turbo molecular pump T
MP and rotary pump RP are connected via valve v3. The gas reservoir chamber 2 has an automatic pneumatic valve 4 whose opening/closing time is automatically controlled by air pressure.
It is connected to rotary pump RP via.
しかして、先ず、バルブｖ５ を開いて標準ガス供給器
５からガス組成が既知の標準ガスを真空に排気されたガ
スリザーバー室２に導き、所定圧力に減圧した後、バル
ブｖ４を開いて質量分析計ＭＳに導いて分析を行い、標
準ガスのキャリブレーション値を得ておく。次に、供試
ランプの入った封体破壊室１を装置に装着し、バルブｖ
６ を開いて封体破壊室１内を真空に排気する。そして
バルブｖ１を開いて供試ランプを破壊すると、封入され
ていたガスが真空に排気されたガスリザーバー室２にも
瞬時に充満し、隔膜真空計３によってガス圧が測定され
る。First, the valve v5 is opened to introduce a standard gas of known gas composition from the standard gas supply device 5 into the evacuated gas reservoir chamber 2, and after reducing the pressure to a predetermined pressure, the valve v4 is opened to conduct mass spectrometry analysis. Analyze the sample using a gas analyzer MS and obtain calibration values for the standard gas. Next, the envelope breaking chamber 1 containing the test lamp is attached to the device, and the bulb v
6 and evacuate the inside of the seal breaking chamber 1 to a vacuum. When the test lamp is destroyed by opening the valve v1, the evacuated gas reservoir chamber 2 is instantly filled with the sealed gas, and the gas pressure is measured by the diaphragm vacuum gauge 3.
ガス圧の測定が完了すると空圧式自動バルブ４を外部制
御により自動開閉する。これによって、ロータリーポン
プＲＰの作用でガスリザーバー室２内が数トール程度の
所定圧までポンプダウンする。そして、バルブ■、を開
くと、ガスリザーバー室２内の封入ガスがオリフィス０
１を通って所定の流量で１０−ｇトール程度に減圧され
た質量分析計ＭＳに導かれ、ガス成分が分析される。一
方、ガス圧測定が完了するとバルブ■、が閉じて新たな
供試ランプの装着が可能な状態になっている。When the gas pressure measurement is completed, the pneumatic automatic valve 4 is automatically opened and closed by external control. As a result, the inside of the gas reservoir chamber 2 is pumped down to a predetermined pressure of about several torr by the action of the rotary pump RP. Then, when the valve ■ is opened, the sealed gas in the gas reservoir chamber 2 flows into the orifice 0.
1, the gas is guided to a mass spectrometer MS whose pressure is reduced to about 10-g Torr at a predetermined flow rate, and the gas components are analyzed. On the other hand, when the gas pressure measurement is completed, the valve (2) is closed and a new test lamp can be installed.
すなわち、ガス成分を分析するのと平行して、封体破壊
室１を装置から取外し、新たな供試ランプの入った封体
破壊室１を装置に装着して真空に排気し、次の測定に直
ちに移行することができるようになっている。That is, in parallel with the analysis of gas components, the envelope destruction chamber 1 is removed from the apparatus, the envelope destruction chamber 1 containing a new sample lamp is attached to the apparatus, evacuated, and the next measurement is carried out. It is now possible to move immediately to
このように、先ず、封体破壊室１がカセット式であるの
で、取扱いが非常に簡単になる。そして、空圧式自動バ
ルブ４を自動開閉してガスリザーバー室２内を数トール
程度の所定圧までポンプダウンするので、極めて短時間
で減圧でき、この減圧された封入ガスを直ちに質量分析
計ＭＳに導いて分析するので、測定のトータル時間を大
ｒｌに短縮することができる。更には、封入ガスをキャ
リアーガスと混合することなく直接質量分析計ＭＳに導
くので、キャリアーガスとの均一性が問題にならず、正
確な分析値を得ることができる。First, since the envelope breaking chamber 1 is of the cassette type, handling becomes very simple. Then, the pneumatic automatic valve 4 is automatically opened and closed to pump down the inside of the gas reservoir chamber 2 to a predetermined pressure of about several torr, so the pressure can be reduced in an extremely short time, and the reduced pressure filled gas is immediately transferred to the mass spectrometer MS. Since the data are guided and analyzed, the total measurement time can be greatly shortened. Furthermore, since the sealed gas is directly guided to the mass spectrometer MS without being mixed with the carrier gas, uniformity with the carrier gas is not a problem, and accurate analytical values can be obtained.
なお、以上の実施例では、ランプの封入ガスの測定例を
示したが、簡単に破壊可能な封体内に封入されたガスで
あれば、ランプ以外にも適用することができる。In the above embodiments, an example of measuring the gas sealed in a lamp was shown, but the present invention can be applied to other devices other than lamps as long as the gas is sealed in an easily breakable envelope.
以上説明したように、本発明は、封体破壊室をカセット
式とし、また、ガス圧を測定するためのガスリザーバー
室内の封入ガスを空圧式自動バルブによって所定圧まで
ポンプダウンし、この減圧された封入ガスを直ちに質量
分析計ＭＳに導いて分析するようにしたので、短時間で
、かつ簡単にランプなどの封入ガスのガス圧とガス成分
を同時に正確に分析できる。As explained above, the present invention uses a cassette-type seal breaking chamber, and pumps down the sealed gas in the gas reservoir chamber to a predetermined pressure using a pneumatic automatic valve to measure the gas pressure. Since the filled gas is immediately led to the mass spectrometer MS for analysis, the gas pressure and gas components of the filled gas of a lamp or the like can be simultaneously and accurately analyzed in a short time and easily.
図面は分析装置の説明図である。
１・・・封体破壊室 ２・・・ガスリザーバー室３
・・・隔膜真空計 ４・・・空圧式自動バルブ５・
・・標準ガス供給器 ＭＳ・・・質量分析計Ｖ・・・バ
ルブ Ｏ・・・オリフィスＳ・・・０リングシ
ール
ＴＭＰ・・・ターボモレキュラーポンプＲＰ・・・ロー
タリーポンプThe drawing is an explanatory diagram of the analyzer. 1... Enclosure destruction chamber 2... Gas reservoir chamber 3
...Diaphragm vacuum gauge 4...Pneumatic automatic valve 5.
...Standard gas supply MS...Mass spectrometer V...Valve O...Orifice S...0 ring seal TMP...Turbo molecular pump RP...Rotary pump
Claims (2)
該封体破壊室および標準ガス供給器にバルブと必要に応
じてオリフィスを介して連結され、隔膜真空計が取り付
けられたガスリザーバー室と、該ガスリザーバー室にオ
リフィスとバルブを介して連結された質量分析計と、該
ガスリザーバー室に空圧式自動バルブを介して連結され
た真空ポンプとよりなることを特徴とする封入ガス分析
装置。(1) A cassette-type seal destruction chamber, a standard gas supply device,
A gas reservoir chamber connected to the seal breaking chamber and the standard gas supply via a valve and, if necessary, an orifice, and a diaphragm vacuum gauge attached thereto, and connected to the gas reservoir chamber via an orifice and a valve. A sealed gas analyzer comprising a mass spectrometer and a vacuum pump connected to the gas reservoir chamber via an automatic pneumatic valve.
を破壊して封入ガスを隔膜真空計が取り付けられたガス
リザーバー室に導き、該真空計でガス量を測定した後に
、空圧式自動バルブを開閉させて該ガスリザーバー室を
所定圧力にポンプダウンし、該ガスリザーバー室内の封
入ガスを質量分析計に導いて分析することを特徴とする
分析方法。(2) Destroy the envelope in an evacuated cassette-type envelope destruction chamber and guide the sealed gas into the gas reservoir chamber equipped with a diaphragm vacuum gauge. After measuring the gas amount with the vacuum gauge, the pneumatic An analysis method characterized by opening and closing an automatic valve to pump down the gas reservoir chamber to a predetermined pressure, and guiding the sealed gas in the gas reservoir chamber to a mass spectrometer for analysis.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63229782A JP2720395B2 (en) | 1988-09-16 | 1988-09-16 | Sealed gas analyzer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63229782A JP2720395B2 (en) | 1988-09-16 | 1988-09-16 | Sealed gas analyzer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0279352A true JPH0279352A (en) | 1990-03-19 |
| JP2720395B2 JP2720395B2 (en) | 1998-03-04 |
Family
ID=16897589
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63229782A Expired - Lifetime JP2720395B2 (en) | 1988-09-16 | 1988-09-16 | Sealed gas analyzer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2720395B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0636321U (en) * | 1992-10-12 | 1994-05-13 | 住友電設株式会社 | Floor outlet equipment |
| KR20030097051A (en) * | 2002-06-18 | 2003-12-31 | (주)아트램프 | Vacuum Generation, Control, and Diagnosis System for Lamp Manufacturing Process |
| JP2012512393A (en) * | 2008-12-15 | 2012-05-31 | コリア リサーチ インスティチュート オブ スタンダーズ アンド サイエンス | Gas sample collection device inside foam and analysis method using the same |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59152437U (en) * | 1983-03-30 | 1984-10-12 | 日本酸素株式会社 | Gas sampling device filled with light bulbs, etc. |
| JPS60147645A (en) * | 1984-01-13 | 1985-08-03 | Mitsubishi Electric Corp | Analytical equipment for sealing gas |
-
1988
- 1988-09-16 JP JP63229782A patent/JP2720395B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
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| JPS59152437U (en) * | 1983-03-30 | 1984-10-12 | 日本酸素株式会社 | Gas sampling device filled with light bulbs, etc. |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2720395B2 (en) | 1998-03-04 |
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Legal Events
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