JPH02306484A - Floating operation method for floating magnetic head structure - Google Patents

Floating operation method for floating magnetic head structure

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JPH02306484A
JPH02306484A JP31106288A JP31106288A JPH02306484A JP H02306484 A JPH02306484 A JP H02306484A JP 31106288 A JP31106288 A JP 31106288A JP 31106288 A JP31106288 A JP 31106288A JP H02306484 A JPH02306484 A JP H02306484A
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JP
Japan
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slider
recording medium
magnetic recording
floating
magnetic
Prior art date
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Pending
Application number
JP31106288A
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Japanese (ja)
Inventor
Kosei Wada
和田 好世
Masakatsu Moriyama
森山 正克
Yasuhiro Yamaguchi
泰弘 山口
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Victor Company of Japan Ltd
Original Assignee
Victor Company of Japan Ltd
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Publication date
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  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)

Abstract

PURPOSE:To attain the recording/reproducing tasks with high density by applying individually the pressing force set against the lift acting on the floating surfaces of the 1st and 2nd slider parts respectively to a pressure applying point set at an approximately center position between the support parts of both slider parts. CONSTITUTION:A floating surface 13 of a 1st slider part SLD1 protrudes over a floating surface 14 of a 2nd slider part SLD2 and at the same time floats over the surface of a magnetic recording medium. Then the pressing force is set at the support parts 18 and 19 of the SLD1 against the lift acting on the surface 13 so that the height of the recording medium surface is set at about 0.05mu on the surface 13 when the distance between the top and bottom parts is set at about 0.5mu on the recording medium surface. At the same time, the pressing force is set against the lift acting on the surface 14 of the SLD2 at a pressure applying point P set at an approximately center position of the SLD2 so that the surface 14 is set at >=0.15mu over the recording medium surface. In such a constitution, the recording/reproducing tasks are attained with high density.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は高密度磁気記録再生に適する浮上型磁気ヘッド
構体の浮上動作方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a method for flying a flying magnetic head assembly suitable for high-density magnetic recording and reproducing.

(従来の技術) 磁気記録媒体円盤(磁気ディスク)記録再生装置におい
て、磁気記録媒体面を傷付けることなく安定に信号の記
録再生ができるようにするために、磁気ディスクに対す
る情報信号の記録動作時と磁気ディスクからの情報信号
の再生動作時とに、磁気記録媒体面に対して磁気ヘッド
の磁気空隙部が、所定の微小な間隔を隔てて浮上した状
態で使用されるようにすることは従来から一般的に実施
されて来ている。
(Prior Art) In a magnetic recording medium disk (magnetic disk) recording and reproducing device, in order to stably record and reproduce signals without damaging the surface of the magnetic recording medium, it is necessary to Conventionally, when reproducing information signals from a magnetic disk, the magnetic head is used in a state in which the magnetic gap part of the magnetic head is suspended at a predetermined minute distance from the surface of the magnetic recording medium. It is commonly practiced.

また、磁気ディスクの回転動作時に生じる面振れによっ
ても磁気ヘッドの浮上量が大きく変化しないようにした
り、あるいはコンタクト・スタート・ストップの動作や
ロード・アンロードの動作が容易になされるようにする
ために、例えば持分昭44−18667号公報に開示さ
れているように、磁気記録媒体面とスライダ部の浮上面
との間の薄層気体流によってスライダ部の浮上面に生じ
る揚力により磁気記録媒体面上でそれぞれ浮上状態にな
されうる親スライダと磁気ヘッドを備えている子スライ
ダとの2つのスライダを備えて、スライダの浮上量変動
を小さくしてスライダの安定な浮上量を確保し、また、
外乱によってスライダの支持機構に誘発される振動や共
振が抑圧できるようにして安定な浮上動作が行われるよ
うにした親子式の浮上型磁気ヘッド装置(第19図参照
)が提案された。
Also, to prevent the flying height of the magnetic head from changing significantly due to surface runout that occurs during rotation of the magnetic disk, or to facilitate contact start/stop operations and load/unload operations. For example, as disclosed in Japanese Patent No. 44-18667, the surface of the magnetic recording medium is lifted by the lift force generated on the air bearing surface of the slider section by a thin layer of gas flow between the surface of the magnetic recording medium and the air bearing surface of the slider section. The slider is provided with two sliders, a parent slider and a child slider equipped with a magnetic head, each of which can be brought into a flying state above the slider, to reduce fluctuations in the flying height of the slider and ensure a stable flying height of the slider.
A parent-child type flying magnetic head device (see FIG. 19) has been proposed in which vibration and resonance induced in the slider support mechanism by disturbances can be suppressed to ensure stable flying operation.

第19図において2,2.2はそれぞれ親スライダ1の
浮上面となされている直径が25 m mの3個の円板
であり、この3個の円板2,2.2は円板の中心部が対
向する磁気ディスク面に向って突出するような態様で彎
曲されていて、毎分1600〜2400回転している直
径が35cmの磁気ディスクの磁気記録媒体面上の薄層
気体流によって親スライダ1の3個の浮上面2,2.2
に生−6= じる揚力により、族スライダ1の3個の浮上面2゜2,
2が磁気記録媒体面から30ミクロン程度浮上した状態
になされるように、族スライダ1には磁気記録媒体面方
向に押圧力が加えられている。
In FIG. 19, 2 and 2.2 are three discs each having a diameter of 25 mm and serve as the air bearing surface of the parent slider 1. The magnetic disk is curved in such a way that its center protrudes toward the opposing magnetic disk surface, and is rotated at 1,600 to 2,400 revolutions per minute. Three air bearing surfaces 2, 2.2 of slider 1
-6 = Due to the lifting force generated, the three air bearing surfaces of the group slider 1 are 2゜2,
A pressing force is applied to the group slider 1 in the direction of the surface of the magnetic recording medium so that the slider 2 floats about 30 microns above the surface of the magnetic recording medium.

子スライダ4,4.4は、族スライダ1にそれぞれ各一
対の板バネ3,3・・・によって連結されており、それ
ぞれの子スライダ4,4.4には複数個の磁気ヘッドが
設けられている。子スライダ4゜4.4は、前記のよう
に毎分1600〜2400回転している直径が35cm
の磁気ディスクの磁気記録媒体面上の薄層気体流が、子
スライダ4゜4.4の下面に形成されている浮上面に生
じさせる揚力によって磁気記録媒体面上で浮上するが、
その浮上量は前記した各一対の板バネ3,3によって子
スライダ4,4.4の背面に10〜15グラムの押圧力
が加えられている状態の下において2〜2.5ミクロン
程度となされる。
The child sliders 4, 4.4 are connected to the group slider 1 by a pair of leaf springs 3, 3, respectively, and each child slider 4, 4.4 is provided with a plurality of magnetic heads. ing. The child slider 4°4.4 has a diameter of 35 cm and rotates at 1600 to 2400 revolutions per minute as described above.
The thin layer of gas flow on the magnetic recording medium surface of the magnetic disk floats above the magnetic recording medium surface due to the lift force generated on the air bearing surface formed on the lower surface of the child slider 4.
The flying height is approximately 2 to 2.5 microns under the condition that a pressing force of 10 to 15 grams is applied to the back surface of the child slider 4, 4.4 by each pair of leaf springs 3, 3 described above. Ru.

次に、第20図は特開昭62−99967号公報に例示
されている親子式の浮上型磁気ヘッド装置であり、この
第20図に示されている親子式の浮上型磁気ヘッド装置
は、族スライダ5に対して粘弾性膜6を用いて構成した
支持機構によって子スライダ7を連結させることにより
、支持機構に機械的共振が生じないようにし、第21図
に示されているように親子式の浮上型磁気ヘッド装置が
安定浮上状態で動作できるようにしたものである。
Next, FIG. 20 shows a parent-child type floating magnetic head device as exemplified in Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-99967, and the parent-child type floating magnetic head device shown in FIG. By connecting the child slider 7 to the family slider 5 by a support mechanism constructed using a viscoelastic membrane 6, mechanical resonance is prevented from occurring in the support mechanism, and the parent-child slider 7 is connected to the slider 5 as shown in FIG. This is a type of floating magnetic head device that can operate in a stable floating state.

また、第22図は前記した第20図に例示されている親
子式の浮」−型磁気ヘッド装置では、粘弾性膜6を用い
て構成した支持機構によって子スライダ7がそれの背面
の全面で連結されているために、子スライダ7に加えら
れる押圧力の印加点で不定であることにより、浮上動作
が不安定になることを改善するために、族スライダ8に
対して粘弾性膜9を用いて構成した支持機構によって子
スライダ10を連結させることにより、支持機構に機械
的共振が生じないようにした上に、板状部材11の先端
部によって子スライダ10の背面の一点に所定の押圧力
を与えるように構成させた親子式の浮上型磁気ヘッド装
置である。
In addition, FIG. 22 shows that in the parent-child type floating type magnetic head device illustrated in FIG. In order to improve the problem that the floating operation becomes unstable due to the inconsistency in the application point of the pressing force applied to the child slider 7 due to the connection, a viscoelastic film 9 is attached to the group slider 8. By connecting the child slider 10 using the support mechanism constructed using the above-mentioned method, mechanical resonance is not generated in the support mechanism, and the tip of the plate-like member 11 can be pressed at a predetermined point on the back surface of the child slider 10. This is a parent-child type floating magnetic head device configured to apply pressure.

(発明が解決しようとする課題) 一7= ところで、第19図乃至第22図に例示されている親子
式の浮上型磁気ヘッド装置を含めて従来の親子式の浮上
型磁気ヘッド装置では、面振れのある状態で駆動回転さ
れている磁気ディスクにおける磁気記録媒体面上におけ
る磁気ヘッドの安定走行動作と、浮上型磁気ヘッド装置
における機械的共振の除去などの観点に立って親子式の
浮上型磁気ヘッド装置の機能の向上を計ろうとしている
のが一般的であり、近年、特に必要になった高密度記録
再生を達成するために、浮上磁気ヘッドを磁気ディスク
の磁気記録媒体面に極めて近接させ5た状態で安定に浮
上させようといった発想は従来なさおでいなかった。
(Problems to be Solved by the Invention) 17= By the way, in conventional parent-child type floating magnetic head devices including the parent-child type floating magnetic head devices illustrated in FIGS. 19 to 22, From the viewpoints of stable running operation of the magnetic head on the magnetic recording medium surface of a magnetic disk that is being driven and rotated with vibration and elimination of mechanical resonance in a floating magnetic head device, we developed a parent-child type floating magnetic head device. Generally, efforts are being made to improve the functionality of head devices, and in order to achieve high-density recording and reproducing, which has become particularly necessary in recent years, floating magnetic heads are brought extremely close to the magnetic recording medium surface of magnetic disks. Until now, the idea of raising the surface stably in a suspended state had never occurred.

前記の点を従来例の内容の説明を通じて明らかにする。The above point will be made clear through the explanation of the contents of the conventional example.

まず、第19図示の従来の親子式の浮上型磁気ヘッド装
置は、族スライダ1の浮上面2゜2.2がそれぞれ直径
25 m mの3個の円板であって全体として大型な装
置であり、子スライダ4゜4.4の浮」1量も2.5ミ
クロン程度というように大きな値であり、高密度記録が
行えるような装置ではなく、前記のように装置が大型で
あるためにトラック間の移動のアクセス速度を大にする
ことが困難であり、そのために最近のように高速アクセ
ス速度化に対しては何等かの対応が必要とされる。
First, in the conventional parent-child type flying magnetic head device shown in Fig. 19, the flying surface 2゜2.2 of the group slider 1 is composed of three disks each having a diameter of 25 mm, and the device as a whole is large. However, the floating amount of the child slider at 4°4.4 is a large value of about 2.5 microns, and it is not a device that can perform high-density recording, but because the device is large as mentioned above. It is difficult to increase the access speed for movement between tracks, and therefore some kind of response is required to increase the access speed, as has recently been the case.

既述のように子スライダ4はそれに板バネ3によって印
加されている10〜15グラムの押圧力の下で磁気ディ
スクの磁気記録媒体面」〕に2〜2゜5ミクロンだけ浮
上するが、仮に、親子スライダにおける浮上の状態が不
安定であって、外部からの機械的なショック等によって
子スライダ4の一部が磁気ディスクの磁気記録媒体面に
接触するようなことが起こると、10〜15グラムとい
うような大きな押圧力が印加されているスライダ4は磁
気ディスクの磁気記録媒体面を一瞬にして破壊してしま
う恐れがあるので、この第19図示の従来装置において
は子スライダ4を2〜2.5ミクロンというように磁気
ディスクの磁気記録媒体面から大きく離れた位置に浮上
させておいて、前記のような磁気ディスクの磁気記録媒
体面の破壊が起こらないようにすることが必要であるた
めに、浮上量を小さくすることはできなかった。
As mentioned above, the child slider 4 levitates by 2 to 2.5 microns above the magnetic recording medium surface of the magnetic disk under a pressing force of 10 to 15 grams applied to it by the leaf spring 3. If the floating state of the parent and child sliders is unstable and a part of the child slider 4 comes into contact with the magnetic recording medium surface of the magnetic disk due to an external mechanical shock, etc., 10 to 15 Since the slider 4 to which a large pressing force of gram is applied may instantly destroy the magnetic recording medium surface of the magnetic disk, in the conventional device shown in FIG. 19, the child slider 4 is It is necessary to levitate the magnetic disk at a distance of 2.5 microns from the magnetic recording medium surface of the magnetic disk to prevent the above-mentioned destruction of the magnetic recording medium surface of the magnetic disk. Therefore, it was not possible to reduce the flying height.

そして、前記のように浮上量が大であるということは、
記録密度が低いということを意味するから、最近のよう
に小型で大容量の記録再生装置が強く要望されている場
合には、浮上量を小にして高密度記録が実現できるよう
にするための手段が必要とされる。
And, as mentioned above, the large floating height means that
This means that the recording density is low, so when there is a strong demand for compact, large-capacity recording and reproducing devices as in recent years, it is necessary to reduce the flying height to realize high-density recording. means are needed.

また、第19図示の従来の親子式の浮上型磁気ヘッド装
置は記録再生の対象にされている磁気ディスクに磁気ヘ
ッドが接触した場合にも磁気ディスクが変形しないソリ
ッド状の磁気ディスクに対して用いられるものとして構
成されているものであり、第19図示の従来の親子式の
浮上型磁気ヘッド装置が可撓性を有する磁気記録媒体に
対して7用いられた場合には、磁気ヘッド装置の重量が
大′き過ぎて磁気記録媒体が回転できないか、あるいは
磁気記録媒体が回転できたとしても磁気記録媒体面の沈
み込み量が大き過ぎて親スライダ1の浮上面2と磁気記
録媒体面との対向部分の曲率が大きく異なるものになる
ために良好な浮上動作は期待できないものと考えられる
Further, the conventional parent-child type floating magnetic head device shown in Fig. 19 is used for a solid magnetic disk in which the magnetic disk does not deform even when the magnetic head comes into contact with the magnetic disk being recorded or reproduced. When the conventional parent-child type floating magnetic head device shown in Fig. 19 is used for a flexible magnetic recording medium, the weight of the magnetic head device is reduced. is too large and the magnetic recording medium cannot rotate, or even if the magnetic recording medium can rotate, the amount of sinking of the magnetic recording medium surface is too large and the relationship between the air bearing surface 2 of the parent slider 1 and the magnetic recording medium surface is Since the curvatures of the opposing portions are greatly different, it is considered that good floating operation cannot be expected.

しかしソリッド状の磁気ディスクだけでなく。But not only solid magnetic disks.

例えばシート状、テープ状、その他の形状の可撓性を有
する磁気記録媒体についても良好に使用できる浮上型磁
気ヘッドは磁気記録再生装置にとって有意義であり、そ
のような機能を有する浮上型磁気ヘッドの出現が強く待
望された。
For example, a floating magnetic head that can be used effectively for flexible magnetic recording media in the form of sheets, tapes, and other shapes is useful for magnetic recording and reproducing devices, and a floating magnetic head with such a function is useful for magnetic recording and reproducing devices. Its appearance was eagerly awaited.

さて第19図示の従来の親子式の浮上型磁気ヘッド装置
において、それの子スライダ4,4.4は親スライダ1
に対してそれぞれ各一対の板バネ3.3を片持ち梁とし
て支持されているが、今。
Now, in the conventional parent-child type flying magnetic head device shown in FIG.
Each pair of leaf springs 3.3 is supported as a cantilever beam, but now.

子スライダ4を親スライダ1に支持させる片持ち梁の板
バネ3が第23図示のように1枚として実施されている
場合と、第24図示のように平行な2枚の板バネ3,3
を用いて実施されている場合とについてそれぞれ考えて
みる。
When the cantilevered leaf spring 3 supporting the child slider 4 on the parent slider 1 is implemented as one piece as shown in Fig. 23, and when two parallel leaf springs 3, 3 are used as shown in Fig. 24.
Let's consider the case where it is carried out using .

まず、第23図の(、)は子スライダ4を親スライダ1
に支持させる片持ち梁として使用されている板バネ3が
1枚の場合に、親子の両スライダ1゜4の浮上面2,4
aが磁気ディスクDの磁気記録媒体面から所定の距離だ
け浮上している状態を示している図であり、また第23
図の(b)は前記した第23図の(a)に示されている
浮上状態から親スライダ1が下降してそれの浮上面2が
磁気ディスクDの磁気記録媒体面に接近した状態を例示
している。
First, in (,) in Figure 23, child slider 4 is moved to parent slider 1.
When there is only one leaf spring 3 used as a cantilever to support the parent and child sliders 1.
23 is a diagram showing a state where a is floating a predetermined distance from the magnetic recording medium surface of a magnetic disk D, and
(b) of the figure illustrates a state in which the parent slider 1 has descended from the flying state shown in (a) of FIG. 23 and its flying surface 2 has approached the magnetic recording medium surface of the magnetic disk D. are doing.

前記のように第23図の(、)に示されている浮2上状
態から親スライダ1が下降してそれの浮上面2が磁気デ
ィスクDの磁気記録媒体面に接近した状態になされると
きには、子スライダ4も親スラ′イダ1の下降動作がバ
ネ板3を介して伝えられて下降するが、この状態におい
て親子のスライダ1゜74の浮上面2,4aに対して磁
気記録媒体面と親子のスライダ1,4の浮上面とめ間の
薄層気体流によって親子のスライダ1,4の浮上面2 
、−4 aに生じる揚力によって、親子のスライダ1,
4の浮上面2,4aは第23図の(’a)に示されてい
る、もとの浮上状態に戻ろうとするために、子スライダ
4の浮上面4aはそれの1端が磁気ディスクDの磁気記
録媒体面に接触する方向に移動し、それにより大きな押
圧力が与えられている子スライダ4の浮上面4aの1端
が磁気記録媒体面に激突し、磁気ディスクDの磁気記録
媒体面を破壊してしまうことも起こる。
As mentioned above, when the parent slider 1 is lowered from the floating state shown in (,) in FIG. 23 and its floating surface 2 is brought close to the magnetic recording medium surface of the magnetic disk D. The descending motion of the parent slider 1 is transmitted to the child slider 4 via the spring plate 3, and the child slider 4 also descends, but in this state, the magnetic recording medium surface and the air bearing surfaces 2 and 4a of the parent and child sliders 1°74 are lowered. The air bearing surface 2 of the parent and child sliders 1 and 4 is created by the thin layer gas flow between the air bearing surfaces of the parent and child sliders 1 and 4.
, -4 Due to the lift force generated at a, the parent and child sliders 1,
The floating surfaces 2 and 4a of the child slider 4 attempt to return to the original floating state shown in FIG. One end of the flying surface 4a of the child slider 4, which is moved in the direction of contacting the magnetic recording medium surface of the magnetic disk D and is thereby applied with a large pressing force, collides with the magnetic recording medium surface, causing the magnetic recording medium surface of the magnetic disk D to collide with the magnetic recording medium surface. It may also happen that it is destroyed.

次に第23図の(c)は前記した第23図の(a)に示
されている浮上状態から親スライダ1が上昇してそれの
浮上面2が磁気ディスクDの磁気記録媒体面から離れた
状態を例示しているが、この状態において子スライダ4
はバネ板3の支点に対して頭を下げる形で降下するため
に、子スライダ4の浮上面4aはそれの1端が磁気ディ
スクDの磁気記録媒体面に激突して磁気ディスクDの磁
気記録媒体面を破壊してしまうことも起こるが、このよ
うな現象は子スライダ4の形態が大きな程起こり易いこ
とは当然である。
Next, in FIG. 23(c), the parent slider 1 rises from the floating state shown in FIG. 23(a), and its flying surface 2 separates from the magnetic recording medium surface of the magnetic disk D. In this state, the child slider 4
Because the child slider 4 descends with its head bowed to the fulcrum of the spring plate 3, one end of the floating surface 4a of the child slider 4 collides with the magnetic recording medium surface of the magnetic disk D, causing the magnetic recording of the magnetic disk D to be interrupted. Although the medium surface may be destroyed, it is natural that such a phenomenon is more likely to occur as the form of the child slider 4 becomes larger.

第19図示の従来の親子式の浮上型磁気ヘッド装置では
、既述のように装置の形状が大きいためもあって、子ス
ライダ4の浮上量は2〜2.5ミクロンが最適であると
されているのであるが、より一層の高密度記録を行うよ
うにするためには、子スライダ4の浮上量を前記の浮上
量よりも一桁以上も下げることが必要であるが、前記の
よ」に子スライダ4の浮上量を前記の浮上量よりも一桁
以上も下げて、しかも安定な浮上状態を保たせるために
は親子式の浮上型磁気ヘッド装置の大きさや構成形態の
変更が必要なことは容易に理解できる。
In the conventional parent-child type flying magnetic head device shown in FIG. 19, the optimal flying height of the child slider 4 is said to be 2 to 2.5 microns, partly because the device is large in shape as described above. However, in order to perform even higher density recording, it is necessary to lower the flying height of the child slider 4 by more than an order of magnitude than the above-mentioned flying height. In order to lower the flying height of the child slider 4 by more than an order of magnitude than the above-mentioned flying height and maintain a stable flying state, it is necessary to change the size and configuration of the parent-child type flying magnetic head device. This is easy to understand.

・ 次に、第19図示の従来の親子式の浮上型磁気ヘッ
ド装置において、それの子スライダ4,4゜4を親スラ
イダ1に支持させる片持ち梁の板バネ3が第24図示の
ように平行な2枚の板バネ3゜3を用いて実施されてい
る場合について考えてみる。
・Next, in the conventional parent-child type floating magnetic head device shown in FIG. Let us consider the case where this is implemented using two parallel leaf springs 3°3.

まず、第24図の(a)は子スライダ4を親スライダ1
に支持させる片持ち梁として使用されている2枚の平行
な板バネ3により、親子の両スライダ1,4の浮上面2
,4aが磁気ディスクDの磁気記録媒体面から所定の距
離だけ浮上している状態を示している図であり、また第
24図の(b)は前記した第24図の(a)に示されて
いる浮上状態から親スライダ1が降下している状態、ま
た第24図の(c)は前記した第24図の(a)に示さ
れている浮上状態から親スライダ1が上昇している状態
を示している。
First, in (a) of FIG. 24, child slider 4 is moved to parent slider 1.
The floating surfaces 2 of both the parent and child sliders 1 and 4 are supported by two parallel leaf springs 3 used as cantilevers.
, 4a are floating a predetermined distance from the magnetic recording medium surface of the magnetic disk D, and FIG. 24(b) is the same as that shown in FIG. 24(a) above. 24(c) is a state in which the parent slider 1 is rising from the floating state shown in FIG. 24(a). It shows.

そして、前記のように子スライダ4を親スライダ1に支
持させる片持ち梁として使用されている2枚の板バネ3
は平行四辺形のリンクとして動作するから、親子のスラ
イダ1,4が磁気ディスクDの磁気記録媒体面からの浮
上量が変化しても子スライダ4の浮上面4aは磁気ディ
スクDの磁気記録媒体面に平行な状態に保たれる。
As mentioned above, two leaf springs 3 are used as cantilevers to support the child slider 4 on the parent slider 1.
operates as a parallelogram link, so even if the flying height of the parent and child sliders 1 and 4 from the magnetic recording medium surface of the magnetic disk D changes, the flying surface 4a of the child slider 4 will remain on the magnetic recording medium of the magnetic disk D. remains parallel to the plane.

しかし子スライダ4の浮上量が第24図の(、)に示さ
れている正規の浮上量の状態から、第24図の(b)、
(c)に示されるような浮上量の状態に変化した場合に
は、子スライダ4の位置が記録跡の延長する方向にΔQ
だけずれるので、浮上量の変動と対応して磁気ヘッドと
磁気記録媒体面との相対速度が変化してジッタ成分を生
じ、それは信号再生のアイパターンにノイズとして観測
されるようになる。
However, when the flying height of the child slider 4 changes from the normal flying height shown in (,) in Fig. 24, to (b) in Fig. 24,
When the flying height changes to the state shown in (c), the position of the child slider 4 changes by ΔQ in the direction in which the recording trace extends.
As a result, the relative velocity between the magnetic head and the magnetic recording medium surface changes in response to the fluctuation in the flying height, producing a jitter component, which is observed as noise in the eye pattern of signal reproduction.

前記した子スライダ4の変位の状態は、磁気ディスクD
の磁気記録媒体面に対して垂直な方向の自由度ではなく
、第24図の(d)に示されているように、子スライダ
4の変位の状態は、磁気ディスクDの磁気記録媒体面に
対して垂直な方向の浮上量Yの成分と、記録跡の延長方
向における位置の変化分Δaとのベクトル和で示される
合成ベクトルAで示されるものとなる。
The displacement state of the child slider 4 described above is based on the magnetic disk D.
As shown in FIG. 24(d), the state of displacement of the child slider 4 is not the degree of freedom in the direction perpendicular to the magnetic recording medium surface of the magnetic disk D. A composite vector A is a vector sum of a component of the flying height Y in a direction perpendicular to the flying height Y and a change in position Δa in the extending direction of the recording trace.

ところで、前記した子スライダ4の浮上動作では、磁気
ディスクDの磁気記録媒体面に対して垂直な方向だけに
浮上量の変化と対応する変位Yを生じさせうるような自
由度だけが必要なのであり、子スライダ4の浮上量の変
動に応じて記録跡の延長方向にも位置の変化分ΔQが生
じることは望ましいことではなく、それの改善策が必要
とされる。
By the way, in the above-mentioned floating operation of the child slider 4, only a degree of freedom is required that can cause a displacement Y corresponding to a change in the flying height only in the direction perpendicular to the magnetic recording medium surface of the magnetic disk D. It is not desirable that a positional change ΔQ occurs in the extending direction of the recording trace in response to fluctuations in the flying height of the child slider 4, and a countermeasure for this is required.

さて、第19図示の従来の親子式の浮上型磁気ヘッド装
置において、それの子スライダ4,4゜4は既述のよう
に親スライダ1に対して板バネ3による片持ち梁によっ
て支持されているが、子スライダ4が第25図の(a)
に示されているように矢印X方向に移動されている磁気
ディスクDの磁気記録媒体面上の薄層気体流によって子
スライダ4の浮上面4aに生じた揚力Y′によって浮上
している状態においては、子スライダ4には前記した揚
力Y′と磁気ディスクDの磁気記録媒体面上の薄層気体
流による力X′とが加わっている。
Now, in the conventional parent-child type floating type magnetic head device shown in FIG. However, the child slider 4 is shown in (a) of Fig. 25.
As shown in , when the magnetic disk D is being moved in the direction of the arrow X and is floating due to the lifting force Y' generated on the flying surface 4a of the child slider 4 by the thin layer gas flow on the magnetic recording medium surface. The child slider 4 is subjected to the aforementioned lifting force Y' and the force X' due to the thin layer gas flow on the magnetic recording medium surface of the magnetic disk D.

前記した揚力Y′と薄層気体流による力X′との合成力
が加わっている子スライダ4は、それの−側壁で板バネ
3による線状の支持点PD、において支持されているか
ら、前記の子スライダ4は前記した揚力Y″と薄層気体
流による力X′との合力が支持点Pに加えられることに
より、子スライダ4の一端部が磁気記録媒体面に接近し
、また、子スライダ4の他端部が磁気記録媒体面から離
れる状態になって第25図の(a)に示されているよう
に、浮上面4aが磁気記録媒体面に非平行の状態で対向
するようになるが、このような傾向を有するということ
は子スライダ4が時として磁気ディスクDの磁気記録媒
体面に接触して磁気記録媒体面を破壊させることも起こ
る。
The child slider 4, to which the above-mentioned lift force Y' and the force X' due to the thin layer gas flow are applied, is supported at the linear support point PD by the leaf spring 3 on its negative side wall. In the child slider 4, one end of the child slider 4 approaches the surface of the magnetic recording medium due to the resultant force of the lifting force Y'' and the force X' caused by the thin layer gas flow being applied to the support point P. The other end of the child slider 4 is separated from the magnetic recording medium surface so that the air bearing surface 4a faces the magnetic recording medium surface in a non-parallel manner, as shown in FIG. 25(a). However, having this tendency means that the child slider 4 sometimes comes into contact with the magnetic recording medium surface of the magnetic disk D and destroys the magnetic recording medium surface.

第25図の(b)は第25図の(a)の状態を上方から
見た状態を示している図であるが、第25図の(b)か
ら判かるように親子式の浮上型磁気ヘッド装置では、そ
れの子スライダ40巾■の方向の力が点状の支持点に加
えられるのではなく線上の支持点PQに加えられる。
FIG. 25(b) is a diagram showing the state of FIG. 25(a) viewed from above, and as can be seen from FIG. 25(b), the parent-child type floating type magnetic In the head device, a force in the direction of the child slider 40 width is not applied to a dotted support point but to a linear support point PQ.

それで、図中のVの方向に磁気ディスクの磁気記録媒体
面の振れの成分があるときでも、板バネ3の巾方向にお
ける支持点PQでY方向(上下)にしか動かないから、
前記した図中のVの方向における磁気ディスクの磁気記
録媒体面の振れの成分が大きい場合には子スライダ4に
おけるVの方向の片方の縁部が磁気ディスクの磁気記録
媒体面に近付き、場合によっては子スライダ4における
Vの方向の片方の縁部が磁気ディスクの磁気記録媒′体
面に接触して磁気ディスクの磁気記録媒体面と子スライ
ダの磁気ヘッドとが破壊されてしまうことも起こる。
Therefore, even when there is a vibration component of the magnetic recording medium surface of the magnetic disk in the direction of V in the figure, it only moves in the Y direction (up and down) at the support point PQ in the width direction of the leaf spring 3.
When the component of the deflection of the magnetic recording medium surface of the magnetic disk in the direction of V in the above-mentioned figure is large, one edge of the child slider 4 in the direction of V approaches the magnetic recording medium surface of the magnetic disk, and in some cases, It also happens that one edge of the child slider 4 in the V direction comes into contact with the magnetic recording medium surface of the magnetic disk, thereby destroying the magnetic recording medium surface of the magnetic disk and the magnetic head of the child slider.

前記したような問題点は子スライダー4を単独の安定し
た浮上素子として機能させうるように、第25図の(c
)、(d)にそれぞれ示されている子スライダ4の面の
略々中心点に対応している部分Pに押圧力が加えられる
ようにすることにより解決できる。
The above-mentioned problems can be solved by using (c) in FIG.
This problem can be solved by applying a pressing force to a portion P corresponding to approximately the center point of the surface of the child slider 4 shown in ) and (d), respectively.

前記した第19図示の親子式の浮上型磁気ヘッド装置に
ついて説明された欠点を除去しつるようにした親子式の
浮上型磁気ヘッド装置として従来提案されたものとして
、例えば特開昭62−99967号公報、特開昭62−
167681〜167683号公報などに開示された親
子式の浮上型磁気ヘット装置があり、前記した特開昭6
2−99967号公報に例示されている親子式の浮上型
磁気ヘッド装置の一例構成として第20図に示されてい
る親子式の浮上型磁気ヘッド装置は、既述もしたように
親スライダ5に対して粘弾性膜6を用いて構成した支持
機構によって子スライダ7を連結させることにより、支
持機構に機械的共振が生じないようにして第21図に示
されているように親子式の浮」二型磁気ヘッド装置が安
定浮上状態−19= で動作できるようにしたものであり、まず、前記した第
20図に例示されている親子式の浮上型磁気ヘッド装置
では、大きな機械抵抗を有する粘弾性膜6を用いて構成
した支持機構が採用されているから、大きな機械抵抗を
有する粘弾性膜6により機械系の共振が良好に抑圧でき
るために高い周波数帯域までの上下動成分に追従できる
可能性を有しているが、粘弾性膜6は3次元方向におけ
るどの方向にも延びるような性質を有するから、この第
20図に例示されている親子式の浮上型磁気ヘッド装置
を高速回転している磁気ディスクDに・おける磁気記録
媒体面上で第26図の(a)に例示されているように浮
上させた場合には、磁気ディスクDの磁気記録媒体面上
の薄層気体流によって子スライダ7の浮上面7aに生じ
た揚力Y′によって浮上している状態において、子スラ
イダ7には第26図の(b)に例示されているように前
記した揚力Y′と磁気ディスクDの磁気記録媒体面上の
薄層気体流による力X″とが加わっている。
For example, Japanese Patent Laid-Open No. 62-99967 has proposed a parent-child type floating magnetic head device that eliminates the drawbacks described in the above-mentioned parent-child type floating magnetic head device shown in Fig. 19. Publication, JP-A-62-
There is a parent-child type floating type magnetic head device disclosed in Japanese Patent Laid-Open Nos. 167681 to 167683, etc., and
The parent-child type floating magnetic head device shown in FIG. 20 as an example configuration of the parent-child type floating magnetic head device exemplified in Publication No. 2-99967 has a parent-child type floating magnetic head device in which the parent slider 5 is attached as described above. On the other hand, by connecting the child slider 7 with a support mechanism constructed using a viscoelastic membrane 6, mechanical resonance is prevented from occurring in the support mechanism, and a parent-child type float is constructed as shown in FIG. The type 2 magnetic head device is designed to operate in a stable floating state of −19=. First, in the parent-child type floating magnetic head device illustrated in FIG. Since a support mechanism constructed using an elastic membrane 6 is adopted, resonance of the mechanical system can be well suppressed by the viscoelastic membrane 6, which has a large mechanical resistance, so it is possible to follow vertical motion components up to a high frequency band. However, since the viscoelastic film 6 has the property of extending in any three-dimensional direction, the parent-child type floating magnetic head device illustrated in FIG. 20 can be rotated at high speed. When the magnetic disk D is levitated above the magnetic recording medium surface of the magnetic disk D as shown in FIG. In the state where the child slider 7 is floating due to the lift force Y' generated on the air bearing surface 7a, the child slider 7 is subjected to the above-mentioned lift force Y' and the force of the magnetic disk D, as illustrated in FIG. 26(b). A force X'' due to the thin layer gas flow on the surface of the magnetic recording medium is applied.

前記した揚力Y″と薄層気体流による力X′との合成力
が加わっている子スライダ7は、第26図の(b)中に
示されている想像線位置から実線位置に変位して磁気デ
ィスクDの移動方向に八〇だけ変位するとともに、浮上
面7aが磁気ディスクDの磁気記録媒体面に対してθだ
け傾斜した状態になり、子スライダ7の一端部が磁気記
録媒体面に接近し、また、子スライダ7の他端部が磁気
記録媒体面から離れる状態になって第26図の(b)中
の実線図示のように、浮上面7aが磁気記録媒体面に非
平行の状態で対向するようになる。
The child slider 7, to which the combined force of the above-mentioned lifting force Y'' and the force X' due to the thin layer gas flow is applied, is displaced from the imaginary line position shown in FIG. 26(b) to the solid line position. The magnetic disk D is displaced by 80 degrees in the moving direction, and the air bearing surface 7a becomes inclined by θ with respect to the magnetic recording medium surface of the magnetic disk D, and one end of the child slider 7 approaches the magnetic recording medium surface. However, the other end of the child slider 7 is separated from the magnetic recording medium surface, and the air bearing surface 7a is not parallel to the magnetic recording medium surface, as shown by the solid line in FIG. 26(b). They will now face each other.

次に、特開昭62−167681号公報に例示されてい
る親子式の浮上型磁気ヘッド装置の一例構成として第2
2図に示されている親子式の浮上型磁気ヘッド装置は、
親スライダ8に対して粘弾性膜9を用いて構成した支持
機構によって子スライダ10を連結させて支持機構に機
械的共振が生じないようにした上で、板状部材11の先
端部によって子スライダ10の背面の一点に所定の押圧
力を与えるように構成させた親子式の浮上型磁気ヘッド
装置であって、この第22図示の親子式の浮」二型磁気
ヘッド装置では第20図に例示した構成の親子式の浮上
型磁気ヘッド装置が浮上動作を行っている際に、子スラ
イダ7が第26図の(b)中に示されている想像線位置
から実線位置に変位して磁気ディスクDの移動方向にΔ
立だけ変位するとともに、浮上面7aが磁気ディスクD
の磁気記録媒体面に対してθだけ傾斜した状態になって
いたのを、親スライダ8に対して粘弾性膜9を用いて構
成した支持機構によって子スライダ10を連結させるこ
とにより、支持機構に機械的共振が生じないようにした
上に、板状部材11の先端部によって子スライダ10の
背面の一点に所定の押圧力を与えるように構成させるこ
とにより、浮上動作時においても子スライダ10の浮上
面と磁気ディスクDの磁気記録媒体面との傾斜角を、第
20図に示した親子式の浮上型磁気ヘッド装置における
子スライダ7について第26図の(b)中に示した実線
図示のような傾斜角θよりも小さな傾斜角にすることが
できる。
Next, a second example of the configuration of a parent-child type floating type magnetic head device illustrated in Japanese Patent Application Laid-Open No. 167681/1981 will be described.
The parent-child type floating magnetic head device shown in Figure 2 is
After connecting the child slider 10 to the parent slider 8 by a support mechanism configured using a viscoelastic membrane 9 to prevent mechanical resonance from occurring in the support mechanism, the child slider 10 is This parent-child type floating type magnetic head device is configured to apply a predetermined pressing force to one point on the back surface of the parent-child type floating type magnetic head device shown in FIG. When the parent-child type floating magnetic head device having the above configuration is performing a flying operation, the child slider 7 is displaced from the imaginary line position shown in FIG. 26(b) to the solid line position, and the magnetic disk is Δ in the moving direction of D
At the same time, the air bearing surface 7a is displaced by the magnetic disk D.
By connecting the child slider 10 to the parent slider 8 using a support mechanism constructed using a viscoelastic film 9, the support mechanism can be improved. In addition to preventing mechanical resonance from occurring, by configuring the tip of the plate-like member 11 to apply a predetermined pressing force to one point on the back surface of the child slider 10, the child slider 10 can be maintained even during the floating operation. The inclination angle between the air bearing surface and the magnetic recording medium surface of the magnetic disk D is determined by the solid line shown in FIG. 26(b) for the child slider 7 in the parent-child type flying magnetic head device shown in FIG. The inclination angle can be made smaller than the inclination angle θ.

しかし、第22図示の親子式の浮上型磁気ヘッド装置に
おいても子スライダ10が磁気ディスクの移動方向にΔ
Qだけ変位することを防止できないし、そのために子ス
ライダの作用軸の自由度方向に対して、前記した変位Δ
Qの存在によって他の1つの方向の自由度との2つの自
由度の他に、既述した角度Oをも含めて3つの自由度が
存在することになり安定性上で問題がある。
However, even in the parent-child type floating magnetic head device shown in FIG. 22, the child slider 10 moves Δ
It is not possible to prevent the displacement by Q, and therefore, the above-mentioned displacement Δ
Due to the existence of Q, in addition to the two degrees of freedom in one other direction, there are three degrees of freedom including the already mentioned angle O, which poses a problem in terms of stability.

これまでに第19図乃至第26図を参照して記述したと
ころから明らかなように、従来の親子式の浮上型磁気ヘ
ッド装置においては、安定走行の実現や機械的な共振の
除去などを目的として磁気ディスクの磁気記録媒体面上
に比較的に大きな浮上間隙を安定に構成させるようにさ
せるものであったので、高密度記録を実現させるのには
適してはいないものであったが、近年、小型で大容量の
磁気記録再生装置の必要性の高まりに伴って、これまで
よりも磁気ディスクの磁気記録媒体面に極めて接近した
位置に浮上して高密度記録再生動作ができるようにする
技術の出現が求められた。
As is clear from the descriptions so far with reference to FIGS. 19 to 26, in conventional parent-child type floating magnetic head devices, the purpose of achieving stable running and eliminating mechanical resonance is As a result, a relatively large flying gap was stably formed on the magnetic recording medium surface of a magnetic disk, so it was not suitable for realizing high-density recording. With the increasing need for compact, large-capacity magnetic recording and reproducing devices, technology has been developed to enable high-density recording and reproducing operations by levitating a magnetic disk at a position much closer to the magnetic recording medium surface than before. was required to appear.

(課題を解決するための手段) 23一 本発明は磁気記録媒体面とスライダ部の浮上面との間の
薄層気体流によってスライダ部の浮上面に生じる揚力に
より磁気記録媒体面上でそれぞれ浮上状態になされつる
第1のスライダ部と第2のスライダ部との2つのスライ
ダ部からなり前記した第1のスライダ部に磁気ヘッドを
備えさせてある浮上型磁気ヘッド構体における前記の第
1のスライダ部は第2のスライダ部における浮上面の方
向に略々直交する方向だけで直線運動が可能な状態の支
持部により第2のスライダ部に支持されていて、それの
浮上面が磁気記録媒体面の面荒れの山谷部の山の最頂部
付近と谷の上方とを通過しうるような態様で面荒れの山
谷部に対応して変位し、また、前記した第2のスライダ
部は磁気記録媒体の面荒れの山谷部の山の最頂部よりも
上方に設定された高さの位置で磁気記録媒体面の面振れ
に対応してそれの浮上面が磁気記録媒体面に正しく対向
する姿態を保つように変位して前記した第1゜第2のス
ライダ部の浮上動作が行われるように、磁気記録媒体面
と前記した第1及び第2のスライ=24− ダ部の浮上面との間の薄層気体流によって前記した第1
及び第2のスライダ部における浮上面にそれぞれ作用し
ている揚力に抗する押圧力を、第1のスライダ部の支持
部及び第2のスライダ部における略々中央位置に設定さ
れた加圧点へ個別に与えるようにした浮上型磁気ヘッド
構体の浮上動作方法を提供するものである。
(Means for Solving the Problems) 23- The present invention is capable of floating above the surface of the magnetic recording medium by the lift force generated on the flying surface of the slider section by a thin layer of gas flow between the surface of the magnetic recording medium and the flying surface of the slider section. The first slider in the floating magnetic head structure is composed of two slider parts, a first slider part and a second slider part, and the first slider part is equipped with a magnetic head. The part is supported by the second slider part by a support part that is capable of linear movement only in a direction substantially perpendicular to the direction of the air bearing surface of the second slider part, and the air bearing surface thereof is aligned with the surface of the magnetic recording medium. The second slider section is displaced corresponding to the peaks and valleys of the surface roughness in such a manner that it can pass near the top of the peaks and above the valleys of the peaks and valleys of the surface roughness. At a height set above the top of the peaks and troughs of the surface roughness, the air bearing surface of the magnetic recording medium is maintained in a position that correctly faces the surface of the magnetic recording medium in response to the surface runout of the surface of the magnetic recording medium. The distance between the magnetic recording medium surface and the air bearing surfaces of the first and second slider sections is such that the above-mentioned first and second slider sections are displaced as shown in FIG. The first method described above is achieved by a thin layer gas flow.
and a pressing force that resists the lift force acting on the floating surface of the second slider section, respectively, to a pressurizing point set approximately at the center of the support section of the first slider section and the second slider section. The present invention provides a method for floating a floating magnetic head structure in which the floating magnetic head structures are provided individually.

(作用) 磁気記録媒体面とスライダ部の浮上面との間の薄層気体
流によってスライダ部の浮上面に生じる揚力により磁気
記録媒体面上でそれぞれ浮上状態になされうる第1のス
ライダ部と第2のスライダ部との2つのスライダ部から
なり前記した第1のスライダ部に磁気ヘッドを備えさせ
てある浮上型磁気ヘッド構体における前記の第1のスラ
イダ部を、それの浮上面に比較して大きな面積の浮上面
を有する第2のスライダ部における浮上面の方向に略々
直交する方向だけで直線運動が可能な状態の支持部によ
り第2のスライダ部に支持させておき、磁気記録媒体面
と前記した第1及び第2のス−96= ライダ部の浮上面との間の薄層気体流によって前記した
第1及び第2のスライダ部における浮上面にそれぞれ作
用している揚力に抗して第1のスライダ部の支持部及び
第2のスライダ部における略々中央位置に設定された加
圧点に対してそれぞれ個別の押圧力、すなわち、第1の
スライダ部に加えられる押圧力よりも第2のスライダ部
に加えられる押圧力の方が小さく、かつ、前記の第1の
スライダ部と第2のスライダ部に加えられる前記の押圧
力の単位面積当りの押圧力の値を、第1のスライダ部に
おける単位面積当りの押圧力の値の方が第2のスライダ
部における単位面積当りの押圧力の値よりも大であるよ
うにして、第1のスライダはそれの浮上面が磁気記録媒
体面の面荒れの山7谷部の山の最頂部付近と谷の上方と
を通過しうるような態様で面荒れの山谷部に対応して変
位し、また、前記した第2のスライダ部は磁気記録媒体
の面荒れの山谷部の山の最頂部、よりも上方に設定され
た高さの位置で磁気記録媒体面の面振れに対応してそれ
の浮上面が磁気記録媒体面に略々平行な姿態を保つよう
に変位させる。
(Function) The first slider section and the first slider section can each be brought into a flying state above the magnetic recording medium surface by the lift force generated on the air bearing surface of the slider section by a thin layer of gas flow between the magnetic recording medium surface and the air bearing surface of the slider section. Comparing the above-mentioned first slider section with the air bearing surface of the floating magnetic head structure, which is composed of two slider sections and the above-mentioned first slider section is equipped with a magnetic head. The second slider section is supported by a support section that allows linear movement only in a direction substantially perpendicular to the direction of the air bearing surface in the second slider section that has a large air bearing surface, and the surface of the magnetic recording medium is The above-mentioned first and second sliders 96 = resist the lift forces acting on the air bearing surfaces of the first and second slider sections, respectively, due to the thin layer gas flow between them and the air bearing surfaces of the rider sections. The pressing force applied to the support part of the first slider part and the pressurizing point set approximately at the center of the second slider part, respectively, is greater than the pressing force applied to the first slider part. The pressing force applied to the second slider portion is smaller, and the value of the pressing force per unit area of the pressing force applied to the first slider portion and the second slider portion is The first slider is arranged such that the value of the pressing force per unit area in the slider part is larger than the value of the pressing force per unit area in the second slider part, so that the air bearing surface of the first slider is The second slider section is displaced in accordance with the peaks and valleys of the surface roughness in such a manner that it can pass near the top of the peaks and above the valleys of the peaks and valleys of the surface roughness on the medium surface, and is the top of the peak of the peaks and troughs of the surface roughness of the magnetic recording medium, and the air bearing surface of the magnetic recording medium is approximately parallel to the surface of the magnetic recording medium in response to the surface runout of the magnetic recording medium at a height set above the top. Displace it so that it maintains a parallel posture.

(実施例) 以下、添付図面を参照して本発明の浮上型磁気ヘッド構
体の浮上動作方法の具体的な内容について詳細に説明す
る。
(Example) Hereinafter, specific details of a method for flying a flying magnetic head assembly according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

第1図は本発明の浮上型磁気ヘッド構体の浮上動作方法
に使用される浮上型磁気ヘッド構体の平面図、第2図は
本発明の浮上型磁気ヘッド構体の浮上動作方法に使用さ
れている浮上型磁気ヘッド構体の側面図、第3図は本発
明の浮上型磁気ヘッド構体の浮上動作方法に使用されて
いる浮上型磁気ヘッド構体の正断面図、第4図は浮上型
磁気ヘッド構体の浮上面側の底面図、第5図及び第7図
は浮上型磁気ヘッド構体の斜視図、第6図は第5図に示
されている浮上型磁気ヘッド構体の分解斜視図、第8図
は第7図に示されている浮上型磁気ヘッド構体に使用さ
れている磁気ヘッドの斜視図、第9図は第7図に示され
ている浮上型磁気ヘッド構体を破砕して内部を示す斜視
図、第10図及び第11図は磁気ヘッドの説明用の図、
第12図乃至第14図は浮上型磁気ヘッド構体の動作説
明用の正面図、第15図は磁気ディスクの表面の突起に
よる山谷部の説明用の図、第16図乃至第18図は磁気
ヘッドによる記録再生動作の説明用図である。
FIG. 1 is a plan view of a floating magnetic head structure used in the floating operation method of a floating magnetic head structure of the present invention, and FIG. 2 is a plan view of a floating magnetic head structure used in the floating operation method of a floating magnetic head structure of the present invention. 3 is a front sectional view of the floating magnetic head assembly used in the floating operation method of the floating magnetic head assembly of the present invention, and FIG. 4 is a side view of the floating magnetic head assembly. 5 and 7 are perspective views of the floating magnetic head structure, FIG. 6 is an exploded perspective view of the floating magnetic head structure shown in FIG. 5, and FIG. 8 is a bottom view of the air bearing surface side. FIG. 7 is a perspective view of the magnetic head used in the floating magnetic head structure shown in FIG. 7, and FIG. 9 is a perspective view showing the inside of the floating magnetic head structure shown in FIG. , FIGS. 10 and 11 are diagrams for explaining the magnetic head,
12 to 14 are front views for explaining the operation of the floating magnetic head structure, FIG. 15 is a diagram for explaining the peaks and valleys formed by protrusions on the surface of the magnetic disk, and FIGS. 16 to 18 are front views for explaining the operation of the floating magnetic head structure. FIG.

第1図乃至第3図はそれぞれ本発明の浮上型磁気ヘッド
構体の浮上動作方法に使用される浮上型磁気ヘッド構体
の平面図と側面図と正断面図である。浮上型磁気ヘッド
構体についての具体的な構造は第3図乃至第9図等の各
回を参照して後述されているとおりに、第1のスライダ
部5LDI と、第2のスライダ部5LD2と、アーム
部AMDとによって構成されている。
1 to 3 are a plan view, a side view, and a front sectional view, respectively, of a floating magnetic head assembly used in the floating operation method for a floating magnetic head assembly of the present invention. The specific structure of the floating magnetic head structure will be described later with reference to FIGS. 3 to 9, and includes a first slider section 5LDI, a second slider section 5LD2, and an arm. It is composed of a division AMD.

第2図及び第3図中に示されているDは磁気記録媒体で
あるが、本発明の浮上型磁気ヘッド構体の浮上動作方法
を適用して動作される浮上型磁気ヘッド構体における磁
気ヘッドによって記録再生されるべき磁気記録媒体とし
ては、それがソリッド状の磁気ディスクであっても、あ
るいは可撓性を有する磁気ディスクであっても、その他
、シー一28= ト状、テープ状の磁気記録媒体等、どのような構成形態
のものであってもよいのである。
D shown in FIGS. 2 and 3 is a magnetic recording medium, which is used by a magnetic head in a floating magnetic head structure operated by applying the floating operation method for a floating magnetic head structure of the present invention. The magnetic recording medium to be recorded and reproduced may be a solid magnetic disk, a flexible magnetic disk, or a sheet-shaped or tape-shaped magnetic recording medium. It may be of any configuration such as a medium.

本発明の浮上型磁気ヘッド構体の浮上動作方法は、浮上
型磁気ヘッド構体における磁気ヘッドにより磁気記録媒
体で高密度記録再生が実現できるようにしたものである
が、浮上型磁気ヘッド構体によって高密度記録を実現す
るためには、磁気ヘッドが設けられているスライダを磁
気記録媒体面に極めて近接させた状態に安定に浮上させ
ることが必要である。
The floating operation method of the floating magnetic head structure of the present invention is such that the magnetic head in the floating magnetic head structure can realize high-density recording and reproducing on a magnetic recording medium. In order to realize recording, it is necessary to stably float a slider provided with a magnetic head in a state extremely close to the surface of a magnetic recording medium.

ところで、磁気記録再生に使用される磁気ディスクDの
磁気記録媒体面は理想的な鏡面ではなく、凹凸の連続し
ている山谷部状のものになっている。
By the way, the magnetic recording medium surface of the magnetic disk D used for magnetic recording and reproduction is not an ideal mirror surface, but has a continuum of unevenness in the shape of peaks and valleys.

第15図は基体15(第16図〜第18図参照)上に塗
布磁性層16(第16図〜第18図参照)を構成させた
磁気ディスクにおける磁気記録媒体面の凹凸の状態をタ
リーステップ綴針式表面荒さ計によって実測した結果の
一例を示す。
FIG. 15 shows the unevenness of the magnetic recording medium surface in a tally step in a magnetic disk in which a coated magnetic layer 16 (see FIGS. 16 to 18) is formed on a base 15 (see FIGS. 16 to 18). An example of the results measured using a needle-type surface roughness meter is shown below.

このように、磁気記録媒体面は凹凸の連続している山谷
部状のものになっているから、前記のように浮上型磁気
ヘッド構体によって高密度記録を実現するため必要だか
らといって、磁気ヘッドが設けられているスライダを無
条件に磁気記録媒体面に極めて近接させた状態にするこ
とはできない。
In this way, since the surface of a magnetic recording medium has a series of peaks and valleys, it is difficult to install a magnetic head just because it is necessary to achieve high-density recording using a floating magnetic head structure as described above. It is not possible to unconditionally bring the slider in close proximity to the surface of the magnetic recording medium.

さて、磁気ディスク、その他の磁気記録媒体に磁気ヘッ
ドを用いて情報信号の記録動作が行われる場合、あるい
は磁気ヘッドを用いて磁気ディス・り、その他の磁気記
録媒体から情報信号の再生が行われる場合における磁気
ヘッドと磁気記録媒体面との関係は、第16図に例示さ
れているように磁気ヘッドHの摺動面(磁気空隙面)と
磁気記録媒体面とが密着された状態で記録再生が行われ
るようにされる場合と、第17図に例示されているよう
に磁気ヘッドHの磁気空隙面を磁気記録媒体面から浮上
させた状態で記録再生が行われるようにされる場合との
2種類に大別されることは周知のとおりである。
Now, when information signals are recorded on a magnetic disk or other magnetic recording medium using a magnetic head, or when information signals are reproduced from a magnetic disk or other magnetic recording medium using a magnetic head. The relationship between the magnetic head and the magnetic recording medium surface in this case is as shown in FIG. and when recording and reproducing are performed with the magnetic gap surface of the magnetic head H floating above the surface of the magnetic recording medium, as illustrated in FIG. It is well known that there are two main types.

そして、第16図に示されている例のように磁気ヘッド
Hの摺動面が磁気記録媒体面に密着された状態で記録再
生が行われる場合に、記録再生に使用されている磁気デ
ィスクDの磁気記録媒体面が凹凸の連続している山谷部
、になっているときには、磁気記録媒体面に密着された
状態で記録再生を行っている磁気ヘッドHにより磁気デ
ィスクDの磁気記録媒体面における大きな凹凸が押しつ
ぶされるために凹凸の起伏が滑めらかにされて磁気記録
媒体面には一種の光沢が生じる。
When recording and reproducing are performed with the sliding surface of the magnetic head H in close contact with the surface of the magnetic recording medium as in the example shown in FIG. 16, the magnetic disk D used for recording and reproducing is When the magnetic recording medium surface of the magnetic disk D has continuous peaks and troughs, the magnetic head H, which performs recording and reproduction while being in close contact with the magnetic recording medium surface, causes the magnetic recording medium surface of the magnetic disk D to Since the large irregularities are crushed, the undulations of the irregularities are smoothed and a kind of gloss is created on the surface of the magnetic recording medium.

第16図〜第18図において、15は基体であり、また
16は塗布磁性層である。第16図における17は磁気
ヘッドHによって削られた塗布磁性層材料の屑を示して
いる。
In FIGS. 16 to 18, 15 is a substrate, and 16 is a coated magnetic layer. Reference numeral 17 in FIG. 16 indicates debris of the applied magnetic layer material scraped by the magnetic head H.

そして、前記のように磁気ヘッドHが磁気記録媒体面と
接触して記録再生動作を行うようになされている場合に
は、使用に伴って当然のことながら磁気ヘッドHも摩耗
して行くことになる。
When the magnetic head H contacts the surface of the magnetic recording medium to perform recording and reproducing operations as described above, the magnetic head H naturally wears out as it is used. Become.

ところで、磁気記録媒体面に起伏の大きな凹凸のある面
荒れがある場合にはC/Nが悪化するために、高密度記
録用の磁気記録媒体ではそれの製作時に磁気記録媒体面
の凹凸をつぶして滑めらかにすることも行われているが
、そのような加工を施こしても磁気記録媒体面には凹凸
が残っている状態のものになっている。
By the way, if the surface of a magnetic recording medium has a rough surface with large undulations, the C/N will deteriorate, so when manufacturing a magnetic recording medium for high-density recording, it is necessary to eliminate the unevenness on the surface of the magnetic recording medium. However, even after such processing, the surface of the magnetic recording medium remains uneven.

一方、第17図に例示されているようにスライダに設け
られている磁気ヘッドHの磁気空隙面が・磁気記録媒体
面から浮上されている状態で記録再生が行われる場合に
、磁気記録媒体面における面荒れの山谷部における山の
頂部よりも上方に磁気ヘッドHの磁気空隙面が位置する
ように磁気ヘラ下Hを浮上させた状態にして記録再生が
行われるようにすれば磁気ヘッドを摩耗させることもな
く記録再生動作を行わせることができる。
On the other hand, as illustrated in FIG. 17, when recording and reproducing are performed in a state where the magnetic gap surface of the magnetic head H provided on the slider is levitated above the magnetic recording medium surface, If recording and reproduction are performed with the lower magnetic spatula floating so that the magnetic gap surface of the magnetic head H is located above the peaks of the peaks and troughs of the surface roughness, the magnetic head will wear out. Recording and reproducing operations can be performed without having to do so.

ところが、前記のように磁気記録媒体面の上方に離れた
位置に磁気ヘッドのHの磁気空隙面が位置するようにス
ライダを浮上させて記録再生が行われるようにした場合
には、磁気ヘッドの磁気空隙と記録媒体面との距離が大
きいことにより磁気ヘッドの磁気空隙からの記録用の磁
束が拡がってしまって高密度記録が困難になる他、高密
度記録のために大きな抗磁力を有する磁気記録媒体が使
用される際に、その磁気記録媒体に磁気記録を行うこと
ができるような磁束を発生させるために磁気ヘッドに大
きな記録電流を流すことが必要とされたり、再生時に浮
上のためのギャップ損失が大きくなったりするので、磁
気記録媒体面の上方に離れた位置に磁気ヘッドのHの磁
気空隙面が位置するようにスライダを浮上させるように
した既述した従来の浮上型磁気ヘッドにおいては高密度
記録再生を実現することが困難であった。
However, when recording and reproducing are performed by floating the slider so that the H magnetic gap surface of the magnetic head is located at a position far above the surface of the magnetic recording medium, as described above, the magnetic head Due to the large distance between the magnetic gap and the recording medium surface, the recording magnetic flux from the magnetic gap of the magnetic head spreads, making high-density recording difficult. When a recording medium is used, it is necessary to send a large recording current to the magnetic head in order to generate the magnetic flux that enables magnetic recording on the magnetic recording medium, and it is necessary to flow a large recording current to the magnetic head for levitation during playback. In the conventional floating magnetic head described above, in which the slider is levitated so that the H magnetic gap surface of the magnetic head is located at a position far above the surface of the magnetic recording medium. It was difficult to realize high-density recording and reproduction.

すなわち、浮上型磁気ヘッドによって高密度記録再生を
実現するためには、磁気記録媒体面から浮上している磁
気ヘッドの磁気空隙面と磁気記録媒体面とが極めて接近
した状態になされるようにスライダを浮上させることが
必要なのであり、前記のようにスライダにより磁気記録
媒体面から浮上している磁気ヘッドの磁気空隙面と磁気
記録媒体面とが極めて接近した状態にスライダが浮上さ
れた場合には、高密度の磁気記録再生のために磁気記録
媒体として大きな抗磁力を有する磁気記録媒体が使用さ
れたとしても、通常のバルクのフェライトコアを用いた
磁気ヘッドのコアに磁気飽和を起こさせない程度の記録
電流を流した状態において大きな抗磁力を有する磁気記
録媒体に対して充分に良好な記録動作を行うことができ
、また、再生時のギャップ損失も少ないために浮上型磁
気ヘッドによって高密度記録再生を実現することも可能
となる。
In other words, in order to achieve high-density recording and reproducing using a floating magnetic head, the slider must be moved so that the magnetic air gap surface of the magnetic head floating above the magnetic recording medium surface is brought extremely close to the magnetic recording medium surface. Therefore, when the slider is levitated in such a state that the magnetic air gap surface of the magnetic head, which is levitated from the magnetic recording medium surface by the slider, and the magnetic recording medium surface are extremely close to each other, as mentioned above, Even if a magnetic recording medium with a large coercive force is used as a magnetic recording medium for high-density magnetic recording and reproduction, it is difficult to maintain a magnetic head that does not cause magnetic saturation in the core of a magnetic head using an ordinary bulk ferrite core. It is possible to perform sufficiently good recording operations on magnetic recording media that have a large coercive force when a recording current is applied, and the gap loss during reproduction is also small, making it possible to perform high-density recording and reproduction using floating magnetic heads. It is also possible to realize

しかし、従来の浮上型磁気ヘッドはスライダの形態が大
で質量も大であり、また、磁気記録媒体面に対する応答
性も充分な構成にはなっていなかったので、スライダを
磁気記録媒体面に極めて近1接させた状態に浮上させて
記録再生動作を行わせた場合には、スライダと磁気記録
媒体との接触あ・るいは衝突によって瞬時に磁気ヘッド
と磁気記録媒体との破壊が生じたり、磁気ヘッドの磁気
空隙面と磁気記録媒体面とが極めて接近した状態となる
ように浮上させているスライダにおける小さな欠けや凹
部などに塵埃が入り込んだり、その他の部分に塵埃が付
着した場合にその塵埃が雪だるま式に大きくなり、走行
する磁気記録媒体と摩擦しながら接触して磁気ヘッドと
磁気記録媒体とが破壊されるということが起こるので従
来の浮上型磁気ヘッドではスライダを磁気記録媒体面に
極めて近接させた状態に浮上させて記録再生動作を行わ
せることはできず、したがって従来の浮上型磁気ヘッド
では高密度記録を実現することができなかった。
However, in conventional floating magnetic heads, the slider is large and has a large mass, and the structure does not have sufficient responsiveness to the magnetic recording medium surface. If the slider and the magnetic recording medium are levitated in close contact with each other and a recording/reproducing operation is performed, the magnetic head and the magnetic recording medium may be instantly destroyed due to contact or collision between the slider and the magnetic recording medium. When dust gets into small chips or recesses in the slider, which is floated so that the magnetic gap surface of the magnetic head and the magnetic recording medium surface are extremely close to each other, or when dust adheres to other parts, the dust This can cause the slider to snowball and come into contact with the moving magnetic recording medium, causing damage to the magnetic head and the magnetic recording medium. It is not possible to perform a recording/reproducing operation by floating the magnetic head in close proximity to the magnetic head, and therefore, it has been impossible to realize high-density recording with the conventional floating magnetic head.

本発明の浮上型磁気ヘッド構体の浮上動作方法が適用さ
れて動作する浮上型磁気ヘッド構体は、第1.第2のス
ライダSLI、5LD2を小型で軽量なものとして、第
1のスライダ部5LDIは磁気ヘッド12を含んで構成
され、浮上型磁気ヘッド構体の動作時にそれの浮上面1
3が磁気ディスクDの磁気記録媒体面の面荒れの凹凸が
連続している山谷部の山の最頂部付近と谷の上方とを通
過しうるような態様で磁気記録媒体面上に浮上している
状態になされ、また、浮上型磁気ヘッド構体の動作時に
おける第2のスライダ部5LD2は、磁気ディスクDの
磁気記録媒体の面荒れの山谷部の山の最頂部よりも上方
に設定された高さの位置で磁気記録媒体面の面振れに対
応してそれの浮上面14(第2のスライダ5LD2の浮
上面の各部には、図中で14a〜14fのようにそれぞ
れ別の図面符号を付して各部を区別しているが、第2の
スライダ部5LD2の浮上面の全体を示す場合には浮上
面14のように記載する)が磁気記録媒、体面に正しく
対向する姿態を保って浮上している状態になされるよう
にして、例えば第18図に例示されているように磁気デ
ィスクDの磁気記録媒体の面荒れの山谷部の山の最頂部
付近と谷の上方とを通過しうるような態様で磁気記録媒
体面上に浮上している状態にできるのである。
A floating magnetic head assembly operated by applying the floating operation method for a floating magnetic head assembly of the present invention is as follows. The second slider SLI, 5LD2 is small and lightweight, and the first slider section 5LDI is configured to include a magnetic head 12, and when the floating magnetic head structure is operated, its air bearing surface 1
3 floats above the surface of the magnetic recording medium of the magnetic disk D in such a manner that it can pass near the top of the peaks and above the valleys of the ridges and valleys where the surface roughness of the surface of the magnetic recording medium of the magnetic disk D is continuous. Also, during operation of the floating magnetic head structure, the second slider portion 5LD2 has a height set above the top of the crests and troughs of the surface roughness of the magnetic recording medium of the magnetic disk D. At the position shown in FIG. However, when the entire air bearing surface of the second slider portion 5LD2 is indicated as the air bearing surface 14), the air bearing surface of the second slider portion 5LD2 is floated while maintaining a position correctly facing the magnetic recording medium and body surface. For example, as illustrated in FIG. This allows the magnetic recording medium to float above the surface of the magnetic recording medium in this manner.

すなわち、前記した第1のスライダ部5LDIの浮上面
13は、第2のスライダ部5LD2の浮上面14から突
出している状態で磁気記録媒体面上に浮上している状態
となされており、磁気記録媒体面における山谷部が例え
ば第15図に例示されているように凹凸の高さが0.5
ミクロン(500オングストローム)程度の場合におけ
る第1のスライダ部5LDIの浮上面13の磁気記録媒
体面上の高さは、0.05ミクロン(500オンゲス3
ロー トローム)程度となされるように第1のスライダ部5L
DIにおける浮上面に作用している揚力に抗する押圧力
を、第1のスライダ部5LDIの支持部(18,19)
に設定し、また第2のスライダ部5LD2の浮上面14
は、前記した第1のスライダ部5LDIの浮上面13の
磁気記録媒体面からの高さ0.05ミクロンの3倍以上
の高さ、すなわち磁気記録媒体面から0.15ミクロン
以上の位置となされるように、第2のスライダ部5LD
2における略々中央位置に設定された加圧点Pに第2の
スライダ部5LD2における浮上面14に作用している
揚力に抗する押圧力を設定することにより、第2のスラ
イダ部5LD2が磁気記録媒体の面荒れの山谷部の山の
最頂部よりも上方に設定された高さの位置−で磁気記録
媒体面の面振れに対応してそれの浮上面14が磁気記録
媒体面に正しく対向する姿態を保つように変位され、ま
た、前記した第2のスライダ部5LD2における浮上面
14の方向に略々直交する方向だけで直線運動が可能な
状態の支持板18.19により第2のス 1R− ライダ部ST、D2に支持されている第1のスライダ部
5LD1は、それの浮上面13が磁気記録媒体面の面荒
れの山谷部の山の最頂部付近と谷の上方とを通過しうる
ような態様で面荒れの山谷部に対応して変位して、第1
のスライダ部5LDIの浮上面13が磁気記録媒体面に
極めて近接した状′態に浮上されていても、第1のスラ
イダ部5LD1が磁気記録媒体面と接触することなく磁
気ヘッド12によって高密度記録再生ができるのである
That is, the air bearing surface 13 of the first slider section 5LDI is in a state of protruding from the air bearing surface 14 of the second slider section 5LD2 and floating above the surface of the magnetic recording medium. For example, as shown in FIG. 15, the height of the peaks and valleys on the medium surface is 0.5.
The height of the air bearing surface 13 of the first slider portion 5LDI above the magnetic recording medium surface is approximately 0.05 microns (500 angstroms).
The first slider portion 5L is
The support portions (18, 19) of the first slider portion 5LDI apply a pressing force that resists the lift force acting on the air bearing surface in the DI.
and the air bearing surface 14 of the second slider portion 5LD2.
is at least three times the height of the air bearing surface 13 of the first slider section 5LDI above the magnetic recording medium surface of 0.05 microns, that is, at a position of 0.15 microns or more from the magnetic recording medium surface. The second slider portion 5LD
By setting a pressing force that resists the lift force acting on the air bearing surface 14 of the second slider section 5LD2 at a pressurizing point P set at approximately the center position in the second slider section 5LD2, the second slider section 5LD2 becomes magnetic. The air bearing surface 14 of the magnetic recording medium is correctly opposed to the magnetic recording medium surface in response to the surface runout of the magnetic recording medium surface at a height set above the top of the peaks of the peaks and troughs of the surface roughness of the recording medium. The support plate 18.19 is displaced so as to maintain the posture of the second slider section 5LD2, and is capable of linear movement only in a direction substantially perpendicular to the direction of the air bearing surface 14 of the second slider section 5LD2. 1R- The first slider section 5LD1 supported by the rider sections ST and D2 has its air bearing surface 13 passing near the top of the peaks and above the valleys of the peaks and valleys of the surface roughness of the magnetic recording medium surface. It is displaced in a wet manner corresponding to the peaks and valleys of the rough surface, and the first
Even if the flying surface 13 of the first slider section 5LDI is floated extremely close to the magnetic recording medium surface, high-density recording can be performed by the magnetic head 12 without the first slider section 5LD1 coming into contact with the magnetic recording medium surface. It can be regenerated.

前記のように第2のスライダ部5LD2が磁気記録媒体
面から大巾に離隔した位置に浮上するようになされてい
ることにより、磁気記録媒体面上の塵埃は第2のスライ
ダ部5LD2に磁気記録媒体面と第2のスライダ部5L
D2との間隙を通過するために第2のスライダ部5LD
2には付着するようなことはなく、また、第1のスライ
ダ部5LDIについても、それを例えば−辺が0.22
平方ミリメートルの浮上面に欠けや穴が無いように単結
晶フェライトにより重量が5ミリグラム程度というよう
に極めて微小なものとして作り、それの浮上面としては
例えば第10図及び第11図に例示されているように塵
埃の排除機能を有する形態のものとすることにより、第
1のスライダ部5LDIにも塵埃が付着するようなこと
がなく、小型軽量な第1のスライダ部5LDIは、磁気
記録媒体面の山谷部における最頂部をかすめ、また大き
な塵埃には応答してそれの上方に浮上するような態様で
浮上動作を行うのである。
As described above, since the second slider portion 5LD2 floats to a position far away from the magnetic recording medium surface, dust on the magnetic recording medium surface is removed from the magnetic recording medium by the second slider portion 5LD2. Medium surface and second slider section 5L
The second slider portion 5LD passes through the gap with D2.
2, and the first slider part 5LDI also has a -side of 0.22 mm.
In order to avoid chips and holes in the square millimeter air bearing surface, it is made of monocrystalline ferrite and weighs about 5 milligrams, making it very small. By adopting a configuration that has a dust removal function as shown in FIG. The robot performs a levitation operation in such a manner that it skims the top of the peaks and troughs of the mountain, and in response to large dust particles, it floats above it.

アーム部A M、 Dは例えば薄い弾性板20を所定の
形状に打抜き折曲げ加工を施して作られており、それの
基端部20aがねじ22,23によって固定部24に固
着されている。前記したアーム部AMDにおける基端部
に近い20bの部分は、その部分の曲げの弾力によって
第2のスライダ部5LD2に加圧点Pを介して所定の押
圧力を供給する。
The arm parts A M, D are made by, for example, punching and bending a thin elastic plate 20 into a predetermined shape, and their base ends 20a are fixed to a fixing part 24 with screws 22 and 23. The portion 20b near the base end of the arm portion AMD applies a predetermined pressing force to the second slider portion 5LD2 via the pressure point P due to the bending elasticity of that portion.

25は極めて薄い弾性板で作られた連結部材であり、こ
の連結部材25には、それの一端部付近にコ字状の溝2
7が穿設されることによって舌片28が構成されており
、その舌片28には加圧点Pとして用いられる突起Pが
例えばポンチによっで構成されている。
25 is a connecting member made of an extremely thin elastic plate, and this connecting member 25 has a U-shaped groove 2 near one end thereof.
A tongue piece 28 is constituted by drilling 7, and a protrusion P used as a pressurizing point P is formed on the tongue piece 28 by, for example, a punch.

前記の連結部材25における前記し舌片28が構成され
た端部とは反対側の端部は、アーム部AMDの端部20
cの裏面に例えば溶着手段により7固着26,26.2
6されており、また、連結部′材25の舌片28の下面
は第2のスライダ部5LD2の端部に固着させであるカ
バープレート29に固着させる。
The end of the connecting member 25 opposite to the end where the tongue piece 28 is formed is connected to the end 20 of the arm AMD.
7 fixed to the back surface of c by, for example, welding means 26, 26.2
6, and the lower surface of the tongue piece 28 of the connecting member 25 is fixed to a cover plate 29 which is fixed to the end of the second slider portion 5LD2.

前記のように連結部材25の下面が第2のスライダ部5
LD2の端部に固着させであるカバープレート29に固
着された状態において、前記した連結部材25の舌片2
8に構成させた突起Pの先端がアーム部AMDの先端部
付近の裏面に点接触の状態で当接することにより、アー
ム部AMDに、おける基端部に近い20bの部分の曲げ
の弾力が前記した突起Pを第2のスライダ部5LD2に
印加されるべき押圧力の加圧点Pとして第2のスライダ
部5LD2に所定の押圧力を供給するのに使用される。
As mentioned above, the lower surface of the connecting member 25 is connected to the second slider section 5.
When the tongue piece 2 of the connecting member 25 is fixed to the cover plate 29, which is fixed to the end of the LD 2,
The tip of the protrusion P configured in 8 is in point contact with the back surface near the tip of the arm AMD, so that the bending elasticity of the portion 20b near the base end of the arm AMD is increased as described above. The protrusion P is used as a pressure point P of the pressing force to be applied to the second slider part 5LD2 to supply a predetermined pressing force to the second slider part 5LD2.

そして、第2のスライダ部5LD2は、前述のようにそ
れの端部に固着されているカバープレート29に連結部
材25の舌片28の下面が固着されていることにより、
連結部材25を介してアーム部AMDに連結されている
状態になっているが、前記のように連結部材25は極め
て薄い弾性板で作られており、しかも、連結部材25は
それの一端部付近に穿設されたコ字状の溝27で囲まれ
て形成された舌片28に設けられた突起Pの位置から長
い距離を隔てた位置でアーム部AMDに固着26.26
.26されているために、第2のスライダ部5LD2は
連結部材25の舌片28に構成されている突起Pによる
点接触の状態で実質的にアーム部AMDに連結している
状態になっている。
The second slider portion 5LD2 has the lower surface of the tongue piece 28 of the connecting member 25 fixed to the cover plate 29 fixed to the end thereof as described above.
It is connected to the arm part AMD via the connecting member 25, but as mentioned above, the connecting member 25 is made of an extremely thin elastic plate, and furthermore, the connecting member 25 is connected to the arm part AMD near one end thereof. 26.26 Fixed to the arm part AMD at a position separated by a long distance from the position of the protrusion P provided on the tongue piece 28 surrounded by the U-shaped groove 27 bored in the 26.26
.. 26, the second slider portion 5LD2 is substantially connected to the arm portion AMD in a state of point contact by the protrusion P formed on the tongue piece 28 of the connecting member 25. .

そして前記した突起Pはアーム部AMDにおける基端部
に近い20bの部分の曲げの弾力を第2のスライダ部5
LD2に印加させるための押圧力の加圧点Pとして機能
するものであるために、前記した突起Pの位置は第2の
スライダ部5LD2の浮上動作時における浮上姿態の状
態に大きく関係しているものであると(、、、”tJ 
I−1前記した突起Pの位置は第1のスライダ5LDI
の動作軸の位置の延長上にあることが必要とされるため
に、連結部材25の舌片28に構成されている前記した
突起Pの位置と第1.第2のスライダ部S L Di。
The above-described protrusion P absorbs the bending elasticity of the portion 20b near the base end of the arm portion AMD to the second slider portion 5.
Since it functions as a pressurizing point P of the pressing force to be applied to LD2, the position of the protrusion P described above is largely related to the state of the floating state during the floating operation of the second slider portion 5LD2. It is something (,,,”tJ
I-1 The position of the protrusion P mentioned above is on the first slider 5LDI.
The position of the above-mentioned protrusion P formed on the tongue piece 28 of the connecting member 25 is different from the position of the first protrusion P because it is required to be on an extension of the position of the operating axis of the first. Second slider section S L Di.

5LD2との相対的な関係位置が正しく定められた状態
で、第2のスライダ5LD2の端部に対するカバープレ
ート29の固着と、カバープレート29に対する連結部
材25の舌片28の下面の固′着とが行われなければな
らない。
5LD2, the cover plate 29 is fixed to the end of the second slider 5LD2, and the lower surface of the tongue piece 28 of the connecting member 25 is fixed to the cover plate 29. must be carried out.

前記した第2のスライダ5LD2の端部に対するカバー
プレート29の固着と、カバープレート29に対する連
結部材25の舌片28の下面の固着とが相対的に正しい
関係で、しかも、組立て作業が容易に行われるようにす
るために、前記したカバープレート29に予め正しい取
付は位置を示/す表示を例えば孔等によって施しておく
ことは〃よ型磁気ヘッド構体の生造上で大きな利点とな
る。
The fixation of the cover plate 29 to the end of the second slider 5LD2 and the fixation of the lower surface of the tongue piece 28 of the connecting member 25 to the cover plate 29 are relatively correct, and the assembly work can be easily performed. In order to ensure that the cover plate 29 is installed correctly, it is of great advantage in the production of a horizontal magnetic head structure that a mark is provided in advance, for example, by a hole or the like, to indicate the correct mounting position.

次に、浮上型磁気ヘッド構体をそれの浮上面側1、から
見た第4図において、14a、14b、14c。
Next, in FIG. 4, when the floating magnetic head structure is viewed from the air bearing surface side 1, 14a, 14b, and 14c.

14dは第2のスライダ部5LD2の主要な浮上面であ
り、また、14e、14fは前記した第2のスライダ部
5LD2の主要な浮上面14a〜14dと同一の平面上
に存在している副次的な浮上面であり、さらに31a、
31bは第2のスライダ部5LD2における薄層気体流
の流入側に面する側壁に形成された傾斜面による導入面
であり。
14d is the main air bearing surface of the second slider portion 5LD2, and 14e and 14f are secondary air bearing surfaces that are present on the same plane as the main air bearing surfaces 14a to 14d of the second slider portion 5LD2. It is a floating surface, and further 31a,
Reference numeral 31b denotes an introduction surface formed by an inclined surface formed on the side wall of the second slider portion 5LD2 facing the inflow side of the thin layer gas flow.

さらに、30a、30b、30c、30dは磁気記録媒
体面と対向する部分の角部に面取りを施した部分である
Furthermore, 30a, 30b, 30c, and 30d are portions where the corners of the portions facing the magnetic recording medium surface are chamfered.

第2のスライダ部5LD2には、浮上面14a。The second slider portion 5LD2 includes an air bearing surface 14a.

14e、14bからなる連続している浮上面と、浮上面
14b、14f、14cからなる連続している浮上面と
の間に溝32が構成されており、また、前記の溝32の
長手方向の中央部付近には丸孔33が穿設されて−おり
、この丸孔33中には第1のスライダS L I)1に
一右ける磁気ヘッド12の部分が2枚の平行な支持板1
8.19によって構成されている支持部によって変位可
能な状態に支持されている。
A groove 32 is formed between a continuous air bearing surface consisting of air bearing surfaces 14e and 14b and a continuous air bearing surface consisting of air bearing surfaces 14b, 14f and 14c. A round hole 33 is bored in the vicinity of the center, and in this round hole 33, a portion of the magnetic head 12 located on the right side of the first slider SLI) 1 is inserted into two parallel support plates 1.
8.19 is supported in a displaceable state.

すなわち、第1のスライダ部5LDIはそれの浮上面1
3となされている磁気ヘッド12の磁気空隙面13に近
い端部付近を嵌入させる孔18cを備えている第1の支
持板18に磁気ヘッド12の磁気空隙面13に近い端部
付近を嵌入させて固着した後に、前記の支持板18の両
端部付近18a、18bを前記した第2のスライダ部5
LD2における溝32の底面に固着させ、また、磁気ヘ
ッド12の端部との固着面19aに磁気ヘッド12の端
部を固着させた第2の支持板19の縁部を第2のスライ
ダ部5LD2の支持板取付は面34゜35に固着させる
ことによって第2のスライダ部5LD2における丸孔3
3中で磁気ヘッド12が変位可能に支持されているので
ある。
That is, the first slider portion 5LDI has its air bearing surface 1
The vicinity of the end of the magnetic head 12 close to the magnetic gap surface 13 is fitted into the first support plate 18, which is provided with a hole 18c into which the vicinity of the end of the magnetic head 12 close to the magnetic gap surface 13 is inserted. After the support plate 18 is fixed, the second slider portion 5 is attached near both ends 18a and 18b of the support plate 18.
The edge of the second support plate 19, which is fixed to the bottom surface of the groove 32 in the LD2 and the end of the magnetic head 12 is fixed to the fixed surface 19a with the end of the magnetic head 12, is attached to the second slider section 5LD2. The support plate can be attached to the round hole 3 in the second slider portion 5LD2 by fixing it to the surfaces 34 and 35.
3, the magnetic head 12 is movably supported.

そして、前記のように第1のスライダ部5LD1を第2
のスライダ部5LD2に支持させるために使用されてい
る第1の支持板18と第2の支持−板19との2枚の支
持板は互に平行になされているから、前記の2枚の支持
板18,19からなる第1のスライダ部5LD1の支持
部によって、第1のスライダ部5LDIは第2のスライ
ダ部SL一劇− D2における浮上面に直交する一方向だけに変位させう
るように支持されていることになる。
Then, as described above, the first slider portion 5LD1 is moved to the second slider portion 5LD1.
Since the two support plates, the first support plate 18 and the second support plate 19 used to support the slider portion 5LD2, are parallel to each other, the two support plates described above are parallel to each other. The first slider section 5LDI is supported by the support section of the first slider section 5LD1 consisting of plates 18 and 19 so that it can be displaced only in one direction perpendicular to the air bearing surface of the second slider section SL-D2. This means that it has been done.

第1のスライダ部5LDIの支持部を構成している前記
の2枚の支持板18.19は、例えば数十ミリグラムの
加圧力によっても良好に変位できるような大きなコンプ
ライアンスを有するものとなされるように、例えば第6
図に示されてい・・・第1のスライダ部5LDIの分解
斜視図における第6図の(a)、(c)に例示されてい
る支持板18゜19の例のように所定のパターンの透孔
を備えた形状のものとして構成できるが、これの製作時
に機械的な歪が残るような加工が行われた場合には一方
向にしかバネとしての作用を行わないようなことも起こ
るのでそのようなことが生じないようにして作ることが
必要である。
The two support plates 18 and 19 that constitute the support portion of the first slider portion 5LDI are designed to have a large compliance so that they can be displaced favorably even by a pressing force of several tens of milligrams, for example. For example, the sixth
6(a) and 6(c) in the exploded perspective view of the first slider portion 5LDI. It can be configured with holes, but if it is processed in a way that leaves mechanical distortion during manufacturing, it may end up acting as a spring in only one direction. It is necessary to make sure that such things do not occur.

なお、第6図の(a)、 (c)に例示されている支持
板18.19は、例えば数十ミリグラムの加圧力によっ
ても良好に変位できるように極めて薄い厚さく例えば1
0ミクロンの厚さ)のステンレス鋼板にフォトリソグラ
フィ法により所定のパターンの透孔が形成されるように
して容易に製作することができる。図中に示されている
透孔のパターンは一例である。
Note that the support plates 18 and 19 illustrated in FIGS. 6(a) and 6(c) have an extremely thin thickness, for example, 1 mm, so that they can be easily displaced even by a pressing force of, for example, several tens of milligrams.
It can be easily manufactured by forming through holes in a predetermined pattern on a stainless steel plate (with a thickness of 0 microns) by photolithography. The pattern of through holes shown in the figure is an example.

前記のように2枚の支持板18.19からなる第1のス
ライダ部5LD1の支持部は、第2のスライダ部5LD
2における浮上面に直交する一方向だけに自由度を持っ
ているために、第1のスライダ部5LD1は第12図の
(a)〜(c)に示されているように図のY線上で変位
することになる。
As described above, the support portion of the first slider portion 5LD1 consisting of the two support plates 18 and 19 is connected to the second slider portion 5LD.
Since the first slider portion 5LD1 has a degree of freedom only in one direction perpendicular to the air bearing surface in FIG. It will be displaced.

第12図において第1のスライダ部5LDIは磁気記録
媒体面とそれの浮上面13との間の図中のX方向の薄層
気体流によって生じる揚力により磁気記録媒体面上で浮
上状態になされると、第11、のスライダ部5LDIに
は前記した2枚の支持板18.19からなる第1のスラ
イダ部5LD1の支持部によって押圧力が加えられるこ
とになるが、その押圧力は前記したY線方向に加えられ
ることは容易に理解できる。
In FIG. 12, the first slider portion 5LDI is brought into a floating state above the magnetic recording medium surface by the lift force generated by the thin layer gas flow in the X direction in the figure between the magnetic recording medium surface and its air bearing surface 13. Then, a pressing force is applied to the eleventh slider section 5LDI by the support section of the first slider section 5LD1 consisting of the two support plates 18 and 19 described above, and the pressing force is equal to Y as described above. It is easy to understand that it is applied in the linear direction.

前記した第1のスライダ部5LDIをそれの支持部−を
介して支持している第2のスライダ部5LD2は、磁気
記録媒体面とそれの浮上面14との間の図中のX方向の
薄層気体流によって生じる揚力によって、ソリッドな状
態の磁気記録媒体りの面上では第13図に示されている
ような態様で浮上状態になされ、また、可撓性を有する
磁気記録媒体りの面上では第14図に示されているよう
な態様で浮上状態になされる。
The second slider section 5LD2, which supports the first slider section 5LDI via its support section, has a thin section in the X direction in the figure between the magnetic recording medium surface and its air bearing surface 14. Due to the lifting force generated by the laminar gas flow, the surface of the magnetic recording medium in the solid state is made to float in the manner shown in FIG. 13, and the surface of the magnetic recording medium having flexibility is Above, it is brought into a floating state in the manner shown in FIG.

ところで、磁気記録媒体面上のX方向の薄層気体流が、
第2のスライダ部5LD2の浮上面14との間の図中の
第4図に示されている導入口31a、31bから磁気記
録媒体面と第2のスライダ部5LD2の浮上面14との
間に流入すると、前記した磁気記録媒体面上のX方向の
薄層気体流は、浮上面14における14a→14e→1
4bの各部と、浮上面14ビ右ける14c→14f→1
4dの各部とに作用してそれぞれの部分に揚力を加える
とともに溝32の中を流れる。
By the way, the thin layer gas flow in the X direction on the surface of the magnetic recording medium is
Between the magnetic recording medium surface and the air bearing surface 14 of the second slider section 5LD2 from the introduction ports 31a and 31b shown in FIG. 4 between the air bearing surface 14 of the second slider section 5LD2. When flowing in, the thin layer gas flow in the X direction on the surface of the magnetic recording medium changes from 14a to 14e to 1 on the air bearing surface 14.
14c → 14f → 1
4d to apply lifting force to each part and flow in the groove 32.

前記した第2のスライダ部5LD2における溝32が一
定の巾であったとした場合に磁気記録媒体面上のX方向
の薄層−気′体流によって第2のスラー4フー イダ部5LD2の浮上面14に加えられる揚力の大きさ
の分布は、前記した薄層気体流のX方向の流れに沿って
次第に小さくなる傾向となることが実験の結果として得
られているが、第4図に示されている第2のスライダ部
5LD2の浮上面14のように、浮上面14を2分する
溝32の中央部付近に丸形の拡がりがあってX方向の薄
層気体流、の流れに沿って浮上面14a→14e→14
b及び浮上面14Q→14f→14dの大きさが大→小
→大のように変化している場合に、前記した浮′上面1
4 a −+ 14 e −+ 14 b及び浮上面1
4cm+14f→14dに沿って流れる薄層気体流によ
って前記の各部の浮上面14a、14e、14b及び浮
上面14c、14f、14dにそれぞれ生じる揚力は、
浮上面14a、14cについては大、7浮上面14e、
14fについては小、浮上面14b、14dについては
中のようになるが、第4図に示されている第2のスライ
ダ部5LD2の浮上−7面14では浮上面14を2分す
る溝32の中央部′付近に丸形の拡がりがあって、その
中を流れる1−49= 48一 方向の薄層気体流が前記した溝32の中央部付近の丸形
の拡がりの部分における壁しこ衡突して浮上面14b、
14dに吹出すことにより、前記した浮上面14b、1
4dにおける揚力が増大するために、第4図に示されて
いる第2のスライダ部5LD2の浮上面14における四
隅の主要な浮上面14a〜14dに力「ねる揚力は略々
等しくなされて、第2のスライダ部5LD2の浮上面1
4は磁気記録媒体面に略々平行に浮上している状態、す
なわち、正しい浮上姿態で安定に浮上している状態にな
される。
If the groove 32 in the second slider section 5LD2 has a constant width, the air bearing surface 14 of the second slider section 5LD2 due to the thin layer-gas flow in the X direction on the surface of the magnetic recording medium. As a result of experiments, it has been obtained that the distribution of the magnitude of the lift force applied to Like the air bearing surface 14 of the second slider part 5LD2, there is a round expansion near the center of the groove 32 that divides the air bearing surface 14 into two, so that the air bearing surface 14 floats along the thin layer gas flow in the X direction. Surface 14a → 14e → 14
b and the size of the floating surface 14Q → 14f → 14d change from large → small → large, the above floating surface 1
4 a −+ 14 e −+ 14 b and air bearing surface 1
The lift force generated on the air bearing surfaces 14a, 14e, 14b and the air bearing surfaces 14c, 14f, 14d of each part by the thin layer gas flow flowing along 4cm+14f→14d is as follows:
Large for the air bearing surfaces 14a and 14c, 7 air bearing surfaces 14e,
14f is small, and the air bearing surfaces 14b and 14d are medium, but on the air bearing surface 14 of the second slider portion 5LD2 shown in FIG. There is a circular expansion near the center part', and the unidirectional thin layer gas flow flowing through the wall balances the wall in the circular expansion area near the center of the groove 32 mentioned above. Finally, the floating surface 14b,
14d, the above-mentioned floating surfaces 14b, 1
4d increases, the lifting force exerted on the main air bearing surfaces 14a to 14d at the four corners of the air bearing surface 14 of the second slider portion 5LD2 shown in FIG. Air bearing surface 1 of slider section 5LD2 of No. 2
4 is brought into a state in which it is floating approximately parallel to the surface of the magnetic recording medium, that is, in a state in which it is stably floating in the correct flying position.

第2のスライダ部5LD2が前記のようにそれの浮上面
14が磁気記録媒体面に略々平行となる正しい浮上姿態
で安定に浮上している状態であれば、第2のスライダ部
5LD2における浮上面14に直交する方向に−たけ一
変位するように支持部によって第2のスライダ部5LD
2に支持されている第1のスライダ部5LDIも、それ
の浮上面13が磁気記録媒体面に略々−平行に浮上して
いる状態になされることは明らかである。
If the second slider portion 5LD2 is stably floating in the correct flying position in which its air bearing surface 14 is approximately parallel to the magnetic recording medium surface as described above, the flying position of the second slider portion 5LD2 is The second slider portion 5LD is moved by the support portion so as to be displaced by -1 in the direction perpendicular to the surface 14.
It is clear that the first slider portion 5LDI supported by the magnetic recording medium 2 is also placed in a state in which its flying surface 13 is floating approximately parallel to the surface of the magnetic recording medium.

−虱0− 既述もしたように、第1のスライダ部5LDIの浮上面
13は磁気記録媒体面に極めて接近している位置に浮上
し、磁気記録媒体面の面荒れの山谷部の山の最頂部付近
と谷の上方とを通過しうるような態様で面荒れの山谷部
に対応して変位している状態となされ、また第2のスラ
イダ部5LD2の浮上面14は磁気記録媒体の面荒れの
山谷部の山の最頂部よりも上方に設定された高さの位置
で磁気記録媒体面の面振れに対応してそれの浮上面が磁
気記録媒体面に正しく対向する姿態を保つように変位し
ている状態になされるのである。
-No. 0- As mentioned above, the air bearing surface 13 of the first slider portion 5LDI flies to a position extremely close to the magnetic recording medium surface, and the crests and troughs of the surface roughness of the magnetic recording medium surface are removed. The air bearing surface 14 of the second slider section 5LD2 is displaced in a manner that corresponds to the peaks and valleys of the surface roughness in such a manner that it can pass near the top and above the valleys, and the air bearing surface 14 of the second slider section 5LD2 is positioned above the surface of the magnetic recording medium. At a height set above the top of the peak of the rough peaks and troughs, the air bearing surface of the magnetic recording medium is maintained in a position that correctly faces the magnetic recording medium surface in response to the surface runout of the magnetic recording medium surface. It is done in a state of displacement.

第5図及び第7図はそれぞれ浮上型磁気ヘッド構体の斜
視図であり、第5図と第7図とにそれぞれ示されている
浮上型磁気ヘッド構体は、それの第1のスライダ部5L
DIに用いられている磁気ヘッド12における磁気空隙
面の形状を異にしている点が異なっている6 第6図の(a)〜(c)は第5図に示されている浮上型
磁気ヘッド構体における第1のスライダ部5−LD1を
分解して、支持板18と磁気ヘッド12と支持板19と
の具体例を示している図であり、また、第6図の(d)
は第5図に示されている浮上型磁気ヘッド構体を中央部
分で切断して内部の構造を示した図であり、また、第8
図は第7図に示されている浮上型磁気ヘッド構体におけ
る第1のスライダ部5LDIで使用されている磁気ヘッ
ド12の具体例を示している図であり、また、第9は第
7図に示されている浮上型磁気ヘッド構体を中央部分で
切断して内部の構造を示した図である。
5 and 7 are perspective views of the floating magnetic head structures, respectively, and the floating magnetic head structures shown in FIGS. 5 and 7, respectively, have a first slider portion 5L thereof.
The difference is that the shape of the magnetic air gap surface in the magnetic head 12 used in DI is different. 6 (a) to (c) in Fig. 6 are the floating magnetic heads shown in Fig. 5. 6 is a diagram showing a specific example of the support plate 18, the magnetic head 12, and the support plate 19 by disassembling the first slider portion 5-LD1 in the structure, and FIG. 6(d)
8 is a diagram showing the internal structure of the floating magnetic head structure shown in FIG. 5, cut at the center;
The figure shows a specific example of the magnetic head 12 used in the first slider section 5LDI in the floating magnetic head structure shown in FIG. FIG. 2 is a diagram illustrating the internal structure of the illustrated floating magnetic head structure by cutting it at the center.

第7図乃至第9図に示されている浮上型磁気ヘッド構体
は、それの第1のスライダ部5LDIに使用されている
磁気ヘッド12として、第1のスライダ部5LDIの浮
上面13となされている磁気空隙面の形状が、第1のス
ライダ部5LDIの浮上動作時に磁気記録媒体面と第1
のスライダ部5LDIの浮上面13との間に流れる薄層
気体流の方向Xに一方の対角線が存在しているような平
行四辺形を基本とするような形状となされており、また
、前記した磁気空隙面における平行四辺形の2つの対角
線の交点付近に磁気空隙が設けられており、前記の平行
四辺形における他方の対角線の方向が浮上型磁気ヘッド
構体の移動方向Y′に一致し、さらに、前記した薄層気
体流の導入側に薄層気体流の導入を滑らかにする導入部
が構成されており、さらにまた、前記した一方の対角線
の延7長線部分が稜線となされるように面落し加工が施
こされているものが使用されている。
The floating magnetic head structure shown in FIGS. 7 to 9 is a magnetic head 12 used in the first slider section 5LDI, and the floating surface 13 of the first slider section 5LDI is used as the magnetic head 12. The shape of the magnetic air gap surface is such that the magnetic recording medium surface and the first
The shape is basically a parallelogram in which one diagonal exists in the direction X of the thin layer gas flow flowing between the slider portion 5LDI and the air bearing surface 13, and A magnetic gap is provided near the intersection of two diagonals of the parallelogram in the magnetic gap plane, the direction of the other diagonal of the parallelogram coincides with the moving direction Y' of the floating magnetic head structure, and , an introduction part for smoothing the introduction of the thin layer gas flow is formed on the introduction side of the thin layer gas flow described above, and furthermore, a surface is formed so that the extended seven long line portion of one of the diagonals described above forms a ridgeline. The material used is one that has been subjected to a drop-processing process.

磁気記録媒体面に極めて近接して浮上されている第1の
スライダ部5LDIに使用されている磁気ヘッド12と
して、第1のスライダ部5LD1、の浮上面13となさ
れている磁気空隙面が前記のように平行四辺形を基本と
するような形状のものが使用されていることにより、例
えば、第10図の(a)に例示されているように磁気記
録媒体面上に浮上している第1のスライダ部5LDIに
備えられている磁気ヘッド12に塵埃が付着しても、′
第10図の(b)中に示されている点線矢印の方向に浮
上動作中に移動して自動的に除去される。
As the magnetic head 12 used in the first slider section 5LDI which is floated very close to the magnetic recording medium surface, the magnetic air gap surface which serves as the air bearing surface 13 of the first slider section 5LD1 is as described above. For example, as illustrated in FIG. Even if dust adheres to the magnetic head 12 provided in the slider section 5LDI,
It moves in the direction of the dotted arrow shown in FIG. 10(b) during the floating operation and is automatically removed.

第11図は矢印Xの方向に回転している磁気ディスクD
の磁気記録媒体面上に浮上している第1のスライダ部の
浮上面13として動作する磁気ヘッドの磁気空隙面が、
磁気ディスクDの直径方向に矢印Y’のように移動され
たときに磁気ヘッド12に付着される塵埃と、それの除
去の方向(図中の点線矢印の方向と一点鎖線の方向)と
番示している。
Figure 11 shows a magnetic disk D rotating in the direction of arrow X.
The magnetic air gap surface of the magnetic head, which operates as the floating surface 13 of the first slider section floating above the surface of the magnetic recording medium, is
The dust attached to the magnetic head 12 when the magnetic disk D is moved in the diametrical direction as indicated by the arrow Y', the direction of its removal (the direction of the dotted line arrow and the direction of the dashed line in the figure), and the number thereof are shown. ing.

磁気ディスクDの磁気記録媒体面上に浮上している第1
のスライダ部の浮上面13として動作する磁気ヘッドの
磁気空隙面には、第11図中に示されている矢印X、Y
’ に面する側に塵埃が付着し、それが除去されない場
合には雪だるま式に大きくなって磁気ヘッドと磁気L1
請媒体面との隙に充満して浮上型磁気ヘッド構体の浮上
動作に支障を与えることが起き易いのであるが、前記し
たように第1のスライダ部5LDIの浮上面13となさ
れている磁気空隙面の形状が、第1のスライダ部5LD
Iの浮上動作時に磁気記録媒体面と第1のスライダ部5
LDIの浮上面13との間に流れる薄層気体流の方向X
に一方の対角線が存在しているような平行四辺形を基本
とするような形状とM− なされていた場合には、磁気ディスクDの磁気記録媒体
面上に浮上している第1のスライダ部の浮上面13とし
て動作する磁気ヘッドの磁気空隙面に付着した塵埃が自
動的に除去されるために、浮上型磁気ヘッド構体におけ
る第1のスライダ部SL、D1が磁気記録媒体面に極め
て近接して浮上されるようになされても第1のスライダ
部5LDIに使用されている磁気ヘッド12の浮上面1
3には塵埃が付着することがなく安定な浮上動作が行わ
れる。
The first disk floating above the magnetic recording medium surface of the magnetic disk D
The magnetic air gap surface of the magnetic head, which operates as the air bearing surface 13 of the slider section, has arrows X and Y shown in FIG.
' If dust adheres to the side facing the magnetic head and the magnetic L1
However, as mentioned above, the magnetic air gap, which forms the air bearing surface 13 of the first slider section 5LDI, tends to fill the gap between the air bearing surface and the flying surface of the floating magnetic head structure, thereby hindering the flying operation of the flying magnetic head assembly. The shape of the surface is the same as that of the first slider portion 5LD.
During the floating operation of I, the magnetic recording medium surface and the first slider section 5
Direction X of the thin layer gas flow flowing between the air bearing surface 13 of the LDI
If the shape is basically a parallelogram with one diagonal line at In order to automatically remove dust adhering to the magnetic gap surface of the magnetic head, which operates as the floating surface 13 of the floating magnetic head, the first slider portions SL and D1 in the floating magnetic head structure are extremely close to the magnetic recording medium surface. The air bearing surface 1 of the magnetic head 12 used in the first slider section 5LDI is
No. 3 has no dust attached to it, and a stable floating operation is performed.

なお、磁気記録媒体面に極めて近接して浮上されるよう
になされている第1のスライダ部5LD1に使用されて
いる磁気ヘッド12の浮上面13に、小さな凹み、ある
いは小さな欠けが存在す漬と、そこに入り込んだ塵埃が
そのまま保持されてしまい、その保持された塵埃を核と
して新らたな塵埃が次々に付着して行って第1のスライ
ダ部5LD1の良好な浮上動作が損われてしまうことも
起こる。
Note that there may be small dents or small chips on the air bearing surface 13 of the magnetic head 12 used in the first slider section 5LD1, which is designed to fly extremely close to the surface of the magnetic recording medium. , the dust that has entered there will be retained as is, and new dust will adhere one after another using the retained dust as a nucleus, impairing the good floating operation of the first slider portion 5LD1. Things also happen.

それで、第1のスライダ部5LDIの構成材料に材質自
体に凹凸のあるもの(例えば焼結状態のフェライト)の
使用は不適当なのであり、また、浮上面に磁気ヘッドの
コア材と基板のガラス材とを樹脂系の接着剤によって接
着させた接着層が現われているような構成のものも、そ
れに用いられている接着層の樹脂材に塵埃が付着するた
めに不適当であり、第1のスライダ部5LDIの構成材
料としては、例えば滑らかな単結晶材料を用いるように
したり、あるいはガラス基板と磁性材料のコア材との間
の接着をガラス溶着によって行ったものなどが用いられ
−るが、浮上面に対する鏡面研磨加工の際に、前記のガ
ラス溶着層に極くわずかな段差が形成された場合には、
そこの部分に塵埃が入り込んでそのま−ま保持されてし
まい、その保持された塵埃を核として新たな塵埃が次々
に付着して行って第1のスライダ部5LDIの良好な浮
上動作が損われてしまうことも起こるので、浮上面に対
する鏡面研磨加工は良好な状態で行われることが必要で
ある。
Therefore, it is inappropriate to use a material that has unevenness (for example, sintered ferrite) as the constituent material of the first slider section 5LDI, and the air bearing surface is made of the core material of the magnetic head and the glass material of the substrate. A structure in which an adhesive layer is formed by bonding the two sliders with a resin-based adhesive is also unsuitable because dust adheres to the resin material of the adhesive layer used, and the first slider As the constituent material of part 5LDI, for example, a smooth single crystal material is used, or a material in which the glass substrate and the core material of the magnetic material are bonded by glass welding. If a very slight step is formed in the glass welding layer during mirror polishing of the surface,
Dust gets into that part and is held there, and new dust adheres one after another using the held dust as a nucleus, impairing the good floating operation of the first slider part 5LDI. Therefore, mirror polishing of the air bearing surface must be performed in good condition.

前記した第1のスライダ部5LDIや第2のスライダ部
5LD2の構成材料としては、凹凸や欠けのない材料が
用いられるべきことは既述のとおりであるために、実用
的には単結晶フェライト材、チタンアルミナ材、セラミ
ック材、サファイヤ材などが第1のスライダ部5LDI
や第2のスライダ部5LD2の構成材料として用いられ
る。また、第1のスライダ部5LDIや第2のスライダ
部5LD2の構成材料としては、静電気の発生量の少な
い材料の方が塵埃の付着の問題の点からみて有利である
As mentioned above, materials with no unevenness or chipping should be used as the constituent materials of the first slider section 5LDI and the second slider section 5LD2, so for practical purposes, single crystal ferrite materials are used. , titanium alumina material, ceramic material, sapphire material, etc. are used for the first slider portion 5LDI.
It is also used as a constituent material of the second slider portion 5LD2. Further, as the constituent materials of the first slider section 5LDI and the second slider section 5LD2, materials that generate less static electricity are more advantageous in terms of the problem of dust adhesion.

なお、第1のスライダ部5LDIや第2のスライダ部5
LD2の構成材料として、磁気記録媒体面に発生する静
電気の極性と同じ極性の静電気を発生するような材料を
使用したり、あるいは導電性を有する材料が用いられる
ことは塵埃の付着の問題の点から考えて望ましい。
Note that the first slider section 5LDI and the second slider section 5
Using a material that generates static electricity with the same polarity as that generated on the surface of the magnetic recording medium, or using a conductive material as a constituent material of the LD2, may cause problems with dust adhesion. It is desirable considering this.

既述のように互に平行になされている2枚の支持板18
.19からなる第1のスライダ部5LDI支持部により
第2のスライダ部5LD2における浮上面に直交する一
方向だけに変位されるように第2のスライダ部5LD2
に支持されている第1のスライダ部5LDIを、それの
浮上面13は例えば方形で一辺がQ、22mmというよ
うに極めて小さいものとし、前記した2枚の支持板18
゜19からなる支持部によって第1のスライダ部5LD
Iに印加される押圧力が50 m g rのときに、毎
分2400回転されている磁気記録媒体における中心か
ら76mmの位置において、前記の第1のスライダ部5
LDIの浮上面13は磁気記録媒体面から500オング
ストロームだけ浮上されるのであり、このときに第1の
スライダ部5LDIの浮上面13における単位面積(1
ミリ平方メートル)当りの前記の押圧力は約1grにな
っている。
The two supporting plates 18 are parallel to each other as described above.
.. The second slider portion 5LD2 is configured such that the second slider portion 5LD2 is displaced only in one direction perpendicular to the air bearing surface of the second slider portion 5LD2 by the first slider portion 5LDI support portion consisting of 19.
The first slider section 5LDI supported by the above-mentioned two supporting plates 18 has an extremely small floating surface 13 of, for example, a rectangular shape with a side of Q and 22 mm.
The first slider portion 5LD is
When the pressing force applied to I is 50 m gr, the first slider portion 5
The air bearing surface 13 of the LDI is levitated by 500 angstroms from the magnetic recording medium surface, and at this time, the unit area (1
The pressing force per millimeter squared is approximately 1 gr.

前記のように磁気記録媒体面から500オングストロー
ムの高さに浮上している第1のスライダ部5LDIは極
めて軽いために、それが磁気記録媒体面に存在している
山谷部の最頂部に衝突して、それを削り取るような動作
を行ったとしても、前記の動作により磁気記録−媒体面
を傷付けるような状態を生じることがない。
As mentioned above, the first slider portion 5LDI floating at a height of 500 angstroms above the surface of the magnetic recording medium is extremely light, so it collides with the top of the peaks and valleys existing on the surface of the magnetic recording medium. Even if an operation is performed to scrape it off, the aforementioned operation will not cause any damage to the magnetic recording medium surface.

そして、第1のスライダ部5LDIは極めて小型軽量で
、しかも浮上面13が既述のように塵埃の付着し難い形
状にされているために塵埃の付着がなく、また大きな塵
埃や異物が磁気記録媒体面に存在している場合や磁気記
録媒体面が変形している場合などには、第1のスライダ
部が上下動で7応答して浮上動作を行うために、第1の
スライダ部5LDIが大きな塵埃や異物、あるいは磁気
記録媒体面に衝突するようなことは生せず、さらに第1
のスライダ部5LDIが極めて小型軽量なために、浮上
面13と磁気記録媒体面との間に入り!込んだ塵埃が第
1のスライダ部5LDIによって押しつぶされることが
なく、したがってその押しつぶされた塵埃が第1のスラ
イダ部5LDIに付着した状態で高速に移動している磁
気記録媒上呵−との間で摩擦熱を発生させるようなこと
も生じることがない。
The first slider section 5LDI is extremely small and lightweight, and the air bearing surface 13 has a shape that makes it difficult for dust to adhere to it, as described above, so there is no dust attached to it, and large dust and foreign objects can be removed from the magnetic recording. When the magnetic recording medium is present on the medium surface or the magnetic recording medium surface is deformed, the first slider section 5LDI responds by vertical movement and performs a floating operation. There is no possibility of large dust or foreign objects colliding with the surface of the magnetic recording medium, and the first
Because the slider portion 5LDI is extremely small and lightweight, it fits between the air bearing surface 13 and the magnetic recording medium surface! The trapped dust is not crushed by the first slider section 5LDI, and therefore the crushed dust is attached to the first slider section 5LDI and is moving at high speed between the magnetic recording medium and the magnetic recording medium. There is no possibility of frictional heat being generated.

前記した第1のスライダ部5LDI を支持した状態で
磁気記録媒体面上に浮上動作を行う第2の、スライダ部
5LD2は、第1のスライダ部5LDIに比べて磁気記
録媒体面から高い位置に浮上した状態で動作されるので
あるが、磁気記録媒体面から離隔した位置においては磁
気記録媒体面とスライダの浮上面との間の薄層気体流に
よってスライダの浮上面に与えられる揚力が小さくなる
から、第2のスライダ部5LD2はそれの浮上面の面積
を大きなものとして磁気記録媒体面から離隔した高い位
置に浮上した状態になるようにする。
The second slider section 5LD2, which performs a floating operation above the magnetic recording medium surface while supporting the first slider section 5LDI, floats at a higher position from the magnetic recording medium surface than the first slider section 5LDI. However, at a position far from the magnetic recording medium surface, the lift force applied to the slider air bearing surface becomes smaller due to the thin layer of gas flow between the magnetic recording medium surface and the slider air bearing surface. The second slider portion 5LD2 has a large flying surface area so that it floats at a high position away from the surface of the magnetic recording medium.

したがって、第2のスライダ部5LD2としては大きな
面積の浮上面を備えているものにされ、かつ、既述した
突起Pを介して比較的に小さな押圧力が加えられる状態
にして、第2のスライダ部5LD2が磁気記録媒上C薄
層気体流との摩擦が小さな領域で浮上されている状態に
なされる。
Therefore, the second slider portion 5LD2 is provided with a floating surface of a large area, and a relatively small pressing force is applied via the projections P described above. The portion 5LD2 is suspended in a region where friction with the C thin layer gas flow above the magnetic recording medium is small.

前記した第2のスライダ部5LD2は例えば約0.05
平方ミリメートルの面積を有するようなものとして構成
されている第1のスライダ部5LD1に比べて大きな面
積\例えば約12平方ミリメートルの面積を有するもの
として構成されておリ、この第2のスライダ部5LD2
は既述した突起Pを介して約3grの押圧力が加えられ
た状態で、毎分2400回転されている磁気記録媒体に
おける中心から76+a+++の位置において、第2の
スライダ部5LD2の浮上面14は磁気記録媒体面、か
ら約0.6ミクロンだけ浮上するが、このとき第2のス
ライダ部5LD2の浮上面14には単位、′W積(1ミ
リ平方メートル)当りに約0.25 g r/の押圧力
が加えられている状態になっている。
For example, the second slider portion 5LD2 has a diameter of about 0.05
The second slider section 5LD2 is configured to have a larger area than the first slider section 5LD1, which is configured to have an area of about 12 square millimeters, for example, about 12 square millimeters.
The air bearing surface 14 of the second slider portion 5LD2 is at a position 76+a+++ from the center of the magnetic recording medium which is being rotated at 2400 revolutions per minute with a pressing force of approximately 3 gr being applied via the projection P described above. It flies by about 0.6 microns from the magnetic recording medium surface, and at this time, the air bearing surface 14 of the second slider section 5LD2 has a force of about 0.25 g r/ per 'W area (1 millimeter square). A pressing force is being applied.

前記のように第2のスライダ部5LD2は第1のスライ
ダ部5LD1に比べて磁気記録媒体面から高い位置に浮
上している状態となされるが、この状態において第2の
スライダ部5LD2は磁気記録媒体面の山谷部の最頂部
よりも上方に浮上している状態、すなわち第2のスライ
ダ部5LD2が磁気記録媒上の薄層気体流との摩擦が小
さな領域に浮上している状態になされているから、浮上
動作中にこの第2のスライダ部5LD2が磁気記録媒体
面と接触するようなことはなく、また、磁気記録媒体面
上に存在する塵埃の大きさと量との関係が、塵埃の大ぎ
さが小さくなるのに従って急激に量が増大しているもの
であるために、磁気記録媒体面上の塵埃は磁気記録媒体
面と第2のスライダ部5LD2との間の大きな間隙を流
れて通過して第2のスライダ部5LD2に塵埃が付着す
るようなことを起こさない。
As described above, the second slider portion 5LD2 is in a state where it is floating at a higher position from the magnetic recording medium surface than the first slider portion 5LD1, but in this state, the second slider portion 5LD2 is not used for magnetic recording. The second slider portion 5LD2 is placed in a state where it is floating above the top of the peaks and troughs on the medium surface, that is, in a state where the second slider portion 5LD2 is floating in an area where friction with the thin layer gas flow on the magnetic recording medium is small. Therefore, the second slider portion 5LD2 does not come into contact with the magnetic recording medium surface during the floating operation, and the relationship between the size and amount of dust present on the magnetic recording medium surface is Since the amount of dust increases rapidly as the size decreases, the dust on the surface of the magnetic recording medium flows through a large gap between the surface of the magnetic recording medium and the second slider section 5LD2. This prevents dust from adhering to the second slider portion 5LD2.

前記のように、第2のスライダ部5LD2が磁気記録媒
体面の山谷部の最頂部よりもはるかに上方に浮上してい
る状態にされた場合には、第2のスライダ部5LD2の
浮上面と磁気記録媒体面との平行度が多少筋れたとして
も前記の両者が接触して破壊してしまうようなことを起
り難くすることにも役立つのである。
As described above, when the second slider portion 5LD2 is placed in a state where it is floating far above the top of the peaks and valleys on the surface of the magnetic recording medium, the air bearing surface of the second slider portion 5LD2 and Even if the parallelism with the magnetic recording medium surface is slightly distorted, it also helps to prevent the two from coming into contact and being destroyed.

ところで、磁気記録媒体面からの第2のスライダ部5L
D2の浮上面14の高さが高くなればなる程、磁気記録
媒体面とスライダの浮上面14との間の薄層気体流によ
ってスライダの浮上面に与えられる揚力が小さくなり、
がっ、第2のスライダ部5LD2に加えるべき押圧力も
小さくなされるから、浮上型磁気ヘッド構体に対して与
えられる外部からの衝撃などの影響も強く現われること
になる。
By the way, the second slider portion 5L from the magnetic recording medium surface
The higher the height of the air bearing surface 14 of D2, the smaller the lift force exerted on the air bearing surface of the slider by the thin layer gas flow between the magnetic recording medium surface and the air bearing surface 14 of the slider.
However, since the pressing force to be applied to the second slider portion 5LD2 is also reduced, the influence of external shocks applied to the floating magnetic head structure becomes more pronounced.

それで、第2のスライダ部5LD2の磁気記録媒体面か
らの高さは、第2のスライダ部5LD2の浮上面と磁気
記録媒体面との平行度からのずれの量と、外部からの衝
撃の影響などによって、第1のスライダ部5LDIの動
作に支障が生じない範囲内に限られるのであって、磁気
記録媒体面からの第2のスライダ部5LD2の浮上面1
4の高さとしては1例えば0.6〜3ミクロン程度にさ
れるのがよい。
Therefore, the height of the second slider section 5LD2 from the magnetic recording medium surface is determined by the amount of deviation from parallelism between the air bearing surface of the second slider section 5LD2 and the magnetic recording medium surface, and the influence of external impact. etc., the air bearing surface 1 of the second slider section 5LD2 from the magnetic recording medium surface is limited to a range that does not impede the operation of the first slider section 5LDI.
The height of 4 is preferably about 0.6 to 3 microns, for example.

浮上型磁気ヘッド構体を用いて行われる記録再生の対象
にされている磁気記録媒体りがソリッドな状態の磁気記
録媒体の場合には、浮上型磁気ヘッド構体を用いて行わ
れる記録再生動作時においても第13図に例示されてい
るように磁気記録媒2体面が沈み込むようなことは起こ
らないが、浮上声磁気ヘッド構体を用いて行われる記録
再生の対象にされている磁気記録媒体りが可撓性の磁気
記録媒体の場合には、浮上型磁気ヘッド構体が大型であ
ったり記録再生動作時に記録媒体面に大きな押圧力を及
ぼすような場合には可撓性の磁気記録媒体は回転するこ
とができないか、あるいは可撓性の磁気記録媒体が回転
できたとしても浮上型磁気ヘッド構体によって可撓性の
磁気記録媒体が損傷を受けたりすることが起きるために
、従来構成の浮上型磁気ヘッドによって可撓性の磁気記
録媒体に対して記録再生動作が満足に行われるようにす
ることは期待できないことであったが、本発明の浮上型
磁気ヘッド構体の浮上動作方法においては、浮上型磁気
ヘッド構体を用いて行われる記録再生動作時には第14
図に例示されているように磁気記録媒体面が沈み込みを
起こしている状態で浮上型磁気ヘッド構体の浮上動作が
行われうるようにできるのである。
If the magnetic recording medium that is the subject of recording and reproducing using a floating magnetic head structure is a solid magnetic recording medium, during the recording and reproducing operation performed using a floating magnetic head structure, Although the two surfaces of the magnetic recording medium do not sink as illustrated in FIG. In the case of a flexible magnetic recording medium, if the floating magnetic head structure is large or exerts a large pressing force on the surface of the recording medium during recording and reproducing operations, the flexible magnetic recording medium will rotate. However, even if the flexible magnetic recording medium can rotate, the flexible magnetic recording medium may be damaged by the floating magnetic head structure. Although it has not been expected that a head can satisfactorily perform recording and reproducing operations on a flexible magnetic recording medium, in the floating operation method of the floating magnetic head structure of the present invention, During the recording/reproducing operation performed using the magnetic head structure, the 14th
As illustrated in the figure, it is possible to perform the floating operation of the floating magnetic head assembly in a state where the surface of the magnetic recording medium is sinking.

第14図においてDは可撓性を有する磁気記録媒体であ
り、この可撓性を有する磁気記録媒体りは、それの面上
で浮上動作を行う浮上型磁気ヘッド構体における第1.
第2のスライダ部5LDI。
In FIG. 14, reference numeral D denotes a flexible magnetic recording medium, and this flexible magnetic recording medium is the first magnetic recording medium in the floating magnetic head structure that performs a floating operation on its surface.
Second slider section 5LDI.

5LD2におけるそれぞれの浮上面13.14から離隔
するように変形するとともに、第4図中で30a〜30
d(第4図中では30の図面符号が付されている)で示
されている角部の面取り部からも、それぞれ離隔するよ
うに変形されている。
30a to 30 in FIG.
The corners are also deformed so as to be spaced apart from the corner chamfered portions indicated by d (numbered 30 in FIG. 4).

すなわち、本発明の浮上型磁気ヘッド構体の浮上動作方
法を適用して浮上型磁気ヘッド構体で可撓性の磁気記録
媒体に記録再生動作が行われる場合には、軽量な第2の
スライダ部5LD2における浮上面14の周囲の角部に
施した面取りによる面30a〜30dの部分にも、可撓
性を有する磁気記録媒体りの磁気記録媒体面上に流れる
薄層気体流によって揚力が与えられて、第2のスライダ
部5LD2における浮上面14の周囲の角部に施した面
取りによって構成された面30a〜30dの部分も磁気
記録媒体面上に浮上している状態になされるのであり、
既述した突起Pによる実質的な点接触の状態によってア
ーム部AMDに変位自在に連結されている前記した軽量
な第2のスライダ部5LD2が、磁気記録媒体面から高
い浮上位パ装置においてそれの浮上面14.30が磁気
記録媒−65= 一図一 体面に正しく対向してい−る状態になされるのであり、
また、前記した第2のスライダ部5LD2の浮上面14
に直交する1方向にだけに変位可能に支持されている小
型−軽量な第1のスライダ部5LD1の浮上面13も磁
気記録媒体面に正しく対向している状態になされるので
ある。
That is, when the floating magnetic head assembly of the present invention performs a recording/reproducing operation on a flexible magnetic recording medium by applying the floating operation method of the floating magnetic head assembly, the lightweight second slider section 5LD2 is used. The chamfered surfaces 30a to 30d of the surrounding corners of the air bearing surface 14 are also given lift by the thin gas flow flowing over the magnetic recording medium surface of the flexible magnetic recording medium. , the surfaces 30a to 30d formed by chamfering the corners around the air bearing surface 14 in the second slider portion 5LD2 are also made to float above the surface of the magnetic recording medium,
The aforementioned lightweight second slider section 5LD2, which is movably connected to the arm section AMD through the state of substantial point contact by the aforementioned protrusion P, is mounted in a high-flying device that is high above the surface of the magnetic recording medium. The air bearing surface 14.30 is placed in a state in which it is correctly opposed to the magnetic recording medium 65 (Fig. 1).
Further, the air bearing surface 14 of the second slider portion 5LD2 described above
The air bearing surface 13 of the small and lightweight first slider portion 5LD1, which is supported so as to be displaceable only in one direction orthogonal to the magnetic recording medium, is also placed in a state in which it correctly faces the surface of the magnetic recording medium.

さて、浮上型磁気ヘッド構体における軽量な第2のスラ
イダ部5LD2の浮上面14の周囲の角部に施した面取
りによる面30a〜30dの部分の存在意義及び面30
a〜30dの形成方法などについて具体的に説−叫′す
ると次のとおりである。
Now, the significance of the existence of the surfaces 30a to 30d formed by chamfering the corners around the air bearing surface 14 of the lightweight second slider portion 5LD2 in the floating magnetic head structure and the surface 30
A detailed description of the method for forming elements a to 30d is as follows.

第1.第2のスライダ部5LD1,5LD2を備えて構
成されている一浮上型磁気ヘッド構体を可撓性を有する
磁気記録−媒体り上にコンタクト・スタート・ストップ
式で浮上動作を行わせる場合に、磁気記録媒体面から浮
上する以前の浮上型磁気ヘッド構体と可撓性を有する磁
気記録媒体との接触の状態は、可撓性を有する磁気記録
媒体に対して沈み込んだ浮上型磁気ヘッド構体における
第2のスライダ部5LD2の四隅の角部が、最も強く可
一部一 撓性を有する磁気記録媒体に接触している状態になされ
る。
1st. When a floating magnetic head structure including the second slider sections 5LD1 and 5LD2 is caused to fly over a flexible magnetic recording medium in a contact start-stop manner, magnetic The state of contact between the floating magnetic head structure and the flexible magnetic recording medium before it levitates from the recording medium surface is the state of contact between the floating magnetic head structure and the flexible magnetic recording medium when the floating magnetic head structure is submerged with respect to the flexible magnetic recording medium. The four corners of the second slider section 5LD2 are brought into contact with the magnetic recording medium having the strongest flexibility.

それで、前記のように第2のスライダ部5LD2の四隅
の角部が強く可撓性を有する磁気記録媒体に接触してい
る状態の浮上型磁気ヘッド構体を可撓性を有する磁気記
録媒体上に浮上させるべく可撓性を有する磁気記録媒体
を高速に回転させた場合には、前記した浮上型磁気ヘッ
ド構体における第2のスライダ部5LD2の四隅の角部
によって、それに強く接触している可撓性を有する磁気
記録媒体が破損してしまうことになる。
Therefore, as described above, the floating magnetic head structure with the four corners of the second slider portion 5LD2 in strong contact with the flexible magnetic recording medium is placed on top of the flexible magnetic recording medium. When a flexible magnetic recording medium is rotated at high speed in order to be levitated, the four corners of the second slider portion 5LD2 in the above-described floating magnetic head structure cause the flexible magnetic recording medium to be in strong contact with it. This will damage the magnetic recording medium.

可撓性を有する磁気記録媒体に前記のような破損を生じ
させないようにするために、浮上型磁気ヘッド構体にお
ける第2のスライダ部5LD2の四隅の部分の角部の面
取りを行って、その面取、りを行って形成させた面30
a〜30dに可撓性を有する磁気記録媒体の面上の薄層
気体流により前記した面30a〜30dに生じる揚力が
、磁気記録媒体の面上の薄層気体流によって第2のスラ
イダ部5LD2における主要な浮」二面14a〜14d
に生じる揚力と同様なものにすると、浮上型磁気ヘッド
構体は第1のスライダ部5LDI における浮上面13
と第2のスライダ部5LD2における浮上面14と、前
記した第2のスライダ部S L D2の角部に形成させ
た各面30a〜30dとの各部に発生された揚力により
、浮上型磁気ヘッド構体は可撓性を有する磁気記録媒体
上に第14図示のような態様で浮上される。
In order to prevent the above-mentioned damage to the flexible magnetic recording medium, the four corners of the second slider section 5LD2 in the floating magnetic head structure are chamfered, and the surfaces of the four corners are chamfered. Surface 30 formed by removing and removing
The lift force generated on the surfaces 30a to 30d due to the thin layer gas flow on the surface of the magnetic recording medium having flexibility in the areas a to 30d is caused by the thin layer gas flow on the surface of the magnetic recording medium to the second slider portion 5LD2. The main floating planes 14a to 14d
If the lifting force is similar to that generated in the floating magnetic head structure, the flying surface 13 in the first slider portion 5LDI
The floating magnetic head structure is floated on a flexible magnetic recording medium in a manner as shown in FIG. 14.

すなわち、本発明の浮上型磁気ヘッド構体の浮上動作方
法では、浮上型磁気ヘッド構体を浮上動作させるべき磁
気記録媒体がソリッド状のものであっても、あるいは磁
気記録媒体が可撓性を有するものであっても、浮上型磁
気ヘッド構体における第1.第2のスライダ部5LD1
.,5LD2の各浮上面13,14と磁気記録媒体面と
の間には第13図と第14図と−にそれぞれ例示されて
いるように、前記の何れの場合であっても略々同様な浮
上間隙が形成されて、浮上型磁気ヘッド構体は第13図
及び第14図にそれぞ九例示されているように磁気記録
媒体面上に良好な浮上の状態で浮上されうるのである。
That is, in the flying operation method of a floating magnetic head structure of the present invention, even if the magnetic recording medium on which the floating magnetic head structure is to be caused to fly is solid, or the magnetic recording medium is flexible. Even if the first . Second slider section 5LD1
.. , 5LD2 and the magnetic recording medium surface, as illustrated in FIGS. By forming a flying gap, the flying magnetic head assembly can be floated in a good flying state over the surface of the magnetic recording medium, as shown in FIGS. 13 and 14, respectively.

前述のように浮上型磁気ヘッド構体を浮上動作させるべ
き磁気記録媒体がソリッド状のものでも、あるいは磁気
記録媒体が可撓性を有するものであっても、浮上型磁気
ヘッド構体を同様に磁気記録媒体面上に浮上させるよう
にするために、浮上型磁気ヘッド構体における第2のス
ライダ部5LD2の四隅の角部の部分の面取りを行って
形成される面30a〜30dは、例えば、次のようにし
て第2のスライダ部5LD2に形成させることができる
As mentioned above, regardless of whether the magnetic recording medium on which the floating magnetic head structure is to be operated in a floating manner is solid or flexible, the floating magnetic head structure may be used for magnetic recording in the same way. In order to levitate the medium above the surface of the medium, the surfaces 30a to 30d formed by chamfering the four corners of the second slider portion 5LD2 in the floating magnetic head structure are, for example, as follows. It can be formed in the second slider portion 5LD2.

すなわち、まず浮上型磁気ヘッド構体における第2のス
ライダ部5LD2の浮上面14a〜14fとスライダ部
5LD2の浮上面14の四隅の部分の角部の面取りによ
る面30a〜30dとが形成されていない状態の第2の
スライダ部ST、D2だけをアーム部AMDに取付けて
、最初は通常の平面研磨盤を用いて第2のスライダ部S
 LD 2の浮上面14a〜1.4 fを平面ラップ仕
上げにより形成させ、次に、第2のスライダ部5LD2
だけが取付けられているアーム部AMDから突起Pを介
して第2のスライダ部5LD2に押圧力を加えた状態で
スライダ部5LD2の浮上面14の四隅の角部の面取り
仕上げを行って面30a〜30dを形成させる。
That is, first, in the floating magnetic head structure, the air bearing surfaces 14a to 14f of the second slider portion 5LD2 and the surfaces 30a to 30d formed by chamfering the four corners of the air bearing surface 14 of the slider portion 5LD2 are not formed. Attach only the second slider parts ST and D2 to the arm part AMD, and first use a normal surface polishing machine to polish the second slider part S.
The air bearing surfaces 14a to 1.4f of the LD 2 are formed by flat lapping, and then the second slider portion 5LD2 is formed.
The four corners of the air bearing surface 14 of the slider section 5LD2 are chamfered while a pressing force is applied to the second slider section 5LD2 via the protrusion P from the arm section AMD to which only the slider section AMD is attached. 30d.

前記の加工は一種の実装研磨に相当しており、研磨盤と
しては浮上型磁気ヘッド構体を用いて記録再生の対象に
されるべき可撓性を有する磁気記録媒体と同様な機械的
な諸特性と厚みとを有するディスクシート上に、粒径が
約0.2ミクロンのダイヤモンド粉を均一に薄くすり込
んだものを用いて、記録再生の対象にされるべき可撓性
を有する磁気記録媒体から浮」:型磁気ヘッド構体によ
り記録再生を行う場合の磁気記録媒体の回転数と同一の
回転数、例えば毎分2400回転で研磨盤を回転させ、
また記録再生の対象にされるべき可撓性を有する磁気記
録媒体から浮上型磁気ヘッド構体により記録再生が行わ
れる場合に浮上型磁気ヘッド構体に加えるべき加圧力よ
りも僅かに大きな加圧力を第2のスライダ部5LD2だ
けが取付けられているアーム部AMDから突起Pを介し
て第2のスライダ部5LD2に加えた状態でスライダ部
5LD2の浮上面14の四隅の角部の面取り仕上げを前
記した研磨盤によって行う。
The above processing corresponds to a type of mounting polishing, and the polishing disk uses a floating magnetic head structure and has various mechanical properties similar to those of a flexible magnetic recording medium that is to be recorded and reproduced. Diamond powder with a particle size of about 0.2 microns is evenly and thinly rubbed onto a disk sheet having a thickness of ": Rotate the polishing disk at the same rotation speed as the rotation speed of the magnetic recording medium when recording and reproducing with the type magnetic head structure, for example, 2400 revolutions per minute,
In addition, when a floating magnetic head assembly performs recording and reproduction from a flexible magnetic recording medium to be recorded and reproduced, a pressure force that is slightly larger than that to be applied to the floating magnetic head assembly is applied. The four corners of the air bearing surface 14 of the slider part 5LD2 are chamfered and polished as described above, with only the second slider part 5LD2 attached to the second slider part 5LD2 via the protrusion P from the arm part AMD to which only the second slider part 5LD2 is attached. It is done by board.

前記した研磨盤によるスライダ部5LD2の浮上面14
の四隅の角部の部分の面取り仕上げ工程7の最初におい
て、被加工物の第2のスライダ5LD2の浮上面14の
四隅には角部が存在している状態にあるから、研磨盤に
半分埋め込まれている状態のもの、あるいは研磨盤の表
面に存在しているもの等が混在している状態で研磨盤に
すり込まれている0、2ミクロンの粒径のダイヤモンド
粉は、前記した角部に接触してそこが実装研磨される。
The floating surface 14 of the slider portion 5LD2 is formed by the polishing disk described above.
At the beginning of the chamfering finishing step 7, the four corners of the flying surface 14 of the second slider 5LD2 of the workpiece are in a state where corners are present, so the chamfering is not done half-embedded in the polishing disk. The diamond powder with a particle size of 0.2 microns that is rubbed into the polishing disc in a state where it is mixed with the diamond powder that is present on the surface of the polishing disc or in a mixed state that exists on the surface of the polishing disc is When it comes into contact with the mount, it is polished.

研磨が進行して面取りにより面が形成されて来ると、次
第にその面に揚力が作用して第2のスライダ5LD2が
浮上し、前記の第2のスライダ5LD2の浮上面14の
四隅に形成された面取り部に対する研磨盤のダイヤモン
ド粉の圧接力が低下して行き、研磨の状態が次第にソフ
トなものに移行して面取り部はきれいに仕上げられて行
くのである。なお、研磨盤にすり込まれるダイヤモンド
粉の量が多すぎるとダイヤモンド粉がかたまりの集合に
なって研磨加工によってもきれいな面が形成されないの
で、研磨盤にすり込んでおくダイヤモンド粉は適量でな
ければならない。
As the polishing progresses and a surface is formed by chamfering, a lifting force gradually acts on the surface, causing the second slider 5LD2 to float, and the surfaces formed at the four corners of the air bearing surface 14 of the second slider 5LD2 are The pressing force of the diamond powder of the polishing disk against the chamfer decreases, and the polishing condition gradually shifts to a softer one, resulting in a finer finish on the chamfer. In addition, if too much diamond powder is rubbed into the polishing disc, the diamond powder will aggregate into clumps and a clean surface will not be formed during the polishing process, so the amount of diamond powder rubbed into the polishing disc must be in an appropriate amount. .

さて、前記したように本発明の浮上型磁気ヘッド構体の
浮上動作方法では、浮上型磁気ヘッド構体を浮上動作さ
せるべき磁気記録媒体がソリッド状のものであった場合
には第13図に例示されているように、また浮上型磁気
ヘッド構体を浮上動作させるべき磁気記録媒体が可撓性
を有するものであった場合には第14図に例示されてい
るように、浮上型磁気ヘッド−構一体における第1.第
2のスライダ部5LI)1,5LD2の各浮上面13,
14と磁気記録媒体面、どの肩にはそれぞれ所定の浮上
間隙が形成されて、浮上型磁気ヘッド構体は第13図及
び第14図にそれぞれ例示されているように磁気記録媒
体面上に良好な浮上の状態で浮上されうるのであり、浮
上型磁気ヘッド構体における第1のスライダ部5LDI
は、磁気記録媒体面における表面の山谷部における最頂
部付近に浮上付近に浮上し、また、前記した浮上型磁気
ヘッド構体における第2のスライダ部5LD2は磁気記
録媒体面における表面の山谷部における最頂部よりもは
るかに高い位置に浮上した状態になされる。
Now, as described above, in the flying operation method of the floating magnetic head structure of the present invention, when the magnetic recording medium on which the floating magnetic head structure is to be caused to fly is in the form of a solid, the method is illustrated in FIG. 13. In addition, if the magnetic recording medium on which the floating magnetic head structure is to be operated is flexible, the floating magnetic head structure may No. 1 in Each air bearing surface 13 of the second slider section 5LI)1, 5LD2,
14 and the magnetic recording medium surface, a predetermined flying gap is formed at each shoulder, and the floating magnetic head structure has a good flying gap on the magnetic recording medium surface, as illustrated in FIGS. 13 and 14, respectively. The first slider portion 5LDI in the floating magnetic head structure can be levitated in a floating state.
floats near the top of the peaks and troughs on the surface of the magnetic recording medium, and the second slider portion 5LD2 in the above-described floating magnetic head structure floats near the top of the peaks and troughs of the surface of the magnetic recording medium. It is placed in a state where it floats far above the top.

今、−例として浮上型磁気ヘッド構体において互に平行
になされている2枚の支持板18.19からなる第1の
スライダ部5LDI支持部によって第2のスライダ部5
LD2の浮上面14に直交する一方向だけに変位される
ように第2のスライ/ダ部5LD2に支持されている第
1のスライダ部5LDIにおける浮上面13が例えば方
形で一辺が0.22mmであり、また、前記した第1の
スライダ部5LDIに備えられている磁気ヘッドは;磁
気空隙長が0.3〜0.5ミクロン、トラック巾が0.
007〜0.02であり、さらに前記した2枚の支持板
18.19からなる支持部によって第1のスライダ部5
LDIに印加される押圧力が50mgr(第1のスライ
ダ部5LDIの浮上面13における単位面積(1ミリ平
方メートル)当りの前記の押圧力は約1gr )である
とするとともに、前記した第1のスライダ部5LDIを
前記した第1のスライダ部5LDI支持部を介して支持
している第2のスライダ部5LD2は前記した第1のス
ライダ部5LDIに比べて大きな面積、例えば約12平
方ミリメートルの面積を有するものとして構成されてい
て、この第2のスライダ部5LD2には既述した突起P
を介して約3grの押圧力が加えられた状態(第2のス
ライダ部5LD2の浮上面14には単位面積(1ミリ平
方メートル)当りに約0.25 g rの押圧力が加え
られている状態)とされている場合に、毎分2400回
転されている磁気記録媒体における中心から76mmの
位置において、第2のスライダ部5LD2の浮上面14
は磁気記録媒体面から約0.6ミクロンだけ浮上した状
態になされ、前記の第1のスライダ部5LDIの浮上面
13は磁気記録媒体面から500オングストロームだけ
浮上された状態になる。
Now, as an example, in a floating magnetic head structure, the first slider section 5 is made up of two supporting plates 18 and 19 that are parallel to each other, and the second slider section 5 is
The air bearing surface 13 of the first slider section 5LDI supported by the second slider section 5LD2 so as to be displaced only in one direction perpendicular to the air bearing surface 14 of the LD2 is, for example, rectangular and has a side of 0.22 mm. Also, the magnetic head provided in the first slider section 5LDI described above has a magnetic gap length of 0.3 to 0.5 microns and a track width of 0.5 microns.
007 to 0.02, and furthermore, the first slider portion 5 is
Assume that the pressing force applied to the LDI is 50 mgr (the aforementioned pressing force per unit area (1 mm square) on the air bearing surface 13 of the first slider section 5LDI is approximately 1 gr), and the above-mentioned first slider The second slider section 5LD2 that supports the section 5LDI via the first slider section 5LDI support section has a larger area than the first slider section 5LDI, for example, about 12 square millimeters. The second slider portion 5LD2 has the aforementioned projection P.
(a state in which a pressing force of approximately 0.25 gr is applied per unit area (1 millimeter square) to the floating surface 14 of the second slider portion 5LD2) ), the air bearing surface 14 of the second slider portion 5LD2 at a position 76 mm from the center of the magnetic recording medium rotating at 2400 revolutions per minute.
is placed in a state in which it is levitated by about 0.6 microns from the surface of the magnetic recording medium, and the air bearing surface 13 of the first slider section 5LDI is in a state in which it is in a state in which it is levitated by 500 angstroms from the surface of the magnetic recording medium.

前記の例において浮上型磁気ヘッド構体における第1の
スライダ部5LDIに設けられている磁気ヘット12の
磁気空隙面となされる第1のスライダ部5LDIの浮上
面13は、磁気記録媒体面上の約500オングストロー
ムの位置に浮上した7状態になされているから、前記し
た第1のスライダ部5LDIに備えられている磁気ヘッ
ドとして7は磁気空隙長Gと磁気記録媒体面上の磁気ヘ
ッド12の磁気空隙面の高さHとの比G/Hが3以上と
なる磁気空隙長を0.3〜0.5ミクロン程度というよ
うに極めて小さな磁気ヘッド12を使用しても良好に記
録再生ができることになり、本発明の浮上型磁気ヘッド
構体の浮上動作方法では、浮上型磁気ヘッド構体によっ
て高密度記録が容易に行われ得るのであり、また、前記
のように磁気記録媒体面から500オングストロームの
高さに浮上している第1のスライダ部5LDIは極めて
軽いために、それが磁気記録媒体面に存在している山谷
部の最頂部に衝突して、それを削り取るような動作を行
ったとしても、前記の動作により磁気記録媒体面を傷付
けるような状態を生じることもなく、さらに前記した第
1のスライダ部5LDIを支持した状態で磁気記録媒体
面上に浮上動作を行う第2のスライダ部5LD2は、そ
れの浮上面14が第1のスライダ部5LDIの浮上面1
3の位置に比べて磁気記録媒体面から高い位置に浮上し
た状態で動作されるので、この状態において第2のスラ
イダ部5LD2は磁気記録媒体面の山谷部の最頂部より
も上方に浮上している状態、すなわち第2のスライダ部
5LD2が磁気記録媒上の薄層気体流との摩擦が小さな
領域に浮上している状態になされているから、浮上動作
中にこの第2のスライダ部5LD2の浮上面と磁気記録
媒体面との平行度が多少崩れたとしても前記の両者が接
触して破壊してしまうようなことを起り難くするし、ま
た、磁気記録媒体面上の塵埃は磁気記録媒体面と第2の
スライダ部5LD2との間の大きな間隙を流れて通過し
て第2のスライダ部5LD2に塵埃が付着するようなこ
とも起らない。
In the above example, the air bearing surface 13 of the first slider section 5LDI, which serves as the magnetic gap surface of the magnetic head 12 provided in the first slider section 5LDI in the floating magnetic head structure, is located approximately above the surface of the magnetic recording medium. Since the magnetic head 7 is in the floating state at a position of 500 angstroms, 7 is the magnetic gap length G and the magnetic gap of the magnetic head 12 on the surface of the magnetic recording medium. Even if an extremely small magnetic head 12 is used, such as a magnetic gap length of approximately 0.3 to 0.5 microns, where the ratio G/H to the surface height H is 3 or more, good recording and reproduction can be performed. According to the flying operation method of the floating magnetic head structure of the present invention, high-density recording can be easily performed by the floating magnetic head structure, and as mentioned above, the floating magnetic head structure can be used at a height of 500 angstroms from the surface of the magnetic recording medium. Since the floating first slider section 5LDI is extremely light, even if it collides with the top of the peaks and valleys existing on the surface of the magnetic recording medium and performs an operation to scrape it off, the above-mentioned The second slider section 5LD2 does not cause any damage to the surface of the magnetic recording medium due to the operation thereof, and also performs a floating operation above the surface of the magnetic recording medium while supporting the first slider section 5LDI. Its air bearing surface 14 is the air bearing surface 1 of the first slider section 5LDI.
Since the second slider portion 5LD2 is operated in a state where it is floating at a higher position than the magnetic recording medium surface compared to the position 3, in this state, the second slider portion 5LD2 is floating above the top of the peaks and troughs on the magnetic recording medium surface. In other words, the second slider portion 5LD2 is floating in an area where the friction with the thin layer gas flow on the magnetic recording medium is small. Even if the parallelism between the air bearing surface and the magnetic recording medium surface is slightly disrupted, it is difficult for the two to contact each other and destroy the magnetic recording medium, and dust on the magnetic recording medium surface is removed from the magnetic recording medium. Dust does not flow through the large gap between the surface and the second slider portion 5LD2 and adhere to the second slider portion 5LD2.

また、本発明の浮上型磁気ヘッド構体の浮上動作方法を
適用して浮上型磁気ヘッド構体により磁気記録媒体での
記録再生動作が行われる際には、磁気記録媒体がソリッ
ドな状態のものでは第1゜第2のスライダ部5LDI、
5LD2が既述のように安定に浮上した状態で記録再生
動作が行われることは勿論のこと、磁気記録媒体が可撓
性の磁気記録媒体に記録再生動作が行われる場合でも、
軽量な第2のスライダ部5LD2における浮上面14の
周囲の角部に施した面取りによる面30a〜30dの部
分にも、可撓性を有する磁気記録媒体りの磁気記録媒体
面上に流れる薄層気体流によって揚力が与えられて、第
2のスライダ部5LD2における浮上面14の周囲の角
部に施した面取りによって構成された面30a〜30d
の部分も磁気記録媒体面上に浮上している状態になされ
るのであり、既述した突起Pによる実質的な点接触の状
態によってアーム部AMDに変位自在に連結されている
前記した軽量な第2のスライダ部5LD2が、磁気記録
媒体面から高い浮上位置においてそれの浮上面14.3
0が磁気記録媒体面に正しく対向している状態になされ
るのであり、また、7フー ー76= 前記した第2のスライダ部5LD2の浮上面14に直交
する1方向にだけに変位可能に支持されている小型軽量
な第1のスライダ部5LDlの浮上面13も磁気記録媒
体面に正しく対向している状態になされて、記録再生動
作が良好に行われるのである。
Furthermore, when the floating magnetic head assembly of the present invention performs a recording/reproducing operation on a magnetic recording medium by applying the floating operation method of the floating magnetic head assembly, it is preferable that the magnetic recording medium is in a solid state. 1° second slider section 5LDI,
Of course, recording and reproducing operations are performed with the 5LD2 floating stably as described above, and even when recording and reproducing operations are performed on a flexible magnetic recording medium,
The thin layer flowing on the magnetic recording medium surface of the flexible magnetic recording medium also exists in the chamfered surfaces 30a to 30d of the corners around the air bearing surface 14 in the lightweight second slider section 5LD2. Surfaces 30a to 30d are provided with lift by the gas flow and are configured by chamfering the corners around the floating surface 14 in the second slider portion 5LD2.
The above-mentioned lightweight part AMD is also made to float above the surface of the magnetic recording medium, and is connected to the arm part AMD in a substantially point-contact state by the projection P mentioned above, so as to be freely displaceable. The slider portion 5LD2 of No. 2 is at its air bearing surface 14.3 at a high flying position from the magnetic recording medium surface.
0 is correctly opposed to the surface of the magnetic recording medium, and 7hoo76= is supported so that it can be displaced only in one direction perpendicular to the air bearing surface 14 of the second slider section 5LD2. The air bearing surface 13 of the first slider portion 5LDl, which is small and lightweight, is also placed in a state in which it correctly faces the surface of the magnetic recording medium, so that recording and reproducing operations can be performed satisfactorily.

(発明の効果) 以上、詳細に説明したところから明らかなように、本発
明は磁気記録媒体面とスライダ部の浮上面との間の薄層
気体流によってスライダ部の浮上面に生じる揚力により
磁気記録媒体面上でそれぞれ浮上状態になされうる第1
のスライダ部と第2のスライダ部との2つのスライダ部
からなり前記した第1のスライダ部に磁気ヘッドを備え
させてある浮上型磁気ヘッド構体における前記の第1の
スライダ部は第2のスライダ部における浮上面の方向に
略々直交する方向だけで直線運動が可能な状態の支持部
により第2のスライダ部に支持されていて、それの浮上
面が磁気記録媒体面の面荒れの山谷部の山の最頂部付近
と谷の上方とを通過しうるような態様で面荒れの山谷部
に対応して変位し、また、前記した第2のスライダ部は
磁気記録7媒体の面荒れの山谷部の山の最頂部よりも上
方に′設定された高さの位置で磁気記録媒体面の面振れ
に対応してそれの浮上面が磁気記録媒体面に、正しく対
向する姿態を保つように変位して前記した第1、第2の
スライダ部の浮上動作が行われるように、磁気記録媒体
面と前記した第1及び第2のスライダ部の浮上面との間
の薄層気体流によって前記した第1及び第2のスライダ
部における浮上面にそれぞれ作用している揚力に抗する
押圧力を、第1のスライダ部の支持部及び第2のスライ
ダ離における略々中央位置に設定された加圧点へ個別に
与えるようにした浮上型磁気ヘッド構体の浮上、動作方
法であって、浮上型磁気ヘッド構体におけ゛る前記の第
1のスライダ部を、それの浮上面に枇較して大きな面積
の浮上面を有する第2のスライダ部における浮上面の方
向に略々直交する方向だけで直線運動が可能な状態の支
持部により第2め、スライダ部に支持させておき、磁気
記録媒体面と前記した第1及び第2のスライダ部の浮上
面との間の薄層気体流によって前記した第1及び第2の
スライダ部における浮上面にそれぞれ作用している揚力
に抗して第1のスライダ部の支持部及び第2のスライダ
部にお1す゛4笥々中央位置に設定され゛ た加圧点に
対してそれぞれ個別の押圧力、すなわち、第1のスライ
ダ部に加えられる押圧力よりも第2のスライダ部に加え
られる押圧力の方が小′さく、かつ、前記の第1のスラ
イダ部と第2のスライダ部に加えられる一前−記の押圧
力の単位面積当りの押圧力の値を、第1のスライダ部に
おける単位面積当りの押圧力の値の方が第2のスライダ
部における単位面積当りの押圧力の値よりも大であるよ
うにして、第1のスライダはそれの浮上面が磁気記録媒
体面の面荒れの山谷部の山の最頂部付近と谷の上方とを
通過しうるような態様で面荒れの山谷部に対応して舵し
、また、前記した第2のスライダ部は磁気記録媒”体の
面荒れの山谷部の山の最頂部よりも上方に設定された高
さの位置で磁気記録媒体面の面振れに対応してそれの浮
上面が磁気記録媒体面に略々平行な姿態を保つように変
位させるようにして、浮上型磁気へラド構体によって高
密度記録が容易に行われ得るのであり、また、前記のよ
うに磁気記録媒体面に極めて近接して浮上している第1
のスライダ部5LDIは極めて軽いために、それが磁気
記録媒体面に存在している山谷部の最頂部に衝突して、
それを削り取るような動作を行ったとしても、前記の動
作により磁気記録媒体面を傷付けるような状態を生じる
こともなく、さらに前記した第1のスライダ部5LD1
を支持した状態で磁気記録媒体面上に浮上動作を行う第
2のスライダ部5LD2は、それの浮上面14が第1の
スライダ部5LDIの浮上面13の位置に比べて磁気記
録媒体面から高い位置に浮上した状態で動作されるので
、この状態において第2のスライダ部5LD2は磁気記
録媒体面の山谷部の最頂部よりも上方に浮上している状
態、すなわち第2のスライダ部5LD2が磁気記録7媒
の薄層気体流との摩擦が小さな領域に浮上している状態
になされているから、浮上動作中にこの第2のスライダ
部5LD2の浮上面と磁気記録媒体面との平行度が多少
崩れたとしても前記の両者が接触して破壊してしまうよ
うなことを起り難くするし、また、磁気記録媒体面上の
塵埃は磁気記録媒体面と第2のスライダ部5LD2との
間の大きな間隙を流れて通過して第2のスライダ部5L
D2に塵埃が付着するようなことも起らないのであり、
さらに本発明の浮上型磁気ヘッド構体の浮上動作方法を
適用して浮上型磁気ヘッド構体により磁気記録媒体での
記録再生動作が行われる際には、磁気記録媒体がソリッ
ドな状態のものでは第1、第2のスライダ部5LD1.
5LD2が安定に浮上した状態で記録−再生動作が行わ
れることは勿論のこと、磁気記録媒体−が可撓性の磁気
記録媒体に記録再生動作が行われる場合でも、軽量な第
2のスライダ部5LD2における浮上面14の周囲の角
部に施した面取りによる面30a〜30dの部分にも、
可撓性を有する磁気記録媒体りの磁気記録媒体面上に流
れる薄層気体流によって揚力が与えられて、第2のスラ
イダ部5LD2における=82− 浮上面14の周囲の角部に施した面取りによって構成さ
れた面30a〜30dの部分も磁気記録媒体面上に浮上
している状態になされるのであり、突起Pによる実質的
な点接触の状態によってアーム部AMDに変位自在に連
結されている前記した声量な第2のスライダ部5LD2
が、磁気記録媒7体面から高い浮上位置においてそれの
浮上面14.30が磁気記録媒体面に正しく対向してい
る状態になされるのであり、また、前記した第2のスラ
イダ部5LD2の浮上面14に直交する1方向にだけに
変位可能に支持されている小型軽量な第1のスライダ部
5LDIの浮上面13も磁気記録媒、体面に正しく対向
している状態になされて、記録再生装置が良好に行われ
るのである。
(Effects of the Invention) As is clear from the above detailed explanation, the present invention utilizes the lift force generated on the air bearing surface of the slider section by the thin layer gas flow between the magnetic recording medium surface and the air bearing surface of the slider section. The first
In the floating magnetic head structure, which is composed of two slider parts, a slider part and a second slider part, and the first slider part is equipped with a magnetic head, the first slider part is a second slider part. The second slider section is supported by a support section that is capable of linear movement only in a direction substantially perpendicular to the direction of the air bearing surface in the second slider section, and the air bearing surface thereof is located at the peaks and troughs of the surface roughness of the magnetic recording medium surface. The second slider section is displaced corresponding to the peaks and valleys of the surface roughness in such a manner that it can pass near the top of the peaks and above the valleys of the magnetic recording medium. At a height set above the top of the mountain, the air bearing surface is displaced in response to the surface runout of the magnetic recording medium so that it maintains a position in which it correctly faces the magnetic recording medium surface. The above-described thin gas flow between the magnetic recording medium surface and the above-described flying surfaces of the first and second slider sections is performed so that the above-described floating operation of the above-described first and second slider sections is performed. Applying pressure that resists the lift force acting on the air bearing surfaces of the first and second slider sections, respectively, is applied at approximately the center position of the support section of the first slider section and the second slider separation. A floating magnetic head structure is provided with a floating magnetic head structure in which the first slider section of the floating magnetic head structure has a large floating surface compared to its flying surface. The magnetic recording medium surface is supported by a second slider part that is capable of linear movement only in a direction substantially perpendicular to the direction of the air bearing surface in the second slider part having an air bearing surface of the same area. The thin layer gas flow between the air bearing surfaces of the first and second slider sections causes the first slider to resist the lift force acting on the air bearing surfaces of the first and second slider sections, respectively. The pressure points applied to the support part of the slider part and the second slider part are each set at the center of each individual pressing force, that is, the pressing force applied to the first slider part is greater than the pressing force applied to the first slider part. Also, the pressing force applied to the second slider part is smaller, and the pressing force per unit area of the pressing force applied to the first slider part and the second slider part is smaller than the pressing force applied to the second slider part. The value of the pressing force per unit area in the first slider part is larger than the value of pressing force per unit area in the second slider part, and the first slider The air bearing surface of the magnetic recording medium is steered corresponding to the peaks and troughs of the surface roughness in such a manner that it can pass near the top of the peaks and above the valleys of the peaks and troughs of the surface roughness of the surface of the magnetic recording medium. The slider section 2 has a height set above the top of the peaks and troughs of the surface roughness of the magnetic recording medium, and its air bearing surface is magnetically adjusted in response to the surface runout of the magnetic recording medium surface. High-density recording can be easily performed using a floating magnetic helad structure by displacing the magnetic head in a manner that maintains a position approximately parallel to the surface of the recording medium. The first one floating nearby
Since the slider portion 5LDI is extremely light, it collides with the top of the peaks and valleys existing on the surface of the magnetic recording medium.
Even if an operation is performed to scrape it off, the above-mentioned operation will not cause any damage to the surface of the magnetic recording medium, and furthermore, the above-mentioned first slider portion 5LD1
The second slider section 5LD2, which performs a floating operation above the magnetic recording medium surface while supporting the slider section 5LD2, has its air bearing surface 14 higher than the position of the air bearing surface 13 of the first slider section 5LDI from the magnetic recording medium surface. In this state, the second slider section 5LD2 is in a state where it is floating above the top of the peaks and troughs on the surface of the magnetic recording medium, that is, the second slider section 5LD2 is operating in a state where it is floating in the magnetic recording medium surface. Since the recording medium is floated in a small area where the friction with the thin layer gas flow is small, the parallelism between the floating surface of the second slider portion 5LD2 and the magnetic recording medium surface is reduced during the floating operation. Even if it collapses a little, it is difficult for the two to contact and break, and dust on the surface of the magnetic recording medium can be removed between the surface of the magnetic recording medium and the second slider section 5LD2. It flows through a large gap and passes through the second slider section 5L.
There is no possibility of dust adhering to D2.
Furthermore, when the floating magnetic head assembly of the present invention performs a recording/reproducing operation on a magnetic recording medium by applying the floating operation method of the floating magnetic head assembly, when the magnetic recording medium is in a solid state, the first , second slider portion 5LD1.
It goes without saying that recording and reproducing operations are performed with the 5LD2 stably floating, and even when recording and reproducing operations are performed on a flexible magnetic recording medium, the lightweight second slider section Also, the chamfered surfaces 30a to 30d of the corners around the air bearing surface 14 in 5LD2 are
A lift force is given by the thin layer gas flow flowing on the magnetic recording medium surface of the flexible magnetic recording medium, and chamfering is applied to the corners around the air bearing surface 14 in the second slider portion 5LD2. The portions of surfaces 30a to 30d constituted by are also in a state of floating above the surface of the magnetic recording medium, and are movably connected to the arm portion AMD by a state of substantial point contact by the projection P. The second slider section 5LD2 with the above-mentioned voice volume
However, the air bearing surface 14.30 of the magnetic recording medium 7 is placed in a state where it correctly faces the surface of the magnetic recording medium at a high flying position from the surface of the magnetic recording medium 7, and the air bearing surface of the second slider portion 5LD2 mentioned above is The air bearing surface 13 of the small and lightweight first slider section 5LDI supported so as to be displaceable only in one direction perpendicular to the magnetic recording medium 14 is also brought into a state in which it faces the magnetic recording medium and body surface correctly, so that the recording/reproducing apparatus can It is done well.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の浮上型磁気ヘッド構体の浮上動作方法
に使用される浮上型磁気ヘッド構体の平、′面図、第2
図は本発明の浮上型磁気ヘッド構体の浮上動作方法に使
用されている浮上型磁気ヘッド構体の側面図、第3図は
本発明の浮上型磁気ヘッド構体の浮上動作方法に使用さ
れ(いる浮上型磁気ヘッド構体の正断面図、第4図は浮
上型磁気ヘッド構体の浮上面側の底面図、第5図及び第
7図は浮上型磁気ヘッド構体の斜視図、第6図は第5図
に示されている浮上型磁気ヘッド構体の分解斜視図、第
8図は第7図に示されている浮上型磁気ヘッド構体に使
用されている磁気ヘッドの斜視図、第9図は第7図に示
されている浮上型磁気ヘッド構体を破砕して内部を示す
斜視図、第10図及び第11図は磁気ヘッドの説明用の
図、第12図乃至第14図は浮」二型磁気ヘッド構体の
動作説明用の正面図、第15図は磁気ディスクの表面の
突起による山谷部の説明用の図、第16図乃至第18図
は磁気ヘッドによる記録再生動作の説明用図、第19図
乃至第22図は親子式の浮上型磁気ヘッド装置の従来例
を示す斜視図、第23図乃至第26図は従来例の親子式
の浮上型磁気ヘッド装置の問題点を説明するための側面
図である。 1.5.8・・・親スライダ、2,7・・・親スライダ
1の3個の浮上面、3・・・板バネ、4,7.10・・
・子スライダ、6,9・・・粘弾性膜、11・・・板状
部材、12・・・磁気ヘッド、13・・・第1のスライ
ダ部5LD1の浮上面、14 、14 a 〜14 f
−第2のスライダ部5LD2の浮上面、15・・・基体
、16・・・塗布磁性層、17・・・磁気ヘッドHによ
って削られた塗布磁性層材料の屑、SLI、5LD2・
・・第1゜第2のスライダ部、18.19・・・第2の
スライダ部5LD2における浮上面14の方向に略々直
交する方向だけで直線運動が可能な状態の平行な支持部
(支持板)、AMS・・・アーム部、20・・・薄い弾
性板、20b・・・アーム部AMDにおける基端部Iこ
近い部分、22.23・・ねじ、24・・・固定部、2
5・・・極めて薄い弾性板で作られた連結部材、27・
・・コ字状の溝、28・・・舌片、P・・・加圧点(突
起)、29・・・カバープレート、31a、31b・・
・第2のスライダ部5LD2における薄層気体流の流入
側に面する側壁に形成された傾斜面による導入面、30
 a 、 30 b 、 30 c 、 30 d −
−−磁気記録媒体面と対向する部分の角部に面取りを施
した部分、32・・・溝、33・・・丸孔、34.35
・・・第2のスラ−鯛− イダ部5LD2の支持板取付は面、
1A and 1B are plan and top views of a floating magnetic head structure used in the floating operation method for a floating magnetic head structure of the present invention, and FIG.
3 is a side view of a floating magnetic head assembly used in the floating operation method of a floating magnetic head assembly of the present invention, and FIG. FIG. 4 is a bottom view of the air bearing surface side of the floating magnetic head structure, FIGS. 5 and 7 are perspective views of the floating magnetic head structure, and FIG. 6 is a bottom view of the floating magnetic head structure. 8 is an exploded perspective view of the floating magnetic head structure shown in FIG. 7, FIG. 9 is a perspective view of the magnetic head used in the floating magnetic head structure shown in FIG. FIGS. 10 and 11 are explanatory views of the magnetic head, and FIGS. 12 to 14 are views of the floating type magnetic head. 15 is a front view for explaining the operation of the structure; FIG. 15 is a diagram for explaining the peaks and valleys formed by protrusions on the surface of the magnetic disk; FIGS. 16 to 18 are diagrams for explaining the recording and reproducing operation by the magnetic head; FIG. Figures 22 to 22 are perspective views showing conventional examples of parent-child type floating magnetic head devices, and Figures 23 to 26 are side views illustrating problems with conventional parent-child type floating magnetic head devices. 1.5.8... Parent slider, 2, 7... Three floating surfaces of parent slider 1, 3... Leaf spring, 4, 7.10...
- Child slider, 6, 9... Viscoelastic film, 11... Plate member, 12... Magnetic head, 13... Air bearing surface of first slider portion 5LD1, 14, 14 a to 14 f
- Air bearing surface of second slider portion 5LD2, 15... Base, 16... Coated magnetic layer, 17... Scraps of coated magnetic layer material scraped by magnetic head H, SLI, 5LD2.
...1st degree second slider section, 18.19...parallel support section (support section) capable of linear movement only in a direction substantially perpendicular to the direction of the air bearing surface 14 in the second slider section 5LD2. plate), AMS...arm part, 20...thin elastic plate, 20b...portion near the proximal end I in arm part AMD, 22.23...screw, 24...fixing part, 2
5... Connecting member made of extremely thin elastic plate, 27.
... U-shaped groove, 28 ... Tongue piece, P ... Pressure point (protrusion), 29 ... Cover plate, 31a, 31b ...
・Introduction surface 30 formed by an inclined surface formed on the side wall facing the inflow side of the thin layer gas flow in the second slider portion 5LD2
a, 30b, 30c, 30d-
--A portion where the corner of the portion facing the magnetic recording medium surface is chamfered, 32...Groove, 33...Round hole, 34.35
...The support plate of the second slurry sea bream part 5LD2 is mounted on the surface,

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、磁気記録媒体面とスライダ部の浮上面との間の薄層
気体流によってスライダ部の浮上面に生じる揚力により
磁気記録媒体面上でそれぞれ浮上状態になされうる第1
のスライダ部と第2のスライダ部との2つのスライダ部
からなり前記した第1のスライダ部に磁気ヘッドを備え
させてある浮上型磁気ヘッド構体における前記の第1の
スライダ部は第2のスライダ部における浮上面の方向に
略々直交する方向だけで直線運動が可能な状態の支持部
により第2のスライダ部に支持されていて、それの浮上
面が磁気記録媒体面の面荒れの山谷部の山の最頂部付近
と谷の上方とを通過しうるような態様で面荒れの山谷部
に対応して変位し、また、前記した第2のスライダ部は
磁気記録媒体の面荒れの山谷部の山の最頂部よりも上方
に設定された高さの位置で磁気記録媒体面の面振れに対
応してそれの浮上面が磁気記録媒体面に正しく対向する
姿態を保つように変位して前記した第1、第2のスライ
ダ部の浮上動作が行われるように、磁気記録媒体面と前
記した第1及び第2のスライダ部の浮上面との間の薄層
気体流によって前記した第1及び第2のスライダ部にお
ける浮上面にそれぞれ作用している揚力に抗する押圧力
を、第1のスライダ部の支持部及び第2のスライダ部に
おける略々中央位置に設定された加圧点へ個別に与える
ようにした浮上型磁気ヘッド構体の浮上動作方法2、磁
気記録媒体面とスライダ部の浮上面との間の薄層気体流
によってスライダ部の浮上面に生じる揚力により磁気記
録媒体面上でそれぞれ浮上状態になされうる第1のスラ
イダ部と第2のスライダ部との2つのスライダ部からな
り前記した第1のスライダ部に磁気ヘッドを備えさせて
ある浮上型磁気ヘッド構体における前記の第1のスライ
ダ部はそれの浮上面に比較して大きな面積の浮上面を有
する第2のスライダ部における浮上面の方向に略々直交
する方向だけで直線運動が可能な状態の支持部により第
2のスライダ部に支持されていて、それの浮上面が磁気
記録媒体面の面荒れの山谷部の山の最頂部付近と谷の上
方とを通過しうるような態様で面荒れの山谷部に対応し
て変位し、また、前記した第2のスライダ部は磁気記録
媒体の面荒れの山谷部の山の最頂部よりも上方に設定さ
れた高さの位置で磁気記録媒体面の面振れに対応してそ
れの浮上面が磁気記録媒体面に略々平行な姿態を保つよ
うに変位して前記した第1、第2のスライダ部の浮上動
作が行われるように、磁気記録媒体面と前記した第1及
び第2のスライダ部の浮上面との間の薄層気体流によっ
て前記した第1及び第2のスライダ部における浮上面に
それぞれ作用している揚力に抗して第1のスライダ部の
支持部及び第2のスライダ部における略々中央位置に設
定された加圧点へ個別に与えられるべき押圧力は、第1
のスライダ部に加えられる押圧力よりも第2のスライダ
部に加えられる押圧力の方が大きく、かつ、前記の第1
のスライダ部と第2のスライダ部に加えられる前記の押
圧力の単位面積当りの押圧力の値は、第1のスライダ部
における単位面積当りの押圧力の値の方が第2のスライ
ダ部における単位面積当りの押圧力の値よりも大である
ようになされるようにした浮上型磁気ヘッド構体の浮上
動作方法 3、第2のスライダ部の磁気記録媒体面からの浮上高を
第1のスライダ部の磁気記録媒体面からの浮上高の3倍
以上に設定した請求項の1または2に記載の浮上型磁気
ヘッド構体の浮上動作方法4、第1のスライダ部に設け
られている磁気ヘッドにおける磁気記録再生用の磁気空
隙長Gと、第1のスライダ部の浮上面の磁気記録媒体面
からの浮上高Hとの比G/Hをの3以上に設定した請求
項の1乃至3の何れかに記載の浮上型磁気ヘッド構体の
浮上動作方法 5、ソリッド状の磁気記録媒体を用いた請求項の1乃至
4の何れかに記載の浮上型磁気ヘッド構体の浮上動作方
法 6、可撓性を有する磁気記録媒体を用いた請求項の1乃
至4の何れかに記載の浮上型磁気ヘッド構体の浮上動作
方法
[Scope of Claims] 1. A first magnetic recording medium that can be brought into a floating state above the magnetic recording medium surface by a lift force generated on the air bearing surface of the slider section by a thin layer of gas flow between the magnetic recording medium surface and the air bearing surface of the slider section.
In the floating magnetic head structure, which is composed of two slider parts, a slider part and a second slider part, and the first slider part is equipped with a magnetic head, the first slider part is a second slider part. The second slider section is supported by a support section that is capable of linear movement only in a direction substantially perpendicular to the direction of the air bearing surface in the second slider section, and the air bearing surface thereof is located at the peaks and troughs of the surface roughness of the magnetic recording medium surface. The second slider section is displaced corresponding to the peaks and valleys of the surface roughness in such a manner that it can pass near the top of the peaks and above the valleys of the magnetic recording medium. At a height set above the top of the mountain, the air bearing surface is displaced in response to the surface runout of the magnetic recording medium surface so as to maintain a position in which it correctly faces the magnetic recording medium surface. The above-mentioned first and second slider sections are caused to fly by a thin layer of gas flow between the magnetic recording medium surface and the air bearing surfaces of the first and second slider sections, so that the above-mentioned first and second slider sections are floated. A pressing force that resists the lift force acting on the air bearing surface of the second slider section is applied individually to a pressurizing point set approximately at the center of the support section of the first slider section and the second slider section. 2, a flying operation method of a flying magnetic head structure in which a floating force is generated on the flying surface of the slider section by a thin layer of gas flow between the magnetic recording medium surface and the flying surface of the slider section. The above-mentioned first floating type magnetic head structure in the floating magnetic head structure is composed of two slider parts, a first slider part and a second slider part, each of which can be brought into a floating state, and the above-described first slider part is equipped with a magnetic head. The slider section of the second slider section has a larger area of air bearing surface than the air bearing surface of the second slider section. The slider is supported by the slider part, and corresponds to the peaks and valleys of the surface roughness in such a manner that its flying surface can pass near the top of the peaks and above the valleys of the peaks and valleys of the surface roughness of the magnetic recording medium surface. Further, the second slider portion is adapted to cope with the surface runout of the surface of the magnetic recording medium at a height set above the top of the peaks and troughs of the surface roughness of the magnetic recording medium. The surface of the magnetic recording medium and the aforementioned first slider are displaced so that the flying surface thereof maintains a state substantially parallel to the surface of the magnetic recording medium, thereby performing the flying operation of the first and second slider sections. Supporting the first slider part against the lifting force acting on the air bearing surfaces of the first and second slider parts, respectively, due to the thin layer gas flow between the air bearing surfaces of the first and second slider parts. The pressing force to be applied individually to the pressure point set at approximately the center of the first slider section and the second slider section is
The pressing force applied to the second slider section is greater than the pressing force applied to the first slider section, and
The value of the pressing force per unit area of the pressing force applied to the slider part and the second slider part is that the value of the pressing force per unit area in the first slider part is higher than that in the second slider part. Method 3 of flying operation of a flying magnetic head structure in which the value of the pressing force per unit area is greater than the value of the pressing force per unit area. A flying operation method for a flying magnetic head structure according to claim 4, wherein the flying height is set to be three times or more the flying height from the magnetic recording medium surface of the first slider part. Any one of claims 1 to 3, wherein the ratio G/H of the magnetic air gap length G for magnetic recording and reproduction to the flying height H of the air bearing surface of the first slider section from the magnetic recording medium surface is set to 3 or more. A method 5 for flying a floating magnetic head assembly according to claim 5; a method 6 for flying a floating magnetic head assembly according to any one of claims 1 to 4 using a solid magnetic recording medium; A flying operation method of a flying magnetic head structure according to any one of claims 1 to 4, using a magnetic recording medium having
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