JPH0236367A - 部品の選別分類装置 - Google Patents
部品の選別分類装置Info
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- JPH0236367A JPH0236367A JP18563888A JP18563888A JPH0236367A JP H0236367 A JPH0236367 A JP H0236367A JP 18563888 A JP18563888 A JP 18563888A JP 18563888 A JP18563888 A JP 18563888A JP H0236367 A JPH0236367 A JP H0236367A
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- Japan
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- classification
- sorting
- diode
- diodes
- classifying
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- Pending
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 11
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、部品の特性選別分類装置に関し、特に′、バ
リキャップダイオード（Ｖａｒｉａｂｌｅ Ｃａｐａｃ
ｉｔｙ Ｄ １ｏｄｅ）の特性選別分類技術に関するも
のである。
リキャップダイオード（Ｖａｒｉａｂｌｅ Ｃａｐａｃ
ｉｔｙ Ｄ １ｏｄｅ）の特性選別分類技術に関するも
のである。
従来の部品の選別分類装置１例えば、バリキャブダイオ
ードの選別分類装置で゛は、バリキャブダイオードのＣ
−■特性（＃電容量と電圧の関係）は１枚のウェハの中
でも必ずしも揃っておらず。
ードの選別分類装置で゛は、バリキャブダイオードのＣ
−■特性（＃電容量と電圧の関係）は１枚のウェハの中
でも必ずしも揃っておらず。
同一特性別に選別した場合、数百分類にも及ぶ場合があ
る。従来のバリキャブダイオードの選別分類装置は、同
一分類数Ｃ数百分類）であっても。
る。従来のバリキャブダイオードの選別分類装置は、同
一分類数Ｃ数百分類）であっても。
１品種（１ランク）の選別が主であり、分類範囲におい
ても範囲指定ができないものである。
ても範囲指定ができないものである。
しかしながら、発明者の検討によれば、前記の従来技術
では、ウェハ内の特性バラツキが大きい場合、１サイク
ルで１品種の選別しか行えないため、選別保留に直接影
響を及ぼしてしまうという問題があった。
では、ウェハ内の特性バラツキが大きい場合、１サイク
ルで１品種の選別しか行えないため、選別保留に直接影
響を及ぼしてしまうという問題があった。
また、１品種の条件で選別したのでは、効率が悪く１歩
留を著しく低減させてしまうという問題があった６ また、前記影響を少なくするため、本選別を行う前に素
子選別を行う必要があり、効率面で問題があった。
留を著しく低減させてしまうという問題があった６ また、前記影響を少なくするため、本選別を行う前に素
子選別を行う必要があり、効率面で問題があった。
本発明の目的は、バリキャップダイオード等の部品の選
別分類装置において１部品の選別分類の高効率化を図る
技術を提供することにある。
別分類装置において１部品の選別分類の高効率化を図る
技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろ
う。
明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろ
う。
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
すなわち、テスター部、分類機構部、部品搬送部、収納
ケース、収納ビン、Ｘ−Ｙ分類部を具備した部品の選別
分類装置において、前記分類機構部に条件設定テーブル
を複数組設け、それぞれに優先順位をつけ、数品種の選
別を一回のサイクルの中で同時に処理する手段を備えた
部品の選別分類装置である。
ケース、収納ビン、Ｘ−Ｙ分類部を具備した部品の選別
分類装置において、前記分類機構部に条件設定テーブル
を複数組設け、それぞれに優先順位をつけ、数品種の選
別を一回のサイクルの中で同時に処理する手段を備えた
部品の選別分類装置である。
前述の手段によれば、分類条件設定が、１品種（１ラン
ク）だけでなく、数品種の設定ができ、各品種毎に優先
順位を割当てることにより、特性分布に一致した選別が
できる６ また、特性分布の中で保留の低い品質についても同時選
別ができる。
ク）だけでなく、数品種の設定ができ、各品種毎に優先
順位を割当てることにより、特性分布に一致した選別が
できる６ また、特性分布の中で保留の低い品質についても同時選
別ができる。
また、分類範囲が数百分類に及ぶため、各品種の分歩留
に合った分類範囲を選択できるようにし、効率よい多分
類選択を行うことができる。
に合った分類範囲を選択できるようにし、効率よい多分
類選択を行うことができる。
以下、本発明の一実施例を図面を用いて具体的に説明す
る。
る。
なお、実施例を説明するための全図において、同一機能
を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は
省略する。
を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は
省略する。
第３図は、本発明をバリキャップダイオードの選別装置
に適用した実施例の全体概略構成を示す外観図、 第４図は、第３図に示す分類収納ケースの概略構成を示
す平面図。
に適用した実施例の全体概略構成を示す外観図、 第４図は、第３図に示す分類収納ケースの概略構成を示
す平面図。
第５図は、第４図に示す収納ビンの詳細な構成を示す斜
視図である。
視図である。
本実施例のバリキャップダイオードの選別装置は、第３
図に示すように、テスター部１、分類機構部２、部品搬
送部３、収納ケース４、収納ビン５、Ｘ−Ｙ分類部６、
収納部７を備えている。
図に示すように、テスター部１、分類機構部２、部品搬
送部３、収納ケース４、収納ビン５、Ｘ−Ｙ分類部６、
収納部７を備えている。
前記収納ケース４は、例えば、第４図に示すように、収
納ビン５の９０本が縦に３０本、横に３０本の正方形状
に配設されている。そして、前記収納ビン５は、第５図
に示すように、四角形の形状になっている。
納ビン５の９０本が縦に３０本、横に３０本の正方形状
に配設されている。そして、前記収納ビン５は、第５図
に示すように、四角形の形状になっている。
第１図は、前記本実施例のバリキャップダイオード選別
分類装置において、バリキャップダイオードの選別分類
方法を説明するための条件設定テーブルの説明図、 第２図は、第１図に示す条件設定テーブルの分類エリア
を説明するための説明図である。
分類装置において、バリキャップダイオードの選別分類
方法を説明するための条件設定テーブルの説明図、 第２図は、第１図に示す条件設定テーブルの分類エリア
を説明するための説明図である。
バリキャップダイオードの特性選別は、第１図に示すよ
うに、まず、取得したい品種の条件設定に優先順位を付
け、その条件設定の一番高いランク（その母体の分布の
中で一番歩留の高いグレード）を条件テーブル１１に設
定し、次に、その次のランクを条件テーブル１２に、ぞ
の次のランクを条件テーブル１３に設けるといったよう
に、順次数品種の条件設定を行う。最後に粗分類用の条
件設定を条件テーブル１４で行う。
うに、まず、取得したい品種の条件設定に優先順位を付
け、その条件設定の一番高いランク（その母体の分布の
中で一番歩留の高いグレード）を条件テーブル１１に設
定し、次に、その次のランクを条件テーブル１２に、ぞ
の次のランクを条件テーブル１３に設けるといったよう
に、順次数品種の条件設定を行う。最後に粗分類用の条
件設定を条件テーブル１４で行う。
分類範囲については、各品種に対応した範囲指定を行う
。例えば、第２図に示すように、品種Ａ分類範囲１５、
品種Ｂ分類範囲１６、品種Ｃ分類範囲１７、品種り分類
範囲１８というように各品種に対応した範囲指定を行う
、そして、１品種に対してメイン（ＭＡＩＮ）分類範囲
１９及びサブ（ＳＵＢ）分類範囲２０をそれぞれ設定し
、通常の分類は、各品種に対応したメイン分類範囲１９
に分類する。
。例えば、第２図に示すように、品種Ａ分類範囲１５、
品種Ｂ分類範囲１６、品種Ｃ分類範囲１７、品種り分類
範囲１８というように各品種に対応した範囲指定を行う
、そして、１品種に対してメイン（ＭＡＩＮ）分類範囲
１９及びサブ（ＳＵＢ）分類範囲２０をそれぞれ設定し
、通常の分類は、各品種に対応したメイン分類範囲１９
に分類する。
サブ分類範囲２０については、メイン分類範囲１９の中
で、定量に達した場所のみ、サブ分類範囲２０に割付け
ができるようにする。
で、定量に達した場所のみ、サブ分類範囲２０に割付け
ができるようにする。
次に１本実施例のバリキャップダイオードの選別装置の
動作を説明する。
動作を説明する。
第３図において、部品搬送部３にバリアキャップダイオ
ードを供給すると、自動的に１個づつ分離供給し、ダイ
オード特性の直流特性をテスター部ｌで測定し、良、不
良の判定を行い、不良品については直流特性不良エリア
に分類する（ステップ１００，１０１．ＬＯ２）。
ードを供給すると、自動的に１個づつ分離供給し、ダイ
オード特性の直流特性をテスター部ｌで測定し、良、不
良の判定を行い、不良品については直流特性不良エリア
に分類する（ステップ１００，１０１．ＬＯ２）。
次に、良品と判定されたダイオードは、次にダイオード
の容量特性を測定し、予め設定しであるグレード単位の
設定値と比較する。まず、優先順位の高いグレード１の
設定値と比較し設定範囲内に入っているかどうかチエツ
クし、外れた場合は次のグレード比較に進む（ステップ
１０３，１０４．１０５）。
の容量特性を測定し、予め設定しであるグレード単位の
設定値と比較する。まず、優先順位の高いグレード１の
設定値と比較し設定範囲内に入っているかどうかチエツ
クし、外れた場合は次のグレード比較に進む（ステップ
１０３，１０４．１０５）。
次に、グレード１と比較し、設定範囲内に入っている場
合は、そのグレードの分類範囲と設定されているエリア
に空スペースがあるかチエツクする。分類スペースがあ
る場合は、そのグレードのメイン分類エリアに分類する
（ステップ１０６゜１０８）。
合は、そのグレードの分類範囲と設定されているエリア
に空スペースがあるかチエツクする。分類スペースがあ
る場合は、そのグレードのメイン分類エリアに分類する
（ステップ１０６゜１０８）。
次に、分類エリアが全て割付けされていて、空スペース
がない場合は、そのダイオード特性と同一特性のエリア
がメイン分類範囲１９に割付けされているかチエツクし
、ある場合はサブ分類範囲２０に分類する（ステップ１
０７．１’０９）。
がない場合は、そのダイオード特性と同一特性のエリア
がメイン分類範囲１９に割付けされているかチエツクし
、ある場合はサブ分類範囲２０に分類する（ステップ１
０７．１’０９）。
次に、メイン分類エリアに同一特性の割付けがされてい
ない場合は、次に優先順位の高いグレードの設定値と比
較する処理になる。処理内容は上記２，３．４と同様に
なる（ステップ１１０〜１１５）。
ない場合は、次に優先順位の高いグレードの設定値と比
較する処理になる。処理内容は上記２，３．４と同様に
なる（ステップ１１０〜１１５）。
次に、最後に優先順位の一番低いグレード設定と比較し
設定範囲を外れた場合は、容量不良エリアに分類する。
設定範囲を外れた場合は、容量不良エリアに分類する。
又設定範囲内に入ったダイオードは上記と同様な処理を
行う（ステップ１１６〜１２３）。
行う（ステップ１１６〜１２３）。
次に、分類は分類機構部２の中のＸ−Ｙ分類部６が、コ
ンピュータにより特性別にＸ−Ｙアドレス指示が出され
た通りに分類場所に移動し、下段にある収納ケース４の
中の収納ピン５にダイオ−ば、バリキャップダイオード
のチップは、ウェハ内で広範囲に特性がパラついており
、完成品の選別ベースでは、数枚のウェハのチップを纏
めて選別を行っているので、数品種の特性のチップが混
ざっている。このため、複数の品種が同時に選別できる
構造にすることにより、効率よい選別ができる。
ンピュータにより特性別にＸ−Ｙアドレス指示が出され
た通りに分類場所に移動し、下段にある収納ケース４の
中の収納ピン５にダイオ−ば、バリキャップダイオード
のチップは、ウェハ内で広範囲に特性がパラついており
、完成品の選別ベースでは、数枚のウェハのチップを纏
めて選別を行っているので、数品種の特性のチップが混
ざっている。このため、複数の品種が同時に選別できる
構造にすることにより、効率よい選別ができる。
また、特性分布の状況により、１品種単位の分類範囲が
可変できるため、限界のある分類スペースの中で特性分
布に合った効率よい分類範囲の割付けができる。
可変できるため、限界のある分類スペースの中で特性分
布に合った効率よい分類範囲の割付けができる。
すなわち、分類条件設定が、１品種（１ランク）だけで
なく、数品種の設定ができ、各品種毎に優先順位を割当
てることにより、特性分布に一致した選別ができる。
なく、数品種の設定ができ、各品種毎に優先順位を割当
てることにより、特性分布に一致した選別ができる。
また、特性分布の中で保留の低い品質についても同時選
別ができる。
別ができる。
また５分類範囲が数百分類に及ぶため、各品種の分歩留
に合った分類範囲を選択できるようにし、効率よい多分
類選択を行うことができる。
に合った分類範囲を選択できるようにし、効率よい多分
類選択を行うことができる。
以上、本発明を実施例にもとづき具体的に説明したが、
本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その
要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であること
は言うまでもない。
本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その
要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であること
は言うまでもない。
本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりであ
る。
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりであ
る。
バリキャップダイオード等の部品の選別分類方法及びそ
の実施装置において、前記分類機構部に条件設定テーブ
ルを複数組設け、それぞれに優先順位をつけ、数品種の
選別を一回のサイクルの中で同時に処理する手段を備え
たので、部品の選別分類の高効率化を図ることができる
。
の実施装置において、前記分類機構部に条件設定テーブ
ルを複数組設け、それぞれに優先順位をつけ、数品種の
選別を一回のサイクルの中で同時に処理する手段を備え
たので、部品の選別分類の高効率化を図ることができる
。
第１図は、本発明の一実施例のバリキャップダイオード
の選別分類方法を説明するための条件設定テーブルの説
明図。 第２図は、第１図に示す条件設定テーブルの分類エリア
を説明するための説明図、 第３図は０本発明をバリキャップダイオードの選別装置
に適用した実施例の全体概略構成を示す外観図、 第４図は、第３図に示す分類収納ケースの概略構成を示
す平面図。 第５図は、第４図に示す収納ビンの詳細な構成を示す斜
視図である。Ｔり霞１）況悠フ１つ−＋３１１偽り図中
、１・・・テスター部、２・・・分類機構部、３・・・
部品搬送部、４・・・収納ケース、５・・・収納ビン、
６・・・Ｘ−Ｙ分類部、７・・・収納部、１１・・・第
１条件テーブル、１２・・・第２条件テーブル、１２・
・・第３条件テーブル、１４・・・粗分類デープル、１
５・・・品種Ｃ分類範囲、１６・・・品種Ｂ分類範囲、
１７・・・品種Ｃ分類範囲、１８・・・品種り分類範囲
、１９・・・メイン分類範囲、２０・・・サブ分類範囲
。
の選別分類方法を説明するための条件設定テーブルの説
明図。 第２図は、第１図に示す条件設定テーブルの分類エリア
を説明するための説明図、 第３図は０本発明をバリキャップダイオードの選別装置
に適用した実施例の全体概略構成を示す外観図、 第４図は、第３図に示す分類収納ケースの概略構成を示
す平面図。 第５図は、第４図に示す収納ビンの詳細な構成を示す斜
視図である。Ｔり霞１）況悠フ１つ−＋３１１偽り図中
、１・・・テスター部、２・・・分類機構部、３・・・
部品搬送部、４・・・収納ケース、５・・・収納ビン、
６・・・Ｘ−Ｙ分類部、７・・・収納部、１１・・・第
１条件テーブル、１２・・・第２条件テーブル、１２・
・・第３条件テーブル、１４・・・粗分類デープル、１
５・・・品種Ｃ分類範囲、１６・・・品種Ｂ分類範囲、
１７・・・品種Ｃ分類範囲、１８・・・品種り分類範囲
、１９・・・メイン分類範囲、２０・・・サブ分類範囲
。
Claims (1)
- １、テスター部、分類機構部、部品搬送部、収納ケース
、収納ビン、Ｘ−Ｙ分類部を具備した部品の選別分類装
置において、前記分類機構部に条件設定テーブルを複数
組設け、それぞれに優先順位をつけ、数品種の選別を一
回のサイクルの中で同時に処理する手段を備えたことを
特徴とする部品の選別分類装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18563888A JPH0236367A (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 | 部品の選別分類装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18563888A JPH0236367A (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 | 部品の選別分類装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0236367A true JPH0236367A (ja) | 1990-02-06 |
Family
ID=16174273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18563888A Pending JPH0236367A (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 | 部品の選別分類装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0236367A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100812218B1 (ko) * | 2005-05-09 | 2008-03-13 | 가부시키가이샤 도쿄 웰드 | 칩 형상 전자 부품의 분류 수납 시스템 및 분류 수납 방법 |
-
1988
- 1988-07-27 JP JP18563888A patent/JPH0236367A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100812218B1 (ko) * | 2005-05-09 | 2008-03-13 | 가부시키가이샤 도쿄 웰드 | 칩 형상 전자 부품의 분류 수납 시스템 및 분류 수납 방법 |
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