JPH0256133B2 - - Google Patents
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Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
(産業上の利用分野)
本発明は、Siの同位体を分離するレーザー同位
体分離に用いられる作業物質およびこの作業物質
を用いるSiのレーザー同位体分離法に関する。
(従来の技術)
波数102〜103cm-1の赤外領域における分子の吸
収スペクトルは、分子の振動状態の変化に対応
し、しばしば顕著な同位体効果を示す。そこで特
定の同位体を含む分子に着目し、その分子を吸収
の大きな波数付近の光で照射して選択的に励起
し、化学反応を誘起させ分離に導くことが可能で
ある。通常の分子では上述の領域の光を一光子だ
け吸収した場合には、エネルギーが不充分で化学
反応は起こらない。しかし強力な赤外レーザー光
を照射すると、分子は数十個にも達する光子を吸
収して分解を起こす。この様な分解は赤外多光子
解離と呼ばれている。
天然のSiには質量数28、29および30の同位体が
[ 28Si]:[ 29Si]:[ 30Si]=92.23:4.67:3.10
の
比で存在している。これまでで赤外多光子解離に
よるSiの同位体分離はほとんど研究されていない
状態で、わずかにSiF4を作業物質とした炭酸ガス
レーザーによる実験で、 29SiF4および 30SiF4の
濃縮が報告されているに過ぎない(J.L.Lyman
and S.D.Rockwocd;J.Appl.Phys.,Vol.47、No.
2、P.595−601、(1976))。
(発明が解決しようとする問題点)
しかしながら、この実験による濃縮の選択性は
極めて低く、 29Siおよび 30Siの濃度は5%程度
に増加するだけであり、実用的な面での意義は認
め難い。今日、医薬、農薬の研究、電子材料の開
発において、Siの同位体に対する需要は高まりつ
つあり、効率のより分離法の開発が望まれてい
る。本発明の目的は、Siの同位体を効率よく分離
するレーザー同位体分離法および作業物質を提供
することにある。
(問題点を解決するための手段)
上記問題点はSiaXbHc(2≦a≦3、0≦b≦
2a+2、2a+2=b+cでXは同一又は異なる
ハロゲン原子)で表されるポリシラン化合物を作
業物質として用いることにより本質的に解決され
る。このポリシラン化合物に赤外線レーザーを照
射することによりSiの同位体が分離される。
作業物質としての前記SiaXbHcポリシラン化
合物は、Si2F6、Si3F8、Si2F3Cl、Si2F5Br、
Si2F5HおよびSi2FH5などが例示され、赤外線レ
ーザーとしては、炭酸ガスレーザー、HFレーザ
ーや波長を変換して赤外線となるレーザー(例え
ば水素ラマンレーザー)などが含まれる。この内
でも分子振動との波長のマツチングが良いことお
よびレーザー光強度が高いことから炭酸ガスレー
ザーが特に好ましい。
(作 用)
通常の分子の赤外多光子解離は、レーザー光を
集光して得られる焦点付近のエネルギー密度の高
い領域でのみ誘起され高収率を得ることが困難で
あるが、前記SiaXbHcポリシラン化合物は非常
に低いエネルギー密度のレーザーパルスの照射に
おいても効率よく分解する。これはSi原子どうし
の結合が極めて弱いためであると考えられる。
前記SiaXbHcポリシラン化合物は、赤外線レ
ーザーの発振領域である930〜1060cm-1に分子の
振動に対応する吸収をもち、その付近の赤外線レ
ーザーのパルス光を照射すると、極めて効率よく
赤外多光子解離を起こし、低次シランに分解す
る。
天然のSi化合物には 28Siの他に 29Si、 30Siが
一定の割合で存在し、 29Siの赤外線吸収ピーク
は 28USiの吸収ピークよりも低波数側に、また、
30Siの吸収ピークは更に低波数側に位置するこ
とが知られている。従つて、天然の前記
SiaXbHcポリシラン化合物に適切な波数のレー
ザーパルスを照射すると、吸収スペクトルの差を
反映してそれぞれの同位体を含む分子が選択的に
励起され、引き続く分解反応で 29Siあるいは
30Siが低次シラン中に濃縮される。
(実施例)
以下、本発明を実施例につき説明する。
第1図は、本発明を実施するために用いられた
実験装置の概略図である。この実験装置は以下の
様に構成されている。炭酸ガスTEAレーザー1
はヘリウムと炭酸ガスの混合気体をレーザー媒体
として使用する。この炭酸ガスTEAレーザー1
から発生するパルスレーザー光2は、直径1.5cm
のアイリス3を通過したのち反応容器4内に投射
され、内部に充填された作業物質に照射される。
反応容器4は、長さ1mの筒状の容器であつて恒
温槽5の内部に設置されて所定の温度に保持され
ている。レーザー光のエネルギー密度は反応容器
4の先に設置されたパワーメーター6によつて測
定される。反応分解生成物低次シランの収率なら
びにその中に濃縮される 29Siあるいは 30Siの濃
度は、レーザーの波数、エネルギー密度、照射温
度、試料圧によつて複雑に変化するが、分離の選
択性は一般的にエネルギー密度、照射温度、試料
圧を低下させるに従つて向上し、選択性におよび
すレーザー波数の影響は吸収スペクトルの差を反
映している場合が多い。
次に、本発明に従う一実施例につき述べる。第
1図に示された装置を用い、作業物質として室温
に保たれた2TorrのSi2F6を用い、レーザー光と
して波数952.88cm-1、エネルギー密度0.32Jcm-2の
パルスレーザー光を用い、このレーザー光を平行
光のまま作業物質に照射した。照射パルス数は
500であつた。照射後、試料を液体窒素温度に冷
却したトラツプ内に凝縮、捕集し、ついで低温蒸
留を行い、生成物SiF4を分離した。
第2図は、この様にして得られたSiF4の赤外吸
収スペクトルを示す。 28SiF4の吸収ピークは
1031.8cm-1にあるが、これより18cm-1低波数側に
別の吸収ピークが認められ、これは 30SiF4に対
応する。即ち、この赤外吸収スペクトルから、
30Siが高濃度で生成物中に濃縮されていることが
わかる。
次の表は、生成物SiF4の質量分析の結果をまと
めたものである。SiF4から生ずる 28SiF4 +および
28SiF3 +のイオン信号の強度を100として
29SiF4 +、 30SiF4 +ならびに 29SiF3 +、 30SiF3 +の
イオン信号の強度と、その結果から求められた
28Si、 29Siおよび 30Siの存在比率を示している。
(Industrial Application Field) The present invention relates to a working material used in laser isotope separation for separating isotopes of Si, and a method for laser isotope separation of Si using this working material. (Prior Art) The absorption spectrum of molecules in the infrared region with wave numbers of 10 2 to 10 3 cm -1 corresponds to changes in the vibrational state of the molecule and often shows significant isotopic effects. Therefore, it is possible to focus on molecules containing a specific isotope and selectively excite the molecules by irradiating them with light near the wave number where absorption is large, inducing a chemical reaction and leading to separation. If a normal molecule absorbs only one photon of light in the above-mentioned region, the energy is insufficient and no chemical reaction occurs. However, when exposed to powerful infrared laser light, the molecules absorb up to several dozen photons and break down. This kind of decomposition is called infrared multiphoton dissociation. Natural Si has isotopes with mass numbers 28, 29, and 30 [ 28 Si]: [ 29 Si]: [ 30 Si] = 92.23: 4.67: 3.10
It exists in the ratio of Until now, Si isotope separation by infrared multiphoton dissociation has hardly been studied, but enrichment of 29 SiF 4 and 30 SiF 4 was reported in an experiment using a carbon dioxide laser using only SiF 4 as the working material. (JLLyman
and SDRockwocd;J.Appl.Phys., Vol.47, No.
2, P.595-601, (1976)). (Problem to be solved by the invention) However, the selectivity of enrichment in this experiment was extremely low, and the concentrations of 29 Si and 30 Si increased only to about 5%, so the practical significance is recognized. hard. Today, demand for Si isotopes is increasing in pharmaceutical and agrochemical research and the development of electronic materials, and the development of more efficient separation methods is desired. An object of the present invention is to provide a laser isotope separation method and working material that efficiently separates Si isotopes. (Means for solving the problem) The above problem is SiaXbHc (2≦a≦3, 0≦b≦
This problem is essentially solved by using a polysilane compound represented by 2a+2, 2a+2=b+c, where X is the same or different halogen atom, as a working substance. By irradiating this polysilane compound with an infrared laser, Si isotopes are separated. The SiaXbHc polysilane compounds as working substances include Si2F6 , Si3F8 , Si2F3Cl , Si2F5Br ,
Examples include Si 2 F 5 H and Si 2 FH 5 , and infrared lasers include carbon dioxide lasers, HF lasers, and lasers whose wavelengths are converted into infrared rays (for example, hydrogen Raman lasers). Among these, carbon dioxide laser is particularly preferred because of its good wavelength matching with molecular vibration and high laser beam intensity. (Function) Ordinary infrared multiphoton dissociation of molecules is induced only in a region of high energy density near the focal point obtained by focusing laser light, and it is difficult to obtain a high yield. Polysilane compounds decompose efficiently even when irradiated with laser pulses of very low energy density. This is thought to be because the bonds between Si atoms are extremely weak. The SiaXbHc polysilane compound has absorption corresponding to molecular vibration in the infrared laser oscillation region of 930 to 1060 cm -1 , and when irradiated with infrared laser pulse light in this area, it can perform infrared multiphoton dissociation extremely efficiently. and decomposes into lower silanes. In addition to 28 Si, 29 Si and 30 Si exist in natural Si compounds in a certain proportion, and the infrared absorption peak of 29 Si is on the lower wavenumber side than the absorption peak of 28 USi.
It is known that the absorption peak of 30 Si is located on the lower wavenumber side. Therefore, natural said
When a SiaXbHc polysilane compound is irradiated with a laser pulse of an appropriate wave number, molecules containing each isotope are selectively excited reflecting the difference in absorption spectra, and in the subsequent decomposition reaction, 29 Si or
30 Si is concentrated in lower order silanes. (Example) The present invention will be described below with reference to Examples. FIG. 1 is a schematic diagram of the experimental apparatus used to carry out the present invention. This experimental apparatus is configured as follows. Carbon dioxide TEA laser 1
uses a gas mixture of helium and carbon dioxide as the laser medium. This carbon dioxide TEA laser 1
The pulsed laser beam 2 generated from is 1.5cm in diameter.
After passing through the iris 3, the light is projected into the reaction vessel 4, and the working substance filled inside is irradiated.
The reaction container 4 is a cylindrical container with a length of 1 m, and is installed inside a constant temperature bath 5 and maintained at a predetermined temperature. The energy density of the laser beam is measured by a power meter 6 installed at the tip of the reaction vessel 4. The yield of the reaction decomposition product lower-order silane and the concentration of 29 Si or 30 Si concentrated therein vary in a complex manner depending on the laser wave number, energy density, irradiation temperature, and sample pressure, but depending on the choice of separation. The selectivity generally improves as the energy density, irradiation temperature, and sample pressure are lowered, and the influence of laser wave number on selectivity often reflects differences in absorption spectra. Next, one embodiment according to the present invention will be described. Using the apparatus shown in Figure 1, using 2 Torr Si 2 F 6 kept at room temperature as the working material, and using a pulsed laser beam with a wave number of 952.88 cm -1 and an energy density of 0.32 Jcm -2 as the laser beam, The work material was irradiated with this laser light as parallel light. The number of irradiation pulses is
It was 500. After irradiation, the sample was condensed and collected in a trap cooled to liquid nitrogen temperature, followed by cryogenic distillation to separate the product SiF 4 . FIG. 2 shows the infrared absorption spectrum of SiF 4 thus obtained. The absorption peak of 28 SiF4 is
It is located at 1031.8 cm -1 , but another absorption peak is observed on the lower wavenumber side of 18 cm -1 , which corresponds to 30 SiF 4 . That is, from this infrared absorption spectrum,
It can be seen that 30 Si is concentrated in the product at a high concentration. The following table summarizes the mass spectrometry results of the product SiF4 . 28 SiF 4 + resulting from SiF 4 and
The intensity of the ion signal of 28 SiF 3+ is set as 100 .
The intensity of the ion signals of 29 SiF 4 + , 30 SiF 4 +, 29 SiF 3 + , 30 SiF 3 + and the results obtained
The abundance ratios of 28 Si, 29 Si and 30 Si are shown.
【表】
以上の結果より生成物SiF4中の同位体比は[
28Si]:[ 29Si]:[ 30Si]=50.2:13.1:36.7であ
り、天然の同位体比と較べて 29Siは2.8倍、 30Si
は11.8倍濃縮されていることがわかる。
また、作業物質としてSi3F8を使用した以外は
上記実施例と同様の操作により生成物SiF4を得
た。このものの同位体比は質量分析の結果から
[ 28Si]:[ 29Si]:[ 30Si]=75.3:6.6:18.1で
あ
り、天然の同位体比より明らかに濃縮されている
ことが理解できる。
さらに、これ以外の前記SiaXbHcポリシラン
化合物にも同様の実験を行つたところSiの同位体
を効率よく分離することができた。
(発明の効果)
本発明は、上述の通り、前記SiaXbHcポリシ
ラン化合物からなる作業物質に赤外線レーザーを
照射して、Siの同位体を分離することにより、
29Siおよび 30Siを効率よく分離することができ
る。[Table] From the above results, the isotope ratio in the product SiF 4 is [
28 Si]: [ 29 Si]: [ 30 Si] = 50.2: 13.1: 36.7, and compared to the natural isotope ratio, 29 Si is 2.8 times, 30 Si
It can be seen that it is 11.8 times more concentrated. Further, a product SiF 4 was obtained by the same operation as in the above example except that Si 3 F 8 was used as the working material. From the results of mass spectrometry, the isotope ratio of this substance is [ 28 Si]: [ 29 Si]: [ 30 Si] = 75.3: 6.6: 18.1, which shows that it is clearly more concentrated than the natural isotope ratio. . Furthermore, when similar experiments were performed on other SiaXbHc polysilane compounds, it was possible to efficiently separate Si isotopes. (Effects of the Invention) As described above, the present invention irradiates a working material made of the SiaXbHc polysilane compound with an infrared laser to separate Si isotopes.
29 Si and 30 Si can be efficiently separated.
第1図は、本発明を実施するために使用された
実験装置の概略図、第2図は作業物質として
Si2F6を使用して得られた生成物SiF4の赤外吸収
スペクトルである。
1……炭酸ガスレーザー、2……レーザー光、
3……アイリス、4……反応容器、5……恒温
槽、6……パワーメーター。
Figure 1 is a schematic diagram of the experimental equipment used to carry out the invention, Figure 2 is a working material.
1 is an infrared absorption spectrum of the product SiF 4 obtained using Si 2 F 6 . 1... Carbon dioxide laser, 2... Laser light,
3...Iris, 4...Reaction container, 5...Thermostat, 6...Power meter.
Claims (1)
+2=b+cでXは同一又は異なるハロゲン原
子)で表されるポリシラン化合物であることを特
徴とするSiのレーザー同位体分離のための作業物
質。 2 前記ポリシラン化合物がフツ素原子を有する
ハロゲン化ジシランまたはトリシランであること
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の作業物
質。 3 前記フツ素原子を有するハロゲン化ジシラン
がSi2F6であることを特徴とする特許請求の範囲
第2項記載の作業物質。 4 前記フツ素原子を有するハロゲン化トリシラ
ンがSi3F8であることを特徴とする特許請求の範
囲第2項記載の作業物質。 5 SiaXbHc(2≦a≦3、0≦b≦2a+2、2a
+2=b+cでXは同一又は異なるハロゲン原
子)で表されるポリシラン化合物に赤外線レーザ
ーを照射して、Siの同位体を分離するレーザー同
位体分離法。 6 前記赤外線レーザーが炭酸ガスレーザーであ
ることを特徴とする特許請求の範囲第5項記載の
レーザー同位体分離法。[Claims] 1 SiaXbHc (2≦a≦3, 0≦b≦2a+2, 2a
A working material for laser isotope separation of Si, characterized in that it is a polysilane compound represented by +2=b+c and X is the same or different halogen atom. 2. The working material according to claim 1, wherein the polysilane compound is a halogenated disilane or trisilane having a fluorine atom. 3. The working material according to claim 2, wherein the halogenated disilane having a fluorine atom is Si 2 F 6 . 4. The working material according to claim 2, wherein the halogenated trisilane having a fluorine atom is Si 3 F 8 . 5 SiaXbHc (2≦a≦3, 0≦b≦2a+2, 2a
A laser isotope separation method in which a polysilane compound represented by +2=b+c (where X is the same or different halogen atom) is irradiated with an infrared laser to separate Si isotopes. 6. The laser isotope separation method according to claim 5, wherein the infrared laser is a carbon dioxide laser.
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