JP3678530B2

JP3678530B2 - Disk unit

Info

Publication number: JP3678530B2
Application number: JP06619497A
Authority: JP
Inventors: 拓也小林
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1997-03-19
Filing date: 1997-03-19
Publication date: 2005-08-03
Anticipated expiration: 2017-03-19
Also published as: JPH10269736A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はディスク装置に関し、更に詳しくは、浮上型ヘッドスライダを用いたディスク装置に関する。
近年、コンピュータ用外部記憶装置の一種である磁気ディスク装置、光ディスク装置の小型化及び大容量化が望まれている。
【０００２】
特に、磁気ディスク装置の大容量化のためには、スピンドルに取付けられる磁気ディスクの枚数を増やすのが１つの方法であり、これに伴い最近の磁気ディスク装置では磁気ディスクの実装間隔は小さくなっている。
ハードディスクに対して情報の記録或いは再生を行う磁気ディスク装置において、磁気ヘッドと磁気ディスク表面の接触による磨耗損傷を避けるために、起動停止時には磁気ヘッドが磁気ディスクに接触し、情報の記録再生時には高速回転する磁気ディスク表面に発生する空気流によって、磁気ヘッドを磁気ディスク表面より微小間隔保って浮上させるようにした、所謂コンタクト・スタート・ストップ（ＣＳＳ）方式の浮上型磁気ヘッドが用いられている。
【０００３】
ＣＳＳ方式の浮上型磁気ヘッドにおいては、サスペンションにより支持されたスライダが磁気ディスクの表面に発生する空気流を浮上面に受けて浮上し、スライダに組み込まれた磁気ヘッド素子が磁気ディスク面上を移動し、所定のトラックへ情報の記録再生を行う。
よって磁気ヘッド素子の組み込まれたスライダは、磁気ディスクの回転が停止しているときには磁気ディスク表面に接し、磁気ディスクが回転すると、回転によって発生する空気流を浮上面に受けて浮上し、スライダに組み込まれた磁気ヘッド素子はサスペンションにより支持されながら磁気ディスク面上を移動し、所定のトラックへ情報の記録再生を行う。
【０００４】
【従来の技術】
従来、浮上型磁気ヘッドスライダを採用した磁気ディスク装置では、スライダのディスク対向面側の左右両端に一対のレールが設けられており、更に、レールの空気流流入端側にテーパを設けてスキーのソリ状にすることにより、高速回転させたディスク上にヘッドを浮上させて、磁気ディスクとヘッド素子部との微小間隔を安定に維持してきた。
【０００５】
この方式は高い浮上安定性とサブミクロン・オーダの微小な浮上量を確保できる反面、回転停止時にはディスクにスライダのレール面が接触し、磁気ディスク装置の起動時と停止時にディスクとレール面の摺動が起こる。
このため、磁気ディスクの記録層上にはダイヤモンド・ライク・カーボン等の硬い材料からなる保護膜と、保護膜の摩擦・磨耗を低減してディスクの耐久性を向上させるための潤滑層が形成されている。潤滑層の存在により保護膜の摩擦・磨耗は低減するが、停止時にはディスクとスライダとの間で吸着が起こり起動に支障を生ずる。
【０００６】
近年の情報量の増大に伴い、磁気ディスク装置の高密度・大容量化及び小型化の進展は著しく、小型化、低消費電力に伴うスピンドルモータのトルクの減少や、高密度化のためのディスクの平滑化により、ディスクとスライダ間の吸着発生の問題は動作不良の原因として大きくクローズアッブされてきている。
スライダとディスクの吸着を低減するために、スライダの浮上面を長手方向全長に渡ってクラウン加工し、スライダとディスクとの接触面積を減らすことが提案されている。
【０００７】
更に、近年では高密度化の進展に伴って浮上量０を指向した接触型ヘッドの適用も検討され始めており、動作不良やヘッド素子部又はディスク記録層の破壊等の原因となるディスクとスライダ間の吸着の発生を防止することが一層重要な課題となっている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
従来の磁気ディスク装置では次に示すような問題があった。
まず、高密度化に伴いディスク表面は平滑化する傾向にあるが、対向する面が互いに平滑になればなるほど接触面積は増大して吸着力が大きくなるため、ディスクとスライダのレール面との吸着が起こりやすくなる傾向にある。
【０００９】
また、装置の小型化の進展と共にディスクを回転させるスピンドルモータのトルクは小さくなり、吸着発生時にスピンドルモータのトルク不足から起動できない場合が生じてくる。起動できた場合でも、吸着が解除されずにスライダの支持機構の変形やディスク記録層の破壊を伴う重大な障害を引き起こす可能性がある。
【００１０】
クラウン加工したスライダは吸着防止には有効であるが、加工精度のばらつきが大きく磁気ヘッドスライダがコスト高となり量産に向かないという問題がある。
更に、スライダ浮上面の長手方向にクラウン加工をするために、流出端部に形成されている磁気変換素子（ヘッド素子部）の高さよりも、スライダのレール面がディスクに近くなってしまうため、スペース上のロスが生ずるという問題がある。
【００１１】
したがって、本発明の課題は、簡単な構造でスライダとディスクとの吸着の発生を有効に低減することのできるディスク装置を提供することである。
本発明の他の課題は、起動時の浮き上がり特性を改善したヘッドスライダを提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
このような課題を解決するために、本発明によれば、回転するディスクと、該ディスクの媒体面に対向して配置され、該ディスクの回転による空気流により媒体面に対して浮上支持されて該ディスクに対して情報の記録再生を行うヘッドスライダと、該スライダを媒体面の移動範囲内で移動させる手段とを具備し、前記スライダはその底面に、該ディスクの回転時の浮上力発生と磁気ディスクの回転停止時の接触支持のための平坦なレール面を有する１対のレールを形成したディスク装置において、
前記スライダは、１対のレールのうちディスクに対して外径側にあるレールのレール面にディスク媒体の回転停止時にディスクの媒体面に接触させる突起状のパッドを設け、前記ディスクは、ディスク媒体面の内径側にあるコンタクト・スタート・ストップ（ＣＳＳ）領域を記録領域より粗面として形成したことを特徴とする浮上型ディスク装置が提供される。
【００１３】
このように、本発明では、レール面に突起状のパッドを設け、ディスク媒体の回転停止時に、該パッド及びレールの空気流流出端部のみディスクの媒体面に接触させるように構成したので、スライダの停止時に、仮に、パッドを設けたレールが平滑面であるディスクの記録層の領域にあっても、突起状のパッドがディスクの記録層に点接触するのみであるから、スライダとディスクとの吸着が有効に低減される。
【００１４】
また、仮に、パッドのないレールがＣＳＳ面上に停止しても、ＣＳＳ面は粗面として構成されているので、レールとＣＳＳ面が接触しても、面接触ではなく点接触の状態となるので、スライダとディスクとの吸着が有効に低減される。
【００１５】
これによると、ＣＳＳ領域はスライダの移動範囲内の内径端にあり、ディスクの停止時にはスライダをＣＳＳ領域へ移動するようにされる。したがって、スライダのレールは、ディスク装置の停止時、粗面であるＣＳＳ領域にて点接触の状態で接触しているので、スライダとディスクとの吸着が有効に低減される。
前記パッドは、３０nm以上の高さを有するのが好ましい。
【００１６】
また、前記コンタクト・スタート・ストップ領域はＲａ３５Å以上の粗面に形成されているのが好ましい。
前記パッドは、スライダの流入端側の幅が小さく、流出端側の幅を拡げた玉子型の形状を有する。
【００１７】
前記ディスクは内径側に記録領域より粗面であるコンタクト・スタート・ストップ領域を有し、スライダの内径端位置で、前記１対のレールの両方が該コンタクト・スタート・ストップ領域上に来るように構成することもできる。
また、前記ディスクは内径側に記録領域より粗面であるコンタクト・スタート・ストップ領域を有し、スライダの内径端位置で、前記１対のレールのうちの内径側のレールのみが該コンタクト・スタート・ストップ領域上に来るように構成することもできる。この場合は、ディスク装置の停止時、スライダの内径端位置で、１対のレールのうち外径側にあるレールは磁気ディスクの記録領域上に位置するが、この部分にパッドが設けられているので、スライダと記録領域との間は点接触となり、相互の吸着が防止される。また、両方のスライダがＣＳＳ領域から外れて記録領域にあっても、パッドが記録領域に対して接触するので、吸着の問題は解消され、その分、ディスクにおける記録領域を広くとることができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１は本発明による磁気ヘッドスライダを適用可能な磁気ディスク装置の（上側カバーを取り外した）平面図であり、図２は図１の矢印Ａから見た拡大側面図で、磁気ディスク装置のヘッドスライダ部及びその支持部を示す。
【００１９】
ディスクエンクロージャ１のベースにはスピンドルモータ（図示せず）により回転駆動されるスピンドル２が立設され、スピンドル２には磁気ディスク３が所定間隔に複数枚積層されている。
ヘッドアーム４はディスクエンクロージャ１のベースにシャフト５でもって回転可能に枢着されている。このヘッドアーム４の一方の回転端部には、コイル６が取付けられ、他方の回転端部には、前述の磁気ヘッドスライダ２０がサスペンション７を介して取付けられている。なお、マグネット８及び９とヨーク１０で形成される磁気回路の磁気ギャップ中に、コイル６が配設されている。
【００２０】
図２に示すように、磁気ヘッドスライダ２０はサスペンション７の先端部に形成したフレクシャー部分に傾動可能に取付けられる。なお、サスペンション７は基端近傍にのみ撓み可能にＲ曲げされた弾性部７ａが設けられており、中間部分の側部には折り曲げによりフランジ７ｂが設けられ、剛性が高められている。
この磁気ヘッドスライダ２０が取り付けられたサスペンション７の基端７ｃは、磁気ディスク装置のヘッドアーム４の取付け孔４ａに嵌合して取付けられることになる。
【００２１】
また、サスペンション７のヘッドアーム４に対する取付けは、弾性部７ａにより磁気ヘッドスライダ２０が磁気ディスク３に向かって所定のばね圧で押圧されるようにしてされる。したがって、このディスク装置はＣＳＳ（コンタクト・スタート・ストップ）方式をとることになる。
ヘッドアーム４は、インナーストッパＳ₁とアウタストッパＳ₂の移動規制を受けて、両ストッパ間を移動することになる。従って、磁気ヘッドスライダ２０はヘッドアーム４により磁気ディスク３に対する両ストッパで規制された移動範囲内の内径端の位置から外径端の位置まで移動させられる。磁気ヘッドスライダ２０がその移動範囲内での磁気ディスク３の内径端のＣＳＳ領域１１（図１）内に到達した時、ストッパ（Ｓ₁）によりヘッドアーム４の内径端の位置が規制されるようにストッパＳ₁の配置が決められている。尚、ストッパＳ₁、Ｓ₂は共に、本実施形態では、縦型コイルを利用した磁気回路を利用している為、磁気回路のギャップ下部で、ヘッドアーム４の下部と接触するように配置されることになる。なお、１２は磁気ディスク３のデータ領域である。
【００２２】
図３は本発明における磁気ヘッドスライダ２０を磁気ディスク（図示せず）と対向する面から見た斜視図であり、図４はその平面図である。これらの図において、３０、３１、３２はレール、３３は溝部、３４は流入端、３５は流出端、３６は電磁変換素子である。
レール３０は磁気ヘッドスライダ２０の流入端３４側の中央にあり、その左右両側にある１対のレール３１、３２は流入端３４側から流出端３５側まで延びている。
【００２３】
磁気ディスク３が回転し、空気が磁気ヘッドスライダ２０に流入すると、レール３０、３１、３２の浮上面には、磁気ヘッドスライダ２０を磁気ディスク３から離そうとする方向の浮上力が発生する。また、同時に、溝３３においては、流入端３４側からの流入空気が膨張し、磁気ヘッドスライダ２０を磁気ディスク３側に吸引しようとする負圧が発生する。
【００２４】
そこで、磁気ヘッドスライダ２０は両方向の力（空気流による浮上力や吸引力だけでなく、サスペンション７によるバネ圧等も含む）がバランスする高さまで磁気ディスクから浮上する。
磁気ヘッドスライダ２０は、その左右両側にある１対のレール３１、３２にレール面上にそれぞれ突出したパッド３７、３８、３９、４０が設けられる。１対のレール３１、３２のうち磁気ディスク３に対して外径側にあるレール３２のレール面に設けられた円柱状パッド３８は、内径側のレール３１の円柱状パッド３７より流出端３５（磁気変換素子３６）に近い位置に設けられている。玉子型パッド３９、４０は円柱状より面積が大きく形成されており、パッドの摩耗の進行を遅くする作用をなしている。そして、それらはレール３１、３２の流入端３４側にそれぞれ設けられている。これらの突起状のパッド３７、３８、３９、４０は例えば薄膜形成技術（スパッタ法、ＣＶＤ法）を用いて耐摩耗性に優れたダイアモンド・ライク・カーボン等により形成することができる。
【００２５】
次に、具体的な膜形成方法について図５を参照して説明する。
まず、Ａｌ₂Ｏ₃ＴｉＣなどよりなるウェハに磁気トランスジューサを形成した後に、ウェハを複数の棒状の基体に切断し、さらにその切断面をフォトリソグラフィー技術を用いて加工して傾斜面を形成する。傾斜面は、基体の一部を斜めからイオンミリングすることにより容易に形成される。
【００２６】
その後に、図５（ａ）に示すように、基体５１の上にシリコン（Ｓｉ）よりなる密着層５２を３nm、ＤＬＣ（ダイアモンドライクカーボン）よりなるレール面保護膜５３を３０nm、Ｓｉよりなる中間膜５４を３nm、ＤＬＣよりなるコンタクト膜５４を３０nmの厚さに形成する。続いて、コンタクト膜５４上にレジストを塗布した後にレジストを露光、現像することにより、図５（ｂ）に示すようなレール面４２を形成する領域覆うストライプ状のレジストパターン５６を形成する。
【００２７】
次いで、図５（ｃ）に示すように、レジストパターン５６に覆われない領域にあるコンタクト膜５５、中間膜５４、レール面保護膜５３、密着層５２及び基体５１上部を順次イオンミリングによるエッチングによって除去する。これにより２つのレール面４２を区分する凹部４１ａが形成されるとともに、スライダ毎に分割するための溝５１ａが形成される。この後にレジストパターン５６を除去する。
【００２８】
次に、第二のレジストを塗布した後にこの第二のレジストを露光、現像することにより、図５（ｄ）に示すように、レール面４２の傾斜面４３と平坦面４４の境界を含む領域に例えば直径２０μｍの第一の円形レジストパターン５７を形成するとともに、レール面４２の傾斜面４３を有しない端部寄りに例えば長さ１５０μｍ、巾３０μｍの玉子型のレジストパターン５８を形成する。
【００２９】
次に、図５（ｅ）に示すように、コンタクト膜５５のうち第一及び第二の円形レジストパターン５７、５８に覆われない部分を酸素プラズマによって除去すると、第一及び第２の円形レジストパターン５７、５８の下のコンタクト膜５５は、第一及び第二の突起（パッド）４５、４６となる。この場合、炭化シリコン製の中間膜５４は酸素プラズマによってエッチングされないので、レール面保護膜５３の膜厚及び突起４５、４６の膜厚がほぼ均一になって寸法、形状が良好になり、歩留りが向上する。
【００３０】
この後に、分割用の溝５１ａに沿って基体５１を分割すると、スライダの形成が完成する。スライダのうちレール面４２に沿った長さは１．２mm、２つのレール面４２を含む方向の幅は１．０mmである。なお、突起（パッド）４５、４６をマスクにして中間膜５４をパターニングすることにより中間膜５４を突起（パッド）の一部にしてもよい。また、レール面４２を覆う保護膜５３を構成する材料はＳｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、Ｓｉ、ＳｉＣであってもよい。
【００３１】
ところで、上記したレール面上の突起（パッド）の形成、厚さ、頂部の面積は、スライダの形状、傾斜面のテーパ角によって適宜変えることが必要である。また、突起（パッド）４５、４６及びレール面４４をＳｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、Ｓｉ、ＳｉＣ、ＤＬＣ等の保護膜で覆ってもよい。さらに、空気流出端寄りの第二の突起４６はいずれか１個あればよい。
【００３２】
なお、突起（パッド）３９、４０（図４）の形状については、円柱形と玉子型がある。パッド自体の摩耗を考慮してパッドの面積を大きくすることが行なわれるが、本発明では、長手方向に長い玉子型の形状を採用している。これは空気流入方向にパッド面積を確保することで、浮上方向に対しての摩擦が大きくなって摩耗するのを防止するためである。
【００３３】
図６（ａ）は本発明の実施例として用いる磁気ヘッドスライダ２０の形状及び寸法（単位mm）を示したものであり、図６（ｂ）はパッド（突起）３９、４０の形状及び寸法（単位mm）を示したものである。なお、スライダ２０の高さは０．３０±０．０１５（mm）であり、パッド（突起）３９、４０の高さは４１nm±６nmである。
【００３４】
本発明の実施例において、特にパッド３９、４０の流入側の幅を小さく流出側の幅が拡がるような玉子型にしている。このような玉子型の形状を採用するのはパッド自体による空気流入抵抗を小さくするためである。パッド３９、４０の高さは、磨耗を考慮して３０nm以上が良い。本実施例の場合は、１．２mm長さ、１．０mm幅、厚さ３００μｍのスライダで、パッドの高さを４０〜５０nmとしている。
【００３５】
磁気ディスク３の回転が停止しており且つ磁気ヘッドスライダ２０がディスク媒体面上にある時は、図７に示すように、レール３１、３２の流出端３５（磁気変換素子３６）が磁気ディスク３の媒体面に接触するようにこれらのパッド３７、３８、３９、４０の全部又は一部が媒体面上に接触する。
このように磁気ディスク３の回転停止時に、磁気ヘッドスライダ２０と磁気ディスク３との間は、主として突起状のパッド３７、３８、３９、４０において点接触するのみである。したがって、スライダ２０と磁気ディスク３との間での吸着を防止することができ、所謂スティクション・フリー（ＳＦ）スライダを構成する。なお、本実施例のスライダ２０の浮上量は、３０nm程度としている。
【００３６】
図６（ａ）及び（ｂ）は磁気ヘッドスライダ２０が磁気ディスク３のＣＳＳ領域に位置する場合を示すもので、（ａ）はＣＳＳ領域１１を比較的大きくとった例、（ｂ）はＣＳＳ領域１１を小さくとった例を示す。なお、図６（ａ）、（ｂ）の例では、磁気ヘッドスライダ２０のディスクに対して外径側のレール３２に一箇所の突起状パッド３８を設けている。
【００３７】
また、磁気ディスク３のＣＳＳ領域１１は、所謂ゾーンテクスチャー加工をし、図示のように粗面１１ａとしている。
なお、ゾーンテキスチャーに関しては、従来の全面テキスチャー（粗面）とされたディスクでは、Ｒａ１５〜２０Å以下であったが、本発明のｃｓｓゾーンテキスチャーはＲａ３５Å以上、本実施例では、５０Å程度とし、データゾーンはＲａ１５〜２０Å以下としている。
【００３８】
ゾーンテキスチャーのゾーンの幅は、スライダの幅の２倍以下とすることができる。従来の全面テキスチャーでは２倍以上とっている。
ゾーンテキスチャーの形成方法はレーザテキスチャー（レーザビームをディスク基板に照射して媒体表面に熱変形を利用して凹凸を形成する）又は、メカニカルテキスチャー（基板表面を機械的なダイヤモンド等の研磨剤を使用して凹凸の傷を形成する）ことで行う。
【００３９】
磁気ディスク３の回転が停止した場合に、磁気ヘッドスライダ２０を磁気ディスク３のデータ領域１２の内径側にあるＣＳＳ領域１１に移行させ、ストッパ（図示せず）にてＣＳＳ領域１１上でスライダ２０を停止させるシステムにおいて、図８（ａ）の実施例のように、ＣＳＳ領域１１を大きくとり、制御上両方のレール３１、３２面がＣＳＳ領域に来るようにしているが、機械的公差又は磁気ヘッドスライダ２０がＣＳＳ領域１１へ移動する過程での何らかの衝撃や誤動作等により、磁気ヘッドスライダ２０はＣＳＳ領域１１に乗る可能性が高く、前述のような突起状パッドがなくても、スライダ２０のレール３１、３２がゾーンテクスチャー（粗面）１１ａに点接触の状態で接触しているので、ディスク３とスライダ２０との間の吸着は生じない。
【００４０】
即ち、図８（ａ）の実施例は、両方のレール３１、３２がｃｓｓ領域１１にのって、スライダが停止すべく、ヘッドアームとの接触位置を決めてストッパを配置する点に特徴を有する。この実施例では、表面粗さが大きな領域にｃｓｓさせるので、（表面粗さが荒い分パッドは磨耗し易くなるわけであるがパッド自体、耐磨耗に関して考慮されており、ある程度以上の大きさのパッドが必要になっているという理由で）ある程度の大きさのパッドであっても吸着を確実に防止させる効果を有する。
【００４１】
図８（ｂ）に示す実施例では、ＣＳＳ領域１１を小さくしてデータ領域１２を大きくとる効果を狙って、スライダの一方のレールを意図的にデータ領域１２に位置させるような制御を行なう。
また、図８（ｂ）の実施例では、ＣＳＳ領域１１を小さくした場合において、磁気ヘッドスライダ２０がＣＳＳ領域１１へ戻る過程で、たとえ衝撃や誤動作によりスライダ２０がＣＳＳ領域１１からデータ領域１２側へ外れても、外れたレール３２の突起状パッド３８が磁気ディスク３の表面に点接触により接触するので、ディスク３とスライダ２０の表面が共に平滑化されていても、それらの間の吸着は防止される。したがって、図８（ｂ）に示す実施例ではＣＳＳ領域を小さくすることが可能となり、その分、データ領域を広くとのことができる。
【００４２】
なお、ヘッドアーム４（スライダ２０）の内径端の位置規制に関しては、前述のようにストッパの配置を規定するか、電気的にその位置で停止するように制御して（例えば、ディスクの回転停止時の回転モータの逆起電力を利用して）ＣＳＳ領域まで移動させて、その位置に保持した状態で回転が停止すべく制御し、スライダを着地させる等の方法による。
【００４３】
以上、添付図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の精神ないし範囲内において種々の形態、変形、修正等が可能であることに留意すべきである。
例えば、上記の実施例では磁気ディスク装置について説明したが、本発明は、光磁気ディスク装置の磁気ヘッドを搭載する浮上型スライダや、光ディスク装置の光学ヘッドを搭載する浮上型スライダ等においても、応用可能である。
【００４４】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明によれば、レール面に突起状のパッドを設け、ディスク媒体の回転停止時に、該パッド及びレールの空気流流出端部のみ磁気ディスクの媒体面に接触させるように構成したので、スライダの停止時に、仮に、パッドを設けたレールが平滑面である磁気ディスクのデータ領域にあっても、突起状のパッドが磁気ディスクの記録層（データ領域）に点接触するのみであるから、スライダとディスクとの吸着が有効に低減される。
【００４５】
また、ディスク媒体の回転停止時に、スライダを所謂ＣＳＳ領域に戻すようにする場合において、ＣＳＳ領域が小さく、スライダがＣＳＳ領域上に乗らないことがあっても、上記のように突起状のパッドが磁気ディスクの記録層に点接触することで吸着を防止できる。よって、その分、記録層を広くでき、高密度で大容量で且つ高速度の磁気ディスクを達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の磁気ディスク装置の表面カバーを取り外して見た平面図である。
【図２】図１のＡ矢印図である。
【図３】本発明における磁気ヘッドスライダを磁気ディスクと対向する面から見た斜視図である。
【図４】本発明における磁気ヘッドスライダの平面図である。
【図５】スライダの膜形成方法を説明する図である。
【図６】（ａ）はスライダの詳細な寸法を示し、（ｂ）はパッドの詳細な寸法を示す。
【図７】磁気ヘッドスライダが磁気ディスクに接触している状態を示す。
【図８】磁気ヘッドスライダ２０が磁気ディスク３のＣＳＳ領域に位置する場合を示し、（ａ）はＣＳＳ領域を比較的大きくとった例、（ｂ）はＣＳＳ領域を小さくとった例を示す。
【符号の説明】
１…エンクロージャ
２…スピンドル
３…磁気ディスク
４…アーム
１１…ＣＳＳ領域
１２…データ領域
２０…磁気ヘッドスライダ
３０、３１、３２…レール
３６…磁気変換素子
３７、３８…突起状パッド
３９、４０…突起状パッド[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a disk device, and more particularly to a disk device using a floating head slider.
In recent years, miniaturization and increase in capacity of magnetic disk devices and optical disk devices, which are a kind of external storage devices for computers, are desired.
[0002]
In particular, in order to increase the capacity of the magnetic disk device, one method is to increase the number of magnetic disks mounted on the spindle. With this, the mounting interval of the magnetic disks is reduced in recent magnetic disk devices. Yes.
In a magnetic disk device that records or reproduces information on a hard disk, the magnetic head contacts the magnetic disk when starting and stopping to avoid wear damage due to contact between the magnetic head and the surface of the magnetic disk, and high speed when recording and reproducing information. A so-called contact start / stop (CSS) type floating magnetic head is used in which a magnetic head is floated at a minute distance from the surface of the magnetic disk by an air flow generated on the surface of the rotating magnetic disk.
[0003]
In a CSS type floating magnetic head, a slider supported by a suspension floats on the air bearing surface receiving airflow generated on the surface of the magnetic disk, and the magnetic head element incorporated in the slider moves on the surface of the magnetic disk. Then, information is recorded on and reproduced from a predetermined track.
Therefore, the slider incorporating the magnetic head element comes into contact with the surface of the magnetic disk when the rotation of the magnetic disk is stopped, and when the magnetic disk rotates, the air flow generated by the rotation is received by the air bearing surface and floats on the slider. The incorporated magnetic head element moves on the surface of the magnetic disk while being supported by the suspension, and records and reproduces information on a predetermined track.
[0004]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, in a magnetic disk drive employing a floating magnetic head slider, a pair of rails are provided on the left and right ends of the slider on the disk facing surface side, and a taper is provided on the air flow inflow end side of the rail to provide a ski By making the warp shape, the head is floated on the disk rotated at a high speed, and the minute distance between the magnetic disk and the head element portion is stably maintained.
[0005]
While this method can ensure high flying stability and a small flying height of the order of submicron, the slider rail surface comes into contact with the disk when rotation stops, and the disk and rail surface slide when the magnetic disk device starts and stops. Movement occurs.
For this reason, a protective film made of a hard material such as diamond, like, or carbon is formed on the recording layer of the magnetic disk, and a lubricating layer is formed to improve the durability of the disk by reducing the friction and wear of the protective film. ing. Although the friction and wear of the protective film are reduced due to the presence of the lubricating layer, at the time of stoppage, adsorption occurs between the disk and the slider, resulting in troublesome startup.
[0006]
As the amount of information has increased in recent years, the progress of high-density, large-capacity and miniaturization of magnetic disk devices has been remarkable, and the disk for spindle motor torque reduction and miniaturization due to miniaturization and low power consumption. As a result of this smoothing, the problem of adsorption between the disk and the slider has been greatly closed up as a cause of malfunction.
In order to reduce the sticking between the slider and the disk, it has been proposed to reduce the contact area between the slider and the disk by crowning the air bearing surface of the slider over the entire length in the longitudinal direction.
[0007]
Furthermore, in recent years, with the progress of higher density, the application of a contact head directed to a flying height of 0 has begun to be studied. It has become a more important issue to prevent the occurrence of adsorption.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
The conventional magnetic disk device has the following problems.
First, the disk surface tends to become smoother as the density increases. However, the more the opposing surfaces become smoother, the larger the contact area and the greater the suction force. Tends to occur.
[0009]
In addition, the torque of the spindle motor that rotates the disk decreases with the progress of miniaturization of the apparatus, and there may be a case where the spindle motor cannot be started due to insufficient torque of the spindle motor when suction occurs. Even if it can be started, the suction is not released and there is a possibility of causing a serious failure accompanied by deformation of the support mechanism of the slider and destruction of the disk recording layer.
[0010]
Although the crown-processed slider is effective for preventing adsorption, there is a problem that the processing accuracy is large and the magnetic head slider is expensive and not suitable for mass production.
Furthermore, since the crown process is performed in the longitudinal direction of the slider flying surface, the slider rail surface becomes closer to the disk than the height of the magnetic transducer (head element) formed at the outflow end, There is a problem of space loss.
[0011]
Accordingly, an object of the present invention is to provide a disk device capable of effectively reducing the occurrence of adsorption between a slider and a disk with a simple structure.
Another object of the present invention is to provide a head slider having improved floating characteristics at the time of activation.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve such a problem, according to the present invention, a rotating disk and a medium surface of the disk are arranged so as to be opposed to each other, and are levitated and supported with respect to the medium surface by an air flow generated by the rotation of the disk. A head slider for recording / reproducing information with respect to the disk, and means for moving the slider within a moving range of the medium surface. The slider has a bottom surface on which a floating force is generated when the disk rotates. In a disk device in which a pair of rails having flat rail surfaces for contact support when rotation of a magnetic disk is stopped is formed,
The slider, a pair of projecting pads into contact with the medium surface of the disk during rotation stop of the disk medium to the rail surface of the rail on the outer diameter side with respect to the disk of the rail is provided, the disc includes a disc medium A floating disk device is provided in which a contact start / stop (CSS) region on the inner diameter side of the surface is formed to be rougher than a recording region .
[0013]
As described above, in the present invention, the protrusion is provided on the rail surface, and when the rotation of the disk medium is stopped, only the air flow outflow end portion of the pad and the rail is brought into contact with the medium surface of the disk. Even if the rail provided with the pad is in the area of the recording layer of the disc that is a smooth surface, the protruding pad only makes point contact with the recording layer of the disc. Adsorption is effectively reduced.
[0014]
Also, even if a rail without a pad stops on the CSS surface, the CSS surface is configured as a rough surface, so even if the rail and the CSS surface are in contact, it is in a point contact state rather than a surface contact. since the adsorption between the slider and the disk Ru is effectively reduced.
[0015]
According to this, the CSS area is at the inner diameter end within the moving range of the slider, and the slider is moved to the CSS area when the disk is stopped. Therefore, since the slider rail contacts in a point contact state in the CSS region which is a rough surface when the disk device is stopped, the adsorption between the slider and the disk is effectively reduced.
The pad preferably has a height of 30 nm or more.
[0016]
Moreover, the contact-start-stop region is not preferable that is formed in the above rough surface Ra35A.
Before SL pad, the width of the inflow end of the slider is small, has a egg-like shape which expand the width of the outflow end.
[0017]
The disk has a contact start / stop area which is rougher than the recording area on the inner diameter side, and at the inner diameter end position of the slider, both of the pair of rails are on the contact start / stop area. It can also be configured.
Further, the disk has a contact start / stop region which is rougher than the recording region on the inner diameter side, and only the inner diameter side rail of the pair of rails at the inner diameter end position of the slider is the contact start / stop region. -It can also be configured to be on the stop area. In this case, when the disk device is stopped, the rail on the outer diameter side of the pair of rails is located on the recording area of the magnetic disk at the position of the inner diameter end of the slider, but a pad is provided in this portion. Therefore, the slider and the recording area are in point contact, and mutual adsorption is prevented. Further, even if both sliders are out of the CSS area and are in the recording area, the pad contacts the recording area, so that the problem of adsorption is solved, and the recording area on the disk can be increased accordingly.
[0018]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 is a plan view of a magnetic disk apparatus to which a magnetic head slider according to the present invention can be applied (with the upper cover removed), and FIG. 2 is an enlarged side view as seen from the arrow A in FIG. A slider part and its support part are shown.
[0019]
A spindle 2 that is rotationally driven by a spindle motor (not shown) is erected on the base of the disk enclosure 1, and a plurality of magnetic disks 3 are stacked on the spindle 2 at a predetermined interval.
The head arm 4 is pivotally attached to a base of the disk enclosure 1 with a shaft 5. A coil 6 is attached to one rotating end of the head arm 4, and the magnetic head slider 20 is attached to the other rotating end via a suspension 7. A coil 6 is disposed in the magnetic gap of the magnetic circuit formed by the magnets 8 and 9 and the yoke 10.
[0020]
As shown in FIG. 2, the magnetic head slider 20 is attached to a flexure portion formed at the tip of the suspension 7 so as to be tiltable. In addition, the suspension 7 is provided with an elastic portion 7a that is bent so as to be bent only in the vicinity of the base end, and a flange 7b is provided by bending at a side portion of the intermediate portion to enhance rigidity.
The base end 7c of the suspension 7 to which the magnetic head slider 20 is attached is fitted and attached to the attachment hole 4a of the head arm 4 of the magnetic disk device.
[0021]
The suspension 7 is attached to the head arm 4 such that the magnetic head slider 20 is pressed toward the magnetic disk 3 with a predetermined spring pressure by the elastic portion 7a. Therefore, this disk apparatus adopts a CSS (contact start / stop) system.
Head arm 4 receives the movement restriction of the inner stopper S ₁ and the outer stopper S _2, will move between two stoppers. Accordingly, the magnetic head slider 20 is moved by the head arm 4 from the position of the inner diameter end to the position of the outer diameter end within the movement range restricted by the two stoppers with respect to the magnetic disk 3. When the magnetic head slider 20 reaches the CSS area 11 (FIG. 1) at the inner diameter end of the magnetic disk 3 within the moving range, the position of the inner diameter end of the head arm 4 is regulated by the stopper (S ₁ ). the arrangement of the stopper S ₁ are determined to. The stoppers S ₁ and S ₂ are both disposed in contact with the lower part of the head arm 4 at the lower part of the gap of the magnetic circuit because the magnetic circuit using the vertical coil is used in this embodiment. Will be. Reference numeral 12 denotes a data area of the magnetic disk 3.
[0022]
FIG. 3 is a perspective view of the magnetic head slider 20 according to the present invention as viewed from a surface facing a magnetic disk (not shown), and FIG. 4 is a plan view thereof. In these drawings, 30, 31, 32 are rails, 33 are grooves, 34 is an inflow end, 35 is an outflow end, and 36 is an electromagnetic transducer.
The rail 30 is in the center of the magnetic head slider 20 on the inflow end 34 side, and a pair of rails 31 and 32 on both the left and right sides extend from the inflow end 34 side to the outflow end 35 side.
[0023]
When the magnetic disk 3 rotates and air flows into the magnetic head slider 20, a flying force is generated on the air bearing surfaces of the rails 30, 31, and 32 in a direction to separate the magnetic head slider 20 from the magnetic disk 3. At the same time, the inflow air from the inflow end 34 side expands in the groove 33, and a negative pressure is generated to attract the magnetic head slider 20 to the magnetic disk 3 side.
[0024]
Therefore, the magnetic head slider 20 floats from the magnetic disk to a height at which the forces in both directions (including not only the flying force and suction force due to the air flow but also the spring pressure by the suspension 7) are balanced.
The magnetic head slider 20 is provided with pads 37, 38, 39, and 40 that protrude on the rail surface on a pair of rails 31 and 32 on the left and right sides, respectively. The columnar pad 38 provided on the rail surface of the rail 32 on the outer diameter side with respect to the magnetic disk 3 of the pair of rails 31 and 32 has an outflow end 35 (from the columnar pad 37 of the rail 31 on the inner diameter side. It is provided at a position close to the magnetic transducer 36). The egg-shaped pads 39 and 40 are formed to have a larger area than the cylindrical shape, and serve to slow the progress of pad wear. And they are provided on the inflow end 34 side of the rails 31 and 32, respectively. These protruding pads 37, 38, 39, and 40 can be formed of diamond-like carbon or the like having excellent wear resistance by using a thin film forming technique (sputtering method, CVD method), for example.
[0025]
Next, a specific film forming method will be described with reference to FIG.
First, after forming a magnetic transducer on a wafer made of Al ₂ O ₃ TiC or the like, the wafer is cut into a plurality of rod-shaped bases, and the cut surface is processed using a photolithography technique to form an inclined surface. The inclined surface is easily formed by ion milling a part of the substrate from an oblique direction.
[0026]
After that, as shown in FIG. 5A, an adhesion layer 52 made of silicon (Si) is formed on the base 51 by 3 nm, a rail surface protective film 53 made by DLC (diamond like carbon) is formed by 30 nm, and an intermediate made of Si. A film 54 is formed to a thickness of 3 nm, and a contact film 54 made of DLC is formed to a thickness of 30 nm. Subsequently, after a resist is applied on the contact film 54, the resist is exposed and developed to form a stripe-shaped resist pattern 56 that covers the region for forming the rail surface 42 as shown in FIG. 5B.
[0027]
Next, as shown in FIG. 5C, the contact film 55, the intermediate film 54, the rail surface protective film 53, the adhesion layer 52, and the upper portion of the base 51 in the region not covered with the resist pattern 56 are sequentially etched by ion milling. Remove. As a result, a recess 41a for dividing the two rail surfaces 42 is formed, and a groove 51a for dividing each slider is formed. Thereafter, the resist pattern 56 is removed.
[0028]
Next, after applying the second resist, by exposing and developing the second resist, as shown in FIG. 5D, an area including the boundary between the inclined surface 43 and the flat surface 44 of the rail surface 42 A first circular resist pattern 57 having a diameter of 20 μm, for example, is formed, and an egg-shaped resist pattern 58 having a length of 150 μm and a width of 30 μm is formed near the end of the rail surface 42 that does not have the inclined surface 43.
[0029]
Next, as shown in FIG. 5E, when the portions of the contact film 55 that are not covered by the first and second circular resist patterns 57 and 58 are removed by oxygen plasma, the first and second circular resists are removed. The contact film 55 under the patterns 57 and 58 becomes the first and second protrusions (pads) 45 and 46. In this case, since the silicon carbide intermediate film 54 is not etched by oxygen plasma, the film thickness of the rail surface protective film 53 and the film thickness of the protrusions 45 and 46 are substantially uniform, the dimensions and shape are improved, and the yield is improved. improves.
[0030]
Thereafter, when the base 51 is divided along the dividing grooves 51a, the formation of the slider is completed. The length of the slider along the rail surface 42 is 1.2 mm, and the width in the direction including the two rail surfaces 42 is 1.0 mm. The intermediate film 54 may be part of the protrusions (pads) by patterning the intermediate film 54 using the protrusions (pads) 45 and 46 as a mask. The material constituting the protective film 53 covering the rail surface 42 may be SiO ₂ , Al ₂ O ₃ , Si, or SiC.
[0031]
By the way, it is necessary to appropriately change the formation, thickness, and top area of the protrusion (pad) on the rail surface according to the shape of the slider and the taper angle of the inclined surface. Further, the protrusions (pads) 45 and 46 and the rail surface 44 may be covered with a protective film such as SiO ₂ , Al ₂ O ₃ , Si, SiC, or DLC. Further, any one of the second protrusions 46 near the air outflow end may be provided.
[0032]
The protrusions (pads) 39 and 40 (FIG. 4) have a cylindrical shape and an egg shape. Although the pad area is increased in consideration of wear of the pad itself, the present invention adopts an egg-shaped shape that is long in the longitudinal direction. This is because the pad area is ensured in the air inflow direction to prevent the friction in the flying direction from increasing and wear.
[0033]
FIG. 6A shows the shape and dimensions (unit: mm) of the magnetic head slider 20 used as an embodiment of the present invention, and FIG. 6B shows the shapes and dimensions of the pads (projections) 39 and 40 ( Unit mm). The slider 20 has a height of 0.30 ± 0.015 (mm), and the pads (projections) 39 and 40 have a height of 41 nm ± 6 nm.
[0034]
In the embodiment of the present invention, in particular, the egg 39 is formed so that the width on the inflow side of the pads 39, 40 is small and the width on the outflow side is widened. The reason for adopting such an egg shape is to reduce the air inflow resistance by the pad itself. The height of the pads 39 and 40 is preferably 30 nm or more in consideration of wear. In this embodiment, the slider is 1.2 mm long, 1.0 mm wide, and 300 μm thick, and the pad height is 40 to 50 nm.
[0035]
When the rotation of the magnetic disk 3 is stopped and the magnetic head slider 20 is on the disk medium surface, the outflow end 35 (magnetic conversion element 36) of the rails 31 and 32 is connected to the magnetic disk 3 as shown in FIG. All or a part of these pads 37, 38, 39, 40 are in contact with the medium surface so as to contact the medium surface.
As described above, when the rotation of the magnetic disk 3 is stopped, the magnetic head slider 20 and the magnetic disk 3 only make point contact mainly at the protruding pads 37, 38, 39 and 40. Therefore, adsorption between the slider 20 and the magnetic disk 3 can be prevented, and a so-called stiction-free (SF) slider is configured. Note that the flying height of the slider 20 of this embodiment is about 30 nm.
[0036]
6A and 6B show a case where the magnetic head slider 20 is located in the CSS area of the magnetic disk 3, where FIG. 6A shows an example in which the CSS area 11 is relatively large, and FIG. 6B shows a CSS. An example in which the area 11 is made small is shown. In the example of FIGS. 6A and 6B, one protruding pad 38 is provided on the rail 32 on the outer diameter side with respect to the disk of the magnetic head slider 20.
[0037]
Further, the CSS area 11 of the magnetic disk 3 is so-called zone texture processed to have a rough surface 11a as shown.
Regarding the zone texture, the disk having a conventional full surface texture (rough surface) has a Ra of 15 to 20 mm or less, but the css zone texture of the present invention has a Ra of 35 mm or more, and in this embodiment, about 50 mm. The zone is set to Ra 15 to 20 mm or less.
[0038]
The zone width of the zone texture can be less than twice the width of the slider. The conventional full-texture has more than doubled.
The zone texture can be formed by laser texture (irradiating the disk substrate with a laser beam to form irregularities on the surface of the medium using thermal deformation) or mechanical texture (substrate surface using mechanical diamond or other abrasives) To form uneven scratches).
[0039]
When the rotation of the magnetic disk 3 stops, the magnetic head slider 20 is moved to the CSS area 11 on the inner diameter side of the data area 12 of the magnetic disk 3, and the slider 20 is moved on the CSS area 11 by a stopper (not shown). As shown in the embodiment of FIG. 8A, the CSS area 11 is made large so that both rails 31 and 32 come to be in the CSS area for control. The magnetic head slider 20 is likely to ride on the CSS area 11 due to some impact or malfunction in the process of moving the head slider 20 to the CSS area 11, and even if there is no protruding pad as described above, Since the rails 31 and 32 are in contact with the zone texture (rough surface) 11a in a point contact state, the adsorption between the disk 3 and the slider 20 is performed. It does not occur.
[0040]
That is, the embodiment of FIG. 8A is characterized in that both rails 31 and 32 are placed on the css region 11 and the slider is stopped so that the contact position with the head arm is determined and the stopper is arranged. Have. In this embodiment, since css is applied to a region having a large surface roughness (the pad is easy to wear due to the rough surface roughness, but the pad itself is considered in terms of wear resistance, and is larger than a certain size. Even if the pad has a certain size (because it is necessary to have a large number of pads), it has the effect of reliably preventing the adsorption.
[0041]
In the embodiment shown in FIG. 8B , control is performed such that one rail of the slider is intentionally positioned in the data area 12 with the aim of reducing the CSS area 11 and increasing the data area 12.
Further, in the embodiment of FIG. 8B , when the CSS area 11 is reduced, the slider 20 moves from the CSS area 11 to the data area 12 side due to an impact or malfunction in the process of returning the magnetic head slider 20 to the CSS area 11. Even if the surfaces of the slider 3 and the slider 20 are both smoothed, the protruding pad 38 of the rail 32 that has come off contacts the surface of the magnetic disk 3 by point contact. Is prevented. Therefore, it is possible to reduce the CSS region in the embodiment shown in FIG. 8 (b), that amount may be the wide data area.
[0042]
As for the position restriction of the inner diameter end of the head arm 4 (slider 20), the arrangement of the stopper is specified as described above, or it is controlled so as to be electrically stopped at that position (for example, the rotation of the disk is stopped). By moving to the CSS region (using the counter electromotive force of the rotating motor at that time) and controlling to stop the rotation while being held at that position, the slider is landed.
[0043]
Although the embodiments of the present invention have been described in detail with reference to the accompanying drawings, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various forms, modifications, and modifications are within the spirit and scope of the present invention. It should be noted that etc. are possible.
For example, although the magnetic disk device has been described in the above embodiment, the present invention can be applied to a floating slider that mounts a magnetic head of a magneto-optical disk device, a floating slider that mounts an optical head of an optical disk device, and the like. Is possible.
[0044]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, a protruding pad is provided on the rail surface, and when the disk medium stops rotating, only the air flow outflow end of the pad and the rail is brought into contact with the medium surface of the magnetic disk. Thus, when the slider is stopped, even if the rail provided with the pad is in the data area of the magnetic disk having a smooth surface, the protruding pad makes point contact with the recording layer (data area) of the magnetic disk. Therefore, the adsorption between the slider and the disk is effectively reduced.
[0045]
Also, when the slider is returned to the so-called CSS area when the rotation of the disk medium is stopped, even if the CSS area is small and the slider may not get on the CSS area, the protruding pad is not formed as described above. Adsorption can be prevented by making point contact with the recording layer of the magnetic disk. Therefore, the recording layer can be widened accordingly, and a high-density, large-capacity and high-speed magnetic disk can be achieved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view of a magnetic disk apparatus according to the present invention, with a surface cover removed.
FIG. 2 is an arrow A diagram of FIG.
FIG. 3 is a perspective view of a magnetic head slider according to the present invention as viewed from a surface facing a magnetic disk.
FIG. 4 is a plan view of a magnetic head slider in the present invention.
FIG. 5 is a diagram for explaining a film forming method of a slider.
6A shows detailed dimensions of a slider, and FIG. 6B shows detailed dimensions of a pad.
FIG. 7 shows a state where the magnetic head slider is in contact with the magnetic disk.
FIGS. 8A and 8B show a case where the magnetic head slider 20 is located in the CSS area of the magnetic disk 3, FIG. 8A shows an example in which the CSS area is relatively large, and FIG. 8B shows an example in which the CSS area is made small.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Enclosure 2 ... Spindle 3 ... Magnetic disk 4 ... Arm 11 ... CSS area | region 12 ... Data area 20 ... Magnetic head slider 30, 31, 32 ... Rail 36 ... Magnetic transducer 37, 38 ... Protrusion pad 39, 40 ... Protrusion Pad

Claims

A rotating disk, a head slider that is disposed to face the medium surface of the disk, and is supported by being floated with respect to the medium surface by an air flow caused by the rotation of the disk. Means for moving the slider within a moving range of the medium surface, and the slider has a flat rail surface on its bottom surface for generating a flying force when the disk rotates and for supporting contact when the magnetic disk stops rotating. In a disk device having a pair of rails having
The slider on the rail surface of the rail on the outer diameter side with respect to the disk of the pair of rails, provided with projections shaped pads to contact the medium surface of the disk during rotation stop of the disk medium, the disk, the disk A floating disk device characterized in that a contact start / stop area located on the inner diameter side of the recording area on the medium surface is formed as a rough surface from the recording area .

2. The disk apparatus according to claim 1, wherein the pad has an egg-shaped shape in which the width on the inflow end side of the slider is small and the width on the outflow end side is widened.

The disk device according to claim 1, wherein the pad has a height of 30 nm or more.

2. The disk apparatus according to claim 1, wherein the contact start / stop region is formed on a rough surface of Ra 35 mm or more.

A rotating disk, a head slider that is disposed to face the medium surface of the disk, and is supported by being floated with respect to the medium surface by an air flow caused by the rotation of the disk. Means for moving the slider within a moving range of the medium surface, and the slider has a flat rail surface on its bottom surface for generating a flying force when the disk rotates and for supporting contact when the magnetic disk stops rotating. In a disk device having a pair of rails having
The slider includes a protrusion-like pad that is brought into contact with the disk medium surface when the rotation of the disk medium is stopped , on the rail surface of the rail on the outer diameter side of the disk among the pair of rails ,
The disk has a contact start / stop area which is rougher than the recording area on the inner diameter side, and at the inner diameter end position of the slider, both of the pair of rails are on the contact start / stop area. A disk device characterized by comprising.

6. The disk apparatus according to claim 5 , wherein the pad has an egg-shaped shape in which the width on the inflow end side of the slider is small and the width on the outflow end side is widened.

The disk device according to claim 5 , wherein the pad has a height of 30 nm or more.

6. The disk device according to claim 5 , wherein the contact start / stop region is formed on a rough surface of Ra 35 mm or more.

A rotating disk, a head slider that is disposed to face the medium surface of the disk, and is supported by being floated with respect to the medium surface by an air flow caused by the rotation of the disk. Means for moving the slider within a moving range of the medium surface, and the slider has a flat rail surface on its bottom surface for generating a flying force when the disk rotates and for supporting contact when the magnetic disk stops rotating. In a disk device having a pair of rails having
The slider includes a protrusion-like pad that is brought into contact with the disk medium surface when the rotation of the disk medium is stopped , on the rail surface of the rail on the outer diameter side of the disk among the pair of rails ,
The disk has a contact start / stop area that is rougher than the recording area on the inner diameter side, and only the inner diameter side rail of the pair of rails is the contact start / stop position at the inner diameter end position of the slider. A disk device characterized by being configured to come on an area.

The disk device according to claim 9 , wherein the pad has an egg-shaped shape in which the width on the inflow end side of the slider is small and the width on the outflow end side is widened.

The disk device according to claim 9 , wherein the pad has a height of 30 nm or more.

10. The disk device according to claim 9 , wherein the contact start / stop region is formed on a rough surface of Ra 35 mm or more.