JPH0238734U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0238734U JPH0238734U JP11767388U JP11767388U JPH0238734U JP H0238734 U JPH0238734 U JP H0238734U JP 11767388 U JP11767388 U JP 11767388U JP 11767388 U JP11767388 U JP 11767388U JP H0238734 U JPH0238734 U JP H0238734U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellets
- ring
- rotary index
- index table
- optical sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Description
図は本考案の実施例を示し、第１図は、全体の
構成を示す斜視図、第２図乃至第４図は、一連の
動作を示す部分断面正面図、第５図乃至第７図は
、一連の動作を示す平面図、第８図は電気的構成
を示すブロツク図、第９図は、ＣＰＵによる一連
の動作を示すフローチヤートである。 ２……ロータリーインデツクステーブル、３…
…リングホルダ、４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ……ウ
エハーリング、５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ……ペレ
ツト、６……粘着シート、８……反射型光センサ
（光センサ）、９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄ……リン
グ種類識別記号、１０……Ｘ―Ｙテーブル、１１
……ニードル、１５……吸着コレツト、２０……
制御装置。
構成を示す斜視図、第２図乃至第４図は、一連の
動作を示す部分断面正面図、第５図乃至第７図は
、一連の動作を示す平面図、第８図は電気的構成
を示すブロツク図、第９図は、ＣＰＵによる一連
の動作を示すフローチヤートである。 ２……ロータリーインデツクステーブル、３…
…リングホルダ、４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ……ウ
エハーリング、５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ……ペレ
ツト、６……粘着シート、８……反射型光センサ
（光センサ）、９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄ……リン
グ種類識別記号、１０……Ｘ―Ｙテーブル、１１
……ニードル、１５……吸着コレツト、２０……
制御装置。
Claims (1)
- ウエハーリングを嵌合するリングホルダを複数
個配備したロータリーインデツクステーブルと、
前記ウエハーリングに張られた粘着シートに付着
したペレツトと、前記ロータリーインデツクステ
ーブルを所定の位置に移動させるＸ―Ｙテーブル
と、前記粘着シートからペレツトを突き上げるニ
ードルと、突き上げられたペレツトを吸着するコ
レツトと、前記各リングホルダに付されたリング
種類識別記号を読み取るべく前記ロータリーイン
デツクステーブルに配置された光センサと、前記
光センサからの識別信号に基づき、Ｘ―Ｙテーブ
ルの移動限界を定める制御装置とを備えたダイボ
ンデイング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11767388U JPH0238734U (ja) | 1988-09-07 | 1988-09-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11767388U JPH0238734U (ja) | 1988-09-07 | 1988-09-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0238734U true JPH0238734U (ja) | 1990-03-15 |
Family
ID=31361338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11767388U Pending JPH0238734U (ja) | 1988-09-07 | 1988-09-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0238734U (ja) |
-
1988
- 1988-09-07 JP JP11767388U patent/JPH0238734U/ja active Pending
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