JPH0229546U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0229546U JPH0229546U JP1988107159U JP10715988U JPH0229546U JP H0229546 U JPH0229546 U JP H0229546U JP 1988107159 U JP1988107159 U JP 1988107159U JP 10715988 U JP10715988 U JP 10715988U JP H0229546 U JPH0229546 U JP H0229546U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- ferromagnetic thin
- patterns
- magnetic sensor
- pattern
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 6
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- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims 2
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Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Description
第１図は本考案を説明する為の平面図、第２図
は従来例を説明する為の平面図、第３図はＦＧセ
ンサーと信号磁界の関係を示す図である。 １１は絶縁基板、１２Ａ乃至１２Ｉは強磁性薄
膜パターン、１３は接続電極、１４はスルーホー
ルである。
は従来例を説明する為の平面図、第３図はＦＧセ
ンサーと信号磁界の関係を示す図である。 １１は絶縁基板、１２Ａ乃至１２Ｉは強磁性薄
膜パターン、１３は接続電極、１４はスルーホー
ルである。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 基板上に一定間隔で平行に延在せしめた強
磁性薄膜パターンを多数本設け、その表面を覆う
層間絶縁膜上にスルーホールを介して前記強磁性
薄膜パターンの端部と接続する接続電極を設ける
ことにより、隣接する前記強磁性薄膜パターンの
折り返しパターンから成る感磁部を２箇所に形成
し、且つ前記スルーホールを設ける位置を変える
ことにより、前記２つの感磁部間の間隔を変更可
能にしたことを特徴とする磁気センサ。 (2) 前記強磁性薄膜はＮｉＦｅ合金又はＮｉＣ
ｏ合金から成ることを特徴とする請求項第１項に
記載の磁気センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988107159U JPH0229546U (ja) | 1988-08-12 | 1988-08-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988107159U JPH0229546U (ja) | 1988-08-12 | 1988-08-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0229546U true JPH0229546U (ja) | 1990-02-26 |
Family
ID=31341322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988107159U Pending JPH0229546U (ja) | 1988-08-12 | 1988-08-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0229546U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004039837A (ja) * | 2002-07-03 | 2004-02-05 | Japan Science & Technology Corp | 磁界検出素子 |
-
1988
- 1988-08-12 JP JP1988107159U patent/JPH0229546U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004039837A (ja) * | 2002-07-03 | 2004-02-05 | Japan Science & Technology Corp | 磁界検出素子 |
| JP4512709B2 (ja) * | 2002-07-03 | 2010-07-28 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 磁界検出素子 |