JPH0238092U - - Google Patents

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JPH0238092U
JPH0238092U JP11469188U JP11469188U JPH0238092U JP H0238092 U JPH0238092 U JP H0238092U JP 11469188 U JP11469188 U JP 11469188U JP 11469188 U JP11469188 U JP 11469188U JP H0238092 U JPH0238092 U JP H0238092U
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helium
line
gas
pressure
valve
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の実施例にかかるヘリウム液化
冷凍装置のフローシート、第２図は従来装置のフ
ローシートである。 １……コンプレツサ、２……気液分離器、３…
…コールドボツクス、４〜８……熱交換器、９…
…高圧ヘリウムライン、１０……低圧ヘリウムラ
イン、１１，１２……膨張ライン、１３，１４…
…膨張機、２３……ＪＴ弁、２４……低圧ライン
弁、２６……予冷バイパス弁、２３ａ，２４ａ，
２６ａ……各弁の弁駆動機構、２５……予冷バイ
パス弁、２７……温度センサとしての温度スイツ
チ、２８……各弁駆動機構に作動信号を出力する
コントローラ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ヘリウムガスを圧縮して高圧化させるコンプレ
    ツサと、ヘリウムガスを液化させる気液分離器と
    、複数の熱交換器と、これら熱交換器を通つて上
    記コンプレツサと気液分離器とを接続する高圧お
    よび低圧両ヘリウムラインと、高圧ヘリウムライ
    ンの途中から分岐させたヘリウムガスを膨張させ
    低温化させて低圧ヘリウムラインに送る膨張機を
    備えた膨張ラインと、予冷運転時に高圧ヘリウム
    ラインにおける熱交換器通過後のヘリウムガスを
    上記低圧ヘリウムラインを迂回してコンプレツサ
    の吸入側に戻す予冷バイパスラインと、上記高圧
    ラインにおける上記気液分離器の入口部分でヘリ
    ウムガスを膨張、液化させるジユール・トムソン
    弁と、上記低圧ヘリウムラインを気液分離器の出
    口部分で開閉する低圧ライン弁と、上記予冷バイ
    パスラインを開閉する予冷バイパス弁とを具備し
    、上記ジユール・トムソン弁、低圧ライン弁、予
    冷バイパス弁はそれぞれ弁駆動機構を備えた自動
    操作弁として構成され、かつ、上記ジユール・ト
    ムソン弁の入口側ガス温度を検出しこの検出温度
    に基づいて上記各弁の弁駆動機構を作動制御する
    温度センサが設けられてなることを特徴とするヘ
    リウム液化冷凍装置。
JP11469188U 1988-08-31 1988-08-31 Pending JPH0238092U (ja)

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59147974A (ja) * 1983-02-14 1984-08-24 株式会社　ほくさん Ｈｅガスの液化装置
JPS61202073A (ja) * 1985-03-01 1986-09-06 株式会社神戸製鋼所 Ｈｅ液化機の起動方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59147974A (ja) * 1983-02-14 1984-08-24 株式会社　ほくさん Ｈｅガスの液化装置
JPS61202073A (ja) * 1985-03-01 1986-09-06 株式会社神戸製鋼所 Ｈｅ液化機の起動方法

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