JPH0261377A - Bellows pump - Google Patents
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、ベローズポンプに関する。[Detailed description of the invention] [Purpose of the invention] (Industrial application field) The present invention relates to a bellows pump.
（従来の技術）
この種のベローズポンプの一例として、半導体ウェハな
どのレジスト塗布装置に用いられるベローズポンプを挙
げることができる。(Prior Art) An example of this type of bellows pump is a bellows pump used in a resist coating apparatus for semiconductor wafers and the like.
すなわち、半導体製造工程のうちのレジスト工程では、
半導体ウェハにレジスト液を均一に塗布する必要があり
、このため例えばスピン塗布が行われている。そして、
このスピン塗布の際のレジスト液の半導体ウェハ上への
滴下には、一般に定容量型ポンプが用いられている。こ
の理由は、レジストは非常に高価な材料であり、消費量
を少なくすることが望まれるが、必要量以下であると塗
布むら原因になりやすいので、吐出量か安定している高
精度の定容量型ポンプとして上記ベローズポンプが用い
られている。In other words, in the resist process of the semiconductor manufacturing process,
It is necessary to uniformly apply a resist solution to a semiconductor wafer, and for this purpose, for example, spin coating is performed. and,
A fixed displacement pump is generally used to drip the resist solution onto the semiconductor wafer during spin coating. The reason for this is that resist is a very expensive material, and it is desirable to reduce its consumption, but if the amount is less than the required amount, it tends to cause uneven coating. The bellows pump described above is used as a displacement pump.
従来のベローズポンプは、３図に示すように吸入口３及
び吐出口４を具備したポンプヘッド１のフランジ２にベ
ローズ５の一端を固定し、その他端をエアーシリンダ６
のロッド７に固定し、このロッド７を第３図の上下方向
に駆動することで、ベローズ５が密着状態と伸張状態と
に駆動されるように構成している。In a conventional bellows pump, one end of a bellows 5 is fixed to a flange 2 of a pump head 1 equipped with an inlet 3 and an outlet 4, as shown in FIG. 3, and the other end is attached to an air cylinder 6.
The bellows 5 is fixed to a rod 7, and by driving the rod 7 in the vertical direction in FIG. 3, the bellows 5 is driven into a closed state and an extended state.
そして、上記エアーシリンダ６におけるロッド７のスト
ロークを調整するために、上記エアーシリンダ６の下端
にはストローク調整部１０が配置されている。このスト
ローク調整部１０は、第４図に示すように、エアーシリ
ンダ６の下端に形成されたねじ部６ａに螺合するナツト
部１２を有し、その内底面に突起状に形成されたストッ
パー１４を具備して構成されている。そして、上記エア
ーシリンダ６のロッド７がその最下点で上記ストッパー
１４に当接することで、ロッド７のストロークが決定さ
れ、上記ストローク調整部１０のエアーシリンダ６に対
する上下位置を調整することで、上記ストロークの調整
が可能となっている。In order to adjust the stroke of the rod 7 in the air cylinder 6, a stroke adjustment section 10 is arranged at the lower end of the air cylinder 6. As shown in FIG. 4, this stroke adjustment part 10 has a nut part 12 that is screwed into a threaded part 6a formed at the lower end of the air cylinder 6, and a stopper 14 formed in a protrusion shape on the inner bottom surface of the nut part 12. It is configured with the following. When the rod 7 of the air cylinder 6 comes into contact with the stopper 14 at its lowest point, the stroke of the rod 7 is determined, and by adjusting the vertical position of the stroke adjustment section 10 with respect to the air cylinder 6, The above stroke can be adjusted.
このようなベローズポンプでは、上記エアーシリンダ６
の駆動により、ロッド７を第３図の位置より下側に移動
させ、上記ストッパー１４にロッド７の下端が当接する
まで上記移動をｆａ枕する際に、ベローズ５が伸張し、
吸入口３より逆止弁８を介してベローズ空間９内にレジ
ストが吸引される。その後、エアーシリンダ６の駆動に
よりロッド７を上昇させると、上記ベローズ５が密着す
るまで収縮し、この時ベローズ５内の作動空間９は圧縮
されるので、レジストは吐出口４を介して吐出されるこ
とになる。In such a bellows pump, the air cylinder 6
The bellows 5 expands when the rod 7 is moved downward from the position shown in FIG.
The resist is sucked into the bellows space 9 from the suction port 3 via the check valve 8 . Thereafter, when the rod 7 is raised by driving the air cylinder 6, the bellows 5 contracts until they come into close contact with each other. At this time, the working space 9 within the bellows 5 is compressed, so that the resist is discharged through the discharge port 4. That will happen.
上記のようなベローズポンプでは、吐出の際にベローズ
５が密着するため、気泡がベローズ５に食い込んでいて
もこれを゛除去することができ、気泡の混入による吐出
！精度の悪化を防止することができる。In the above-mentioned bellows pump, the bellows 5 are in close contact with each other during discharge, so even if air bubbles get stuck in the bellows 5, they can be removed. Deterioration of accuracy can be prevented.
（発明が解決しようとする問題点）
上述した従来のベローズポンプの欠点としては、ロッド
７のストローク調整すなわち吐出量の調整が極めて困難
であるという問題があった。(Problems to be Solved by the Invention) A drawback of the conventional bellows pump described above is that it is extremely difficult to adjust the stroke of the rod 7, that is, adjust the discharge amount.
すなわち、−船釣にレジストポンプでは、レジスト塗布
工程ではレジストを吸引した状態で待機し、ウェハが処
理される時間になるとただちに吐出を開始できるように
設定されている。That is, the resist pump on the boat is set so that it stands by while sucking the resist during the resist coating process, and starts discharging it immediately when the time for wafer processing comes.
ところで、上記構造のベローズポンプでは、吐出量を調
整するためにロッド７を最下点に設定する必要があり、
すなわち、ポンプの吸引時にストローク調整を実行する
必要がある６そして、上述したように、上記ポンプでは
エアーシリンダ６のロッド７がストッパー１４に当接し
た状態で待機していることとなっているので、この状態
でストッパー１４の位置を調整する際には一端エアーを
切り、吐出側を開放した状態で吐出量を調整する必要が
あった。By the way, in the bellows pump having the above structure, it is necessary to set the rod 7 at the lowest point in order to adjust the discharge amount.
In other words, it is necessary to perform stroke adjustment when the pump suctions 6. And, as mentioned above, in the above-mentioned pump, the rod 7 of the air cylinder 6 is on standby with the stopper 14 in contact with the stopper 14. When adjusting the position of the stopper 14 in this state, it was necessary to turn off the air at one end and adjust the discharge amount with the discharge side open.
しかし、上記作業は極めて煩雑であり、操作上不都合と
なっていた。However, the above-mentioned work is extremely complicated and causes operational inconvenience.
また、上記構造のベローズポンプでは、吐出量の調整に
際して、ロッド７の吸引時の移動端位置を調整している
ので、実際には作動空間でのレジスト吸引量を調整して
いることになり、積極的にレジストの吐出量をＪ［して
いるのではなかった。In addition, in the bellows pump having the above structure, when adjusting the discharge amount, the moving end position of the rod 7 during suction is adjusted, so the resist suction amount in the working space is actually adjusted. I was not actively controlling the amount of resist discharged.
したがって、構造的に吐出量がばらつく可能性もあった
。Therefore, there was a possibility that the discharge amount would vary structurally.
そこで、本発明の目的とするところは、上述した従来の
問題点を解決し、吐出量自体の調整が容易であって、か
つ、高精度な吐出を実行することができるベローズポン
プを提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to provide a bellows pump that solves the above-mentioned conventional problems, allows easy adjustment of the discharge amount itself, and is capable of performing highly accurate discharge. It is in.
［発明の構成］
（問題点を解決するための手段）
本発明は、中空筒状のポンプボディ内に配置された伸縮
自在なベローズと、
上記ベローズと接続され、上記ポンプボディ内壁とベロ
ーズ外壁との間のポンプ作動室内に流体を吸引するとき
には、ベローズの一端を下死点側に移動して圧縮し、吐
出するときにはベローズの一端を上死点側に移動して伸
張するように往復動する往復動手段と、
この往復動手段の上死点位置を調整することで、吐出量
を調整する吐出量調整手段とを設けてベローズポンプを
構成している。[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) The present invention includes a telescopic bellows disposed in a hollow cylindrical pump body, a bellows connected to the bellows, and an inner wall of the pump body and an outer wall of the bellows. When suctioning fluid into the pump operating chamber between the pumps, one end of the bellows is moved to the bottom dead center side to compress it, and when discharging fluid, one end of the bellows is moved to the top dead center side and reciprocated to expand. A bellows pump is provided with a reciprocating means and a discharge amount adjusting means for adjusting the discharge amount by adjusting the top dead center position of the reciprocating means.
（作用）
本発明のベローズポンプによれば、往復動手段によりベ
ローズを圧縮した場合の下死点は、ベローズのひだが相
互に密着する位置で決定され、ベローズが伸張する場合
の上死点位置を吐出量調整手段によって調整可能として
いる。そして、この種のベローズポンプの待機状態は、
液体を吸引して待機している場合が多くなっている。こ
のようなベローズポンプの待機状態にあっては、本発明
のベローズポンプではベローズが下死点位置にあるため
、この際にはベローズの上死点位置の調整は、往復動手
段の影響を受けずに自由に実施することができる。した
がって、吐出量の調整作業が従来よりも簡易化される。(Function) According to the bellows pump of the present invention, the bottom dead center when the bellows is compressed by the reciprocating means is determined at the position where the folds of the bellows are in close contact with each other, and the top dead center when the bellows is expanded. can be adjusted by a discharge amount adjusting means. And the standby state of this kind of bellows pump is
In many cases, they are sucking up liquid and waiting. In such a standby state of the bellows pump, in the bellows pump of the present invention, the bellows is at the bottom dead center position, so the adjustment of the bellows top dead center position is not affected by the reciprocating means. It can be carried out freely without any restrictions. Therefore, the adjustment work for the discharge amount is made easier than before.
さらに、本発明の場合には、吐出量の調整にあたって、
吐出量を決定するためのベローズの上死点位置を調整、
しているので、吐出量自体を直接的に調整でき、従来の
ように吸引量を調整して吐出量調整とするものと比べれ
ば、吐出量精度の向上を図ることができる。Furthermore, in the case of the present invention, in adjusting the discharge amount,
Adjust the top dead center position of the bellows to determine the discharge amount,
Therefore, the discharge amount itself can be directly adjusted, and compared to the conventional method in which the discharge amount is adjusted by adjusting the suction amount, the accuracy of the discharge amount can be improved.
（実施例）
以下、本発明を半導体ウェハに対するレジスト塗布装置
に使用されるベローズポンプに適用した一実施例を、図
面を参照して具体的に説明する。(Example) Hereinafter, an example in which the present invention is applied to a bellows pump used in a resist coating apparatus for semiconductor wafers will be specifically described with reference to the drawings.
まず、レジスト塗布装置について簡単に説明する。First, the resist coating device will be briefly explained.
スピンチャック２０は、たとえば真空吸着によって半導
体ウェハ２１を載置固定し、これを回転できるものであ
り、このスピンチャック２０は、モータ２２の出力軸に
固定され、回転駆動されるようになっている。モータ２
２は、加速性に優れた高性能モータで構成されている。The spin chuck 20 is capable of mounting and rotating a semiconductor wafer 21 by, for example, vacuum suction, and is fixed to the output shaft of a motor 22 and driven to rotate. . motor 2
2 is composed of a high-performance motor with excellent acceleration.
前記チャック２０に支持されるウェハ２１の上方には、
ウェハ２１のほぼ中心位置よりレジスト液を滴下するレ
ジストノズル３０が設けられ、このレジストノズル３０
はスキャナー３１によって移動自在となっている。たと
えばロットの切れ目等でノズル３０からのディスペンス
が所定時間実行されない場合には、ノズル３０先端でレ
ジスト液が長時間空気と接触されることにより固まって
しまうことがあるので、ダミーディスペンスを実行する
必要があり、この場合にはノズル３０をチャック１０よ
り外した位置まで退避させる必要があるので、この種の
移動を前記スキャナー３１によって実行するようになっ
ている。Above the wafer 21 supported by the chuck 20,
A resist nozzle 30 is provided that drops a resist solution from approximately the center of the wafer 21.
is movable by the scanner 31. For example, if dispensing from the nozzle 30 is not performed for a predetermined time due to a break in a lot, etc., the resist liquid at the tip of the nozzle 30 may harden due to contact with air for a long time, so it is necessary to perform dummy dispensing. In this case, it is necessary to retract the nozzle 30 to a position where it is removed from the chuck 10, so this type of movement is performed by the scanner 31.
また、レジスト液塗布時にレジスト液が装置外部へ飛散
することを防止するために、処理容器としてのカップ４
０がウェハ１の周囲に形成されている。なお、このカッ
プ４０は、上下動可能であって、レジスト液塗布時には
第２図の位置まで上昇されて停止し、ウェハ１の搬入出
時には上記位置よりも下降するように構成されている。In addition, in order to prevent the resist liquid from scattering to the outside of the apparatus when applying the resist liquid, a cup 4 as a processing container is provided.
0 is formed around the wafer 1. The cup 40 is movable up and down, and is configured to be raised to the position shown in FIG. 2 and stopped when applying the resist solution, and lowered from the above position when the wafer 1 is loaded or unloaded.
なお、このカップ４０の下面には、図示しないドレイン
管及び排気管が接続されている。Note that a drain pipe and an exhaust pipe (not shown) are connected to the lower surface of the cup 40.
次に、このレジストノズル３０へのレジスト液の供給系
について説明すると、レジスト液収容部３２、ベローズ
ポンプ５０．フィルター容器３４及び前記ベローズポン
プ５０と連動して開閉されるバルブｖ１．サックバック
バルブｖ２等が設けられている。なお、前記サックバッ
クバルブｖ２は、レジストノズル３０からのレジスト液
吐出後、レジストノズル３０先端部で表面張力によって
露出しているレジスト液をレジストノズル３０内に引き
戻すためのバルブであり、レジスト液の固化を防止する
ためのものである。Next, the resist liquid supply system to the resist nozzle 30 will be explained. The resist liquid storage section 32, the bellows pump 50. A valve v1. which is opened and closed in conjunction with the filter container 34 and the bellows pump 50. A suckback valve v2 and the like are provided. The suckback valve v2 is a valve for pulling back the resist liquid exposed at the tip of the resist nozzle 30 into the resist nozzle 30 due to surface tension after the resist liquid is discharged from the resist nozzle 30. This is to prevent solidification.
次に、本実施例装置の特徴的構成である前記ベローズポ
ンプ５０について、第１図を参照して説明する。Next, the bellows pump 50, which is a characteristic structure of the apparatus of this embodiment, will be explained with reference to FIG.
前記ベローズボン１５０は、ポンプボディ５２とエアー
シリンダ７０のボディ７１とを連結して構成されている
。The bellows bon 150 is constructed by connecting the pump body 52 and the body 71 of the air cylinder 70.
上記ポンプボディ５２内には、ベローズ５４が配置され
、上記ポンプボディ５２の内壁とベローズ５４の外壁と
の間の空間かポンプ作動室５６となっている。A bellows 54 is disposed within the pump body 52, and a space between the inner wall of the pump body 52 and the outer wall of the bellows 54 forms a pump operating chamber 56.
このベローズポンプ５０は、横置きで使用され、上記ポ
ンプボディ５２の下側には逆止弁５８を介して吸入口６
０が接続され、これと対向するポンプボディ５２の上側
には吐出口６２が設けられている。This bellows pump 50 is used horizontally, and a suction port 6 is connected to the lower side of the pump body 52 via a check valve 58.
0 is connected, and a discharge port 62 is provided on the upper side of the pump body 52 facing this.
また、上記エアーシリンダボディ７１内には、エアー駆
動によって第１図の左右方向に駆動されるピストン７２
が摺動自在に配置されている。Also, inside the air cylinder body 71 is a piston 72 that is driven by air in the left-right direction in FIG.
are slidably arranged.
上記ベローズ５４の第１図の左端にはベローズコア６４
を介して上記ピストン７２に連結固定され、ピストン７
２の駆動によってベローズ５４を伸縮可能となっている
。At the left end of the bellows 54 in FIG.
is connected and fixed to the piston 72 via the piston 7
2, the bellows 54 can be expanded and contracted.
次に、上記ベローズポンプ５０での吐出量調整、すなわ
ちピストン７２のストローク調整のための機構について
説明する。Next, a mechanism for adjusting the discharge amount of the bellows pump 50, that is, adjusting the stroke of the piston 72, will be explained.
上記ピストン７２の第１図の右端には、ストップリング
７４が固着され、また、上記ピストン７２の上死点にて
上記ストップリング７４と当接するためのアジャストね
じ７６が、上記エアーシリンダボディ７１の外側に形成
されたねじ部７８に螺合して設けられ、第１図の左右方
向でその位置を可変としている。A stop ring 74 is fixed to the right end of the piston 72 in FIG. It is screwed into a threaded portion 78 formed on the outside, and its position is variable in the left-right direction in FIG.
次に、作用について説明する。Next, the effect will be explained.
このベローズポンプ５０にてレジストを吐出する場合に
は、まずエアーシリンダ７０のエアー駆動によりピスト
ン７２を第１図（Ａ）の状態より右側に移動し、ベロー
ズ５４が密着状態となるまで圧縮する（第１図（Ｂ）参
照）、なお、このビスント７２が後退し切った時には、
上記ベローズ５４か密着するように予め調整されている
。このとき、ベローズ５４の外壁とポンプボディ５２の
内壁との間のポンプ作動室５６の容量が増加するため、
逆止弁５８を介して吸入口６０よりポンプ作動室５６内
にレジストが吸入される。When discharging the resist using the bellows pump 50, the piston 72 is first moved to the right side from the state shown in FIG. (See Fig. 1 (B)), and when this bisundo 72 is completely retreated,
The bellows 54 is adjusted in advance so as to be in close contact with each other. At this time, since the capacity of the pump working chamber 56 between the outer wall of the bellows 54 and the inner wall of the pump body 52 increases,
Resist is sucked into the pump working chamber 56 from the suction port 60 via the check valve 58 .
この後、エアーシリンダ７０のエアー作動を切り換え、
ピストン７２を第１図（Ｂ）の状態より左側に移動させ
、この結果ベローズ５４が伸張すると共に、ポンプ作動
室５６は縮められ、レジストは吐出口６２を介して吐出
されることになる。After that, switch the air operation of the air cylinder 70,
The piston 72 is moved to the left from the state shown in FIG.
そして、ピストン７２に固定されたストップリング７４
がアジャストねじ７６の端面に当接することで、１回の
動作で吐出されるべき所定量のレジストが吐出されるこ
とになる。A stop ring 74 fixed to the piston 72
comes into contact with the end surface of the adjustment screw 76, thereby discharging a predetermined amount of resist in one operation.
ここで、本実施例のベローズポンプ５０では、上記のピ
ストン７２の往復移動により、ポンプ作動室５内に下側
から吸入されたレジストは、そのポンプ作動室５６を下
側から上側に移動し、はぼ直線的に移動することになる
ので複雑な流路とならず、ポンプ作動室５６内のレジス
トの流れが極めてスムーズになる。このように管路が単
純であるため、圧力損失も少ないという効果もある。Here, in the bellows pump 50 of this embodiment, the resist sucked into the pump working chamber 5 from below by the reciprocating movement of the piston 72 moves from the bottom to the top of the pump working chamber 56, Since the resist moves almost linearly, there is no complicated flow path, and the flow of the resist in the pump working chamber 56 becomes extremely smooth. Since the pipe line is simple in this way, it also has the effect of reducing pressure loss.
また、ポンプ作動室５６より吐出されるレジストは、レ
ジストの吸引時に予めベローズ５４が密着することでベ
ローズ５４のひだ間の気泡が取り除かれ、上記の直線的
なレジストの吐出経路に沿って速やかに吐出されるので
、ベローズ５４のひだ間に気泡が停留することに起因す
る吐出量精度の悪化を防止することができる。なお、こ
のようにしてベローズポンプ５０より吐き出された気泡
は、後段のフィルタ容器３４にてレジスト吐出経路より
除去されるので、吐出ノズル３０に気泡が送出されるこ
とはない。In addition, the resist discharged from the pump working chamber 56 is brought into close contact with the bellows 54 in advance when the resist is sucked, so that air bubbles between the folds of the bellows 54 are removed, and the resist is quickly discharged along the above-mentioned linear resist discharge path. Since the liquid is discharged, it is possible to prevent deterioration in the accuracy of the discharge amount due to air bubbles remaining between the folds of the bellows 54. Note that the air bubbles discharged from the bellows pump 50 in this manner are removed from the resist discharge path in the filter container 34 at the subsequent stage, so that the bubbles are not delivered to the discharge nozzle 30.
次に、上記ベローズポンプ５０での吐出量の調整動作に
ついて説明すると、本実施例のベローズポンプ５０では
、ポンプ吸入時においてアジャストねじ７６とストップ
リング７４とは離れているので、このような吸入状態（
すなわち、ベローズポンプ５０の待機状態）ではアジャ
ストねじ７６の調整は容易であり、ピストン７２のスト
ローク調整による吐出量の調整を容易に実行することが
できる。Next, the adjustment operation of the discharge amount in the bellows pump 50 will be explained. In the bellows pump 50 of this embodiment, the adjustment screw 76 and the stop ring 74 are separated from each other during pump suction. (
In other words, when the bellows pump 50 is in a standby state, the adjustment screw 76 can be easily adjusted, and the discharge amount can be easily adjusted by adjusting the stroke of the piston 72.
さらに、本実施例の場合には、吐出量の調整にあたって
、吐出量を決定するなめのベローズ５４の上死点位置を
調整しているので、吐出量自体を直接的に調整でき、従
来のように吸引址を調整して吐出量調整とするものと比
べれば、吐出量精度の向上を図ることができる。Furthermore, in the case of this embodiment, when adjusting the discharge amount, the top dead center position of the bellows 54 that determines the discharge amount is adjusted, so the discharge amount itself can be directly adjusted, unlike the conventional method. Compared to the method in which the discharge amount is adjusted by adjusting the suction area, the accuracy of the discharge amount can be improved.
また、本実施例のベローズポンプ５０の場合には、ポン
プ作動室５６はベローズ５４の外径とポンプボディ５２
の内径の空間で決定され、この寸法差（第１図図示のδ
であり、本実施例の場合はδ＝ Ｉ Ｉｍ ）を少なく
することにより、ポンプ作動室５６の空間容積を著しく
小さくすることができる。第３図に示す従来の構造では
、ベローズ５内部にレジストを吸引するようになってい
るので、ベローズ５自体を小さくしない限り内部容積は
小さくならず、ベローズ５を小さくしようとしても強度
低下等の理由で限界があった。したがって、本実施例で
はベローズポンプ５０の小型化の点でも優れている。Further, in the case of the bellows pump 50 of this embodiment, the pump working chamber 56 is formed by the outer diameter of the bellows 54 and the pump body 52.
This dimensional difference (δ shown in Figure 1) is determined by the space of the inner diameter of
In this embodiment, by reducing δ=I Im ), the spatial volume of the pump working chamber 56 can be significantly reduced. In the conventional structure shown in FIG. 3, the resist is sucked into the inside of the bellows 5, so the internal volume will not be reduced unless the bellows 5 itself is made smaller, and even if you try to make the bellows 5 smaller, it will cause a decrease in strength, etc. There was a limit for a reason. Therefore, this embodiment is also excellent in terms of miniaturization of the bellows pump 50.
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。Note that the present invention is not limited to the above embodiments,
Various modifications are possible within the scope of the invention.
本発明に係わるベローズポンプは、必ずしも半導体ウェ
ハのレジスト塗布装置に適用されるものではなく、吐出
量調整を要する種々のベローズポンプ、好ましくは低吐
出量高精度の液体吐出用ポンプとして好適に実施でき、
レジスト塗布以外では医薬品１食料品などの製造にも好
適に実施することができる。The bellows pump according to the present invention is not necessarily applied to a resist coating apparatus for semiconductor wafers, but can be suitably implemented as a various bellows pump that requires discharge amount adjustment, preferably as a pump for discharging a liquid with a low discharge amount and high precision. ,
In addition to resist coating, it can also be suitably implemented in the production of pharmaceutical products, foodstuffs, and the like.
また、吐出量調整手段としては、上記実施例のものに限
らず、ベローズの上死点位置を可変調整可能な種々の変
形実施かが可°能である。Further, the discharge amount adjusting means is not limited to that of the above embodiment, and various modifications that can variably adjust the top dead center position of the bellows are possible.
［発明の効果］
以上説明したように、本発明によれば吐出量自体の調整
を容易に行うことができ、しかも高精度の吐出動作を実
行することができるベローズポンプを提供することがで
きる。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, it is possible to provide a bellows pump that can easily adjust the discharge amount itself and can perform a highly accurate discharge operation.
第１図（Ａ）、（Ｂ）は、本発明に係わるベローズポン
プの一実施例を説明するための概略説明図、
第２図は、上記ベローズポンプを半導体ウェハのレジス
ト塗布装置に適用したー構成例を説明するための概略説
明図、
第３図は、従来のベローズポンプを説明するための概略
説明図、
第４図は、第３図のベローズポンプにおける吐出量調整
のための機構の拡大断面図である。
５０・・・ベローズポンプ、
５２・・・ポンプボディ、
５４・・・ベローズ、
５６・・・ポンプ作動室、
７２・・・ピストン、
７４．７６・・・吐出量調整手段。
代理人 弁理士 井 上 −（他１名）第
図
第
図
１４ス）−ハ゛Figures 1 (A) and (B) are schematic explanatory diagrams for explaining one embodiment of a bellows pump according to the present invention, and Figure 2 shows the bellows pump applied to a resist coating apparatus for semiconductor wafers. A schematic explanatory diagram for explaining a configuration example, FIG. 3 is a schematic explanatory diagram for explaining a conventional bellows pump, and FIG. 4 is an enlarged view of the mechanism for adjusting the discharge amount in the bellows pump of FIG. 3. FIG. 50... Bellows pump, 52... Pump body, 54... Bellows, 56... Pump working chamber, 72... Piston, 74.76... Discharge amount adjusting means. Agent Patent Attorney Inoue - (1 other person) Fig. 14) - Hi
Claims (1)
ーズと、 このベローズと接続され、上記ポンプボディ内壁とベロ
ーズ外壁との間のポンプ作動室内に流体を吸引するとき
には、ベローズの一端を下死点側に移動して圧縮し、吐
出するときにはベローズの一端を上死点側に移動して伸
張するように往復動する往復動手段と、 この往復動手段の上死点位置を調整することで、吐出量
を調整する吐出量調整手段とを有することを特徴とする
ベローズポンプ。[Claims] A retractable bellows disposed within a hollow cylindrical pump body; and when the bellows is connected to suck fluid into a pump operating chamber between the inner wall of the pump body and the outer wall of the bellows, a reciprocating means that reciprocates so that one end of the bellows is moved to the bottom dead center side to be compressed, and when discharging, one end of the bellows is moved to the top dead center side and expanded; A bellows pump characterized by having a discharge amount adjusting means that adjusts the discharge amount by adjusting the position.
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|---|---|---|---|
| JP63213251A JP2962729B2 (en) | 1988-08-26 | 1988-08-26 | Resist coating equipment |
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| JP2962729B2 JP2962729B2 (en) | 1999-10-12 |
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ID=16636009
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|---|---|---|---|
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| JP (1) | JP2962729B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6113695A (en) * | 1997-07-23 | 2000-09-05 | Tokyo Electron Limited | Coating unit |
| JPWO2006003871A1 (en) * | 2004-06-30 | 2008-04-17 | 三菱重工業株式会社 | Booster pump and cryogenic fluid storage tank equipped with the same |
| CN102597516A (en) * | 2009-07-13 | 2012-07-18 | 美国圣戈班性能塑料公司 | Dispensing pump |
-
1988
- 1988-08-26 JP JP63213251A patent/JP2962729B2/en not_active Expired - Fee Related
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| US8777592B2 (en) | 2009-07-13 | 2014-07-15 | Saint-Gobain Performance Plastics Corporation | Dispensing pump having piston assembly arrangement |
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| CN102597516B (en) * | 2009-07-13 | 2016-05-11 | 美国圣戈班性能塑料公司 | dispensing pump |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2962729B2 (en) | 1999-10-12 |
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