JPH02296103A - Laser-speckle-strain measuring apparatus - Google Patents
Laser-speckle-strain measuring apparatusInfo
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- JPH02296103A JPH02296103A JP11767689A JP11767689A JPH02296103A JP H02296103 A JPH02296103 A JP H02296103A JP 11767689 A JP11767689 A JP 11767689A JP 11767689 A JP11767689 A JP 11767689A JP H02296103 A JPH02296103 A JP H02296103A
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Landscapes
- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、上2ミックスやGFRP等の新素材について
の強度実験における歪計測、ボイラや橋梁さらには船舶
等の各種構造物における歪計測などに用いられるレーザ
・スペックル歪計測装置に関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention is applicable to strain measurement in strength experiments on new materials such as upper 2 mix and GFRP, strain measurement in various structures such as boilers, bridges, and ships. The present invention relates to a laser speckle distortion measurement device used for.
第3図は従来のレーザ・スペックル歪計測装置の構成を
示す図である。第3図中、lは試験片であ)、上端を固
定治具2により固定されている。FIG. 3 is a diagram showing the configuration of a conventional laser speckle distortion measuring device. In FIG. 3, l is a test piece), and its upper end is fixed by a fixing jig 2.
3は上記試験片1の下端に取付けられ上記試験片Iに荷
重をかけるための重りである。4はコンピュータなどの
演算制御器であり、後述するイメージセンサ41,42
の出力信号を受信し、相互相関々数を算出し、スペック
ル移動などを演算制御するものである。5は入出力装置
であり、演算制御器4の操作および演算結果の表示など
を行う装置である。Reference numeral 3 denotes a weight attached to the lower end of the test piece 1 for applying a load to the test piece I. 4 is an arithmetic controller such as a computer, and includes image sensors 41 and 42, which will be described later.
It receives the output signals of , calculates the cross-correlation numbers, and performs arithmetic control on speckle movement, etc. Reference numeral 5 denotes an input/output device, which is a device for operating the arithmetic controller 4 and displaying arithmetic results.
2、22は第、第2のレーザ光源である。2 and 22 are second and second laser light sources.
第1のレーザ光源2Iは、例えばHe−Neレーザであ
υ、赤色(波長0.6328μrn)の第1のレーザ光
線を発生する。この第1のレーザ光線は平面鏡8を介し
て試験片!上の測定点Pへ入射角度θで照射する。第2
のレーザ光源22は、例えばArレーザでオシ、青色(
波長0.488μm)の第2のレーザ光線を発生する。The first laser light source 2I is, for example, a He-Ne laser and generates a red (wavelength: 0.6328 μrn) first laser beam. This first laser beam passes through a plane mirror 8 to the specimen! Irradiate the upper measurement point P at an incident angle θ. Second
The laser light source 22 is, for example, an Ar laser, which emits blue light (
A second laser beam with a wavelength of 0.488 μm is generated.
この第2のレーザ光線は平面鏡9を介して試験片!上の
測定点Pへ入射角度−〇で照射する。This second laser beam is transmitted to the specimen through a plane mirror 9! Irradiate the upper measurement point P at an incident angle of -〇.
30はビームスプリッタであシ、測定点Pの法線上に設
置され、測定点Pからの合成されたレーザ反射光の一部
を透過し、他の一部を直角方向に反射することにより、
二分割する。30 is a beam splitter, which is installed on the normal line of the measurement point P, and transmits a part of the combined laser reflected light from the measurement point P and reflects the other part in the right angle direction.
Divide into two.
31は第1のフィルタであシ、上記ビームスプリッタ3
0の透過光のうち、例えば、赤色の第1のレーザ光のみ
を透過抽出し、第1のスペックル検出器であるイメージ
センサ4Iへ入射させる。31 is the first filter, and the beam splitter 3
Of the transmitted light, for example, only the first red laser light is transmitted and extracted, and is made to enter the image sensor 4I, which is the first speckle detector.
32は第2のフィルタであυ、上記ビームスプリッタ反
射光のうち、例えば青色の第2のレーザ光のみを透過抽
出し、第2のスペックル検出器であるイメージセンサ4
2へ入射させる。第、第2のイメージセンサ41 、4
2は測定点PからいずれもLoだけ離れた位置に配置さ
れ、スペックル模様の光強度分布を検出し、それぞれ演
算制御器4へ送信する。Reference numeral 32 denotes a second filter υ, which transmits and extracts, for example, only the second blue laser beam out of the light reflected by the beam splitter, and transmits and extracts only the second laser beam, which is blue in color, from among the light reflected by the beam splitter.
2. Second and second image sensors 41 and 4
2 are placed at a distance Lo from the measuring point P, detect the light intensity distribution of the speckle pattern, and transmit the detected light intensity distribution to the arithmetic controller 4, respectively.
このように構成された本装置は次のように作動する。The device thus configured operates as follows.
(1)試験片Iの変形前のスペックル模様の光強度分布
測定を行うべく、第1のレーザ光源すなわちHe−No
レーザ光源2Iを作動させ、発生した赤色の第1のレー
ザ光線を平面鏡8を介して測定点Pに照射すると同時に
、第2のレーザ光源すなわち、Arレーザ光源22を作
動させ、発生し九第2のレーザ光線を平面鏡9を介して
測定点Pに照射する。(1) In order to measure the light intensity distribution of the speckle pattern of the specimen I before deformation, the first laser light source, that is, the He-No.
The laser light source 2I is activated to irradiate the generated first red laser beam to the measuring point P via the plane mirror 8, and at the same time, the second laser light source, that is, the Ar laser light source 22 is activated to emit the generated red laser beam. The measurement point P is irradiated with a laser beam through the plane mirror 9.
そうすると測定点Pから赤色と青色とが混った合成レー
ザ反射光が法線方向に反射する。この反射光はビームス
プリッタ30で二分割される。二分割された一方の光つ
まシビームスゾリツタ透過光は、第1のフィルタ31に
より赤色光だけ、つtb第1のレーザ光線だけが透過抽
出され、第1のイメージセンサ4zに到達する。かくし
て、そのスペックル模様すなわち赤色レーザ光のスペッ
クルの光強度分布が検出され、演算制御器4に記憶され
る。この場合のスペックル模様を11(X)とする。前
記二分割された他方の光つオシビームスプリッタ30の
反射光は、第2のフィルタ32により青色光だけ、つま
シ第2のレーザ光線だけ透過抽出され、第2のイメージ
センサ42に到達する。Then, the combined laser reflected light in which red and blue are mixed is reflected from the measurement point P in the normal direction. This reflected light is split into two by a beam splitter 30. The first filter 31 transmits and extracts only the red light and the first laser beam from one of the two divided light beams transmitted through the filter, and reaches the first image sensor 4z. In this way, the speckle pattern, that is, the speckle light intensity distribution of the red laser beam is detected and stored in the arithmetic controller 4. The speckle pattern in this case is designated as 11(X). The reflected light from the other two-split optical beam splitter 30 is filtered by a second filter 32 to transmit and extract only the blue light and the second laser beam, and reaches the second image sensor 42 .
かくしてそのス被ツクル模様すなわち青色レーザ光のス
ペックルの光強度分布が検出され、演算制御器4に記憶
される。In this way, the speckle pattern, that is, the light intensity distribution of the speckles of the blue laser beam is detected and stored in the arithmetic controller 4.
この場合のスペックル模様を11’(x)とする。The speckle pattern in this case is assumed to be 11'(x).
(2)試験片1の変形後のスペックル模様の光強度分布
を測定すべく試験片Iが変形したあと、上記(1)と同
様にして、第1のイメージセンサ4Iにより、検出した
赤色レーザ光のスペックル模様l2(X)を演算制御器
4に記憶させると同時に、第2のイメージセンサ42に
より検出した青色レーザ光のスペックル模様I2’(X
)を演算制御器4に記憶させる。(2) After the test piece I is deformed to measure the light intensity distribution of the speckle pattern after the test piece 1 is deformed, the red laser beam detected by the first image sensor 4I in the same manner as in (1) above. At the same time, the speckle pattern l2(X) of the light is stored in the arithmetic controller 4, and the speckle pattern I2'(X) of the blue laser light detected by the second image sensor 42 is stored.
) is stored in the arithmetic controller 4.
(3)上記(1)及び(2)で測定し次試験片2の変形
前後でのス被ツクル模様11(x)ト11′(x)、オ
ヨヒl2(X)とjz’(x)を用いて、それぞれの相
互相関々数を演算制御器4で算出し、そのピーク値より
、スペックル移動Ax(θ)及び八〇(−〇)を求める
。(3) Measured in (1) and (2) above, and then measured the surface pattern 11(x), 11'(x), 12(X) and jz'(x) of test piece 2 before and after deformation. The arithmetic controller 4 calculates the respective cross-correlation numbers, and the speckle movement Ax (θ) and 80 (-0) are determined from the peak values.
(4)上記(3)のスペックル移動AX(θ)及びAx
(−〇)から、スペックル移動の差ΔAx及び6xすな
わちを演算制御器4で計算して、その結果を入出力装置
5に表示する。(4) Speckle movement AX (θ) and Ax in (3) above
(−〇), the difference in speckle movement ΔAx and 6x, that is, is calculated by the arithmetic controller 4, and the result is displayed on the input/output device 5.
以上のようにレーザ・スペックル歪計測装置によれば試
験片Iにストレンr−ジや格子などを貼シラけることな
く、レーザ光線を照射することによυ自然に発生するス
ペックルを利用して、歪を非接触方式で計測できるとい
う特徴がある。As described above, the laser speckle strain measurement device utilizes the speckles that naturally occur by irradiating the specimen I with a laser beam, without attaching any strain or grating to the specimen I. It has the advantage of being able to measure strain in a non-contact manner.
従来のレーザ・スペックル歪計測装置では、レーザ照射
領域すなわち歪計測点が1■φ程度であシ、物体の変形
による伸び(縮み)が0.5m以上になると、計測点が
ずれてしまう為、変位・変形の大きい場合の歪計測への
適用が困難であるという問題がおった。In conventional laser speckle strain measurement devices, the laser irradiation area, that is, the strain measurement point, is approximately 1 mm in diameter, and if the elongation (shrinkage) due to deformation of the object exceeds 0.5 m, the measurement point will shift. However, there was a problem in that it was difficult to apply to strain measurement when displacement and deformation were large.
そこで、本発明は引張シ試験など変位・変形が比較的大
きな歪計測へも適用可能なレーザ・スペックル歪計測装
置を提供することを目的とする。Accordingly, an object of the present invention is to provide a laser speckle strain measuring device that can be applied to strain measurements that involve relatively large displacements and deformations, such as tensile tests.
〔課題を解決するための手段及び作用〕レーザ・スペッ
クル歪計測装置において、第1及び第2のレーザ光源か
ら発生したレーザビーム(円形)をそれぞれシリンドリ
カルレンズを介して長方形に整形すると共に、この長方
形に整形した第1及び第2のレーザビームをそれぞれコ
リメータレンズを介して平行光にし、長方形の長辺が変
形の最も大きい方向になるようにしたものである。[Means and effects for solving the problem] In a laser speckle distortion measuring device, the laser beams (circular) generated from the first and second laser light sources are each shaped into a rectangle through a cylindrical lens, and The first and second laser beams each shaped into a rectangle are made into parallel beams through a collimator lens, so that the long side of the rectangle is in the direction of maximum deformation.
被計測物体の変位又は変形の大きな方向にレーザ照射領
域を拡げることにより、変位・変形が比較的大きな歪計
測にも適用できるようになる。By expanding the laser irradiation area in the direction where the displacement or deformation of the object to be measured is large, it becomes possible to apply the method to strain measurement where the displacement or deformation is relatively large.
第1図は本発明の一実施例を示す図である。第2図は、
第1図に示した本発明の一実施例のレーザ照射点(計測
点)を拡大した図である。なお、第3図と同一部には同
一符号を付しである。FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of the present invention. Figure 2 shows
FIG. 2 is an enlarged view of the laser irradiation point (measurement point) of the embodiment of the present invention shown in FIG. 1; Note that the same parts as in FIG. 3 are given the same reference numerals.
第1図において、2、22は第、第2のレーザ光源であ
る。第1のレーザ光源21は、例えばHe−Noレーザ
であり、赤色(波長0.6328 μm)の第1のレー
ザ光線を発生する。第2のレーザ光源22は、例えば、
Arレーザであり、青色(波長0.488μm)の第2
のレーザ光線を発生する。通常、これら第1及び第2の
レーザビームは1閤φ前後の円形であり、第1のレーザ
光線は平面鏡8.第1のシリンドリカルレンズ(ビーム
整形B ) s r及び第1のコリメータレンズ53を
介して試験片!上の計測点P上へ入射角度θで照射する
。同様に、第2のレーザ光線は平面鏡9.第2のシリン
ドリカルレンズ52及び第2のコリメータレンズ54を
介して試験片!上の計測点Pへ入射角度−〇で照射する
。In FIG. 1, 2 and 22 are second and second laser light sources. The first laser light source 21 is, for example, a He-No laser, and generates a red (wavelength: 0.6328 μm) first laser beam. The second laser light source 22 is, for example,
It is an Ar laser with a blue (wavelength 0.488 μm) second laser.
generates a laser beam. Normally, these first and second laser beams are circular with a diameter of about 1 inch, and the first laser beam is formed by a plane mirror 8. The test piece is passed through the first cylindrical lens (beam shaping B) sr and the first collimator lens 53! Irradiate onto the upper measurement point P at an incident angle θ. Similarly, the second laser beam is transmitted to the plane mirror 9. Test piece through the second cylindrical lens 52 and the second collimator lens 54! Irradiate the upper measurement point P at an incident angle of -〇.
第2図はこのレーザ照射点を拡大した図である。FIG. 2 is an enlarged view of this laser irradiation point.
レーザ照射点は、水平方向の@Hと垂直方向の幅Vが例
えばH= 1 exa (0,5〜2m程度)、V=t
om(1〜10mm程度)となっており、重りによって
試験片の伸びる方向とVが一致している。したがって、
■方向では、試験片の変位・変形の影響が少なく、比較
的変位・変形の少いH方向では短いダーゾ長を実現して
いる。The laser irradiation point has a width @H in the horizontal direction and a width V in the vertical direction, for example, H = 1 exa (about 0.5 to 2 m), V = t
om (approximately 1 to 10 mm), and V matches the direction in which the test piece extends due to the weight. therefore,
In the ■ direction, the influence of displacement and deformation of the test piece is small, and in the H direction, where displacement and deformation are relatively small, a short durzo length is achieved.
30はビームスプリッタであり、測定点Pの法線上に設
置され、測定点Pからの合成されたレーザ反射光の一部
を透過し、他の一部を直角方向に反射することにより二
分割する。Reference numeral 30 denotes a beam splitter, which is installed on the normal line of the measurement point P, transmits a part of the combined laser reflected light from the measurement point P, and reflects the other part in the right angle direction, thereby splitting it into two parts. .
3Iは第1のフィルタであυ、上記ビームスプリッタ3
0の透過光のうち、例えば赤色の第1のレーザ光のみを
透過抽出し、第1のスペックル検出器であるイメー・ゾ
センサ4Iへ入射させる。32は第2のフィルタであシ
、上記ビームスプリッタ30の反射光のうち、例えば青
色の第2のレーザ光のみを透過抽出し、第2のスペック
ル検出器であるイメージセンサ42へ入射させる。第、
第2のイメー・ゾセンサ4、42は測定点Pからいずれ
もし。たけ離れた位置に配置され、スペックル模様の光
強度分布を検出し、それぞれ演算制御器4へ送信する。3I is the first filter υ, and the beam splitter 3
Of the transmitted light, for example, only the first laser light of red color is transmitted and extracted, and is made to enter the image sensor 4I, which is the first speckle detector. A second filter 32 transmits and extracts, for example, only the second laser beam of blue color out of the reflected light from the beam splitter 30, and makes it enter an image sensor 42, which is a second speckle detector. No. 1,
The second image sensors 4 and 42 are connected to each other from the measurement point P. The light intensity distribution of the speckle pattern is detected and transmitted to the arithmetic controller 4, respectively.
このように構成された本装置は次のように作動する。The device thus configured operates as follows.
(1)試験片Iの変形前のスペックル模様の光強度分布
測定を行うべく、第1のレーザ光源すなわちHe−Ne
レーザ光源2Iを作動させ、発生した赤色の第1のレー
ザ光線を平面鏡8を介して、第1のシリンドリカルレン
ズ5Iに入射する。これにより第1のシリンドリカルレ
ンズ5Iを透過した第1のレーザ光は長方形に拡がりな
がら第1のコリメータレンズ53に入射し、平行光とな
って測定点Pに照射する。同時に、第2のレーザ光源す
なわちArレーザ光源22を作動させ、発生した青色の
第2のレーザ光線を平面鏡9.第2のシリンドリカルレ
ンズ52及び第2のコリメータレンズ54を介して測定
点Pに照射する。上記第1及び第2のレーザ光線の照射
により測定点Pから赤色と青色が混った合成レーザ反射
光が法線方向に反射する。(1) In order to measure the light intensity distribution of the speckle pattern of the specimen I before deformation, the first laser light source, that is, He-Ne
The laser light source 2I is activated, and the generated first red laser beam is incident on the first cylindrical lens 5I via the plane mirror 8. As a result, the first laser beam that has passed through the first cylindrical lens 5I is incident on the first collimator lens 53 while expanding into a rectangle, and is irradiated to the measurement point P as parallel light. At the same time, the second laser light source, that is, the Ar laser light source 22 is activated, and the generated blue second laser beam is transmitted to the plane mirror 9. The measurement point P is irradiated via the second cylindrical lens 52 and the second collimator lens 54. Due to the irradiation of the first and second laser beams, composite laser reflected light in which red and blue are mixed is reflected from the measurement point P in the normal direction.
この反射光はビームスプリッタ30で二分割される。二
分割された一方の光、つまりビームスプリッタ透過光は
、第1のフィルタ3Iによ)赤色光だけつまり第1のレ
ーザ光線だけが透過抽出され、第1のイメージセンサ4
Iに到達する。This reflected light is split into two by a beam splitter 30. One of the two divided lights, that is, the light transmitted by the beam splitter, is passed through the first filter 3I, where only the red light (that is, only the first laser beam) is transmitted and extracted, and the first image sensor 4
Reach I.
上記のようにしてそのスペックル模様、すなわち赤色レ
ーザ光のスペックルの光強度分布が検出され、演算制御
器4に記憶される。この場合のスペックル模様をI i
(X)とする。前記二分割された他方の光つまりビー
ムスプリッタ30の反射光は、第2のフィルタ32によ
り青色光だけ、つまシ第2のレーザ光線だけ透過抽出さ
れ、第2のイメージセンサ42に到達する。この結果、
そのスペックル模様、すなわち青色レーザ光のスペック
ルの光強度分布が検出され、演算制御器4に記憶される
。この場合のスペックル模様をI、’(x)とする。As described above, the speckle pattern, that is, the speckle light intensity distribution of the red laser beam is detected and stored in the arithmetic controller 4. The speckle pattern in this case is Ii
(X). The other split light, that is, the reflected light from the beam splitter 30 , is transmitted and extracted by the second filter 32 and only the blue light and only the second laser beam, and reaches the second image sensor 42 . As a result,
The speckle pattern, that is, the speckle light intensity distribution of the blue laser light is detected and stored in the arithmetic controller 4. Let the speckle pattern in this case be I,'(x).
(2)試験片Iの変形後のスペックル模様の光強度分布
を測定すべく試験片lが変形したあと、上記(1)と同
様にして、第1のイメージセンサ4Iにより検出した赤
色レープ光のスペックル模様l2(X)を演算制御器4
に記憶させるのと同時に、第2のイメージセンサ42に
より検出した青色レーザ光のスペックル模様12’(X
)を演算制御器4に記憶させる。(2) After the test piece I is deformed to measure the light intensity distribution of the speckle pattern after the test piece I is deformed, the red leopard light detected by the first image sensor 4I in the same manner as in (1) above. The speckle pattern l2(X) of
At the same time, the speckle pattern 12' (X
) is stored in the arithmetic controller 4.
(3)上記(1)及び(2)で測定した試験片Iの変形
前後でのスペックル模様11(x)とI 17 (x)
、およびl2(X)とIz’(x)を用いて、それぞれ
の相互相関々数を演算制御器4で算出し、そのピーク値
よシ、スペックル移動AX(θ)及びAX(−〇)を求
める。(3) Speckle pattern 11 (x) and I 17 (x) before and after deformation of test piece I measured in (1) and (2) above
, and l2(X) and Iz'(x), the arithmetic controller 4 calculates the respective cross-correlation numbers, and calculates the speckle movement AX(θ) and AX(-〇) based on the peak value. seek.
(4)上記(3)のスペックル移動AX(θ)及びAx
(−〇)から、スペックル移動の差ΔA工及び1!すな
わちを演算制御器4で計算して、その結果を入出力装置
5に表示する。(4) Speckle movement AX (θ) and Ax in (3) above
From (-〇), the difference in speckle movement ΔA and 1! That is, is calculated by the arithmetic controller 4 and the result is displayed on the input/output device 5.
以上の如く、本装置によれば、従来の装置のレーザスポ
ット径(約1■)に比べ、変形方向のレーザ照射領域が
大きいので、大変位・大変形に適用可能となる。As described above, according to the present apparatus, the laser irradiation area in the deformation direction is larger than the laser spot diameter (approximately 1 square inch) of the conventional apparatus, so it can be applied to large displacements and large deformations.
なお、イメージセンサの代わシに空間フィルタ検出器を
用いてもよい。Note that a spatial filter detector may be used instead of the image sensor.
本発明によれば、被計測物体の変位又は変形の大きな方
向にレーザ照射領域を拡げることにより、短r−ジ長(
変形の大きな方向と直角な方向)でかつ変位が05簡以
上(上限約5鴎程度)の大変形を生ずる歪をも計測する
ことができ、適用範囲が広〈産業上の利用価値の高いレ
ーザ・スペックル歪計測装置を提供できる。According to the present invention, the short r-ge length (
It is possible to measure strains that cause large deformations in the direction perpendicular to the direction of large deformation and with displacements of 0.5 or more (up to about 5.0 or more), which has a wide range of application.・We can provide speckle distortion measurement equipment.
第1図は、本発明の一実施例の構成を示す図、第2図は
同実施例におけるレーザ照射点(計測点)を拡大した図
、第3図は従来のレーザ・スペックル歪計測装置の構成
を示す図である。
!・・・試験片、2・・・固定治具、3・・・重シ、4
・・・演算制御器(コンピュータ)、5・・・入出力装
置、8゜9・・・平面鏡、2、22・・・第、第2のレ
ーザ光源、30・・・ビームスプリッタ、3、32・・
・第1゜第2のフィルタ、4、42・・・第、第2のイ
メージセンサ(スペックル検出器)、51 、52・・
・第、第2のシリンドリカルレンズ(ビーム整形器)、
53.54・・・第、第2のコリメータレンズ。
ズ。
出願人代理人 弁理土鈴 江 武 彦第
図Fig. 1 is a diagram showing the configuration of an embodiment of the present invention, Fig. 2 is an enlarged view of the laser irradiation point (measurement point) in the same embodiment, and Fig. 3 is a conventional laser speckle distortion measuring device. FIG. ! ...Test piece, 2...Fixing jig, 3...Heavy steel, 4
... Arithmetic controller (computer), 5... Input/output device, 8°9... Plane mirror, 2, 22... Second, second laser light source, 30... Beam splitter, 3, 32・・・
- 1st, 2nd filter, 4, 42... 1st, 2nd image sensor (speckle detector), 51, 52...
・Second cylindrical lens (beam shaper),
53.54... Second and second collimator lenses. Z. Applicant's agent: Patent Attorney Takehiko Takehiko
Claims (1)
なる第1、第2のレーザ光線をそれぞれ照射する第1、
第2のレーザ光源と、この第1、第2のレーザ光源から
発生した第1、第2のレーザ光線を長方形に整形する第
1、第2のシリンドリカルレンズと、この第1、第2の
シリンドリカルレンズにより長方形となった第1、第2
のレーザ光線を平行にし、そのレーザビーム照射領域を
変形方向に拡大する第1、第2のコリメータレンズと、
この第1、第2のコリメータレンズを介して放射される
レーザ光線による前記物体表面から法線方向に反射した
合成レーザ反射光を二方向に分割するビームスプリッタ
と、このビームスプリッタにて分割された一方の光に含
まれる前記第1のレーザ光線のみを透過する第1のフィ
ルタと、この第1のフィルタを透過した第1のレーザ光
線のスペックルを検出する第1のスペックル検出器と、
前記ビームスプリッタにて分割された他方の光に含まれ
る前記第2のレーザ光線のみを透過する第2のフィルタ
と、この第2のフィルタを透過した第2のレーザ光線の
スペックルを検出する第2のスペックル検出器と、前記
第1、第2のスペックル検出器でそれぞれ検出された光
のスペックル移動量の差に基いて前記物体における歪の
変化を算出する演算手段とを具備したことを特徴とする
レーザ・スペックル歪計測装置。a first laser beam that irradiates the surface of an object with first and second laser beams having different wavelengths from two directions at the same positive and negative incident angles;
a second laser light source, first and second cylindrical lenses that shape the first and second laser beams generated from the first and second laser light sources into rectangles; The first and second parts are rectangular due to the lens.
first and second collimator lenses that make the laser beam parallel and expand the laser beam irradiation area in the deformation direction;
A beam splitter that splits the combined laser reflected light reflected in the normal direction from the object surface by the laser beam emitted through the first and second collimator lenses into two directions; a first filter that transmits only the first laser beam included in one light; a first speckle detector that detects speckles of the first laser beam that has passed through the first filter;
a second filter that transmits only the second laser beam included in the other light split by the beam splitter; and a second filter that detects speckles of the second laser beam that has passed through the second filter. 2 speckle detectors, and calculation means for calculating a change in strain in the object based on a difference in the amount of speckle movement of the light detected by the first and second speckle detectors, respectively. A laser speckle distortion measuring device characterized by the following.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11767689A JPH02296103A (en) | 1989-05-11 | 1989-05-11 | Laser-speckle-strain measuring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11767689A JPH02296103A (en) | 1989-05-11 | 1989-05-11 | Laser-speckle-strain measuring apparatus |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02296103A true JPH02296103A (en) | 1990-12-06 |
Family
ID=14717532
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11767689A Pending JPH02296103A (en) | 1989-05-11 | 1989-05-11 | Laser-speckle-strain measuring apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02296103A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6188483B1 (en) | 1997-12-03 | 2001-02-13 | Dr. Ettemeyer Gmbh & Co. | Method and apparatus for determining deformation and elongation on curved bodies |
CN111322954A (en) * | 2020-03-19 | 2020-06-23 | 北京神工科技有限公司 | Assembly tool pose measuring method and device, storage medium and electronic equipment |
-
1989
- 1989-05-11 JP JP11767689A patent/JPH02296103A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6188483B1 (en) | 1997-12-03 | 2001-02-13 | Dr. Ettemeyer Gmbh & Co. | Method and apparatus for determining deformation and elongation on curved bodies |
CN111322954A (en) * | 2020-03-19 | 2020-06-23 | 北京神工科技有限公司 | Assembly tool pose measuring method and device, storage medium and electronic equipment |
CN111322954B (en) * | 2020-03-19 | 2021-07-27 | 北京神工科技有限公司 | Assembly tool pose measuring method and device, storage medium and electronic equipment |
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