JPH0266507U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0266507U JPH0266507U JP14682388U JP14682388U JPH0266507U JP H0266507 U JPH0266507 U JP H0266507U JP 14682388 U JP14682388 U JP 14682388U JP 14682388 U JP14682388 U JP 14682388U JP H0266507 U JPH0266507 U JP H0266507U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- porous member
- support
- support surface
- main body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
第１図は、本考案の一実施例たるスライドテー
ブルを示す断面図であつて、第２図における―
断面に相当する図であり、第２図は、第１図に
おける底面図であり、第３図は、第２図における
―断面図である。また、第４図は第１図の要
部を拡大して示す説明図である。更に、第５図は
、従来の気体支持装置の一具体例を示す縦断面図
である。 １０：スライドテーブル、１２：テーブル本体
、２２：取付溝（取付凹所）、３０：多孔質部材
、３２：固定ボルト、３３：支持面、３４：前面
（露呈面）、３６：背面、４４：気体溜り、４６
：溶射層、４８：接合部。
ブルを示す断面図であつて、第２図における―
断面に相当する図であり、第２図は、第１図に
おける底面図であり、第３図は、第２図における
―断面図である。また、第４図は第１図の要
部を拡大して示す説明図である。更に、第５図は
、従来の気体支持装置の一具体例を示す縦断面図
である。 １０：スライドテーブル、１２：テーブル本体
、２２：取付溝（取付凹所）、３０：多孔質部材
、３２：固定ボルト、３３：支持面、３４：前面
（露呈面）、３６：背面、４４：気体溜り、４６
：溶射層、４８：接合部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 装置本体に形成された取付凹所内に、多数の通
気孔を有する多孔質部材を固定的に装着せしめる
ことにより、該多孔質部材における前記通気孔が
開口せしめられた露呈面を含んで、装置表面の所
定部位に支持面を構成すると共に、該多孔質部材
の背後に位置して、装置本体との間に所定容積の
気体溜りを形成し、該気体溜りに圧力気体を供給
することにより、前記支持面上に該圧力気体が噴
出せしめられるようにした気体支持装置において
、 前記多孔質部材が露呈された支持面の全面に亘
つて、その表面を覆うように、所定厚さの多孔質
溶射層を一体的に形成せしめたことを特徴とする
気体支持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14682388U JPH0530007Y2 (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14682388U JPH0530007Y2 (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0266507U true JPH0266507U (ja) | 1990-05-18 |
| JPH0530007Y2 JPH0530007Y2 (ja) | 1993-07-30 |
Family
ID=31416668
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14682388U Expired - Lifetime JPH0530007Y2 (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0530007Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014234840A (ja) * | 2013-05-31 | 2014-12-15 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 重量機器の支持装置 |
| WO2022209685A1 (ja) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | 日本精工株式会社 | 気体軸受パッド |
-
1988
- 1988-11-10 JP JP14682388U patent/JPH0530007Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014234840A (ja) * | 2013-05-31 | 2014-12-15 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 重量機器の支持装置 |
| WO2022209685A1 (ja) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | 日本精工株式会社 | 気体軸受パッド |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0530007Y2 (ja) | 1993-07-30 |