JPH0252429U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0252429U JPH0252429U JP13221688U JP13221688U JPH0252429U JP H0252429 U JPH0252429 U JP H0252429U JP 13221688 U JP13221688 U JP 13221688U JP 13221688 U JP13221688 U JP 13221688U JP H0252429 U JPH0252429 U JP H0252429U
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- JP
- Japan
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- light
- phase shifter
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- Pending
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
Description
第1図はこの考案の実施例を示す配置図、第2
図は同照明光学系の配置図、第3図は従来の照明
光学系の配置図である。 1……照明光学系、5……投影面、6……光源
、7,8……反射鏡、9……フライズ・アイ・レ
ンズ、10……ランダムフエーズシフタ。
図は同照明光学系の配置図、第3図は従来の照明
光学系の配置図である。 1……照明光学系、5……投影面、6……光源
、7,8……反射鏡、9……フライズ・アイ・レ
ンズ、10……ランダムフエーズシフタ。
Claims (1)
- 光の空間的位相をランダムにシフトさせるラン
ダムフエーズシフタを備え、これを通過したこと
によつて空間的コヒーレンスが劣化した光を、露
光光としてなる投影型露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13221688U JPH0252429U (ja) | 1988-10-07 | 1988-10-07 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13221688U JPH0252429U (ja) | 1988-10-07 | 1988-10-07 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0252429U true JPH0252429U (ja) | 1990-04-16 |
Family
ID=31388975
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13221688U Pending JPH0252429U (ja) | 1988-10-07 | 1988-10-07 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0252429U (ja) |
-
1988
- 1988-10-07 JP JP13221688U patent/JPH0252429U/ja active Pending