JPH0245568Y2 - - Google Patents

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JPH0245568Y2
JPH0245568Y2 JP10345084U JP10345084U JPH0245568Y2 JP H0245568 Y2 JPH0245568 Y2 JP H0245568Y2 JP 10345084 U JP10345084 U JP 10345084U JP 10345084 U JP10345084 U JP 10345084U JP H0245568 Y2 JPH0245568 Y2 JP H0245568Y2
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piston
rod
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piston rod
valve device
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Description

【考案の詳細な説明】 (a) 考案の目的 〔考案の技術分野〕 本考案は、ピストンで弁体を駆動する弁装置、
特に薬液などのような腐食性の流体の制御に使用
されるピストン駆動式弁装置に関する。
[Detailed description of the invention] (a) Purpose of the invention [Technical field of the invention] The invention provides a valve device that drives a valve body with a piston;
In particular, the present invention relates to a piston-driven valve device used for controlling corrosive fluids such as chemical solutions.

〔従来技術とその問題点〕[Prior art and its problems]

第6図は従来のピストン駆動式弁装置の断面図
であり、ボデーBに形成された入口1と出口2と
の間が、弁孔3で連通し、弁室4中に弁体5が内
蔵されている。ボデーB上にはシリンダー6が装
着され、該シリンダー6の上端はヘツドカバー7
で密閉されている。シリンダー6に内蔵されたピ
ストン8に連結されたピストンロツド9の先端
に、前記弁体5が取り付けられている。
FIG. 6 is a sectional view of a conventional piston-driven valve device, in which an inlet 1 and an outlet 2 formed in a body B communicate through a valve hole 3, and a valve body 5 is built in a valve chamber 4. has been done. A cylinder 6 is mounted on the body B, and the upper end of the cylinder 6 is connected to a head cover 7.
is sealed. The valve body 5 is attached to the tip of a piston rod 9 connected to a piston 8 housed in the cylinder 6.

薬液などのような腐食性の流体を扱う弁装置で
は、図のようにベローズ10の先端に弁体5を一
体成型し、該ベローズ10でピストンロツド9の
弁室4中に露出する部分を覆う構成が採られてい
る。そしてベローズ10基端11は、ボデーBと
シリンダー6間に挟着固定されている。なおピス
トンロツド9の先端のネジ部12で弁体5との結
合がなされている。
In a valve device that handles corrosive fluids such as chemical solutions, a valve body 5 is integrally molded at the tip of a bellows 10 as shown in the figure, and the bellows 10 covers the portion of the piston rod 9 exposed in the valve chamber 4. is taken. The base end 11 of the bellows 10 is clamped and fixed between the body B and the cylinder 6. The piston rod 9 is connected to the valve body 5 through a threaded portion 12 at the tip thereof.

いまこの構成において、シリンダー6のピスト
ンロツド側の室13にポート14から圧力流体を
供給すると、ピストン8が復帰バネ15に抗して
押し上げられ、ピストンロツド9で弁体5が上昇
されて、弁孔3が開く。その結果、被制御流体が
入口1→弁孔3→弁室4→出口2の経路で通過す
る。なお弁体5の上限位置は、ピストン8がヘツ
ドカバー7の下端に突き当たるまで、距離Hだけ
移動することで規定される。ポート14を排出状
態にすると、復帰バネ15でピストン8が押し下
げられ、ピストンロツド9で弁体5を押し下げ
て、弁孔3が閉止される。
In this configuration, when pressure fluid is supplied from the port 14 to the chamber 13 on the piston rod side of the cylinder 6, the piston 8 is pushed up against the return spring 15, the valve body 5 is raised by the piston rod 9, and the valve hole 3 opens. As a result, the controlled fluid passes through the path of inlet 1 → valve hole 3 → valve chamber 4 → outlet 2. The upper limit position of the valve body 5 is defined by the piston 8 moving a distance H until it hits the lower end of the head cover 7. When the port 14 is brought into the discharge state, the piston 8 is pushed down by the return spring 15, and the valve body 5 is pushed down by the piston rod 9, so that the valve hole 3 is closed.

弁室4中を被制御流体が通過するので、ピスト
ンロツド9が腐食性の流体で腐食するのを防止す
るために、前記のようにピストンロツド9はベロ
ーズ10で覆われている。ところがピストン8や
ピストンロツド9が弁体の開閉動作の際の振動等
により回転することにより、次のような問題を引
き起こしている。
As the fluid to be controlled passes through the valve chamber 4, the piston rod 9 is covered with a bellows 10, as described above, in order to prevent the piston rod 9 from being corroded by corrosive fluids. However, the piston 8 and piston rod 9 rotate due to vibrations and the like during the opening and closing operations of the valve body, causing the following problems.

(1) ピストン8およびピストンロツド9の回転で
ベローズ10が緩み、ベローズ10のネジ部が
破損する。またその結果、ベローズ10がピス
トンロツド9に追従できず、ベローズ10がス
トロークHだけ上昇不能となり、弁孔3の開度
不充分で、流量が不足する。
(1) The bellows 10 becomes loose due to the rotation of the piston 8 and the piston rod 9, and the threaded portion of the bellows 10 is damaged. Further, as a result, the bellows 10 cannot follow the piston rod 9, and the bellows 10 cannot rise by the stroke H, resulting in insufficient opening of the valve hole 3 and insufficient flow rate.

(2) ピストン8およびピストンロツド9の回転
で、ベローズ10に過大な捻りモーメントがか
かり、ベローズ10の変形や損傷が激しく寿命
を低下させる。特に薬液などの腐食性流体を扱
う場合は、ベローズ10が破損すると、ピスト
ンロツド9を保護不可能となり、ベローズ10
の目的を達成できない。
(2) Due to the rotation of the piston 8 and the piston rod 9, an excessive twisting moment is applied to the bellows 10, causing severe deformation and damage to the bellows 10 and shortening its life. Particularly when handling corrosive fluids such as chemical solutions, if the bellows 10 is damaged, it becomes impossible to protect the piston rod 9, and the bellows 10
cannot achieve its purpose.

〔本考案の技術的課題〕[Technical issues of the present invention]

本考案の技術的課題は、従来のピストン駆動式
弁装置におけるこのような問題を解消し、ピスト
ンやピストンロツドが回転できないようにするこ
とで、流量不足やベローズの破損、変形を防止す
ることにある。
The technical problem of this invention is to solve these problems with conventional piston-driven valve devices and prevent the piston and piston rod from rotating, thereby preventing insufficient flow and damage or deformation of the bellows. .

(b) 考案の構成 〔考案の技術的手段〕 この技術的課題を解決するために講じた本考案
による技術的手段は、先端に弁体を備えたベロー
ズで、ピストンロツドの先端を覆い、該ピストン
ロツドに連結されたピストンで弁体を駆動する構
造の弁装置において、回り止め部材に開けられた
取り付け孔で回り止め部材をピストンないしピス
トンロツド側に取り付け、該回り止め部材の一端
をピストン側に折り曲げて該ピストンと係合さ
せ、他端はシリンダーのロツドカバー側に折り曲
げて該ロツドカバー側と係合させた構成になつて
いる。
(b) Structure of the invention [Technical means of the invention] The technical means of the invention taken to solve this technical problem is to cover the tip of the piston rod with a bellows equipped with a valve body at the tip, In a valve device that drives a valve body with a piston connected to The other end is bent toward the rod cover side of the cylinder and engaged with the rod cover side.

〔技術的手段の作用〕[Effect of technical means]

この技術的手段によれば、回り止め部材の一端
はピストンと係合しているので、ピストンに対し
回り止め部材は回動できない。また回り止め部材
の他端は、ロツドカバー部と係合しているので、
ロツドカバーに対し回り止め部材は回動できな
い。そのため、ピストンやピストンロツドに回転
力が発生しても、回り止め部材がピストンおよび
ロツドカバーに対し回転不能なため、ピストンや
ピストンロツドはロツドカバー側に対し回転する
ことができない。
According to this technical means, one end of the detent member is engaged with the piston, so that the detent member cannot rotate relative to the piston. In addition, the other end of the rotation prevention member is engaged with the rod cover part, so
The anti-rotation member cannot rotate relative to the rod cover. Therefore, even if a rotational force is generated in the piston or the piston rod, the rotation preventing member cannot rotate with respect to the piston or the rod cover, so the piston or the piston rod cannot rotate with respect to the rod cover.

回り止め部材は、ピストン側に固定されている
ので、該回り止め部材も一緒に移動し、ロツドカ
バー側の折り曲げ部がロツドカバーの係合部と摺
動する。
Since the rotation prevention member is fixed to the piston side, the rotation prevention member also moves together, and the bent portion on the rod cover side slides on the engagement portion of the rod cover.

〔考案の実施例〕[Example of idea]

次に本考案による回り止め機構付き弁装置が実
際上どのように具体化されるかを実施例で説明す
る。第1図は本考案による回り止め機構付き弁装
置の実施例を示す縦断面図であり、第6図の従来
例と同じ部分には同一符号が付されている。第2
図は同弁装置の要部拡大断面図、第3図は第2図
のA−A断面図、第4図は第2図のB−B断面図
である。
Next, how the valve device with a detent mechanism according to the present invention is actually implemented will be explained using examples. FIG. 1 is a longitudinal cross-sectional view showing an embodiment of a valve device with a detent mechanism according to the present invention, and the same parts as in the conventional example shown in FIG. 6 are given the same reference numerals. Second
The figure is an enlarged cross-sectional view of a main part of the valve device, FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 2, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line B-B in FIG. 2.

16は板材から成る回り止め部材であり、中央
に取り付け孔17が開けられ、一端は上方すなわ
ちピストン8側に折り曲げられている。他端は逆
に下側すなわちロツドカバー部61側に折り曲げ
られている。一方ピストン8のロツドカバー部6
1側の面には、回り止め部材16の前記折り曲げ
片18が嵌入する孔19が形成され、ロツドカバ
ー部61には、前記折り曲げ片20が係合するよ
うに平坦な面取りがなされている。すなわちシリ
ンダー6のロツドカバー部61側の室13とポー
ト14との連通路を形成するために、ロツドカバ
ー部61のピストン8側の面に環状の凹溝62が
形成され、この凹溝62を介してポート14と連
通している。この凹溝62の内側の円筒状部63
の外面を部分的に面取りを行つて平坦部64を形
成している。そして前記折り曲げ片20は、この
平坦部64に密着するように折り曲げられてい
る。
Reference numeral 16 denotes a rotation preventing member made of a plate material, with a mounting hole 17 opened in the center and one end bent upward, that is, toward the piston 8 side. The other end is bent downward, that is, toward the rod cover portion 61. On the other hand, the rod cover part 6 of the piston 8
A hole 19 into which the bent piece 18 of the detent member 16 fits is formed on the first side surface, and a flat chamfer is formed on the rod cover portion 61 so that the bent piece 20 is engaged therewith. That is, in order to form a communication path between the chamber 13 on the rod cover section 61 side of the cylinder 6 and the port 14, an annular groove 62 is formed on the surface of the rod cover section 61 on the piston 8 side. It communicates with port 14. Cylindrical portion 63 inside this groove 62
A flat portion 64 is formed by partially chamfering the outer surface of the plate. The bent piece 20 is bent so as to come into close contact with this flat portion 64.

ピストンロツド9には、ピストン8との連結の
ためにネジ棒91が設けられ、このネジ棒91を
ピストン8の中央の孔に挿通し、ナツト21で締
め付けることでピストン8に固定される。本実施
例では、このネジ棒91を回り止め部材16の取
り付け孔17に挿通し、回り止め部材16をピス
トンロツド9とピストン8との間に挟着してい
る。このとき、予め回り止め部材16の上向き折
り曲げ片18はピストン8の孔19に嵌入させ、
下向き折り曲げ片20はロツドカバー部61の平
坦部643に係合させておく。
The piston rod 9 is provided with a threaded rod 91 for connection with the piston 8, and is fixed to the piston 8 by inserting the threaded rod 91 into a hole in the center of the piston 8 and tightening it with a nut 21. In this embodiment, this threaded rod 91 is inserted into the mounting hole 17 of the rotation prevention member 16, and the rotation prevention member 16 is sandwiched between the piston rod 9 and the piston 8. At this time, the upwardly bent piece 18 of the detent member 16 is fitted into the hole 19 of the piston 8 in advance,
The downwardly bent piece 20 is engaged with the flat part 643 of the rod cover part 61.

このような構成においては、上向き折り曲げ片
18が孔19に嵌入することで、回り止め部材1
6はピストン8に対して回動不能となり、下向き
折り曲げ片20がロツドカバー部61の平坦部6
4に係合していることで、回り止め部材16はロ
ツドカバー部61に対しても回動不能となる。そ
のため、弁体の開閉動作時の振動でピストン8や
ピストンロツド9が回転しようとしても、回り止
め部材16を介してロツドカバー部61側に係止
されていることにより、ピストン8やピストンロ
ツド9は回動できない。
In such a configuration, by fitting the upwardly bent piece 18 into the hole 19, the detent member 1
6 becomes unrotatable with respect to the piston 8, and the downwardly bent piece 20 is attached to the flat part 6 of the rod cover part 61.
4, the rotation preventing member 16 becomes unrotatable with respect to the rod cover portion 61 as well. Therefore, even if the piston 8 and the piston rod 9 try to rotate due to vibrations during the opening and closing operations of the valve body, the piston 8 and the piston rod 9 will not rotate because they are locked to the rod cover part 61 via the rotation prevention member 16. Can not.

なおピストン8がストロークHだけ上昇して
も、回り止め部材16の下向き折り曲げ片20が
平坦部64から離脱しないように、該下向き折り
曲げ片20は充分長くなつており、また凹溝62
もそれに応じて充分深くなつている。
Note that even if the piston 8 moves up by the stroke H, the downwardly bent piece 20 of the detent member 16 is sufficiently long so that it does not separate from the flat portion 64, and the concave groove 62
It is correspondingly deep enough.

第5図は本考案による回り止め機構付き弁装置
と従来の弁装置との耐久試験データを示すもの
で、イは従来の弁装置の特性を示し、ロは本考案
による回り止め機構付き弁装置の特性を示してい
る。イ,ロともそれぞれ5個のサンプルについて
試験した結果で、本考案による回り止め機構付き
弁装置では、300万回以上の動作後も異常は発生
していないが、従来の弁装置では、3個について
ベローズの破損や流量不足などの異常が発生して
いる。
Figure 5 shows the durability test data of the valve device with a detent mechanism according to the present invention and a conventional valve device, where A shows the characteristics of the conventional valve device, and B shows the valve device with a detent mechanism according to the present invention. It shows the characteristics of The results of testing on 5 samples each for both A and B show that the valve device with a detent mechanism according to the present invention did not exhibit any abnormality even after more than 3 million operations, but the conventional valve device had 3 Abnormalities such as bellows damage and insufficient flow have occurred.

(c) 考案の効果 以上のように本考案によれば、ピストンないし
ピストンロツドとロツドカバー部側との間に回り
止め部材が介在し、回り止め部材とピストン側お
よびロツドカバー部側がそれぞれ係合し、相互に
回転方向の移動ができないように規正されてい
る。そのため弁体の開閉動作時の振動などでピス
トンやピストンロツドに回転力が作用しても、ピ
ストン側がロツドカバー側に回り止め部材を介し
て係止されていることで、ピストンロツド側は回
動不能となり、ピストンロツド先端を覆つている
ベローズの変形や損傷が防止され、ベローズの寿
命が長くなると共に、ベローズの異常による流量
不足などの問題が解消される。またピストン8や
ピストンロツド9が回転すると、ピストン8の外
周のOリングなどのパツキン22やピストンロツ
ド9の外周のパツキン23が捻れて損傷し易い
が、本考案によりピストン8やピストンロツド9
が回転不能となることで、これらのパツキンも長
寿命となる。
(c) Effect of the invention As described above, according to the invention, the rotation prevention member is interposed between the piston or piston rod and the rod cover side, and the rotation prevention member and the piston side and the rod cover side respectively engage with each other, so that they are mutually engaged. It is regulated so that movement in the rotational direction is not possible. Therefore, even if rotational force is applied to the piston or piston rod due to vibrations when the valve body opens and closes, the piston rod will not be able to rotate because the piston side is locked to the rod cover side via the anti-rotation member. This prevents deformation and damage to the bellows covering the tip of the piston rod, prolongs the life of the bellows, and eliminates problems such as insufficient flow due to bellows abnormalities. Furthermore, when the piston 8 and the piston rod 9 rotate, the packing 22 such as the O-ring on the outer periphery of the piston 8 and the packing 23 on the outer periphery of the piston rod 9 are likely to be twisted and damaged.
Since they cannot rotate, these gaskets also have a long lifespan.

また軸方向の移動を許容し回転を制限する手段
としてキーが使用されるが、ピストン駆動の弁装
置では、キーを使用するとシールが困難になる。
ところが本考案のような折り曲げ回り止め部材を
使用すれば、シール部と関係なしに回り止めが可
能となり、かつ簡単な構造で実現できる。
A key is also used as a means to permit axial movement and limit rotation, but in a piston-driven valve system, the use of a key makes sealing difficult.
However, by using the folding anti-rotation member of the present invention, it becomes possible to prevent rotation regardless of the seal portion, and it can be realized with a simple structure.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本考案による回り止め機構付き弁装置
の実施例を示す縦断面図、第2図は同弁装置の要
部拡大断面図、第3図は第2図のA−A断面図、
第4図は第2図のB−B断面図、第5図は従来の
弁装置と本考案による回り止め機構付き弁装置の
特性を比較する図、第6図は従来の弁装置を示す
縦断面図である。 図において、5は弁体、6はシリンダー、61
はロツドカバー部、62は環状の凹溝、63は筒
状部、64は平坦部、8はピストン、9はピスト
ンロツド、91はネジ棒、10はベローズ、16
は回り止め部材、17は取り付け孔、18,20
は折り曲げ片、19は孔をそれぞれ示す。
FIG. 1 is a vertical sectional view showing an embodiment of a valve device with a detent mechanism according to the present invention, FIG. 2 is an enlarged sectional view of the main part of the valve device, and FIG. 3 is a sectional view taken along line AA in FIG. 2.
Fig. 4 is a sectional view taken along line B-B in Fig. 2, Fig. 5 is a diagram comparing the characteristics of a conventional valve device and a valve device with a detent mechanism according to the present invention, and Fig. 6 is a vertical cross-sectional view showing the conventional valve device. It is a front view. In the figure, 5 is a valve body, 6 is a cylinder, 61
is a rod cover part, 62 is an annular groove, 63 is a cylindrical part, 64 is a flat part, 8 is a piston, 9 is a piston rod, 91 is a threaded rod, 10 is a bellows, 16
17 is a rotation prevention member, 17 is a mounting hole, 18, 20
19 indicates a bent piece, and 19 indicates a hole.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 先端に弁体を備えたベローズで、ピストンロツ
ドの先端を覆い、該ピストンロツドに連結された
ピストンで弁体を駆動する構造の弁装置におい
て、回り止め部材に開けられた取り付け孔で回り
止め部材をピストンないしピストンロツド側に取
り付け、該回り止め部材の一端をピストン側に折
り曲げて該ピストンと係合させ、他端はシリンダ
ーのロツドカバー側に折り曲げて該ロツドカバー
側と係合させてなる回り止め機構付き弁装置。
In a valve device having a structure in which a bellows with a valve body at the tip covers the tip of a piston rod and a piston connected to the piston rod drives the valve body, the rotation prevention member is attached to the piston using a mounting hole drilled in the rotation prevention member. Or a valve device with a detent mechanism attached to the piston rod side, with one end of the detent member bent toward the piston and engaged with the piston, and the other end bent toward the rod cover of the cylinder and engaged with the rod cover. .
JP10345084U 1984-07-09 1984-07-09 Valve device with anti-rotation mechanism Granted JPS6119183U (en)

Priority Applications (1)

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JP10345084U JPS6119183U (en) 1984-07-09 1984-07-09 Valve device with anti-rotation mechanism

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JPS6119183U JPS6119183U (en) 1986-02-04
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JP4364036B2 (en) * 2004-03-30 2009-11-11 大日本スクリーン製造株式会社 Single-acting air cylinder valve and substrate processing apparatus having the same
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