JPH02307007A - Defect inspection method for optical disk - Google Patents
Defect inspection method for optical diskInfo
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- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 34
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 16
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 101150054854 POU1F1 gene Proteins 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業(−1の利用分野]
この発明は光ディスクの欠陥@前方法に関し、詳しくは
追記型の光ディスクにおけるグループの欠陥検査に関す
るものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Application of Industry (-1)] The present invention relates to a defect@previous method for optical discs, and more particularly to group defect inspection in write-once optical discs.
[従来の技術]
光ディスクは高密度記録媒体として急速に利用分野が拡
大しつつある。第2図(a)は追記型の光ディスクを示
すもので、ディスクlにはrめ同心円の多数のグループ
laが設けられ、使用に際してグループ1aに情報ピッ
トが刻み込まれる。[Prior Art] The field of use of optical discs as high-density recording media is rapidly expanding. FIG. 2(a) shows a write-once optical disc, in which a large number of r-shaped concentric circles la are provided on the disc l, and information pits are carved into the groups la during use.
光ディスクは製造過程で各種の検査が行われるが、グル
ープが刻まれた段階におけるグループ欠陥の検出方法は
既に公知されている。第2図(b)。Optical discs undergo various inspections during the manufacturing process, and methods for detecting group defects at the stage where groups are carved are already known. Figure 2(b).
(c)および(d)によりこれを説明する。図(b)に
おいて、光ディスク1をスピンドル2により回転し、こ
れに対してレーザビームTを投光レンズ3によりスポッ
トSに集束してXイ射する。この場合、スポラl−8の
直径をグループlaのピッチ間隔より1・公人きくする
ときは、・IQ?に並んだグループlaが回折格rを形
成しているので、規則的な強度分布の回折光を反射する
。回折光のうちの例えば1次光R1(÷)、またはR1
(−)を受光器4または4′で受光する。いま、図(C
)のようにグループlaに潰れなどの欠陥(f)がある
ときはこの部分の回折光が減少する。スポットSが矢印
の方向に移動すると、受光器4には図(d)に示すよう
に、正常なグループに対する受光レベルLsより落ち込
んだ信号(f)かえられる。これを検出して欠陥とする
ものである。This is illustrated by (c) and (d). In Figure (b), an optical disc 1 is rotated by a spindle 2, and a laser beam T is focused onto a spot S by a projection lens 3 and emitted in an X direction. In this case, if the diameter of spora l-8 is set to be 1 larger than the pitch interval of group la, then - IQ? The groups la lined up form a diffraction grating r, which reflects diffracted light with a regular intensity distribution. For example, the first-order light R1 (÷) of the diffracted light, or R1
(-) is received by the light receiver 4 or 4'. Now, figure (C
), when group la has a defect (f) such as collapse, the diffracted light in this portion decreases. When the spot S moves in the direction of the arrow, the light receiver 4 receives a signal (f) that is lower than the light reception level Ls for the normal group, as shown in FIG. 4(d). This is detected and treated as a defect.
[解決しようとする課題]
さて、追記型の光ディスクには[−記のグループが刻ま
れた後、ID情報が設定される。第3図(a)、(b)
はこれを説明するもので、ディスク1の表面を、インデ
ックスマーク(IND)を起点として複数のセクタS1
.S2.・・・・・・snに淳分割する。各セクタSの
前頭部の狭い角度範囲δθをID部とし、図(b)のよ
うにID部に対してセクタ番号などのコードがピット1
bとして刻まれ、その後がデータ部として情報データの
ピットか記録される。このようなIDが設定され、情報
データが未記録の段階の原盤をちととして、光ディスク
のレプリカが製作される。このレプリカに対して1・、
記のグループ検査をj「う場合には、■1)ピット1b
のために回折光が変化し、It)部に欠陥がないにも拘
らず疑似欠陥として検出される。これに対して、IDビ
ーIトの影響を考慮してI D部のグループの欠陥を検
出する方法がいくつか提案され、イ1効なものがある。[Problem to be Solved] Now, on a write-once optical disc, ID information is set after a group of [-] is engraved. Figure 3 (a), (b)
This is explained by dividing the surface of the disk 1 into multiple sectors S1 starting from the index mark (IND).
.. S2.・・・・・・Divide into sn. The narrow angular range δθ of the frontal region of each sector S is taken as the ID part, and as shown in Figure (b), the code such as the sector number is written in the pit 1.
b is engraved, and what follows is a data section where pits of information data are recorded. Such an ID is set, and a replica of the optical disc is manufactured using the original disc at a stage where no information data is recorded. 1 for this replica,
If the group inspection described above is to be carried out, ■1) Pit 1b
Therefore, the diffracted light changes, and it is detected as a pseudo defect even though there is no defect in the It) part. In response to this, several methods have been proposed for detecting defects in groups of ID sections by taking into account the influence of ID beat I, and some are effective.
しかしながらそれらの方法はいずれもやや複雑なP法で
ある。−・方、レプリカは多聞生産されるので、簡易な
方法により迅速に検査することが要請され、次みの策と
してデータ部のみを対象としてグループ欠陥を@査する
ことが必要とされている。However, all of those methods are slightly complicated P methods. On the other hand, since replicas are produced in large numbers, there is a need for quick inspection using a simple method, and as a next step, it is necessary to inspect for group defects only in the data section.
この発明は以[−の11情に鑑みてなされてもので、I
I)部を除外してデータ部のみに対してグループ欠陥
を検査する方式を提供するものである。This invention was made in view of the following 11 circumstances, and I
This provides a method for inspecting only the data section for group defects, excluding the I) section.
[課題を解決するためのr段コ
この発明は、スピンドルにより回転された追記型の光デ
ィスクの表面に対してレーザビームラ!!(1射してス
パイラルに走査し、表面に設定されたグループによる回
折光を検出する光ディスクの欠陥検査に対する検査方法
であって、光ディスクの表面にインデックスマークを起
点として周方向を等分割したセクタごとに、一定の角度
範囲にr Dピットが設定されたI I)部に対して、
スピンドルに設けられたインデックス検出器および回転
角度検出器の検出信号をデータ処理部に入力し、データ
処理によりID部に対する検出データを無効とし、デー
タ部に対する検出データを有効として出力するものであ
る。。[R stage to solve the problem] This invention provides a laser beam ray onto the surface of a write-once optical disc rotated by a spindle! ! (This is an inspection method for defect inspection of optical disks that scans in a spiral with a single beam and detects diffracted light by groups set on the surface.It is an inspection method for defect inspection of optical disks in which the optical disk is scanned in a spiral manner and diffracted light is detected by groups set on the surface. For the part II) in which rD pits are set in a certain angular range,
Detection signals from an index detector and a rotation angle detector provided on the spindle are input to a data processing section, and through data processing, detection data for the ID section is invalidated, and detection data for the data section is output as valid. .
[作用コ
1−記の欠陥検り方法においては、データ部のグループ
の回折光きともにID部のグループとそのピットの回折
ytまたは散乱光がすべて検出されるが、スピンドルに
設けられたインデックス検出器と回転角度検出器の検出
信号により、データ処理部においてID部の検出データ
が無効とされ、データ部のグループ欠陥のみか検出され
る。[In the defect detection method described in Effect 1-1, all the diffracted light from the data section group and the diffracted yt or scattered light from the ID section group and its pits are detected. Based on the detection signals from the detector and the rotation angle detector, the data processing section invalidates the detection data of the ID section and only detects group defects in the data section.
〔実施例]
第1図はこの発明による光ディスクの欠陥検査方法の実
施例における概略のプローIり構成図を示す。図(a)
において、被検査の光ディスクlはスピンドル2により
回転し、インデックス検出器5によりインデックス(I
N D )マークが、また回転角度検出器6によりデ
ィスク1の回転角度0が検出され、それぞれの検出(;
1号が出力される。ディスク1の表面に対する欠陥検出
光学系は前記した第2図(b)と同様に、ディスク1の
表面に対してレーザビームTを照射してスポットSを形
成し、グループによる一次回折光R1が受光器4により
受光され、同時にIDピットによる散乱光も受光される
。これらの受光器5)は適当な増幅器7によりレベル調
整されて欠陥検出部8によりグループ欠陥が検出され、
またI Dピットの散乱光の受光器5fは疑似欠陥とし
て検出され、これらの欠陥および疑似欠陥のデータがデ
ータ処理部9に入力し、ディスク■の1′、径と回転角
度をアドレス七してメモリ9aに記憶される。一方、デ
ータ処理部9には前記のインデックス信zJ・と回転角
変信ジノが入力し、インチ1クス信号のカウントにより
゛lt、径位置戻位置た、INF)を起点とする各N)
iff<の角度(1“l置が判明する。これらの14仔
と角度位置に対するアドレスに対するメモリ9aのデー
タが無効とされ、これら以外のデータ部に対するグルー
プ欠陥データのみが出力される。なお、1−記の回転角
度検出器6としては分解能の良好なロータリエンコーダ
を使用するものである。[Embodiment] FIG. 1 shows a schematic diagram of a probe I in an embodiment of the optical disc defect inspection method according to the present invention. Diagram (a)
, the optical disk l to be inspected is rotated by a spindle 2, and an index (I) is detected by an index detector 5.
The rotation angle 0 of the disk 1 is detected by the rotation angle detector 6, and each detection (;
No. 1 is output. The defect detection optical system for the surface of the disk 1 irradiates the surface of the disk 1 with a laser beam T to form a spot S, as shown in FIG. The light is received by the device 4, and at the same time, the light scattered by the ID pits is also received. These light receivers 5) are level-adjusted by a suitable amplifier 7, and group defects are detected by a defect detector 8.
In addition, the light receiver 5f of the scattered light of the ID pit is detected as a pseudo defect, and the data of these defects and pseudo defects is input to the data processing section 9, and the 1', diameter and rotation angle of the disk (2) are input to the address 7. It is stored in the memory 9a. On the other hand, the index signal zJ and the rotation angle transformer are input to the data processing section 9, and by counting the inch 1 x signal, each N) starting from ゛lt, radial position return position, INF) is input.
The angle (1"l position of if - As the rotation angle detector 6, a rotary encoder with good resolution is used.
[発明の効果]
以ヒの説明により明らかなように、この発明による光デ
ィスクの欠陥検査方法においては、簡易なソフト丁;法
により、II)ピットの疑似欠陥がグループ欠陥として
検出されることが防止されて検査の信頼性が向トするも
ので、この方法を適用することにより、追記型の光ディ
スクに対する多晴のレプリカを効率的に検査できる効果
には大きいものがある。[Effects of the Invention] As is clear from the explanation below, in the optical disc defect inspection method according to the present invention, by using a simple software method, II) preventing pit pseudo defects from being detected as group defects; By applying this method, it is possible to efficiently inspect a replica of a write-once optical disc, which is highly effective.
第1図は、この発明による光ディスクの欠1fM査方法
の実施例における概略のブロック構成図、第2図(a)
、(b)、(c)および(d)は、追記ヤの光ディスク
のグループと、公知のグループ欠陥検出方法の説明図、
第3図(a)および(b)は、追記型光ディスクに設定
されるID情報ピットと、これによる疑似欠陥の説明図
である。
1・・・追記型光ディスク、la・・・グループ、1b
・・・ピット、 2・・・スピンドル、3・・
・投光レンズ、 4.4’・・・受光器、5・・
・インデックス検出器、6・・・回転角度検出器、7・
・・増幅器、 8・・・欠陥検出部、9・・・
データ処理部、 9a・・・メモリ。
特工1出願人
[1立電rエンジニアリング株式会社
代理人 弁理ト 梶 山 拮 是
弁理L 山 木 富」−男
(b)
○
2図
(C)
(d)FIG. 1 is a schematic block diagram of an embodiment of the optical disc missing 1fM scanning method according to the present invention, and FIG. 2(a)
, (b), (c) and (d) are explanatory diagrams of a group of optical disks for additional recording and a known group defect detection method,
FIGS. 3A and 3B are explanatory diagrams of ID information pits set on a write-once optical disc and pseudo defects caused by the ID information pits. 1...Writable optical disc, la...Group, 1b
...Pit, 2...Spindle, 3...
・Emission lens, 4.4'...Receiver, 5...
・Index detector, 6...Rotation angle detector, 7・
...Amplifier, 8...Defect detection section, 9...
data processing unit, 9a...memory; Special Engineering 1 Applicant [1 Ritsunen R Engineering Co., Ltd. Agent Patent Attorney: Kajiyama Kōre Patent Attorney L: Tomi Yamaki” - Male (b) ○ 2 (C) (d)
Claims (1)
対してレーザビームを照射してスパイラルに走査し、該
表面に設定された案内溝(以下グループという)による
該レーザビームの回折光を検出する光ディスクの欠陥検
査において、上記光ディスクの表面をインデックスマー
クを起点として円周方向に等分割したセクタごとに、一
定の角度範囲に識別コード(ID)のピットが設定され
たID部に対して、上記スピンドルに設けられたインデ
ックス検出器および上記光ディスクの回転角度検出器の
検出信号をデータ処理部に入力し、データ処理により上
記ID部に対する検出データを無効とし、データ部に対
する検出データを有効として出力することを特徴とする
、光ディスクの欠陥検査方法。A defect in an optical disc in which the surface of a write-once optical disc rotated by a spindle is irradiated with a laser beam to scan it spirally, and the diffracted light of the laser beam is detected by a guide groove (hereinafter referred to as a group) set on the surface. In the inspection, the surface of the optical disk is equally divided in the circumferential direction with the index mark as the starting point, and for each sector, identification code (ID) pits are set in a certain angular range in the ID section, and the pits are set on the spindle. Detection signals from the index detector and the rotation angle detector of the optical disc are input to a data processing section, and the detection data for the ID section is invalidated through data processing, and the detection data for the data section is output as valid. A method for inspecting optical discs for defects.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12858389A JP2631745B2 (en) | 1989-05-22 | 1989-05-22 | Optical disk defect inspection method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12858389A JP2631745B2 (en) | 1989-05-22 | 1989-05-22 | Optical disk defect inspection method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02307007A true JPH02307007A (en) | 1990-12-20 |
JP2631745B2 JP2631745B2 (en) | 1997-07-16 |
Family
ID=14988345
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12858389A Expired - Lifetime JP2631745B2 (en) | 1989-05-22 | 1989-05-22 | Optical disk defect inspection method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2631745B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20130258328A1 (en) * | 2012-03-29 | 2013-10-03 | Hitachi High-Technologies Corporation | Disk surface inspection method and disk surface inspection device |
-
1989
- 1989-05-22 JP JP12858389A patent/JP2631745B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20130258328A1 (en) * | 2012-03-29 | 2013-10-03 | Hitachi High-Technologies Corporation | Disk surface inspection method and disk surface inspection device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2631745B2 (en) | 1997-07-16 |
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