JPH0244191U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0244191U JPH0244191U JP12350588U JP12350588U JPH0244191U JP H0244191 U JPH0244191 U JP H0244191U JP 12350588 U JP12350588 U JP 12350588U JP 12350588 U JP12350588 U JP 12350588U JP H0244191 U JPH0244191 U JP H0244191U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- flange
- bakeable
- aluminum alloy
- ring member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 claims 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Flanged Joints, Insulating Joints, And Other Joints (AREA)
Description
第１図は本考案に係わるベーカブルフランジの
一実施例を示す縦断側面図、第２図は他の実施例
を示す縦断側面図、第３図は従来のベーカブルフ
ランジを示す縦断側面図である。 １または１′……アルミニウム合金製フランジ
、２または２′……シールリング部材、３または
３′……真空シール接合部。
一実施例を示す縦断側面図、第２図は他の実施例
を示す縦断側面図、第３図は従来のベーカブルフ
ランジを示す縦断側面図である。 １または１′……アルミニウム合金製フランジ
、２または２′……シールリング部材、３または
３′……真空シール接合部。
Claims (1)
- 真空機器、真空系配管等に設けたアルミニウム
合金製フランジのガスケツト接触面側に硬質のシ
ールリング部材を溶接、接着等により真空シール
接合したことを特徴とするベーカブルフランジ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12350588U JPH0244191U (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12350588U JPH0244191U (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0244191U true JPH0244191U (ja) | 1990-03-27 |
Family
ID=31372424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12350588U Pending JPH0244191U (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0244191U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011094778A (ja) * | 2009-11-02 | 2011-05-12 | Ulvac Japan Ltd | フランジ及びフランジの製造方法 |
-
1988
- 1988-09-22 JP JP12350588U patent/JPH0244191U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011094778A (ja) * | 2009-11-02 | 2011-05-12 | Ulvac Japan Ltd | フランジ及びフランジの製造方法 |
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