JPH0236603U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0236603U JPH0236603U JP11497888U JP11497888U JPH0236603U JP H0236603 U JPH0236603 U JP H0236603U JP 11497888 U JP11497888 U JP 11497888U JP 11497888 U JP11497888 U JP 11497888U JP H0236603 U JPH0236603 U JP H0236603U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- displacement
- minute
- thin portion
- actuator according
- output part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 12
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Actuator (AREA)
- Fluid-Pressure Circuits (AREA)
Description
添付の図面は本考案実施の一例を説明する図で
、第１図はアクチユエータ本体の薄肉部分がダイ
ヤフラムである場合の正面図、第２図はその側面
図、第３図はアクチユエータ本体の薄肉部分を変
位筒をもつて構成した場合の正面図、第４図はそ
の側面図であつて、ともに微少変位を差動トラン
スで検出し、その操作システムにはクローズドシ
ステムを適用した場合である。 １…アクチユエータ本体、２…ダイヤフラム、
３…変位出力部、４…底板、５…差動トランス、
６…フエライトコア、７…コアホルダー、８…連
結子、９…アクチユエータ本体、１０…変位筒、
１１…変位出力部。
、第１図はアクチユエータ本体の薄肉部分がダイ
ヤフラムである場合の正面図、第２図はその側面
図、第３図はアクチユエータ本体の薄肉部分を変
位筒をもつて構成した場合の正面図、第４図はそ
の側面図であつて、ともに微少変位を差動トラン
スで検出し、その操作システムにはクローズドシ
ステムを適用した場合である。 １…アクチユエータ本体、２…ダイヤフラム、
３…変位出力部、４…底板、５…差動トランス、
６…フエライトコア、７…コアホルダー、８…連
結子、９…アクチユエータ本体、１０…変位筒、
１１…変位出力部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 密閉容器の一部に変位出力部を備えた薄肉
部分を形成し、その内部を流体圧をもつて加圧す
ることによる変位出力部の変位量をもつてテーブ
ル等の位置決め等を行うことを特徴とする微少変
位のアクチユエータ。 (2) 薄肉部分がダイヤフラムである請求項１記
載の微少変位のアクチユエータ。 (3) 薄肉部分が変位筒を構成する請求項１記載
の微少変位のアクチユエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11497888U JPH0236603U (ja) | 1988-09-02 | 1988-09-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11497888U JPH0236603U (ja) | 1988-09-02 | 1988-09-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0236603U true JPH0236603U (ja) | 1990-03-09 |
Family
ID=31356216
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11497888U Pending JPH0236603U (ja) | 1988-09-02 | 1988-09-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0236603U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010196844A (ja) * | 2009-02-26 | 2010-09-09 | Psc Kk | 微小変位出力装置 |
| JP2014199106A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | 住友重機械工業株式会社 | 微動アクチュエータ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61197806A (ja) * | 1984-12-10 | 1986-09-02 | ベルトルト ダイムラ− | 長さを弾性的に可変とした伸長シリンダ− |
| JPS61252906A (ja) * | 1985-04-30 | 1986-11-10 | Canon Inc | ダイヤフラム構造体 |
-
1988
- 1988-09-02 JP JP11497888U patent/JPH0236603U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61197806A (ja) * | 1984-12-10 | 1986-09-02 | ベルトルト ダイムラ− | 長さを弾性的に可変とした伸長シリンダ− |
| JPS61252906A (ja) * | 1985-04-30 | 1986-11-10 | Canon Inc | ダイヤフラム構造体 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010196844A (ja) * | 2009-02-26 | 2010-09-09 | Psc Kk | 微小変位出力装置 |
| JP2014199106A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | 住友重機械工業株式会社 | 微動アクチュエータ |