JPH0236347A - Electrochemical sensor - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は電気化学式センサに関し、詳しくは、電解反
応を利用して特定のガス成分等を検出したり定量したり
する、電解型の電気化学式センサに関するものである。[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] This invention relates to an electrochemical sensor, and more specifically, an electrochemical sensor that detects or quantifies a specific gas component using an electrolytic reaction. It is related to sensors.
電気化学的な酸化還元反応を利用して、大気中のガス、
例えば−酸化炭素、水素、アルコール。Using electrochemical redox reactions, gases in the atmosphere,
For example - carbon oxide, hydrogen, alcohol.
窒素酸化物、硫黄酸化物などを検知する電気化学式ガス
センサは、これまでにも数多く報告されている。−船釣
に、この種のガスセンサは、高いガス感度を有している
ことから、工業用のガス濃度検知器などの分野において
利用されている。Many electrochemical gas sensors that detect nitrogen oxides, sulfur oxides, etc. have been reported so far. - This type of gas sensor has high gas sensitivity and is used in fields such as industrial gas concentration detectors for boat fishing.
近年、電気化学式センサにおいて、電極間に設けられる
イオン（プロトン）伝導用の電解質として、スルホン化
パーフルオロカーボン等の高分子固体電解質を用いたガ
スセンサが研究されており、例えば、特開昭５３−１１
５２９３号公報等に開示されている。In recent years, in electrochemical sensors, gas sensors using solid polymer electrolytes such as sulfonated perfluorocarbons as electrolytes for ion (proton) conduction provided between electrodes have been studied.
It is disclosed in Japanese Patent No. 5293 and the like.
このセンサは、基本的な構造としては、それまでの液体
電解質を用いたガスセンサと同様に、感知電極、参照電
極、逆電極が設けられており、電解質として液体電解質
のかわりに固体電解質を用いた点が特徴となっている。The basic structure of this sensor is the same as previous gas sensors that used liquid electrolytes, including a sensing electrode, a reference electrode, and a counter electrode. It is characterized by points.
このように、固体電解質を用いた電気化学式センサは、
液体電解質を用いたものに比べて、より小型で低価格な
センサ素子を作製できる。In this way, electrochemical sensors using solid electrolytes are
Compared to those using liquid electrolytes, it is possible to produce smaller and cheaper sensor elements.
さらに、センサ素子の構造を、上記従来技術のように、
感知電極および参照電極と逆電極とが、間に固体電解質
を挟んで対向する対向型電極構成から、平面型電極構成
、すなわち１枚の基板の同一平面上に３つの電極を形成
し、その上に固体電解質を配五した構造にすることによ
って、現在半導体製造分野等に用いられている、薄膜形
成技術や印刷回路形成技術、写真製版技術等が応用でき
、ますます小型化、製造の簡略化を推し進めることが可
能になると考え、発明者らは、このような平面型電極構
成、すなわちプレーナ型電気化学式センサに関して、先
に特願昭６３−４２８４１号等において特許出願してい
る。Furthermore, the structure of the sensor element is changed as in the above conventional technology.
From a facing electrode configuration in which a sensing electrode, a reference electrode, and a counter electrode face each other with a solid electrolyte in between, to a planar electrode configuration, in which three electrodes are formed on the same plane of one substrate, and By creating a structure in which a solid electrolyte is arranged in the semiconductor manufacturing field, thin film formation technology, printed circuit formation technology, photolithography technology, etc. currently used in the semiconductor manufacturing field can be applied, resulting in further miniaturization and manufacturing simplification. The inventors have previously filed patent applications for such a planar electrode configuration, that is, a planar electrochemical sensor, in Japanese Patent Application No. 63-42841.
ところが、上記のような固体電解質を用いたプレーナ型
電気化学式センサにおいても、若干の問題が残されてお
り、センサの感度特性の湿度依存性が非常に大きいとい
う欠点がある。However, even in the planar electrochemical sensor using a solid electrolyte as described above, some problems remain, and the sensitivity characteristic of the sensor has a very large humidity dependence.
固体電解質として利用される高分子プロトン伝導体は、
通常の状態で水分を含んでいる。この水分の量すなわち
含水率が周囲の環境湿度によって大きく変化し、その結
果として電解質膜の電気抵抗（インピーダンス）も大き
く変化することになる。電極間を流れる検出電流によっ
てガス等を検知する電気化学式センサとしては、上記し
た環境湿度の変化にもとづく電解質膜の電気抵抗の変化
によってセンサの検知感度に大きな影響を受け、センサ
として安定した出力が得られなくなるのである。Polymer proton conductors used as solid electrolytes are
Contains water under normal conditions. The amount of water, that is, the water content, changes greatly depending on the surrounding environmental humidity, and as a result, the electrical resistance (impedance) of the electrolyte membrane also changes greatly. As an electrochemical sensor that detects gas, etc. using a detection current flowing between electrodes, the detection sensitivity of the sensor is greatly affected by changes in the electrical resistance of the electrolyte membrane due to changes in the environmental humidity mentioned above, making it difficult to provide stable output as a sensor. It becomes impossible to obtain it.
そこで、この発明の課題は、湿度依存性が小さく、広い
湿度範囲において良好で安定した性能を発揮できるとと
もに、経時特性変化が少なく、長期間にわたって良好か
つ安定した性能を発揮できる電気化学式センサを提供す
ることにある。Therefore, the object of this invention is to provide an electrochemical sensor that has low humidity dependence, can exhibit good and stable performance over a wide humidity range, has little change in characteristics over time, and can exhibit good and stable performance over a long period of time. It's about doing.
上記課題を解決する、この発明は、固体電解質層に水を
供給する貯水槽を備え、貯水槽と固体電解質層の間が水
供給手段で連結されているとともに、固体電解質層と外
界との通気制限を行う遮蔽体を設けておくようにしてい
る。To solve the above problems, the present invention includes a water storage tank that supplies water to a solid electrolyte layer, and the water storage tank and the solid electrolyte layer are connected by a water supply means, and the solid electrolyte layer and the outside world are ventilated. I try to set up a shield to restrict it.
固体電解質層に貯水槽から水供給手段を経て水を供給で
きるようにしておけば、環境湿度が変化して固体電解質
層内の水分が蒸発しても、その蒸発量に見合う水分を供
給することができ、固体電解質層の含水率を一定に保つ
ことができる。したがって、固体電解質層の電気抵抗も
安定し、その結果センサのガス感度は常に良好で安定す
る。By making it possible to supply water to the solid electrolyte layer from a water storage tank via a water supply means, even if the environmental humidity changes and the moisture in the solid electrolyte layer evaporates, it is possible to supply moisture commensurate with the amount of evaporation. The water content of the solid electrolyte layer can be kept constant. Therefore, the electrical resistance of the solid electrolyte layer is also stabilized, and as a result, the gas sensitivity of the sensor is always good and stable.
しかし、固体電解質層からの水分の蒸発が急激かつ大量
に行われると、貯水槽から固体電解質槽への水分の供給
が不足したり、貯水槽に貯えられた水の減少が激しくな
って、貯水槽の水が無くなってしまう心配がある。貯水
槽の水が無（なれば、センサのガス感度は低下し、最終
的にはセンサが劣化して寿命がつきることになる。そこ
で、遮蔽体によって、固体電解質層と外界との間の通気
を制限することによって、固体電解質層からの外界への
水分の蒸発を抑えることができ、上記した貯水槽による
固体電解質層の含水率維持作用をより長期間にわたって
良好に発揮できることになる〔実 施 例〕
ついで、この発明を、実施例を示す図面を参照しながら
、以下に説明する。However, if water evaporates rapidly and in large quantities from the solid electrolyte layer, the supply of water from the water tank to the solid electrolyte tank becomes insufficient, or the water stored in the water tank decreases rapidly, causing There is a worry that the water in the tank will run out. If there is no water in the water tank, the sensor's gas sensitivity will decrease, and eventually the sensor will deteriorate and its life will be shortened.Therefore, a shield is used to prevent ventilation between the solid electrolyte layer and the outside world. By restricting the water content, it is possible to suppress the evaporation of water from the solid electrolyte layer to the outside world, and the above-mentioned water storage tank can effectively maintain the water content of the solid electrolyte layer for a longer period of time. Example] Next, the present invention will be described below with reference to drawings showing embodiments.
第１図は、センサの断面構造を模式的に示している。適
宜合成樹脂材料やセラミック材料からなる絶縁基板１０
の上に、金、白−金その他の電極材料からなる作用極２
０．対極３０．参照極４０の３つの電極が設けられ、各
種２０・・・の上およびその間を覆って、前記パーフル
オロカーボン等の固体電解質５０が設けられている。固
体電解質５０は、絶縁基板１０の外周に沿って設けられ
た外枠１１の内部に収容されている。これらの電気化学
式センサの基本構造については、従来のプレーナ型セン
サの構造と同様である。例えば、各種２０・・・には、
外部回路と接続するための接続部を固体電解質５０の外
まで延長形成したり、感度を向上させるために作用極２
０と対極３０を櫛型構造にしたり、同じく感度向上のた
めに作用極２０．対極の表面を凹凸形成したりする。こ
れらの、ブレ−す型センサの構造については、発明者ら
が先に発明し特許出願している特願昭６３−４２８４１
号等に開示されており、詳細な説明は省略する。FIG. 1 schematically shows the cross-sectional structure of the sensor. Insulating substrate 10 made of synthetic resin material or ceramic material as appropriate
A working electrode 2 made of gold, platinum-gold or other electrode material is placed on top of the working electrode 2.
0. Counterpoint 30. Three electrodes of the reference electrode 40 are provided, and a solid electrolyte 50 such as the perfluorocarbon is provided to cover the various electrodes 20 and between them. Solid electrolyte 50 is housed inside an outer frame 11 provided along the outer periphery of insulating substrate 10 . The basic structure of these electrochemical sensors is similar to that of conventional planar sensors. For example, for each type 20...
The connection part for connecting to an external circuit may be formed to extend outside the solid electrolyte 50, or the working electrode 2 may be formed to extend outside the solid electrolyte 50 to improve sensitivity.
0 and the counter electrode 30 are made into a comb-shaped structure, and the working electrode 20. The surface of the opposite electrode may be made uneven. Regarding the structure of these brace type sensors, the inventors previously invented and applied for a patent in Japanese Patent Application No. 63-42841.
No. 2, etc., and detailed explanation will be omitted.
絶縁基板１０は、空洞状の貯水槽６０を備えた外郭体７
０の中央に設置されており、貯水槽６０が絶縁基板１０
の周囲を囲んでいる。外郭体７０は、絶縁基板１０と同
様の各種合成樹脂あるいはセラミック材料等からなる。The insulating substrate 10 includes an outer body 7 having a hollow water storage tank 60.
0, and the water tank 60 is installed in the center of the insulating substrate 10.
surrounding the area. The outer shell 70 is made of various synthetic resins or ceramic materials similar to the insulating substrate 10.
貯水槽６０の内部には、固体電解質層５０に供給するた
めの水Ｗが収容されている。貯水槽６０の内壁の一部に
Ｍ通孔６１が設けられ、この貫通孔６１を経て、貯水槽
６０の内部から固体電解質層５０の表面に接触するよう
に、ビック６２を設けている。このビック６２は、吸水
性の繊維体からなり、毛細管現象によって、水を貯水槽
６０から固体電解質層５０へと供給できるようになって
いるものである。したがって、貯水槽６０内の水は、ビ
ック６２を伝わって、固体電解質層５０の表面に供給さ
れるようになっている。Water W to be supplied to the solid electrolyte layer 50 is stored inside the water storage tank 60 . An M through hole 61 is provided in a part of the inner wall of the water tank 60, and a via 62 is provided so as to come into contact with the surface of the solid electrolyte layer 50 from inside the water tank 60 through the through hole 61. The big 62 is made of a water-absorbing fiber and is capable of supplying water from the water tank 60 to the solid electrolyte layer 50 by capillary action. Therefore, the water in the water tank 60 is supplied to the surface of the solid electrolyte layer 50 through the big 62.
貯水槽６０を構成する外郭体７０で囲まれた絶縁基板１
０の上方で、固体電解質層５０およびビック６２より少
し高い位置に、板状の遮蔽体８０が設けられている。遮
蔽体８０は、ガス遮断性を有するアクリル樹脂その他の
合成樹脂材料等からなり、固体電解質層５０に含有され
ている水分が蒸発して外界に逃げるのを阻止する。但し
、遮蔽体８０の一部には、小さな通気孔８１が貫通形成
されており、この通気孔８１を通って、外界からのガス
が流入して固体電解質層５０に到達できるようになって
いる。通気孔８１の大きさや形成個数、形成位置等は、
水分の蒸発抑制とガス検知に必要なガスの流入量とを勘
案して、適当に設定しておくものとする。Insulating substrate 1 surrounded by outer shell 70 constituting water storage tank 60
A plate-shaped shield 80 is provided above the solid electrolyte layer 50 and at a slightly higher position than the big 62. The shield 80 is made of acrylic resin or other synthetic resin material having gas barrier properties, and prevents moisture contained in the solid electrolyte layer 50 from evaporating and escaping to the outside world. However, a small ventilation hole 81 is formed through a part of the shield 80 so that gas from the outside can flow in and reach the solid electrolyte layer 50 through this ventilation hole 81. . The size, number, and position of the ventilation holes 81 are as follows:
It shall be set appropriately, taking into consideration the amount of gas inflow necessary for suppressing moisture evaporation and gas detection.
なお、通気制限を行う遮蔽体８０としては、上記のよう
に、通気性のない材料に通気孔１８を形成して、ある程
度の制限された通気を可能にしたもののほか、遮蔽体８
０を、素材自体が細孔を有する合成樹脂やセラミンク等
からなる多孔体で構成して、遮蔽体８０の全体で適度の
通気制限を行えるようにしてもよい。Note that the shielding body 80 that restricts airflow may be one in which the ventilation holes 18 are formed in a non-breathable material to allow a certain degree of restricted ventilation, as described above.
The shield 80 may be made of a porous material such as synthetic resin or ceramics having pores, so that the entire shield 80 can appropriately restrict ventilation.
上記した実施例の作用を説明すると、まず、ビック６２
によって、貯水槽６０から固体電解質層５０の表面へと
常に水分が供給されているので、例えば環境湿度が下降
して、固体電解質層５０の水分が蒸発し・でも、すぐに
水分が補給され、固体電解質層５０は常に、良好なイオ
ン伝導（プロトン伝導）が行われる高含水状態に維持さ
れる。したがって、環境湿度の変化に関わらず、固体電
解質５０の含水率は一定に維持され、固体電解質５０の
含水率に影響される電気抵抗も安定し、その結果センサ
の感度が常に良好に保たれる。To explain the operation of the above-mentioned embodiment, first, the BIC 62
Since moisture is constantly supplied from the water storage tank 60 to the surface of the solid electrolyte layer 50, for example, even if the environmental humidity drops and the moisture in the solid electrolyte layer 50 evaporates, the moisture is quickly replenished. The solid electrolyte layer 50 is always maintained in a highly water-containing state where good ion conduction (proton conduction) occurs. Therefore, regardless of changes in environmental humidity, the water content of the solid electrolyte 50 is maintained constant, and the electrical resistance, which is affected by the water content of the solid electrolyte 50, is also stable, and as a result, the sensitivity of the sensor is always maintained at a good level. .
また、遮蔽体８０によって、狭い通気孔８１以外からは
、固体電解質層５０の水分が蒸発して外界に逃げること
ができないため、固体電解質ｒａ５０の水分が失われ難
く、貯水槽６０からの水分の供給量が少なくて済むので
、貯水槽６０による含水率維持作用が長期間発揮できる
。In addition, the shield 80 prevents the moisture in the solid electrolyte layer 50 from evaporating and escaping to the outside world through other than the narrow ventilation holes 81. Therefore, the moisture in the solid electrolyte RA 50 is less likely to be lost, and the moisture from the water storage tank 60 does not evaporate. Since the supply amount is small, the water content maintenance effect of the water storage tank 60 can be exerted for a long period of time.
次に、第２図および第３図は、貯水槽６０から固体電解
質層５０への水の供給手段が異なる実施例を示している
。Next, FIGS. 2 and 3 show embodiments in which the means for supplying water from the water tank 60 to the solid electrolyte layer 50 are different.
第２図の実施例では、貯水槽６０から外郭体７０を経て
絶縁基板１０の下面に達する水路６３と、この水路６３
の上方で絶縁基板１０の底面に貫通形成された細孔１２
が設けられており、この水路６３および細孔１２を通っ
て固体電解質層５０の底面に水分を供給するようになっ
ている。In the embodiment shown in FIG.
A pore 12 formed through the bottom surface of the insulating substrate 10 above the
is provided, and water is supplied to the bottom surface of the solid electrolyte layer 50 through the water channel 63 and the pores 12.
第３図の実施例では、絶縁基板１０の側方の外郭体７０
上に空所７１を設け、貯水槽６０に一端が配置されたピ
ッ・り６２の他端を、この空所７１に配置しており、ビ
ック６２と固体電解質層５０とは接触していない。した
がって、ビック６２によって貯水槽６０から空所７１に
供給された水分が蒸発することによって、遮蔽体８０の
下方の空間をら経て固体電解質層５０の表面に供給され
るようになっている。In the embodiment of FIG. 3, the outer shell 70 on the side of the insulating substrate 10
A space 71 is provided above, and the other end of the pit 62, one end of which is placed in the water storage tank 60, is placed in this space 71, and the big 62 and the solid electrolyte layer 50 are not in contact with each other. Therefore, the moisture supplied from the water storage tank 60 to the space 71 by the big 62 evaporates and is supplied to the surface of the solid electrolyte layer 50 through the space below the shield 80.
貯水槽６０から固体電解質槽５０へと水を供給する手段
としては、上記した各実施例のほかにも、センサの構造
や用途によって適宜手段が採用できる。As a means for supplying water from the water storage tank 60 to the solid electrolyte tank 50, in addition to the above-mentioned embodiments, appropriate means can be adopted depending on the structure and purpose of the sensor.
この発明にかかる電気化学式センサにおいて、絶縁基板
１０や各電極２０・・・の材料は、通常の各種センサ等
と同様の材料で自由に実施される。固体電解質層５０を
構成する固体電解質は、通常の電気化学式センサに用い
られているものが使用でき、前記したパーフルオロスル
ホネートポリマ（商品名ナフィオン：デュポン社製）の
ほか、このパーフルオロスルホネートポリマにＨ，Ｓｏ
、を含有したもの、Ｓｂ、Ｏ，−４Ｈ，Ｏ，Ｚｒ （
ＨＰＯ，）、 ・４Ｈ２０等が挙げられる。In the electrochemical sensor according to the present invention, the materials of the insulating substrate 10 and each electrode 20 can be freely implemented using the same materials as those of various ordinary sensors. As the solid electrolyte constituting the solid electrolyte layer 50, those used in ordinary electrochemical sensors can be used, and in addition to the above-mentioned perfluorosulfonate polymer (trade name: Nafion, manufactured by DuPont), H, So
, containing Sb, O, -4H, O, Zr (
Examples include HPO, ), ・4H20, etc.
各電極２０・・・の構造も、各種の電気化学式センサと
同様の構造で実施できるが、例えば、第４図に示すよう
に、作用極２０および対極３０が多数の凹凸からなる凹
凸状電極であって、固体電解質５０が各電極２０．３０
の凹凸の谷間部分を途中まで埋めているものを用いると
、固体電解質５０と電極２０．３０および外界によって
、電気化学的な３相界面が形成され、センサの感度向上
に極めて好ましいものとなる。この実施例では、絶縁基
板１０の上に外枠１１を設けず、絶縁基板１０の中央を
堀込んで、その内部に固体電解質層５０を収容している
。すなわち、前記実施例における平坦な絶縁基板１０と
外枠１１とが一体形成された構造になっている。The structure of each electrode 20 can be similar to that of various electrochemical sensors, but for example, as shown in FIG. The solid electrolyte 50 is connected to each electrode 20.30
If a material that partially fills the valleys of the unevenness is used, an electrochemical three-phase interface is formed between the solid electrolyte 50, the electrodes 20 and 30, and the outside world, which is extremely preferable for improving the sensitivity of the sensor. In this embodiment, the outer frame 11 is not provided on the insulating substrate 10, but the center of the insulating substrate 10 is dug, and the solid electrolyte layer 50 is accommodated therein. That is, the structure is such that the flat insulating substrate 10 and the outer frame 11 in the embodiment described above are integrally formed.
貯水槽６０には、水をそのまま収容しておいてもよいが
、貯水槽６０内に吸水性ゲルを収容して、この吸水性ゲ
ルに水を含ませておいてもよい。Water may be stored in the water storage tank 60 as it is, but a water-absorbing gel may be stored in the water storage tank 60 and water may be contained in the water-absorbing gel.
以上に述べた、この発明にかかる電気化学式センサによ
れば、固体電解質層に貯水槽から水供給手段を経て水を
供給でき、環境湿度の変化にかかわらず、固体電解質層
の含水率を一定に保つことができるので、固体電解質膜
の電気抵抗を常に一定に維持することができ、その結果
センサの検知感度は常に良好で安定する。According to the electrochemical sensor according to the present invention described above, water can be supplied to the solid electrolyte layer from the water storage tank via the water supply means, and the water content of the solid electrolyte layer can be kept constant regardless of changes in environmental humidity. Therefore, the electrical resistance of the solid electrolyte membrane can always be maintained constant, and as a result, the detection sensitivity of the sensor is always good and stable.
また、遮蔽体で通気制限を行い、固体電解質層から外界
への水分の蒸発を抑えることによって、長期間にわたっ
て固体電解質層の含水率を安定させることができ、セン
サの感度をより安定させることができるとともに、セン
サの寿命を延ばすことができる。In addition, by restricting ventilation with a shield and suppressing the evaporation of moisture from the solid electrolyte layer to the outside world, it is possible to stabilize the moisture content of the solid electrolyte layer over a long period of time, making it possible to further stabilize the sensitivity of the sensor. At the same time, the life of the sensor can be extended.
第１図はこの発明にかかる実施例の断面図、第２図およ
び第３図は別の実施例を示す断面図、第４図は電極構造
の異なる実施例の要部を示す断面図である。
１０・・・絶縁基板 ２０・・・作用極 ３０・・・対
極４０・・・参照極 ５０・・・固体電解質層 ６０・
・・貯水槽 ８０・・・遮蔽体 ８１・・・通気孔代理
人 弁理士 松 本 武 彦FIG. 1 is a cross-sectional view of an embodiment according to the present invention, FIGS. 2 and 3 are cross-sectional views showing another embodiment, and FIG. 4 is a cross-sectional view showing essential parts of an embodiment with a different electrode structure. . 10... Insulating substrate 20... Working electrode 30... Counter electrode 40... Reference electrode 50... Solid electrolyte layer 60.
... Water tank 80 ... Shielding body 81 ... Vent agent Patent attorney Takehiko Matsumoto
Claims (1)
設けられ、各極およびその間を覆って固体電解質層が設
けられた電気化学式センサにおいて、固体電解質層に水
を供給する貯水槽を備え、貯水槽と固体電解質層の間が
水供給手段で連結されているとともに、固体電解質層と
外界との通気制限を行う遮蔽体が設けられていることを
特徴とする電気化学式センサ。1. An electrochemical sensor in which a working electrode, a counter electrode, and a reference electrode are provided on the same surface of an insulating substrate, and a solid electrolyte layer is provided covering each electrode and between the electrodes, and a water storage tank is provided to supply water to the solid electrolyte layer. An electrochemical sensor, characterized in that a water tank and a solid electrolyte layer are connected by a water supply means, and a shield is provided for restricting ventilation between the solid electrolyte layer and the outside world.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63187510A JPH0236347A (en) | 1988-07-26 | 1988-07-26 | Electrochemical sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63187510A JPH0236347A (en) | 1988-07-26 | 1988-07-26 | Electrochemical sensor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0236347A true JPH0236347A (en) | 1990-02-06 |
Family
ID=16207328
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63187510A Pending JPH0236347A (en) | 1988-07-26 | 1988-07-26 | Electrochemical sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0236347A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102564822A (en) * | 2011-12-15 | 2012-07-11 | 中国计量科学研究院 | Water-saturated decyl alcohol solution water content reference material and preparation method thereof |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6488245A (en) * | 1987-07-15 | 1989-04-03 | Stanford Res Inst Int | Ready response microsensor for gaseous and vaporous object |
| JPS6488354A (en) * | 1987-07-15 | 1989-04-03 | Stanford Res Inst Int | Surface type microelectronic gas and steam sensor |
-
1988
- 1988-07-26 JP JP63187510A patent/JPH0236347A/en active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6488245A (en) * | 1987-07-15 | 1989-04-03 | Stanford Res Inst Int | Ready response microsensor for gaseous and vaporous object |
| JPS6488354A (en) * | 1987-07-15 | 1989-04-03 | Stanford Res Inst Int | Surface type microelectronic gas and steam sensor |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN102564822A (en) * | 2011-12-15 | 2012-07-11 | 中国计量科学研究院 | Water-saturated decyl alcohol solution water content reference material and preparation method thereof |
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