JPH0257956U - - Google Patents
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- JPH0257956U JPH0257956U JP13728988U JP13728988U JPH0257956U JP H0257956 U JPH0257956 U JP H0257956U JP 13728988 U JP13728988 U JP 13728988U JP 13728988 U JP13728988 U JP 13728988U JP H0257956 U JPH0257956 U JP H0257956U
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- JP
- Japan
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- ion beam
- processing
- sample
- ion
- processing chambers
- Prior art date
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- Granted
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- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 4
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第1図は、この考案の一実施例に係るイオン処
理装置を部分的に示す縦断面図である。第2図は
、この考案の他の実施例に係るイオン処理装置を
部分的に示す縦断面図である。第3図は、従来の
イオン注入装置の一例を部分的に示す縦断面図で
ある。 2,2c……イオンビーム、4a〜4d……処
理室、6a〜6d……試料、8a〜8d……ホル
ダ。
理装置を部分的に示す縦断面図である。第2図は
、この考案の他の実施例に係るイオン処理装置を
部分的に示す縦断面図である。第3図は、従来の
イオン注入装置の一例を部分的に示す縦断面図で
ある。 2,2c……イオンビーム、4a〜4d……処
理室、6a〜6d……試料、8a〜8d……ホル
ダ。
Claims (1)
- イオンビームの一つのビームラインに対して、
試料を保持するホルダをそれぞれ有していて当該
試料を前記イオンビームを用いて処理する処理室
を複数段直列に設け、かつ最終段以外の処理室内
のホルダを、イオンビームを後段側へ通過させる
ことができるように可動にしたことを特徴とする
イオン処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988137289U JPH0734926Y2 (ja) | 1988-10-20 | 1988-10-20 | イオン処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988137289U JPH0734926Y2 (ja) | 1988-10-20 | 1988-10-20 | イオン処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0257956U true JPH0257956U (ja) | 1990-04-26 |
JPH0734926Y2 JPH0734926Y2 (ja) | 1995-08-09 |
Family
ID=31398578
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1988137289U Expired - Fee Related JPH0734926Y2 (ja) | 1988-10-20 | 1988-10-20 | イオン処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0734926Y2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60185657U (ja) * | 1984-05-17 | 1985-12-09 | 三洋電機株式会社 | 薄膜形成装置 |
-
1988
- 1988-10-20 JP JP1988137289U patent/JPH0734926Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60185657U (ja) * | 1984-05-17 | 1985-12-09 | 三洋電機株式会社 | 薄膜形成装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0734926Y2 (ja) | 1995-08-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |