JPH02501006A - コリオリ形式の質量流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、一般的には、コリオリ形式の質量流量計に係り、とりわけ、振動する 導管を用いた質量流量計に関係している。

パイプラインを通じて輸送されている物質の輸送量を測定することがめられてい る。こうした要求に答えて、様々な構造原理を持つ数多くのクイブの流量計が開 発されてきている。最も汎用されている流量計のタイプ化に伴って変化する場合 、またパイプラインを通じてポンプ輸送されている流体がスラリーのような多相 状態であったり、あるいは流体がマヨネーズやその他の食品物のような非ニユー トン流体である場合、輸送物質の量をあまり正確に測定することができない０石 油の分野における、いわゆる“管理輸送−においては、パイプラインを通じて搬 送されている油またはガソリンの正確な量を精密に測定することがめられている 。油の価格が高ければ高い程、不正確な流量の測定によって大きな損失を被る。

また、割合が臨界量に達して生じる質量反応のような化学的な反応においては、 体積流量計では十分に役割を果たすことができない。

これらの問題点は、パイプラインを通じて搬送される物質の流量を分子レベルで 理論的に捕えて直接表示する流量計によって解消されている。移動している流れ の質量を測定するには、この流れに力を加え、その結果得た加速度を検知測定す る必要がある。

本発明は、ユニオニ’ＡＭ流量計として技術的に周知の形式の直接質量測定用流 量計の改良技術に関する。コリオリの力は、回転表面上で半径方向に運動する物 体に見られる。平らな表面がこの表面に直交する軸線を中心として一定の角速度 で回転しているものとすれば、表面上を半径方向外向きに一定の直線速度で移動 しているように見える物体は、実際には接線方向に速度が速まっていく、この速 度の変化は物体が加速されたことを意味している。物体の加速によって１回転子 面内において物体の瞬間の半径方向運動成分に直交する反作用力が生じる。

これをベクトル解析すれば、コリオリの力のベクトルは、角速度ベクトル（回転 軸に平行）と回転軸に対する移動方向（例えば、半径方向）における物体の速度 ベクトルとのクロス乗積である０作業員が回転テーブル上を歩行する際の質量変 化を考慮に入れ、これに伴う反作用力を個別にリストアツブしておけば加速度を 補償することができる。

一コリオリ効果を流れている物体の質量測定に応用できることは以前から判って いた。パイプに直交する枢軸線の廻りでパイプを回転させれば、パイプを通じて 流れている物質は半径方向に移動して加速されるようになる。

コリオりの反作用力によって回転平面内におけるコリオりの力のベクトルの向き にパイプが変形し、偏位する。

回転によりコリオリの力を発生させる従来技術の質量流量計は、連続的に回転す るものと振動するものの２種類のカテゴリーに分類される。これら２種類のカテ ゴリーの原理の作用上の相違点は、振動させるものにおいては連続的な回転を行 なうものとは異なり、周期的（すなわち、通常では正弦曲線的）に、角速度が変 化し、この結果コリオりの力が連続的に変化する点にある。また、振動方式にお いては、コリオりの力の作用が、駆動力や外部から加えられる振動に比較して比 較的小さいことに大きな問題がある。一方、振動方式は、振動用のヒンジまたは 枢軸点としてピップ（ｐｉｐ）自体の持つ曲げ弾性力を利用できるため、新たに 回転継手または可撓性継手を別個に用いる必要がない。

従来形式のコリオリ効実質量流量計の他の間・照点として、こうした流量計が外 部から加わる振動に対しあまりにも過敏に反応し、振動の加わる導管部分のバラ ンスを正確にとる必要があり、パイプラインの軸方向長さに沿ってかなりの範囲 を占有してしまい、しかも不都合な応力を生じて導管のたわみ箇所に金属疲労を 生じ、また振動する導管にとって適切な機械的な基盤となるものがないことが挙 げられる。

１豆し！造 本発明の主な目的は、流量計の全体の構造を最適にすることにより、コリオり形 式の質量流量計の性能を改善することにある。より具体的な目的は、流量計を過 度に複雑にしたり製造コストを上昇させてしまうことな〈従来技術の質量流量計 に見られる問題点を解消するかまたは問題点を少なくして信頼性を高め、さらに コンパクトにし、外部荷重による障害が起こりに＜（シ、勿論のこと、従来のも のより正確にすることにある。

本発明のこれらの目的並びにその他の目的は、本明細書に記載の様々な特徴の組 合わせにより達成される０発明の範囲を特定するにあたっては明細書の特許請求 の範囲を考慮する必要がある。すなわち、剛性のある中央ブロックは、このブロ ックを介して流量計の入口および出口に連結された少なくとも１本の管ループを 支持している。ループ自体の入口端部および出口端部は、好ましくは、それぞれ 真っ直ぐで平行な導管の脚部を介してブロックに連結されている。これら脚部は 互いに接近した状態で間隔を開けられ、基部端がブロックに強固に連結されてい る。ループは、好ましくは、入口および出口の脚部に直交した直＆ｇ部分を備え ている。しかしながら、通例では、平行な入口／出口の脚部は、これら脚部が形 成する平面上に直線部分を直角に投影した箇所にほぼ直交させる必要がある。直 線部分の両側の端部は、側部領域または突出部を介して入口および出口に連結さ れている。ある実施例では、側部領域は傾斜していてしかも真っ直ぐであり、平 行な入口／出口の脚部を除いて全体が洋服掛けに似た形をしている。駆動手段は 、垂直２等分線の廻り、好ましくはループの対称軸線の廻りでこの直線部分を前 後に振動させるために設けられている。直線部分の両端またはこれら両端付近に は相補型に位置検知器が用いられ、データを読み取ってコリオリに関係した項を めるためにこのデータに代数的な操作が加えられる。

本発明の別の形態では、直線部分の両端に一対の相補型駆動ユニットが配置され ている。これら駆動ユニットは直線部分に振動運動を伝え、垂直２等分線の廻り で振動させる。従って、直線部分の中間域は拘束されていない、好ましい実施例 では、ループに沿ったほぼ同じ地点に相対する駆動ユニットと位置検知器が配置 され、同じように運動させまたその結果を同じように検知するよう本発明の別の 形態に則った好ましい実施例では、第１のループに平行な第２のループを同じブ ロックが支えている。第２のループは第１のループと同じものであることが好ま しく、これらループは接近して間隔を設けた平行な平面内に位置している。ブロ ックにはマニホルドとして機能するチャンネルが設けられ、取扱いパイプライン に接続されている。流入する流体はブロックを通じて口の開いた入口マニホルド に入り、２つのループの入口端部の少なくとも一方に流れていく、ループの出口 端部の少なくとも一方はブロックを通る開口につながり、バイブラインに再び連 絡した出口マニホルドへと続いている。従って、ブロックは箇々のループに必要 な機械的な基盤として機能するだけでなく、マニホルドとしても働いている。し かしながら、ブロックには連続する流れかまたは平行な流れを形成するチャンネ ルを設けることができる。ループ内の流れの方向は同じであることが好ましい。

好ましい実施例では、ループは１８０度位相をずらして駆動される０両方の直線 部分に平行でしかも両者の中間に位置する中心線を想定した場合、ループの２つ の直線部分の相対する端部はこの中心線に向けて運動するか、またはこの中心線 から互いに離れる向きに運動する。箇々のループの運動は、マニホルドブロック にそれぞれのループを連結している真っ直ぐで平行な脚部により、この脚部のね じり偏位として吸収される。しかも、２つのループとマニホルドブロックは音さ 組立体（ｔｕｎｉｎｇ　ｆｏｒｋ　ａｓｓｅｍｂｌｙｌ　を構成している。２つ のループの運動はブロックの位置で相殺され、さらにブロックの慣性がループを 外部の振動から遮断するようになっている。さらに、こうした遮断性は、マニホ ルドから間隔をおいた遮断プレートにチューブを溶接した場合に一相高められる 。

ループが形成する平面は、取扱いパイプラインに直交させるかまたは平行（直線 状）に向けることができる。

直角な向きにループを配置する場合、直線部分の端部にある駆動装置と検知器の 組立体は、好ましくは、マニホルドブロックから片持ち状態に突き出た相対する アームの端部に支持されている。取扱いパイプラインの方向に見た流量計の軸方 向長さは、１インチ（２，５４センチ）チューブの場合には１フイート（３０， ４８センチ）程度と非常に短くすることができる。ループの向きを変えた場合、 例えばループのなす平面が取扱いパイプラインに平行な場合には、駆動装置／検 知器の組立体を取扱いパイプラインに沿って同じように片持ち状態に突き出たア ームによって支持することができる。直線的なループ構造によれば、ある種の振 動に対する流量計の感応性を減少させることができるが、その代わりに流量計の 軸方向長さは長くなる。

図面の簡単な説明 第１図は、本発明に係る２重ループを用いた。双対駆動式の、中央マニホルドを 備えている、コリオ°り効果を利用した質量流量計の等測斜視図である。

第２図は、平行な流れを形成するマニホルドブロックの設けられた、第１図の流 量計の概略平面図である。

第２Ａ図は、連続的な流れを形成するマニホルドブロックの設けられた、第２図 と同じ流量計の一部を示す概略平面図である。

第３図は、第２図の装置の３−３線に沿って矢印の方向に見た概略側面図である 。

第４図は、第１図の装置を詳細に見た側部断面図にして、中央マニホルド組立体 の一部を取り除いて入口室および出口室を図示している。　。

第５図は、第４図の５−５線に沿って矢印の方向に平面にして見た断面図である 。

第６図は、第４図の６−６線に沿って矢印の方向に断面にして見た、チューブと 支持アームを備えている中央マニホルド組立体の側面図である。

第７図は１本発明に係る２重ループを用いた、双対駆動式のコリオリ効果を利用 した質量流量計の平面図にして、ループのなす平面は取扱い配管に平行に向けら れている。

第８図は、第７図の装置の側部正面図である。

第９図は、第１図と第７図の装置の３種類の運動モードを表わした概略図である 。

第１０Ａ図と第１０Ｂ図は、激しいねじりを受けて平面内で偏位を起こしている 複ノードブレートと単一ノードブレートを比較して示す概略図である。

第１１Ａ図と第１１Ｂ図は、それぞれ直交する場合と連続する場合の実施例にお いて、鋳造体１６に連結されたパイプラインに加わる過激なねじり偏位を比較し て示す概略図である。

第１２図は、第１図と第７図の直交するものと直線状に延びるものの実施例に取 り入れられている、駆動装置および検知器の電気回路の働きを示すブロック図で ある。

第１３図と第１４図は、それぞれ変更例のループ構造を表わした概略斜視図と概 略平面図である。

ましし）　の舌日 本明細書中では、゛取扱い流体の方向、すなわち流量計の挿入されるパイプライ ンの真っ直ぐな箇所を流れる流体の移動方向に直交したものと、この方向に沿っ て直線状に向けられたものの２種類のチューブ構造についての説明が行なわれて いる０図示した設備は、例えば石油系の燃料を含めて様々な製品の輸送に用いら れる１インチ（２，５４センチ）パイプライン用のものとして構成されている０ 本発明は、こうした用途以外にも他の種々の用途に用いられる様々な構造の流量 計にも広く利用することができる。

第１図は、２重ループを用いた、駆動装置／検知器を示している。この装置のチ ューブの端部はねじり荷重を受けるようになっており、これら端部は剛性のある 単一の中央マニホルドに連結されている。中央マニホルドは、取扱いパイプライ ンに直線状に連結されている。同じ実施例が第１図、第２図および第３図から第 ６図に示されており、第４図から第６図にはさらに細部構造が示されている。

第１図の質量流量計はパイプライン１ｏの途中に挿入されるように構成されてい る。このパイプライン１０は、流量計を収めるスペースを確保するための小さい 区画域を備えている。パイプライン１０は、装着フランジ１４に宛てがわれる開 口フランジ１２を備えている。装着フランジ１４は、中央マニホルド質量ブロッ ク１６に連結された短いパイプ部分１０’に溶接されている。前記中央マニホル ド質量ブロック１６は平行な２つの平坦ループ１８と２０を支えている。ループ １８と２０の形状は基本的に同じである。従って、ループ１８の形状についての 説明はループ２０にも同じことが言える。マニホルドブロック１６は、好ましく は、平らな水平上側表面または頂上部１６ａｉ３よび一体化されたパイプ部分１ ０°を備えている、矩形の中実なブロックの形をした鋳造体である。ループ１８ の端部は、真っ直ぐで平行になっている好ましくは垂直な入口と出口の部分すな わち脚部２２と２４から構成されている。これら脚部２２と２４は、例えば突合 わせ溶接により互いに接近した状態でマニホルドの頂上部１６ａに確実に固定さ れている。

ループ１８の下部は直線状に長く形成され、鋳造体１６の底表面に設けられたア ンダーカットチャンネル２８を非拘束な状態で通り抜けている。ループ１８の下 部の長い直線部分２６は、立ち上がり脚部２２と２４に両側の傾斜部分３０と３ ２を介して連結されている。ループ１８の各直線部分の間の４つの連絡箇所は大 きな半径でもって丸く形成され、できるだけ流通抵抗が少なくなるようにしであ る。さらに詳しく説明すると、立ち上がり脚部２２と２４は、それぞれ頂点湾曲 部３４と３６を介して箇々の傾斜部分３０と３２に連絡している。長い直線部分 ２６の端部は、丸みの付いた下側湾曲部３８と４０を介して傾斜部分３ｏと３２ のそれぞれの端部に連絡している。

両方のループ１８と２０の平行な入口／出口端部２２．２４は、同じ大きさの穴 の開いている隔離プレートまたはノードブレート４１を通り抜けている。このノ ードブレート４１は表面１６ａと平行で、この表面から所定の距離、例えば１イ ンチ（２，５４センチ）パイプの場合には０．８２５インチ（２，１０センチ） 隔てて配置されている。ノードブレートは荷重遮断部材として機能し、またそれ ぞれのループに共通の機械的基盤をなしている。

鋳造体１６を用いる場合に比べてノードブレート４１を機械的な基盤として使用 すれば、プレートと入口／出口の脚部２２．２４を接合する場合、プレートの上 下表面において、箇々の脚部の周囲に沿って外側から円形に溶接することができ る利点がある。これに対し、鋳造体１６のボスに突合わせ溶接した場合、チュー ブの端部は取扱い流体に内部が晒され、溶接部が常にねじり応力に抗する状態に あれば、この取扱い流体が溶接部を急速にだめにする傾向がある。

マニホルド鋳造体１６には内部にチャンネルが設けられ、第２図に示すように、 入口の流れはループ１８と２０の立ち上がり脚部２２に平行に分流される。立ち 上がり脚部２４のループ出口は流量計の出口に連絡しバイブラインｌＯにつなが っている。このように、ループ１８と２０は流体を平行に流す幾何学的な関係に 連結されている。

第２Ａ図は、マニホルドブロック１６°のチャンネルを修正して、ループを通じ 連続して流すことのできる変更例を示している。ブロック１６と１６°は交換す ることができる。

マニホルド鋳造体１６が第４図と第５図に示されている。チャンネル４２と４４ は取扱いバイブラインに平行でかつ、同バイブラインから偏位した状態で並んで おり、通路４６と４８を介して入口および出口のそれぞれのバイブ部分１０°に 連結されている。チャンネル４２と４４はそれぞれ流量計の入口および出口に連 絡し、取入れマニホルドと吐出しマニホルドを形成している。鋳造体１６を通り 抜ける間隔を開けた垂直なボート５４は、ループ１８と２０の立ち上がり出口脚 部２４をチャンネル４４の形成する吐出しマニホルドに連絡している。第４図と 第６図に示すように、２つの対の立ち上がり脚部２２と２４の端部は穴の空いた 円錐形のボス５６に突合わせ溶接されている。前記穴の空いた円錐形のボス５６ は、それぞれがボート５２および５４と同軸的に鋳造体と一体的にこの鋳造体か ら持ち上がっている。

電気的な駆動装置／検知器の組立体が、Ｔ字梁の形をした剛性のある相対するア ーム６０と６２の外側端部に個別に支持されている。前記アーム６０と６２は、 円盤形をした装着フランジ６４を介しマニホルド鋳造体１６の両側の面に取り付 けられている。フランジ６４と鋳造体１６は、第５図に示すようにキー溝により 噛合い係合し、動くことがない０片持ち支持したアーム６０と６２は２つのルー プ１８と２０の平面内で平行に位置し、アームの垂直プレートは、駆動装置／検 知器の組立体が配置されている両方のループのコーナー３８と４０の間を通り抜 けている。

片持ち支持された箇々のアーム６０．６２の上側デツキ端部には、ソレノイド形 式の同一の２つの駆動装置組立体７０が配置され、駆動装置ブラケット７２によ り所定位置に保持されている。各々の駆動装置は、鉄磁性スラグ７６に作用する 一対のソレノイドコイルと磁極片７４を備えている。前記鉄磁性スラグ７６は、 下側湾曲部３８．４０の両側に溶接されている。こうして、それぞれのループ１ ８．２０の各々の端部に一対ずつ、８個の駆動装置が設けられている。箇々の駆 動装置は、スラグ７６が挾んだチューブを横向きに往復運動させる。

同じチューブの両端に対の関係で設けられた駆動装置を同じ強さの正弦波形（波 形の位相が１８０度ずれている）の電流で励磁することにより、直線部分２６は 第１図に示すように地点Ｃの位置でチューブと交わっている垂直２等分線７９の 廻りで回転するようになる。従って、駆動回転は好ましくは地点Ｃの廻りの水平 面内で行なわれる。両方のループの直線部分に対する垂直２等分線７９は、好ま しくは、第１図に示すように、両方のループに対して対称な共通の平面内に位置 している。

相補型駆動装置７０の励磁用電流を繰り返して逆転させる（例えば、正弦曲線に 沿って制御する）ことにより、ループ１８の直線部分２６が水平面に沿って地点 Ｃの廻りを振動運動する。直線部分２６は、各々が蝶ネクタイ状になぞる動作を する。コーナー３８と４０の位置でのループの横方向の総偏位量は小さく、１イ ンチ（２，５４センチ）のバイブでかつ、直線部分２６かの長さが２フイー）− （６０，９６センチ）の例では１／８インチ（０，３２センチ）にわたり偏位す る。この偏位は、ノードプレー）−４１を始点とする脚部２２と２４の軸線の廻 りのねじり偏位として、これら直立した平行な脚部２２と２４に伝えられる０片 持ち支持したアーム６０と６２の上側デツキの外側端部に支えられている相補型 の別の対の駆動装置７０により、ループ２０の直線部分にも同じような振動運動 が起こされる。

Ｔ字梁の中央垂直部分はそれぞれ２つのループ１８と２０のコーナー３８と４０ の間に位置し、アーム６０と６２のそれぞれの端部位置でブラケット８２により 検知器組立体８０を支持している。４つの検知器組立体８０の各々は、位置−速 度検知器または位置−加速度検知器１例えば固定ブラケット８２に取り付けられ た一対のコイルと、チューブコーナー３８．４０に固定されたコイル間の可動エ レメントとを持つ可変ディファレンシャル・トランスを備えている。可動エレメ ントは、図示のようにループのコーナー３８．４’Ｏに溶接された当て金に連結 されている。これらに代えて、従来から用いられてきている光学式の可変容量ま たは直線的に偏位量を変えられる変換器（ＬＶＤＴ’Ｓ）を使用することもでき る６位置検知器は、一定の偏位範囲内での偏位に対しては直線的に変化し、また 、箇々のループの平面に対し事実上ゆがんだ運動が行なわれても、あまり影響を 受けていないことが望ましい、ただし、検知器については設計上の選択事項であ り、本発明の要部を構成していない。

ループ１８の駆動装置／検知器の組立体の対７０．８０は、ループ１８の直線部 分２６の両端にあって符号ＡとＢで表わされている。同様に、他方の平行なルー プの駆動装置／検知器の組立体は、図面で見て左右の端部にあって符号ＣとＤで 表わされている。

同じ平行なループを回転させた変更例が、第７図と第８図に示されている。この 例では、ループ１８と２０の平面は取扱い流体の流れる向きに平行に配置されて いる。装着フランジを長さの幾分短いマニホルド鋳造体１６に連結する一直線に 並んだパイプ部分１０”は、ループ１８と２０の一方の側の全長を横切って延び ている（または、別に用意したバイブセグメントに連結されている）、ループの 動作の状態並びにノードブレートと駆動装置／検知器の組立体の配置形態は、第 １図に示す直角に配置した実施例のものと同じである。しかしながら−線上に配 置した構造の第７図と第８図の実施例では、必要とあらば、箇々のパイプ部分ｌ Ｏ”を用いて駆動装置／検知器の組立体のアーム６０°と６２°をこれらアーム の全長にわたって支持することもできる。第７図と第８図のループ１８と２０の 間の平行な流通路は、第１図の実施例における流通路と同じものである。マニホ ルド鋳造体１６−のチャンネルの形状は、マニホルド４２°と４４゛が同軸的な 入口／出口配管に直交している点が第１図のものとは異なっている。

直角かまたは直線状の何れか一方の構成を取り入れたループ１８と２０の直線部 分２６の運動は、第９図にａ、ｂおよびＣの３種類のモードで表わされている。

駆動モードｂは地点Ｃの廻りで振動しており、２つのループは同期的に回転して いるが向きは反対である。すなわち、ループ１８は時計方向に回転しているが、 ループ２０は反時計方向の回転に晒されている。従って、第９図に示すようにａ およびＣのようなそれぞれの端部は、周期的に互いに接近したり離れるようにな る。この種の駆動運動に伴って、第９図に示すような反対向きのコリオり効果が 生じる。こうして生じたコリオリモード運動はループ１８と２０の全体の表面を 反対向きに回転させようとする。２つの直線部分２６が第９図に示すように平行 の時に正弦曲線に則って変化する角速度が最大値を取るため、コリオり効果は、 その時に最も大きくなる。

箇々のループのコリオリモード運動が反対向きに行なゎれるため、直線部分２６ は第９図に示すようにお互いに向けて（またはお互いから遠ざかる向きに）僅か に運動する。共通モード運動は、第９図Ｃに示すようにループを同じ方向に変形 させるため、本装置にとっては、好ましくない。この種の運動は、第１図の実施 例ではループがパイプラインに直交しているためにバイブライン自体の軸方向の 振動によって生じることがある。第７図と第８図の直線状の実施例では、こうし た付随的な運動の影響を受にくい。

コリオリ運動と共通モード運動の共振周波数は、直線部分の振動運動すなわち駆 動モードの共振周波数とは一致しないように構造を決定する必要がある。

第１図のノードブレート４１を鋳造体１６から遠ざければ、それだけ駆動モード におけるループの共振周波数は高くなる。しかしながら、ノードブレートを鋳造 体１６から遠ざければ、このノードブレートはコリオり効果の偏位量を少なくす る傾向がある。２つのノードブレート４１ａと４１ｂを用いて、第１０Ａ図に示 すようにループの相対する端部を連結することもできる。しかしながら、第１図 および第１０Ｂ図に示すように１枚のプレートを用いた方が良好な遮断性が得ら れる。マニホルドからノードブレートまでの距離が大きくなるにつれ、流量計は コリオリモードに対する感応性が低下するようになり、同じチューブ構造の場合 でもより大きな駆動力を必要とする。

第７図と第８図の直線状の変更例は、第１１Ａ図と第１１Ｂ図に示した第１図の 直交する構造のモデルよりも幾つかの点で優れている。取扱い流体のラインにル ープが直交する流量計の場合には、表面１６ｂには引張力がまた表面１６ｃには 圧縮力が作用するために、鋳造体１６のねじり応力が鋳造体を僅かに変形させ、 取扱い流体のラインが連結されている表面をゆがめようとする傾向がある。マニ ホルド鋳造体ケース１６は第１０Ａ図と第１０Ｂ図に示すノードブレートよりも 曲がりが少なく、側部から側部へのパイプラインの僅かな横向きの振動によって 第１１Ａ図に示すような状態が起こる。パイプラインは表面１６ｂと１６ｃに連 結され、これら表面が第１１Ｂ図に示すように他の２つの表面に比べて平行に変 形するため、直線状の構造が受ける影響が少なくて済む、勿論のこと、何れの実 施例においても鋳造体のねじり応力の大きさは、ノードブレートを用いることに よって少なくなる。

第１２図に見られるように、検知と制御の仕方を概略的に示した図には、それぞ れのループの端部毎に双対検知器と双対駆動装置が用いられている。ループ１８ の場合には、下側コーナー３８と４０の位置ＡとＢをそれぞれ検知器と駆動装置 が占めている。同様に、相対する検知器と駆動装置がループ２０の真っ直ぐな下 側部分の端部の位置ＣとＤを占めている。４つの位置検知器、好ましくは可変デ ィファレンシャル・トランスが、振動装置１００から送られてくる３０ｋＨｚの 正弦波によって作動される。トランスコイルの出力は振幅復調器１０２により復 調され、図示の和と差の回路に送られる。この回路において、検知器Ａの出力電 圧は以下の数式で表わされる。

Ｖ＾”Ａｏ　ｓ　ｉ　ｎ　ωｔ　＋　ＡｃｃｏｓｔＪＪｔまた、Ｂ検知器の出力 は以下の数式で表わされる。

ｖｌニーＡｏｓｉｎ　ωｔ　＋　ＡｃｃｏｓｔＪＪｔ正弦項は駆動モード運動を 表わしており、またこの正弦環から９０度位相のずれた余弦項はコリオリモード の運動を表わしている。これら電圧信号の差（Ｄ　Ｒ’Ｖ　１　）を取ると駆動 環が２倍され、またコリオり項が消去される。電圧信号の和（ＣＯＲＩＩを取る とコリオり項が２倍され、また駆動環が消去される。上記駆動環は微分器１０４ によって微分され、余弦波に変換される。この余弦波は駆動信号として用いられ る。同じようにして正弦駆動モード環（ＤＲＶ２）をループ２０の位置検知器Ｃ とＤから得て、必要に応じて、位相をロックサーボ１０６内でループ１８からの 駆動モード環と比較する０回路１０６から送られてくるエラー信号は制御信号と して位相制御ブロック１０内で用いられ、必要に応じ、微分された項に正弦成分 を加え戻して位相を回転させる。駆動モード環（正弦）　ＤＲＶＩは振幅サーボ １１０によってＤＣ基準値と比較され、利得制御増幅器１１２に送られて駆動装 置７０への駆動信号の振幅を調節し、駆動出力項の平均振幅を一定に保っている 。振幅サーボ１１０の代わりに、正弦駆動モード環の振幅を変化させることがで き、簡単にモニターしたり駆動回路の出力に加えることができる。

位相と利得を調節された信号は微分器１０４から出力された駆動モードのダンピ ング信号と比較され、加算器１１４と増幅器を経てループ１８の駆動装置Ａに送 られる。加算器１１４は、必要に応じてコリオリモード環と共通モードのダンピ ング環を算入する。コリオリモードのダンピングには余弦項Ｃ０ＲＩまたはＣ０ Ｒ２が用いられ、例えば流れの遠心加速度によってコリオリモード動作がみかけ 上増大するのに伴って、コリオリモードを反対向きにコリオリモード共振周波数 で駆動するようになる。

共通のモードのダンピングにおいては、それぞれのループからの逆コリオす項Ｃ ０ＲＩとＣ０Ｒ２を加算され、これらコリオり項が反対向きになっているかどう か、すなわちこれら項が等しくな（かつ正反対であるかどうかを判断される。こ の項は、加算器１１４内で駆動信号を補償する以前にコリオり項に算入される。

Ｂ駆動装置の力信号は、駆動モード信号が正反対であることを除いて、完全に同 じようにして取り出される。

ループ２０の駆動装置ＣとＤの駆動信号も同じようにして取り出される。

コリオリモード運動を捕捉する出力信号は、コリオリ環の大きさを加算し、９０ 度位相のずれた駆動モード運動信号を用いることにより得られ請求積基＃：１１ ６として用いられる。この積基準１１６は、コリオリ環を駆動信号の位相に比較 する同期復調器１１８で使われる。

復調器１１８の出力はローパス・フィルターに通され、ノイズが取り除かれる。

同期復調過程は、駆動信号により位相の成分を取り除いてコリオリ環を整理して いる。

２つのループの間の共通モードのダンピング機能と位相ロッキングは、本発明の 範囲に属する構造のものあるいはその他の用途に用いる構造にも利用価値がある が、こうした組合わせ機能は第１図の実施例に見られる標準タイプのものには必 ずしも必要とされていない。実際には、２つのループの間の共通モード動作並び に位相差があまり問題とされないためである。

ループの全体形状は、先に詳細に示した実施例の“洋服掛け”の形状にのみ限定 されるものではない、“洋服掛は一以外のその他の形状を用いても、真っ直ぐな 振動部分の端部を側部部分または突起を介してそれぞれの平行な入口／出口脚部 １１と１２に連結する原理を具体化することができる。前記平行な入口／出口脚 部ｌｌと１□は、第１３図に示すように、直線部分Ｓを脚部の平面に直角に投影 した箇所Ｓ°にほぼ直交している。洋服掛けの構造は、第１３図の構造原理の特 殊な鋳造体であると見なすこともできる。

第１４図は、この原理を取り入れた別の形のほぼ平行なループ構造を示している １幅Ａ、直線部分Ｂ、丈Ｃおよび半径ｒは、異なった運転特性を得るために変更 することができる。

本発明並びに前述した実施例には幾つかの利点がある。実際に、ループ毎に設け た独立して制御される双対駆動装置によれば、直線部分２６の長さに沿って不安 定な状態やゆがみの生じることがない、こうした不安定さやゆがみは軸線８０に 沿った片側の振動駆動によって生じることがある。また双対駆動装置によれば、 ループの両端を個別に制御して動作を管理することができる。駆動装置の位置に 検知器を設ければ、装置は正しいモードで駆動を行ない検知器がこの正しいモー ドを検知することができる。また形状全体を対称的に構成すれば安定性が増す、 剛性のある中央マニホルドは機械的な基盤として機能するノードプレートと共に 作用し、相補関係にねじれた状態にある２対の直立脚部２２．２４は剛性のある ブロックを伴って音さ効果を発揮するようになる。

ループは直角な向きに配置されているため、第１図から第６図に示す流量計が占 める軸方向のパイプライン長は、第２図の長さｌで示すように極力短くすること ができる。第７図と第８図の変更例の構造では、パイプラインに沿って占有する 長さｌｏはかなり長くなるが、流量計のサイズすなわち横幅Ｗ°は第７図に示す ように大幅に減少している。また、第７図と第８図の直線構造の実施例によれば 零オフセットを省略することができ、流れが停止するような場合、直交した構造 のものよりも便利である。

直線部分２６が振動しても、それぞれの端部の直線的な総偏位量はバイブ部分の 直径に比較して非常に小さな値である。実際には、適当な標準タイプのものでこ の振幅量はパイプの直径のほぼ１０％程度であった。

前述の実施例は説明のためのものであり、発明を限定するものではない、必要と あらば１例えば、ループの向きを９０度回転させて長い直線部分２６を縦向きに 設置することもできる。事実、流量計の性能に影響を及ぼさないで、ループは他 の様々な姿勢に向き決めすることができる。装置は対称形をしており、構成要素 の向きを変化させても装置の性能に影響を及ぼさないため、必要とあらば装置の 対称性を変更することもできる。全体の構造を変えないでも、流量計は図示のよ うに平行な流れのループを構成したり、また平行でしかも連続するマニホルドに して流量の少ない連続的な流れのループを構成することができる。また、アーム ６０と６２は必要不可欠なものではない、流量計は共通モード動作に多少影響が 及ぶことになるが、検知器と駆動装置の組立体をループに直接取り付けることも できる０本明細書中で説明を加えた押し／引き形式の駆動ユニットを用いれば、 他に振動運動を加える適当な手段を使用する必要がなく満足のいく結果の得られ ることが判明している。

発明の精神または範囲から逸脱することなく１図示の実施例に他の変更を加えた り、新たな部分を付加したりおよび／または構造の一部を削除することもできる 。これらの事柄は、請求の範囲並びにこれを補佐する記載事項から明らかである 。

特表千２−５０１００６　（１２） 浄書（内容に変更なし） 浄書（内容に変更なし） 浄書（内容に変更なし） コリスリモー）ｊ’　、！ｆｆφπ千−Ｖ　共場１も一トゝ浄書（内容に変更な し） ＦＩＧ、　１０Ａ　”Ｇ・１０Ｂ 嘉拵−１′に、゛の駕合 浄書（内容に変更なし） 手続補正書（柳 平成　元年１２月、２６日 特許庁長官　吉　１）文　毅　殿 １、事件の表示　１涼 ＰＣＴ／ＵＳ８７１０２７５９ ２、発明の名称 コリオリ形式の質量流量計 ３、補正をする者 名　称　ザ・フォックスボロ・カンパニー４、代理人 住所　東京都千代田区大手町二丁目２番１号新大手町ビル　２０６区 ５、補正命令の日付　平成　１年１２月１９日　溌送日）国際調査報告 ｌｅ＋ｅｍａ＋＊ｓａ＋＾ａｍｔａｂｍＭ、ＰＣフ、〆Ｌ’Ｓ８７／ワ２７５９

Claims (69)

【特許請求の範囲】
1. １．双対駆動コリオリ形式の質量流量計にして、サポートと、 入口端部および出口端部がサポートに一体的に取り付けられている連続する導管 のルーブと、ルーブに沿ったそれぞれの異なった地点で当該ルーブに作用し、こ のルーブを振動軸線の廻りで振動させるための一対の駆動手段と、 前記導管の部分内を物質が流れ、振動運動することによって生じるコリオリの力 の大きさを測定する手段とを有している双対駆動コリオリ形式の質量流量計。
2. ２．請求項１記載の双対駆動コリオリ形式の質量流量計にして、前記それぞれの 地点が前記ルーブの対称軸から等しく間隔を開けられている双対駆動コリオリ形 式の質量流量計。
3. ３．請求項１記載の双対駆動コリオリ形式の質量流量計において、前記対の駆動 手段の間の前記ルーブの部分がほぼ直線部分である双対駆動コリオリ形式の質量 流量計。
4. ４．請求項３記載の双対駆動コリオリ形式の質量流量計において、前記駆動手段 が、前記導管の直線部分の両端の位置にある双対駆動コリオリ形式の質量流量計 。
5. ５．請求項３記載の双対駆動コリオリ形式の質量流量計において、さらに、前記 駆動手段を制御し、間にある前記直線部分を垂直２等分線の廻りで振動させるた めの手段を有している双対駆動コリオリ形式の質量流量計。
6. ６．請求項１記載の双対駆動コリオリ形式の質量流量において、前記測定手段が 、それぞれ前記駆動手段に並列に設けられた位置検知器を備えている双対駆動コ リオリ形式の質量流量計。
7. ７．請求項３記載の双対駆動コリオリ形式の質量流量計において、さらに、流量 計の同軸的な入口と出口を有し、前記直線部分が入口／出口軸線に直交している 双対駆動コリオリ形式の質量流量計。
8. ８．請求項３記載の双対駆動コリオリ形式の質量流量計において、さらに、流量 計の同軸的な入口と出口を有し、前記直線部分が入口／出口軸線に平行している 双対駆動コリオリ形式の質量流量計。
9. ９．請求項３記載の双対駆動コリオリ形式の質量流量計において、前記サポート に連結された前記ルーブの端部が平行でしかも前記直線部分に直交しており、前 記直線部分の振動が前記平行な部分のねじり振動によって消去される双対駆動コ リオリ形式の質量流量計。
10. １０．請求項１記載の双対駆動コリオリ形式の質量流量計において、さらに、 別のサポートと、入口端部および出口端部がこの別のサポートに一体的に取り付 けられている別の連続する導管のルーブと、振動軸線の廻りで前記別のルーブを 振動させるための別の駆動手段と、 前記第２の導管が振動運動している際、この第２の導管内を物質が流れることに よって生じるコリオリの力の大きさを測定するための、前記第２のルーブに対応 した手段とを有している双対駆動コリオリ形式の質量流量計。
11. １１．請求項１０記載の双対駆動コリオリ形式の質量流量計において、前記導管 ルーブが平行であるような双対駆動コリオリ形式の質量流量計。
12. １２．請求項１１記載の双対駆動コリオリ形式の質量流量計において、前記導管 ルーブが平坦で平行なほぼ同じ形状をしているような双対駆動コリオリ形式の質 量流量計。
13. １３．請求項１２記載の双対駆動コリオリ形式の質量流量計において、前記駆動 手段の間の前記ルーブの部分が直線部分であるような双対駆動コリオリ形式の質 量流量計。
14. １４．請求項１３記載の双対駆動コリオリ形式の質量流量計において、さらに、 両方の前記駆動手段を制御して、それぞれの平行な垂直２等分線の廻りで前記直 線部分に振動運動を生じさせるための手段を有している双対駆動コリオリ形式の 質量流量計。
15. １５．請求項１４記載の双対駆動コリオリ形式の質量流量計において、それぞれ のサポートに取り付けられた各ルーブの端部はすべて平行で、直線部分に直交し ているような双対駆動コリオリ形式の質量流量計。
16. １６．請求項１０記載の双対駆動コリオリ形式の質量流量計において、前記別の 駆動手段が、別のルーブに沿ったそれぞれの異なった地点に作用する第２の一対 の駆動手段を備えている双対駆動コリオリ形式の質量流量計。
17. １７．請求項１６記載の双対駆動コリオリ形式の質量流量計において、別のルー ブのそれぞれの地点が、この別のルーブの対称軸から等しく間隔を開けられてい る双対駆動コリオリ形式の質量流量計。
18. １８．請求項１６記載の双対駆動コリオリ形式の質量流量計において、前記ルー ブは平行でしかもほぼ同じ構造をしており、箇々のルーブに沿った前記それぞれ の地点が箇々のルーブの同じ対応する位置にある双対駆動コリオリ形式の質量流 量計。
19. １９．請求項１８記載の双対駆動コリオリ形式の質量流量計において、両方のル ーブの前記それぞれの地点の対応する箇所がこれらルーブの対称面から等しく間 隔を開けられている双対駆動コリオリ形式の質量流量計。
20. ２０．コリオリ形式の質量流量計において、単一の剛性のあるマニホルドブロッ クと、各々が前記ブロックを事実上取り囲み、また各々がお互いにしかも他方の ルーブの端部に対し並列の関係に前記ブロックに一体的に取り付けられた入口端 部および出口端部を持ち、平行な直線部分を備えているようなほぼ同一の２つの 導管のルーブと、 平行な垂直２等分線の廻りでそれぞれ前記直線部分を振動させるための駆動手段 と、 それぞれの直線部分が振動運動している際、直線部分内を物質が流れることによ って生じるコリオリの力の大きさを測定するための手段とを有しているコリオリ 形式の質量流量計。
21. ２１．請求項２０記載のコリオリ形式の質量流量計において、さらに、 前記ブロック内に形成された流量計の同軸的な入口および出口を有し、 前記直線部分が、入口／出口の軸線に直交しているコリオリ形式の質量流量計。
22. ２２．請求項２０記載のコリオリ形式の質量流量計において、さらに、 前記ブロック内に形成された流量計の同軸的な入口および出口を有し、 前記直線部分が、入口／出口の軸線に平行しているコリオリ形式の質量流量計。
23. ２３．請求項２０記載のコリオリ形式の質量流量計において、前記ブロックに取 り付けられている前記ルーブの端部がすべて平行であり、前記直線部分に直交し ているコリオリ形式の質量流量計。
24. ２４．請求項２０記載のコリオリ形式の質量流量計において、前記マニホルドブ ロックは流量計の入口および出口を備え、当該マニホルドは内側チャンネル手段 を備え、この内側チャンネル手段は流量計の入口をそれぞれのルーブの相対する 入口端部に連絡し、また流量計の出口をそれぞれのルーブの相対する出口端部に 連絡しているようなコリオリ形式の質量流量計。
25. ２５．請求項２０記載のコリオリ形式の質量流量計において、前記マニホルドブ ロックは流量計の入口および出口を備え、当該マニホルドは内側チャンネル手段 を備え、この内側チャンネル手段は流量計の入口を前記ルーブの一方の入口端部 に連絡し、一方のルーブの出口端部を他方のルーブの入口端部に連絡し、また他 方のルーブの出口端部を流量計の出口に連絡し、これらルーブを通る連続した流 れを形成しているようなコリオリ形式の質量流量計。
26. ２６．コリオリ形式の手段を備えた流量計装置にして、連続した流れを形成する 剛性のあるマニホルドブロックと、 平行な流れを形成する剛性のあるマニホルドブロックとを有し、 これらブロックは、同じように配置された流量計の入口および出口と、ルーブの 端部に連絡する並列に配置された４つのボートを備えており、 当該流量計装置は、さらに、 並列な端部を持つほぼ同一な２つの導管のルーブを有し、 前記連続した流れを形成するブロックは、流量計の入口を前記ルーブの一方の入 口端部に連絡し、一方のルーブの出口端部を他方のルーブの入口端部に連絡し、 他方のルーブの出口端部を流量計の出口に連絡して、これらルーブを通る連続し た流れを形成し、 前記平行な流れを形成するブロックは、流量計の入口を両方のルーブの入口端部 に連絡し、両方のルーブの出口端部を流量計の出口に連絡して、これらルーブを 通る平行な流れを形成しており、 当該流量計装置は、さらに、 前記ルーブの相対する部分を振動させるための手段と、 それぞれの部分が振動運動している際、この部分内を物質が流れることによって 生じるコリオリの力の大きさを測定するための手段とを有し、 その結果、前記ブロックを交換して、流量計のルーブに連続するかまたは平行な 流れを作り出せるようになっているコリオリ形式の手段を備えた流量計装置。
27. ２７．請求項２６記載のコリオリ形式の手段を備えた流量計装置において、前記 ルーブ部分は平行で直線部分であり、また前記振動手段が、平行な垂直２等分線 の廻りで当該直線部分を振動させるための手段を備えているコリオリ形式の手段 を備えた流量計装置。
28. ２８．請求項２６記載のコリオリ形式の手段を備えた流量計装置において、箇々 の前記ルーブが事実上当該ルーブの端部を取り囲んでいるコリオリ形式の手段を 備えた流量計装置。
29. ２９．請求項２７記載のコリオリ形式の手段を備えた流量計装置において、ルー ブの端部はすべて平行でしかも前記直線部分に直交しているコリオリ形式の手段 を備えた流量計装置。
30. ３０．コリオリ形式の質量流量計にして、サポートと、 当該サポートに一体的に取り付けられた上側端部を持つ、全体が洋服掛けの形を した連続する導管のルーブと、 当該ルーブの長い直線部分を垂直２等分線の廻りで振動させるための駆動手段と 、 導管の長い直線部分が振動運動している際、この長い直線部分内を物質が流れる ことによって生じるコリオリの力の大きさを測定するための手段とを有している コリオリ形式の質量流量計。
31. ３１．請求項３０記載のコリオリ形式の質量流量計において、前記サポートは内 部にチャンネルの設けられた剛性のある胴体からなり、前記ルーブの端部は平行 でしかも前記直線部分に直交しており、 その結果、前記直線部分の振動運動が当該端部区域のねじり応力によって消去さ れるコリオリ形式の質量流量計。
32. ３２．請求項３１記載のコリオリ形式の質量流量計において、前記胴体の一部を 切除して、前記直線部分が自由に通り抜けるチャンネルを形成しているコリオリ 形式の質量流量計。
33. ３３．請求項３２記載のコリオリ形式の質量流量計において、さらに、 前記第１のルーブとほぼ同一の形をしている第２のルーブを有し、これらルーブ は各々が平行な平面内に名目的に位置し、第２のルーブの端部が前記第１のルー ブと同じブロックに一体的に取り付けられているコリオリ形式の質量流量計。
34. ３４．請求項３０記載のコリオリ形式の質量流量計において、さらに、 前記胴体に一体的に連結された相対する一対の片持ちアームを有し、 前記駆動手段は、前記ルーブの直線部分のそれぞれの端部に隣接して箇々の片持 ちアームの端部に取り付けられた一対の駆動手段を備えているコリオリ形式の質 量流量計。
35. ３５．請求項３４記載のコリオリ形式の質量流量計において、前記測定手段が、 それぞれ前記駆動手段を支えている同じ片持ちアームの両端に配置された一対の 位置検知器を備えているコリオリ形式の質量流量計。
36. ３６．コリオリ形式の質量流量計にして、サポートと、 直線部分並びに平行な入口端部および出口端部を備え、前記入口端部および出口 端部は、前記入口／出口の区域が形成した平面上への前記直線部分の直角投影箇 所に直交しており、またこれら端部区域が前記サポートに一体的に取り付けられ ているような導管のルーブと、前記直線部分の端部間のある地点を通り抜けてい る直交軸線の廻りで、前記直線部分を振動させるための駆動手段と、 直線部分が振動運動している際、この直線部分内を物質が流れることによって生 じるコリオリの力の大きさを測定するための手段とを有しているコリオリ形式の 質量流量計。
37. ３７．コリオリ形式の質量流量計にして、流量計の同軸的な入口および出口を備 えている単一の剛性のあるマニホルドブロックと、 平行な直線部分を備え、またそれぞれの端部がお互いに平行でしかも前記直線部 分に直交していて、互いに接近して前記ブロックに一体的に取り付けられている 第１および第２の導管のルーブと、 前記マニホルドブロック内に設けられていて、当該マニホルドブロックの入口を それぞれのルーブの入口端部の少なくとも一方に連絡し、またこのマニホルドブ ロックの出口をそれぞれのルーブの出口端部の少なくとも一方に連絡して、連続 するかまたは平行な流れを形成するためのチャンネル手段と、 箇々のルーブに付属し、それぞれの直線部分のほぼ端部に配置されていて、当該 直線部分を垂直２等分線の廻りで振動させるための一対の駆動手段と、駆動手段 のそれぞれの対に並列に設けられ、前記ルーブの名目上の平面から外れる前記直 線部分の偏位量を検知するための位置検知器手段と、 所定のルーブの前記位置検知器の出力に応答して、これと同じルーブに設けられ ている前記駆動手段を制御するための制御手段と、 両方のルーブに設けられている位置検知器の出力に応答して、導管ルーブの直線 部分が振動運動している際、この直線部分内を物質が流れることによって生じる コリオリの力の大きさを測定するための手段とを有しているコリオリ形式の質量 流量計。
38. ３８．請求項３７記載のコリオリ形式の質量流量計において、一対の共通する支 持手段を備え、それぞれの対の駆動手段と相対する位置検知器がこれら支持手段 の各々により支持されているコリオリ形式の質量流量計。
39. ３９．請求項３８記載のコリオリ形式の質量流量計において、前記支持手段は、 前記マニホルドブロックから片持ち状態に支持された相対するアームであるコリ オリ形式の質量流量計。
40. ４０．請求項３７記載のコリオリ形式の質量流量計において、前記ルーブの直線 部分が、前記マニホルドブロックの入口／出口の軸線を横切っているコリオリ形 式の質量流量計。
41. ４１．請求項３７記載のコリオリ形式の質量流量計において、前記ルーブの直線 部分は前記マニホルドブロックの入口／出口の軸線に平行であるコリオリ形式の 質量流量計。
42. ４２．少なくとも１つの振動導管を備えているコリオリ形式の質量流量計の信号 処理および制御方法にして、導管の一部分を振動させる段階と、 当該一部分のそれぞれの端部の偏位量を検知し、各々が駆動成分とコリオリ成分 を含んでいる相対する相補関係にある２つの検知器出力を作り出す段階と、前記 ２つの検知器出力から前記成分の少なくとも一方を回復させる段階とを有するコ リオリ形式の質量流量計の信号処理および制御方法。
43. ４３．請求項４２記載のコリオリ形式の質量流量計の信号処理および制御方法に して、さらに、前記一方の部分に同期して他方の導管部分を振動させる段階と、 前記他方の部分の端部の偏位量を検知し、相対する相補関係にある他の２つの検 知器出力を作り出す段階とを有し、 前記回復段階が、さらに、両方の対の検知器出力から前記成分の少なくとも一方 を回復させる段階を備えているコリオリ形式の質量流量計の信号処理および制御 方法。
44. ４４．請求項４２または４３記載のコリオリ形式の質量流量計の信号処理および 制御方法にして、前記成分の一方を回復させる段階が、前記成分の他方を削除す ることにより行なわれるコリオリ形式の質量流量計の信号処理および制御方法。
45. ４５．請求項４４記載のコリオリ形式の質量流量計の信号処理および制御方法に して、他方の成分の削除が、前記２つの検知器出力を合計するかまたは差を計算 することにより行なわれるコリオリ形式の質量流量計の信号処理および制御方法 。
46. ４６．請求項４２または４３記載のコリオリ形式の質量流量計の信号処理および 制御方法にして、コリオリ成分を回復させるコリオリ形式の質量流量計の信号処 理および制御方法。
47. ４７．請求項４６記載のコリオリ形式の質量流量計の信号処理および制御方法に して、さらに、前記回復したコリオリ成分から質量の流れを表わす出力信号を得 る段階を有しているコリオリ形式の質量流量計の信号処理および制御方法。
48. ４８．請求項４６記載のコリオリ形式の質量流量計の信号処理および制御方法に して、さらに、基準信号を駆動成分に一致させるのに同期して、回復したコリオ リ成分を表わす信号を復調し、物質の流れを表わす出力信号を形成する段階を有 しているコリオリ形式の質量流量計の信号処理および制御方法。
49. ４９．請求項４８記載のコリオリ形式の質量流量計の信号処理および制御方法に して、さらに、前記２つの検知器出力から駆動成分を回復させ、回復したコリオ リ成分を回復した駆動成分に同調して９０度位相をずらす復調を行ない、基準信 号を作り出す段階を有しているコリオリ形式の質量流量計の信号処理および制御 方法。
50. ５０．請求項４９記載のコリオリ形式の質量流量計の信号処理および制御方法に して、さらに、前記回復した駆動成分から得た駆動信号を用いて、箇々の導管部 分の振動を制御する段階を有しているコリオリ形式の質量流量計の信号処理およ び制御方法。
51. ５１．請求項５０記載のコリオリ形式の質量流量計の信号処理および制御方法に して、箇々の導管の振動を制御する段階が、前記回復した駆動成分の第１の微分 商に対応する駆動信号を作り出す段階を備えているコリオリ形式の質量流量計の 信号処理および制御方法。
52. ５２．請求項５０記載のコリオリ形式の質量流量計の信号処理および制御方法に して、さらに、相補的な形をした前記駆動信号を、それぞれ各部分の両端に設け られた相補的な関係の力による駆動装置に付与する段階を有しているコリオリ形 式の質量流量計の信号処理および制御方法。
53. ５３．請求項４２または４３記載のコリオリ形式の質量流量計の信号処理および 制御方法にして、駆動成分を回復させるようになっているコリオリ形式の質量流 量計の信号処理および制御方法。
54. ５４．請求項５３記載のコリオリ形式の質量流量計の信号処理および制御方法に して、さらに、箇々の導管の振動を回復した駆動成分を用いて得た駆動信号に従 って箇々の導管の振動を制御する段階を有しているコリオリ形式の質量流量計の 信号処理および制御方法。
55. ５５．請求項５４記載のコリオリ形式の質量流量計の信号処理および制御方法に して、前記駆動信号が、前記回復した駆動成分の第１の微分商に相当しているコ リオリ形式の質量流量計の信号処理および制御方法。
56. ５６．請求項５４記載のコリオリ形式の質量流量計の信号処理および制御方法に して、さらに、形が相補関係にある前記駆動信号を各部分の両端の位置で力が相 補関係にある駆動装置に付与する段階を有しているコリオリ形式の質量流量計の 信号処理および制御方法。
57. ５７．少なくとも１つの振動導管を備えているコリオリ形式の質量流量計におい て、 導管に接続され当該導管の一部分を振動させる振動駆動装置と、 前記一部分の端部の偏位量を検知して、各々が駆動成分とコリオリ成分を含んで いる相対する相補関係にある検知器出力を作り出すように構成された検知装置と 、前記検知器出力を受け取り、当該検知器出力から前記成分の一方を回復させる ことができるように連結された信号処理回路とを有しているコリオリ形式の質量 流量計。
58. ５８．請求項５７記載のコリオリ形式の質量流量計にして、さらに、 別の導管を有し、 また、前記振動駆動装置が前記他方の導管に接続され、前記一方の導管の一部分 に同期してこの他方の導管の一部分を振動させるようになっており、しかも、前 記検知装置は、前記他方の導管の一部分の端部の偏位量を検知し、各々が駆動成 分とコリオリ成分を含んでいる相対する相補関係にある検知器出力を作り出すよ うに構成されているコリオリ形式の質量流量計。
59. ５９．請求項５７または５８記載のコリオリ形式の質量流量計にして、前記信号 処理回路がコリオリ成分を回復させるようになっており、さらに、 前記信号処理回路から前記回復されたコリオリ成分を受け取り、物質の流量を表 わす出力信号を得るように連結された検知器回路を有しているコリオリ形式の質 量流量計。
60. ６０．請求項５９記載のコリオリ形式の質量流量計にして、前記微分回路は、回 復したコリオリ成分と駆動成分に一致した基準信号を受け取り、また物質の流れ を表わす出力信号を形成するように接続された同期復調器を備えているコリオリ 形式の質量流量計。
61. ６１．請求項６０記載のコリオリ形式の質量流量計にして、前記信号処理回路が 前記２つの検知器出力から駆動成分を回復させるようになっており、さらに、回 復した駆動成分を受け取るように接続され、９０度位相のずれた出力求積基準信 号を形成する求積基準発生器を有しているコリオリ形式の質量流量計。
62. ６２．請求項６１記載のコリオリ形式の質量流量計にして、さらに、 回復した駆動成分を受け取るように接続された入力部と、前記振動駆動装置への 駆動信号入力部を形成している出力部とを備えた微分器を有しているコリオリ形 式の質量流量計。
63. ６３．請求項６２記載のコリオリ形式の質量流量計にして、さらに、 前記微分器の出力に応答して、前記振動駆動装置に供給する駆動信号出力を作り 出す駆動信号発生器と、前記微分器と前記駆動信号発生器の間に設けた可変利得 制御回路とを有しているコリオリ形式の質量流量計。
64. ６４．請求項６２記載のコリオリ形式の質量流量計にして、前記振動駆動装置は 、箇々の導管部分のそれぞれの端部に接続された駆動装置を備え、相補形をした 前記駆動信号が箇々の導管部分の両端にある相補関係の力を発揮する駆動装置に 加えられるコリオリ形式の質量流量計。
65. ６５．請求項５７または５８記載のコリオリ形式の質量流量計にして、前記信号 処理回路が駆動成分を回復するようになっており、さらに、 駆動成分を受け取るように接続された入力部と、前記振動駆動装置への駆動信号 入力部を形成している出力部とを備えている微分回路を有しているコリオリ形式 の質量流量計。
66. ６６．請求項６５記載のコリオリ形式の質量流量計にして、前記微分回路が微分 器を備えているコリオリ形式の質量流量計。
67. ６７．請求項６６記載のコリオリ形式の質量流量計にして、前記微分回路が可変 振幅制御回路を備えているコリオリ形式の質量流量計。
68. ６８．請求項６５記載のコリオリ形式の質量流量計にして、前記振動駆動装置が 、箇々の導管部分の両端にそれぞれ接続された一対の駆動装置を備え、前記駆動 信号が相補形の状態でそれぞれ前記駆動装置に加えられるコリオリ形式の質量流 量計。
69. ６９．請求項５７または５８記載のコリオリ形式の質量流量計にして、前記信号 処理回路が両方の前記成分を回復させるようになっており、さらに、 少なくとも１つの出力を持つ回復した駆動成分に応答して所定の位相関係で基準 信号を形成する基準発生器と、 回復したコリオリ成分を受け取るように接続された信号入力部を備え、また前記 基準信号並びに検知したパラメータを表わす出力を受け取るように接続された基 準入力部を備えている少なくとも１つの同期復調器とを有しているコリオリ形式 の質量流量計。