JPH0261100A - 金属材の電解処理方法および装置 - Google Patents
金属材の電解処理方法および装置Info
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- JPH0261100A JPH0261100A JP21013788A JP21013788A JPH0261100A JP H0261100 A JPH0261100 A JP H0261100A JP 21013788 A JP21013788 A JP 21013788A JP 21013788 A JP21013788 A JP 21013788A JP H0261100 A JPH0261100 A JP H0261100A
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- 239000007769 metal material Substances 0.000 title claims abstract description 53
- 238000011282 treatment Methods 0.000 title claims abstract description 35
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 22
- 238000004040 coloring Methods 0.000 claims description 10
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 claims description 7
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims description 2
- 238000000866 electrolytic etching Methods 0.000 claims description 2
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 abstract description 11
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 9
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 abstract description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 3
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 9
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 7
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 6
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 4
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 4
- 229920001495 poly(sodium acrylate) polymer Polymers 0.000 description 4
- NNMHYFLPFNGQFZ-UHFFFAOYSA-M sodium polyacrylate Chemical compound [Na+].[O-]C(=O)C=C NNMHYFLPFNGQFZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Malonic acid Chemical compound OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 235000019353 potassium silicate Nutrition 0.000 description 3
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 3
- NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N sodium silicate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Si]([O-])=O NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IXPNQXFRVYWDDI-UHFFFAOYSA-N 1-methyl-2,4-dioxo-1,3-diazinane-5-carboximidamide Chemical compound CN1CC(C(N)=N)C(=O)NC1=O IXPNQXFRVYWDDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 description 2
- KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L chromic acid Substances O[Cr](O)(=O)=O KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- CMMUKUYEPRGBFB-UHFFFAOYSA-L dichromic acid Chemical compound O[Cr](=O)(=O)O[Cr](O)(=O)=O CMMUKUYEPRGBFB-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-b]pyrazine-5,7-dione Chemical compound C1=CN=C2C(=O)OC(=O)C2=N1 AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M potassium hydroxide Inorganic materials [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 2
- 235000010413 sodium alginate Nutrition 0.000 description 2
- 239000000661 sodium alginate Substances 0.000 description 2
- 229940005550 sodium alginate Drugs 0.000 description 2
- 235000011149 sulphuric acid Nutrition 0.000 description 2
- 239000002562 thickening agent Substances 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000010493 xanthan gum Nutrition 0.000 description 2
- 239000000230 xanthan gum Substances 0.000 description 2
- 229920001285 xanthan gum Polymers 0.000 description 2
- 229940082509 xanthan gum Drugs 0.000 description 2
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 description 2
- BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N (S)-malic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N 0.000 description 1
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N Dextrotartaric acid Chemical compound OC(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C(O)=O FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N 0.000 description 1
- CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N Fe2+ Chemical compound [Fe+2] CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N Tartaric acid Natural products [H+].[H+].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N alpha-hydroxysuccinic acid Natural products OC(=O)C(O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000010960 cold rolled steel Substances 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 description 1
- -1 etc. Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000002648 laminated material Substances 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- 239000001630 malic acid Substances 0.000 description 1
- 235000011090 malic acid Nutrition 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 235000011118 potassium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000011975 tartaric acid Substances 0.000 description 1
- 235000002906 tartaric acid Nutrition 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011269 treatment regimen Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は金属の微細電解加工、エツチング、めっぎ、発
色処理などに利用可能な金属材の電解処理方法および装
置に関するものである。
色処理などに利用可能な金属材の電解処理方法および装
置に関するものである。
〈従来の技術〉
従来、金属材料に微細な電解処理をする方法としては、
金属材料の被処理部以外をレジストで被覆するフォトレ
ジスト法がある(例えば特公昭60−15705号公報
)。
金属材料の被処理部以外をレジストで被覆するフォトレ
ジスト法がある(例えば特公昭60−15705号公報
)。
また、本発明の関与する技術のうち、エツチングに近い
技術として放電加工が挙げられる。
技術として放電加工が挙げられる。
上記のフォトレジスト法では、(1)原図の作成、(2
)写真製版法による原版の作成、(3)被処理面の前処
理、(4)感光液塗布、(5)露光、(6)現像、(7
)被加工材の加工面以外の面のレジスト塗布、(8)電
解処理、(9)洗浄、(lO)レジスト除去、(11)
洗浄、乾燥、仕上げ、と非常に複雑な工程を経なければ
ならず、必然的にコスト高となるという問題がある。
)写真製版法による原版の作成、(3)被処理面の前処
理、(4)感光液塗布、(5)露光、(6)現像、(7
)被加工材の加工面以外の面のレジスト塗布、(8)電
解処理、(9)洗浄、(lO)レジスト除去、(11)
洗浄、乾燥、仕上げ、と非常に複雑な工程を経なければ
ならず、必然的にコスト高となるという問題がある。
放電加工では、直線形状での加工速度は速いが、任意の
形状での加工には時間がかかり、通常加工表面もRma
xlO〜20μmと荒いという欠点がある。 また、放
電加工では本発明におけるようなめっき、発色処理とい
った他の電解処理は不可能である。 さらに放電加工で
は加工材に熱的影響を与えてしまう問題もある。
形状での加工には時間がかかり、通常加工表面もRma
xlO〜20μmと荒いという欠点がある。 また、放
電加工では本発明におけるようなめっき、発色処理とい
った他の電解処理は不可能である。 さらに放電加工で
は加工材に熱的影響を与えてしまう問題もある。
〈発明が解決しようとする課題〉
本発明は、上述した従来技術の欠点を解消し、簡便な手
段でまた電解液を用いることなく、切断、エツチング、
めっき、発色などの加工を、微細な加工であっても極め
て鮮明かつ平滑になしつる金属材の電解処理方法および
装置を提供することを目的とする。
段でまた電解液を用いることなく、切断、エツチング、
めっき、発色などの加工を、微細な加工であっても極め
て鮮明かつ平滑になしつる金属材の電解処理方法および
装置を提供することを目的とする。
〈課題を解決するための手段〉
本発明者等は、上述した従来技術の繁雑さなどの欠点を
解消すべく鋭意研究を重ねたところ、ペースト伏型解貿
と線状電極を使用することによって、電解処理すべき微
小部分に電流が集中する様工夫を加え、レジストを全く
使用せずに、任意の微小部分に線状あるいは面状の電解
処理ができることが可能であり、これによって洗浄、乾
燥などの簡単な前処理を行っただけの被処理材表面を直
ちに電解処理し、その後、必要に応じて材料の洗浄、乾
燥、仕上げ処理を行うだけで従来技術と同程度の処理が
行なえるため、低コストで高速処理が可能であることを
見い出し、本発明に至った。
解消すべく鋭意研究を重ねたところ、ペースト伏型解貿
と線状電極を使用することによって、電解処理すべき微
小部分に電流が集中する様工夫を加え、レジストを全く
使用せずに、任意の微小部分に線状あるいは面状の電解
処理ができることが可能であり、これによって洗浄、乾
燥などの簡単な前処理を行っただけの被処理材表面を直
ちに電解処理し、その後、必要に応じて材料の洗浄、乾
燥、仕上げ処理を行うだけで従来技術と同程度の処理が
行なえるため、低コストで高速処理が可能であることを
見い出し、本発明に至った。
すなわち、本発明は、表面に電解質ペースト(以下、単
にペーストという)を付着した線状電極を金属材に対面
させ、前記ペーストを介して、前記電極と金属材の間に
通電し、前記金属材を電解処理することを特徴とする金
属材の電解処理方法を提供する。
にペーストという)を付着した線状電極を金属材に対面
させ、前記ペーストを介して、前記電極と金属材の間に
通電し、前記金属材を電解処理することを特徴とする金
属材の電解処理方法を提供する。
前記線状電極は、電極長手方向に走行させつつ処理する
のがよい。
のがよい。
また前記電解処理が、電解エツチング、電解発色および
電解めっきから選ばれた一種以上の処理であるのが好ま
しい。
電解めっきから選ばれた一種以上の処理であるのが好ま
しい。
また本発明は、線状の電極と、前記電極と金属材に通電
するための通電手段と、前記電極表面に前記ペーストを
付着せしめる手段を備えて成ることを特徴とする金属材
の電解処理装置を提供する。
するための通電手段と、前記電極表面に前記ペーストを
付着せしめる手段を備えて成ることを特徴とする金属材
の電解処理装置を提供する。
また前記線状の電極は、その長手方向に走行せしめる手
段を有するのがよい。
段を有するのがよい。
以下に本発明による金属材の電解処理方法および装置に
ついて詳細に説明する。
ついて詳細に説明する。
本発明において、被電解処理材である金属材とは電解処
理可能な金属部分を少なくとも表面部分に有する材料を
いう。 例えば、各種鋼板、非鉄金属板はもちろんのこ
と、これらの金属薄板または箔と、セラミック、プラス
チック、木材等との積層材あるいはこれら金属材料を表
面に任意の手段でコーティングした材料を挙げることが
できる。
理可能な金属部分を少なくとも表面部分に有する材料を
いう。 例えば、各種鋼板、非鉄金属板はもちろんのこ
と、これらの金属薄板または箔と、セラミック、プラス
チック、木材等との積層材あるいはこれら金属材料を表
面に任意の手段でコーティングした材料を挙げることが
できる。
また、用いるペースト伏型解貿(以下車にペーストとい
う)は目的とする処理に応じて異なるが、メツキ用ペー
ストとしては、通常のメツキ溶液、各種金属塩と酸ある
いはアルカリとの混合溶液などのメツキ種を含有する溶
液を用い、例えばポリアクリル酸ソーダ、アルギン酸ナ
トリウム、ザンサンガム等の有機増粘剤および/または
ゼオライト、水ガラス、コロイダルシリカ、コロイダル
アルミナ、珪弗化ソーダ等の無機増粘剤などを加えてペ
ースト化したものであればどのような方法で製造された
ものでも用いることができる。
う)は目的とする処理に応じて異なるが、メツキ用ペー
ストとしては、通常のメツキ溶液、各種金属塩と酸ある
いはアルカリとの混合溶液などのメツキ種を含有する溶
液を用い、例えばポリアクリル酸ソーダ、アルギン酸ナ
トリウム、ザンサンガム等の有機増粘剤および/または
ゼオライト、水ガラス、コロイダルシリカ、コロイダル
アルミナ、珪弗化ソーダ等の無機増粘剤などを加えてペ
ースト化したものであればどのような方法で製造された
ものでも用いることができる。
発色用ペーストとしては、力性ソーダ、カ性カリ、アン
モニア等のアルカリ、もしくは塩酸、硫酸、硝酸、しゆ
う酸、ぶつ酸、クロム酸、重クロム酸、リン酸、ぎ酸、
・酢酸、マロン酸、マレイン酸、リンゴ酸、酒石酸等の
酸、あるいは上記のアルカリもしくは酸の塩類を単独ま
たは混合した発色用水溶液を用い、たとえばポリアクリ
ル酸ソーダ、アルギン酸ナトリウム、ザンサンガム等の
有機増粘剤および/またはゼオライト、水ガラス、コロ
イダルシリカ、コロイダルアルミナ、珪弗化ソーダ等の
無機増結剤などを加えてペースト化したものであればど
のような方法て製造されたものでも用いることができる
。
モニア等のアルカリ、もしくは塩酸、硫酸、硝酸、しゆ
う酸、ぶつ酸、クロム酸、重クロム酸、リン酸、ぎ酸、
・酢酸、マロン酸、マレイン酸、リンゴ酸、酒石酸等の
酸、あるいは上記のアルカリもしくは酸の塩類を単独ま
たは混合した発色用水溶液を用い、たとえばポリアクリ
ル酸ソーダ、アルギン酸ナトリウム、ザンサンガム等の
有機増粘剤および/またはゼオライト、水ガラス、コロ
イダルシリカ、コロイダルアルミナ、珪弗化ソーダ等の
無機増結剤などを加えてペースト化したものであればど
のような方法て製造されたものでも用いることができる
。
エツチング用、加工用ペーストとしては、力性ソーダの
アルカリ、もしくは塩酸、硫酸、硝酸、クロム酸、重ク
ロム酸、ぶつ酸等の酸および/または上記のアルカリも
しくは酸の塩類を単独または混合した物について、その
まままたは水を加えてペースト化されるものは勿論、さ
らにポリアクリル酸ソーダ、あるいは二酸化ケイ素、ア
ルミナ、水ガラス、アルギン酸ソーダの如きペースト化
材を加えて成るペーストであればどのような方法で製造
されたものでも用いることができる。
アルカリ、もしくは塩酸、硫酸、硝酸、クロム酸、重ク
ロム酸、ぶつ酸等の酸および/または上記のアルカリも
しくは酸の塩類を単独または混合した物について、その
まままたは水を加えてペースト化されるものは勿論、さ
らにポリアクリル酸ソーダ、あるいは二酸化ケイ素、ア
ルミナ、水ガラス、アルギン酸ソーダの如きペースト化
材を加えて成るペーストであればどのような方法で製造
されたものでも用いることができる。
そして、金属材上に供給しても供給された幅以上に拡散
していくことのないタッキネス、粘度を有するものであ
る。 したがって、微細な加工であっても精密に行うこ
とができる。
していくことのないタッキネス、粘度を有するものであ
る。 したがって、微細な加工であっても精密に行うこ
とができる。
まず、本発明の電解処理装置の一実施例を第1図につき
説明する。
説明する。
1はペースト供給手段であり、ピストン1aおよびシリ
ンダー1bを有する。 シリンダー1b内のペースト
9はピストン1aの圧送によりペースト圧送用チューブ
1cおよびペースト供給用パイプ1dを経て後述するよ
うに、電極4表面上に供給され付着される。 かくして
、表面上にペーストを付着された線状電極4を金属材5
上に走行穆勤させて、金属材5を電解処理後、直ちにペ
ースト排出用ガイド7により電極4上から除去されペー
スト飛散防止用槽8内に収容される。
ンダー1bを有する。 シリンダー1b内のペースト
9はピストン1aの圧送によりペースト圧送用チューブ
1cおよびペースト供給用パイプ1dを経て後述するよ
うに、電極4表面上に供給され付着される。 かくして
、表面上にペーストを付着された線状電極4を金属材5
上に走行穆勤させて、金属材5を電解処理後、直ちにペ
ースト排出用ガイド7により電極4上から除去されペー
スト飛散防止用槽8内に収容される。
線状電極4は、線状電極駆動ローラー14および線状電
極ガイドローラー3とともに電極組立体10を構成する
。 この電極組立体10はロボットコントローラー11
により電極移動用アーム12を介して位置決め移動され
る。 ロボットコントローラー11は電極組立体10を
二次元あるいは三次元的に移動させることができる。
たとえば、金属材6が平板の場合には、板に並行してX
方向およびY方向に、ならびに板に垂直方向のX方向に
移動させる。
極ガイドローラー3とともに電極組立体10を構成する
。 この電極組立体10はロボットコントローラー11
により電極移動用アーム12を介して位置決め移動され
る。 ロボットコントローラー11は電極組立体10を
二次元あるいは三次元的に移動させることができる。
たとえば、金属材6が平板の場合には、板に並行してX
方向およびY方向に、ならびに板に垂直方向のX方向に
移動させる。
線状電極4および金属材5には通電手段13により通電
される。 すなわち、電源13aより、電極4には導線
13bを経て、金属材5には導線13を経て通電され、
電極4および金属材5間はペースト9により導電される
。
される。 すなわち、電源13aより、電極4には導線
13bを経て、金属材5には導線13を経て通電され、
電極4および金属材5間はペースト9により導電される
。
線状電極4にペースト9を連続的に均一に付着せしめる
には、例えば以下のごとき手段によることができる。
には、例えば以下のごとき手段によることができる。
すなわち、第2図に示すようにペースト供給手段1から
チューブ1cを経てペースト供給用パイプ1dに入るペ
ースト9を首尾よく連続的に線状電極4上に付着せしめ
るために、パイプ1d内にペーストを含浸するスポンジ
15を収納しておく。 これにより第2図に示すように
パイプ1dに入った線状電極4上に、パイプ1dを出た
ときにはペースト9を塗布することができる。
チューブ1cを経てペースト供給用パイプ1dに入るペ
ースト9を首尾よく連続的に線状電極4上に付着せしめ
るために、パイプ1d内にペーストを含浸するスポンジ
15を収納しておく。 これにより第2図に示すように
パイプ1dに入った線状電極4上に、パイプ1dを出た
ときにはペースト9を塗布することができる。
線状電極4が、ペーストを介せずして金属材に接触し短
絡すると、所望の電解処理が期待できない。 このよう
な短絡を防止する手段の一例を第3図に示す。 すなわ
ち、線状電極4と金属材5とが直接接触せずにペースト
9を介して電気的に接続するように線状電極4上にナイ
ロン、フッ素樹脂などの耐薬品性のある絶縁体16を所
定の間隔で巻回しておく。 このように構成すれば、絶
縁体16がスペーサーとして機能するので、上記した短
絡が防止できる。
絡すると、所望の電解処理が期待できない。 このよう
な短絡を防止する手段の一例を第3図に示す。 すなわ
ち、線状電極4と金属材5とが直接接触せずにペースト
9を介して電気的に接続するように線状電極4上にナイ
ロン、フッ素樹脂などの耐薬品性のある絶縁体16を所
定の間隔で巻回しておく。 このように構成すれば、絶
縁体16がスペーサーとして機能するので、上記した短
絡が防止できる。
本発明の電解処理装置は、第1図に示す縦型の他、第4
図に示す横型の、さらには第5図に示すように、電極を
任意に傾動しつるように構成してもよい。 第5図の例
では図から明らかなように、電極組立体10と電極移動
用アーム12との間に傾動手段17を介在させる。 こ
れにより電極組立体10すなわち線状電極4を任意の角
度に傾動させることができ、被処理金属材がいかなる角
度にあっても電解処理が可能となる。 いずれにせよ、
被処理金属材の形状、処理すべき位置等に応じて最適の
構成を選択すればよい。
図に示す横型の、さらには第5図に示すように、電極を
任意に傾動しつるように構成してもよい。 第5図の例
では図から明らかなように、電極組立体10と電極移動
用アーム12との間に傾動手段17を介在させる。 こ
れにより電極組立体10すなわち線状電極4を任意の角
度に傾動させることができ、被処理金属材がいかなる角
度にあっても電解処理が可能となる。 いずれにせよ、
被処理金属材の形状、処理すべき位置等に応じて最適の
構成を選択すればよい。
第6図には、電極組立体の他の構成を示す。
この例では、線状電極4を有端の線のまま使用している
。 第6図に示すように、2つの駆動ローラー14とガ
イドローラー3間に線状電極を張り、いずれか一方の駆
動ローラー14の駆動により線状電極4を往復動させて
もよい。
。 第6図に示すように、2つの駆動ローラー14とガ
イドローラー3間に線状電極を張り、いずれか一方の駆
動ローラー14の駆動により線状電極4を往復動させて
もよい。
上述した本発明装置の材質は電解処理に適したものであ
ればいかなるものでもよいが、直接電解ペーストに接触
する部材は、高耐食性材料または耐食性コーティングを
施した材料を用いるのがよい。 たとえば、チューブ類
は、フッ素樹脂製チューブを、ピストン、シリンダーな
どにはフッ素樹脂コーティングを施した5US316な
どを用いるとよい。
ればいかなるものでもよいが、直接電解ペーストに接触
する部材は、高耐食性材料または耐食性コーティングを
施した材料を用いるのがよい。 たとえば、チューブ類
は、フッ素樹脂製チューブを、ピストン、シリンダーな
どにはフッ素樹脂コーティングを施した5US316な
どを用いるとよい。
次に、本発明の金属材の電解処理方法は上述した電解処
理装置を用いた例につき説明するが、本発明はこれに限
定されるものでない。
理装置を用いた例につき説明するが、本発明はこれに限
定されるものでない。
金属材5を支持台6上にセットしたら、通電手段13の
導線13bを金属材5に接続する。
導線13bを金属材5に接続する。
ペースト供給手段1のシリンダー1b内のペースト9を
ピストン1aにより加圧してチュ7ブ1cおよびパイプ
1dを経て、第1.4および5図に示すように連続回転
している線状電極4上にあるいは第6図に示すように往
復動している線状電極4上に、第2図に示すようにして
供給し付着する。
ピストン1aにより加圧してチュ7ブ1cおよびパイプ
1dを経て、第1.4および5図に示すように連続回転
している線状電極4上にあるいは第6図に示すように往
復動している線状電極4上に、第2図に示すようにして
供給し付着する。
ペーストの付着された線状電極4は、金属材5と当該ペ
ーストを介して対面する。 ・線状電極4と金属材5と
は、たとえば第3図に示すように絶縁体16を巻回し、
ておけば両者間で短絡することはなく、ペーストを介し
て導通される。 金属材6はペーストの種類および/ま
たは通電時の極性に応じて、切削加工、エツチング、発
色、めっきなどの電解処理がなされる。
ーストを介して対面する。 ・線状電極4と金属材5と
は、たとえば第3図に示すように絶縁体16を巻回し、
ておけば両者間で短絡することはなく、ペーストを介し
て導通される。 金属材6はペーストの種類および/ま
たは通電時の極性に応じて、切削加工、エツチング、発
色、めっきなどの電解処理がなされる。
電解処理された後のペーストはペースト排除用ガイド7
により4!j8中に除去され、新たなペーストが供給さ
れる準備がなされる。
により4!j8中に除去され、新たなペーストが供給さ
れる準備がなされる。
金属材5と電極4との間の相対8勤は、ロボットコント
ローラー11により電極4を金属材5への処理パターン
に応じて移動させることにより行う。 これは二次元あ
るいは三次元的、すなわち、金属材の表面に沿っである
いはこれに垂直方向に行うことができる。
ローラー11により電極4を金属材5への処理パターン
に応じて移動させることにより行う。 これは二次元あ
るいは三次元的、すなわち、金属材の表面に沿っである
いはこれに垂直方向に行うことができる。
〈実施例〉
以下に本発明を実施例に基づき具体的に説明する。
(実施例1)エツチングによる切断
5%H2SO4+1%FeC,93水溶液に2.0%の
ザンサンガムを加えて成るペースト状電解質を使用し、
第1図に示す装置を用い、2xlOOxlOOmmの5
US304を下記条件で電解加工した。 電極線径1m
m、電極6勅速度100 c m/min 、極間距離
約0.3mm、電流1.5A、電圧約1.5V、電極を
−被処理材を+、ペースト供給量線20cc/min。
ザンサンガムを加えて成るペースト状電解質を使用し、
第1図に示す装置を用い、2xlOOxlOOmmの5
US304を下記条件で電解加工した。 電極線径1m
m、電極6勅速度100 c m/min 、極間距離
約0.3mm、電流1.5A、電圧約1.5V、電極を
−被処理材を+、ペースト供給量線20cc/min。
その結果、何らの加工歪も加えることなく、500秒で
切断できた。
切断できた。
(実施例2)めっき
5%H2SO4+5%Cu5O,+水溶液に3%のポリ
アクリル酸ソーダを加えて成るペースト状電解質を使用
し、第4図に示す装置を用い、IXlXlooxlOO
の冷延鋼板上に巾2.2mmの十文字状のめっきを下記
条件で施した。
アクリル酸ソーダを加えて成るペースト状電解質を使用
し、第4図に示す装置を用い、IXlXlooxlOO
の冷延鋼板上に巾2.2mmの十文字状のめっきを下記
条件で施した。
電極線径2mm、電極6動速度100
cm/a+in 極間距離約0.5mm、電流IA、
電圧約1.5v、電極を+、被処理材を−、ペースト供
給量線50 c c/min 。
電圧約1.5v、電極を+、被処理材を−、ペースト供
給量線50 c c/min 。
約20秒で銅めっきが施せた。
本装置では、レジスト剤を使用することなく任意に電極
を8動させるだけで任意の形状に被処理材の表面をめっ
きできる。
を8動させるだけで任意の形状に被処理材の表面をめっ
きできる。
(実施例3)発色
10%H2So、水溶液に0.5%のポリアクリル酸ソ
ーダを加えて成るペースト伏型解貿を使用し、第4図に
示す装置を用い、0.5×10100xlOOのチタン
板上に巾22mmの十文字状の発色処理を下記条件で施
した。
ーダを加えて成るペースト伏型解貿を使用し、第4図に
示す装置を用い、0.5×10100xlOOのチタン
板上に巾22mmの十文字状の発色処理を下記条件で施
した。
電極線径2mm、電極8動速度60
am/min、極間距離約1mm。
電極を−被処理材を+、ペースト供給量線50 c c
/min 。
/min 。
レジスト剤の使用なしで、縦がゴールド、横かブルー(
交点も)に発色したチタン板を得ることができた。
交点も)に発色したチタン板を得ることができた。
〈発明の効果〉
本発明の方法によれば、電解質液を用いずにタラキーな
(活用性を有する)ペーストを用い、ペーストおよび電
極形状を適宜選択し、電極と被処理材とを相対6動およ
び/または静止させることにより、切断、微細な加工、
エツチング、発色、めっきなどの多彩な加工を行うこと
ができる。
(活用性を有する)ペーストを用い、ペーストおよび電
極形状を適宜選択し、電極と被処理材とを相対6動およ
び/または静止させることにより、切断、微細な加工、
エツチング、発色、めっきなどの多彩な加工を行うこと
ができる。
上記方法を実施する本発明の装置は簡潔な構造なので、
装置自体およびペーストも運搬でき、放電加工における
ような熱的、機械的影響を与えることなく現場での多彩
な加工および施工も容易に行うことができる。
装置自体およびペーストも運搬でき、放電加工における
ような熱的、機械的影響を与えることなく現場での多彩
な加工および施工も容易に行うことができる。
第1図は、本発明の金属材の電解処理装置の例を示す線
図である。 第2図および第3図は、それぞれ電極部分の詳細を示す
拡大部分断面図および平面図である。 第4図は、本発明の金属材の電解処理装置の他の構成例
を示す第1図と同様の線図である。 第5図は、本発明の電解処理装置のさらに他の例を示す
線図である。 第6図は、電極組立体の他の構成例を示す線図である。 符号の説明 1・・・ペースト供給手段、 1a・・・ピストン、 1b・・・シリンダー 1c・・・ペースト供給用チューブ、 1d・・・ペースト供給用パイプ、 2・・・コンダクタ−ロール、 3・・・線状電極ガイドロール、 4・・・線状電極、 5・・・金膜材、 6・・・支持台、 7・・・ペースト排除用ガイド、 8・・・ペースト飛散防止用槽、 9・・・ペースト、 10・・・電極組立体、 11・・・ロボットコントローラー 12・・・電極移動用アーム、 13・・・通電手段、 13a・・・電源、 13b・・・導線、 4・・・駆動ローラー 5・・・スポンジ、 6・・・絶縁体、 7・・・傾動手段 特許出願人 川崎製鉄株式会社 代理人 弁理士 渡 辺 望 稔 同 弁理士 三 和 晴 子FIG、3
図である。 第2図および第3図は、それぞれ電極部分の詳細を示す
拡大部分断面図および平面図である。 第4図は、本発明の金属材の電解処理装置の他の構成例
を示す第1図と同様の線図である。 第5図は、本発明の電解処理装置のさらに他の例を示す
線図である。 第6図は、電極組立体の他の構成例を示す線図である。 符号の説明 1・・・ペースト供給手段、 1a・・・ピストン、 1b・・・シリンダー 1c・・・ペースト供給用チューブ、 1d・・・ペースト供給用パイプ、 2・・・コンダクタ−ロール、 3・・・線状電極ガイドロール、 4・・・線状電極、 5・・・金膜材、 6・・・支持台、 7・・・ペースト排除用ガイド、 8・・・ペースト飛散防止用槽、 9・・・ペースト、 10・・・電極組立体、 11・・・ロボットコントローラー 12・・・電極移動用アーム、 13・・・通電手段、 13a・・・電源、 13b・・・導線、 4・・・駆動ローラー 5・・・スポンジ、 6・・・絶縁体、 7・・・傾動手段 特許出願人 川崎製鉄株式会社 代理人 弁理士 渡 辺 望 稔 同 弁理士 三 和 晴 子FIG、3
Claims (5)
- (1)表面に電解質ペースト(以下、単にペーストとい
う)を付着した線状電極を金属材に対面させ、前記ペー
ストを介して、前記電極と金属材の間に通電し、前記金
属材を電解処理することを特徴とする金属材の電解処理
方法。 - (2)前記線状電極を電極長手方向に走行させつつ処理
するものである請求項1記載の金属材の電解処理方法。 - (3)前記電解処理が、電解エッチング、電解発色およ
び電解めっきから選ばれた一種以上の処理である請求項
1または2に記載の金属材の電解処理方法。 - (4)線状の電極と、前記電極と金属材に通電するため
の通電手段と、前記電極表面に前記電解質ペーストを付
着せしめる手段を備えて成ることを特徴とする金属材の
電解処理装置。 - (5)前記線状の電極をその長手方向に走行せしめる手
段を有する請求項4記載の金属材の電解処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21013788A JPH0261100A (ja) | 1988-08-24 | 1988-08-24 | 金属材の電解処理方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21013788A JPH0261100A (ja) | 1988-08-24 | 1988-08-24 | 金属材の電解処理方法および装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0261100A true JPH0261100A (ja) | 1990-03-01 |
Family
ID=16584395
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21013788A Pending JPH0261100A (ja) | 1988-08-24 | 1988-08-24 | 金属材の電解処理方法および装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0261100A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103752967A (zh) * | 2014-01-18 | 2014-04-30 | 佳木斯大学 | 一种用于加工复杂曲面的线切割机器人 |
-
1988
- 1988-08-24 JP JP21013788A patent/JPH0261100A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103752967A (zh) * | 2014-01-18 | 2014-04-30 | 佳木斯大学 | 一种用于加工复杂曲面的线切割机器人 |
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