JPH0241889A - Clean robot - Google Patents
Clean robotInfo
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 7
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
- B25J19/0075—Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa
- B25J19/0079—Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa using an internal pressure system
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的コ
（産業上の利用分野）
本発明はクリーンルーム内などで作業を行うための作業
用ロボットに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention (Field of Industrial Application) The present invention relates to a working robot for working in a clean room or the like.
（従来の技術）
従来、クリーンルームで作業を行うロボットには発塵を
防ぐ対策が必要であるが、これまでのクリーンロボット
は、従来の産業用ロボットに防塵対策を施したようなも
のが多かった。このような追加された防塵対策の設備の
ため、設置面積を広くとってしまいクリーンルームとい
う限られた空間に適さなくなるという不具合が生じてい
た。(Conventional technology) Conventionally, robots working in clean rooms have required measures to prevent dust generation, but many of the clean robots to date have been similar to conventional industrial robots with dust-proof measures. . The added dust-proofing equipment requires a large installation area, making it unsuitable for the limited space of a clean room.
このような防塵対策としては、ロボット本体の発刑部位
の近傍に吸引機構を設けたり、発塵部を取り囲むカバー
を設けたうえで吸引機構を設け、カバーの隙間より塵が
流失しないようにしていた。As dust prevention measures, a suction mechanism is installed near the execution area of the robot body, or a suction mechanism is installed on a cover that surrounds the dust generating area to prevent dust from escaping through the gaps in the cover. Ta.
また、吸引された空気はフィルタを介して塵を除去して
からクリーンルーム内に排気するか、クリーンルーム外
に吸引・排気していた。In addition, the sucked air is either filtered to remove dust and then exhausted into the clean room, or sucked and exhausted outside the clean room.
また、制御装置はロボット本体とは別に設置するため、
制御装置用の防塵対策を別に必要としていた。この対策
としては、排気用ファンを床面に向けて設置したり、制
御装置を筐体で密封し、装置の加熱を防ぐため冷却用フ
ァンで筐体内の空気を循環させ、筐体表面から放熱する
ようにしていた。In addition, since the control device is installed separately from the robot body,
Separate dust-proofing measures were required for the control equipment. Countermeasures include installing an exhaust fan facing the floor, sealing the control device in the case, and using a cooling fan to circulate the air inside the case to prevent the device from overheating, dissipating heat from the surface of the case. I was trying to do that.
（発明が解決しようとする課題）
上述のようなりリーンロボットの構成では、防塵機構の
排気パイプの設置のためクリーンロボットの移動・再設
置が困難になり、クリーンルーム内のレイアウト変更に
支障を生じることとなった。(Problems to be Solved by the Invention) In the lean robot configuration as described above, the installation of the exhaust pipe of the dust-proof mechanism makes it difficult to move and reinstall the clean robot, which poses a problem in changing the layout in the clean room. It became.
また、制御装置にしても筐体を密閉するには、その表面
より熱交換を行うだけの表面積が必要になり、そのため
筐体表面をフィン状にしたり、表面積を大きくするため
に筐体自身を大きく形成するようにしていた。そのため
、小さな制御装置本体に対して非常に大きな筐体を設け
なければならず、クリーンルームという限られた空間の
中で非常に不合理な設計であるといえた。In addition, in order to seal the casing of a control device, a surface area sufficient for heat exchange is required from the surface of the casing, so the surface of the casing is made into a fin shape, or the casing itself is made to have a fin-like shape to increase the surface area. I tried to make it bigger. Therefore, it was necessary to provide a very large casing for the small control device main body, which was an extremely unreasonable design given the limited space of a clean room.
本発明は」二連のような不都合を解決し、クリーンルー
ム内の限られた空間を有効に活用可能なりリーンロボッ
トを提供する。The present invention solves the inconvenience of "double robot" and provides a lean robot that can effectively utilize the limited space in a clean room.
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
クリーンルーム内で作業を行うクリーンロボットにおい
て、制御装置上に作業用ロボットを一体的に構成し、こ
の作業用ロボットおよび制御装置内部の空気の流れを作
業用ロボット上部の隙間から吸入し、クリーンロボット
全体の下部より排気するように設けたクリーンロボット
である。[Structure of the invention] (Means for solving the problem) In a clean robot that works in a clean room, a working robot is integrally configured on a control device, and air flow inside the working robot and the control device is controlled. This is a clean robot designed to suck in air through the gap at the top of the working robot and exhaust it from the bottom of the entire clean robot.
（作用）
上述のようにクリーンロボットを構成すると、ロボット
本体の防塵対策と制御装置の冷却及び防塵対策の３つの
機能を同時に持たせることができる。さらに、ロボット
全体の設置面積を小さくできる。(Function) By configuring the clean robot as described above, it is possible to simultaneously provide the three functions of dustproofing the robot body and cooling and dustproofing the control device. Furthermore, the installation area of the entire robot can be reduced.
すなわち、第１の作用効果としてクリーンロボット内部
で塵が発塵しても内部の上から下への空気の流れにした
がって作業用ロボット及び制御装置筐体の内部を通り、
クリーンロボット本体の下部より排気されるので、クリ
ーンルーム内部に塵が飛散するのを防ぐことができる。That is, as a first effect, even if dust is generated inside the clean robot, it passes through the work robot and the control device housing according to the air flow from top to bottom inside.
Since the exhaust is exhausted from the bottom of the clean robot body, it is possible to prevent dust from scattering inside the clean room.
また、制御装置上部に作業用ロボットを設けたことによ
り、作業用ロボットの発塵を作業用ロボット上部に設け
た隙間より吸引することができる。さらに、クリーンロ
ボット本体の下部から空気を排気するようにしたことで
、クリーンルーム自身の防塵機構を用いて塵を処理する
ことができる。そのため、クリーンロボットの移動・再
配置が容易になっている。Furthermore, by providing the working robot above the control device, dust generated by the working robot can be sucked through the gap provided above the working robot. Furthermore, by exhausting air from the bottom of the clean robot body, dust can be disposed of using the clean room's own dustproof mechanism. This makes it easy to move and relocate the clean robot.
また、床面に室内の空気の吸引設備が設置されていない
場合は、排気ダクトによる室外への排気も可能である。In addition, if indoor air suction equipment is not installed on the floor, exhaust can be exhausted to the outside using an exhaust duct.
第２の作用効果として制御装置内部の空気の流れにより
制御装置の冷却を行うことができる。これは空気の流れ
が熱交換を行った空気をクリーンロボット本体下部より
排気しているので、従来の筐体を密封したクリーンロボ
ットのように、熱交換のために筐体を必要以上に大きく
したり、筐体外部をフィン状に形成する必要を無くすと
いう効果も生じさせている。As a second effect, the control device can be cooled by the air flow inside the control device. This is because the air that has undergone heat exchange is exhausted from the bottom of the clean robot body, so unlike conventional clean robots with sealed housings, the housing is larger than necessary for heat exchange. This also has the effect of eliminating the need to form the outside of the casing into a fin shape.
（実施例） 以下に本発明の一実施例を図面を用い゛Ｃ説明する。(Example) An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第１図は本実施例の構成図である。作業用ロボット（１
）を移動させる移動機構（２）とが設けられている。こ
の移動機構（２）の下方にはこの作業用ロボット（１）
と移動機構（２）とを制御する制御装置（３）が設けら
れ、各被制御体に接続されている。FIG. 1 is a configuration diagram of this embodiment. Work robot (1
) is provided. Below this moving mechanism (2) is this working robot (1).
A control device (3) for controlling the movement mechanism (2) and the movement mechanism (2) is provided, and is connected to each controlled object.
この制御装置（３）は筐体（４）内部に固定支持されて
おり、筐体（４）はその上部に移動機構（２）を載置し
ている。さらに、筐体（４）上面と移動機構（２）下面
とにおいて両者は空間的に接続されており、両者の接続
部は密着されている。制御装置（３）の上方には筐体（
４）により保持された冷却用ファン（５）が設置され、
図示しない制御装置（３）の電源が入ると同時に作動す
るように接続されている。This control device (3) is fixedly supported inside a casing (4), and the casing (4) has a moving mechanism (2) mounted on its upper part. Further, the upper surface of the casing (4) and the lower surface of the moving mechanism (2) are spatially connected to each other, and the connecting portions thereof are in close contact with each other. Above the control device (3) is a housing (
A cooling fan (5) held by 4) is installed,
It is connected so that it operates at the same time as the power of a control device (3) (not shown) is turned on.
また、筐体（４）下部は吹抜けになっており、筐体（４
）下部全面が排気用の通気孔となっている。In addition, the lower part of the housing (4) has an open ceiling, and the lower part of the housing (4) has an open ceiling.
) The entire lower part is a ventilation hole for exhaust.
以下に本実施例の作用を説明する。制御装置（３）の図
示しない電源を入れると同時に冷却用ファン（５）が作
動を開始する。この冷却用ファン（５）が作動を開始す
ると、図中矢印で空気の流れを示したように移動機構（
２）内部の空気を取り込み、制御装置（３）を冷却する
。空気を取り込まれた移動機構（２）内部は負圧を生じ
ることとなり、このため作業用ロボット本体（１）移動
用の隙間穴（６）より外部の空気を流入することになる
。また、クリーンロボット内の空気の流れは制御装置（
３）を冷却し筐体（４）下部の通気孔より排気される。The operation of this embodiment will be explained below. The cooling fan (5) starts operating at the same time as the power (not shown) of the control device (3) is turned on. When this cooling fan (5) starts operating, the moving mechanism (
2) Take in internal air and cool the control device (3). Negative pressure will be generated inside the moving mechanism (2) that has taken in the air, and for this reason, external air will flow in through the moving gap hole (6) of the working robot body (1). In addition, the air flow inside the clean robot is controlled by a control device (
3) is cooled and exhausted from the ventilation hole at the bottom of the housing (4).
ここで移動機構（２）を作動させた場合、移動機構（２
）内で作業用ロボット（１）が摺動する度に発塵する塵
は冷却ファンの起こす空気の流れにより筐体（４）内部
に取り入れられ、筐体（４）外部に排気されることとな
る。If the moving mechanism (2) is activated here, the moving mechanism (2)
) The dust generated every time the working robot (1) slides inside the housing (4) is taken into the housing (4) by the air flow generated by the cooling fan, and is exhausted to the outside of the housing (4). Become.
このとき作業用ロボット本体（１）からの発塵をクリー
ンロボット内に吸引することができるが、作業用ロボッ
ト本体（１）の排気機構については、本発明とは別に独
自の防塵機構を有していてもよい。しかし、そのような
場合はクリーンロボットの設置効率や構成などを考慮に
いれれば、作業用ロボット本体（１）で発塵した塵を吸
気した空気を移動機構（２）または筐体（４）内部に排
気するように排気口を設けた方が効率的であろう。At this time, the dust generated from the work robot body (1) can be sucked into the clean robot, but the exhaust mechanism of the work robot body (1) has a unique dust-proof mechanism separate from the present invention. You can leave it there. However, in such a case, if the installation efficiency and configuration of the clean robot are taken into consideration, it is necessary to transfer the air that has taken in the dust generated by the work robot body (1) to the moving mechanism (2) or inside the housing (4). It would be more efficient to provide an exhaust port to exhaust the air.
以下に本発明の第２の実施例を図面を用いて示す。A second embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
基本的な構成は第１の実施例と同じであるが、制御装置
（２）の構成の関係で排気用の通気孔を大きく設けるこ
とができなかった。そこで第１の実施例のような筐体（
４）の下部全面を通気孔にする代りに、筐体（４）下部
の一部に通気孔を設け、この通気孔に排気用ファン（７
）を設けたものである。Although the basic configuration is the same as the first embodiment, it was not possible to provide a large exhaust vent due to the configuration of the control device (2). Therefore, a case like the first embodiment (
Instead of making the entire lower part of the housing (4) a ventilation hole, a ventilation hole is provided in a part of the lower part of the housing (4), and an exhaust fan (7) is installed in this ventilation hole.
).
第２の実施例の作用も第１の実施例と基本的には同様で
あるが、通気孔が一箇所であるので、排気用ファン（７
）により強制的に空気の流れを通気孔に向けて作り出し
ている。また、排気用ファンに防塵フィルタを取付け、
塵をクリーンルームないに出さないようにしてもよい。The operation of the second embodiment is basically the same as that of the first embodiment, but since there is only one ventilation hole, an exhaust fan (7
) creates a forced air flow towards the vents. In addition, a dust filter is attached to the exhaust fan,
Dust may be kept out of the clean room.
上述の第１および第２の実施例のように上から下への空
気の流れをクリーンロボット内部に作り出すことにより
、クリーンルーム内の空気の流れと一致させ、発塵した
塵をクリーンルーム床面に排気することができ、簡単な
構成により容易に発塵した塵がクリーンルーム内部に飛
散することを防ぐことができる。By creating an air flow from top to bottom inside the clean robot as in the first and second embodiments described above, the generated dust can be exhausted to the clean room floor by matching the air flow inside the clean room. This simple configuration can prevent easily generated dust from scattering inside the clean room.
［発明の効果］
上述のようにクリーンロボットを構成することにより、
従来のクリーンロボットの課題であった防塵機構のため
の移動・再配置の困難や装置自身の大きさ、設置面積、
形状などの問題を解決し、容易に移動・設置可能な、か
つ小面積のクリーンロボットを構成することができる。[Effect of the invention] By configuring the clean robot as described above,
Issues with conventional clean robots include the difficulty of moving and relocating the dust-proof mechanism, the size of the device itself, the installation area,
By solving problems such as shape, it is possible to construct a clean robot that can be easily moved and installed and has a small area.
第１図および第２図は本発明のクリーンロボットの構成
を示す構成図である。
１・・・作業用ロボット、 ２・・・移動機構、３・
・・制御装置、 ４・・・筐体、５・・・冷却
用ファン、 ６・・・隙間穴、７・・・排気用フ
ァンFIG. 1 and FIG. 2 are configuration diagrams showing the configuration of a clean robot according to the present invention. 1... Working robot, 2... Movement mechanism, 3...
...Control device, 4...Housing, 5...Cooling fan, 6...Gap hole, 7...Exhaust fan
Claims (1)
て、制御装置上に作業用ロボットを一体的に構成し、こ
の作業用ロボットおよび制御装置内部の空気の流れを作
業用ロボット上部の隙間から吸入し、クリーンロボット
全体の下部より排気するように設けたことを特徴とする
クリーンロボット。In a clean robot that works in a clean room, the work robot is integrally configured on the control device, and the air flow inside the work robot and the control device is sucked in through the gap at the top of the work robot, and the entire clean robot is A clean robot characterized by being configured to exhaust air from the bottom of the robot.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP63188008A JP2604012B2 (en) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | Clean robot |
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| JPH0241889A true JPH0241889A (en) | 1990-02-13 |
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ID=16216029
Family Applications (1)
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| JP63188008A Expired - Fee Related JP2604012B2 (en) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | Clean robot |
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