JPH02293608A - 複数の光学計測反射器の走査方法および走査装置 - Google Patents
複数の光学計測反射器の走査方法および走査装置Info
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- JPH02293608A JPH02293608A JP2097426A JP9742690A JPH02293608A JP H02293608 A JPH02293608 A JP H02293608A JP 2097426 A JP2097426 A JP 2097426A JP 9742690 A JP9742690 A JP 9742690A JP H02293608 A JPH02293608 A JP H02293608A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 30
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 19
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 18
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims abstract description 81
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 3
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 239000004568 cement Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000010339 dilation Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C15/00—Surveying instruments or accessories not provided for in groups G01C1/00 - G01C13/00
- G01C15/002—Active optical surveying means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/499—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00 using polarisation effects
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、基準として放射される小さい拡開度の光学走
査光線、殊にレーザ形式の光線を、それぞれの対象物体
の空間内における位置に対応する角度で位置検出器に対
して反射するよう各々配置された複数の光学計測反射器
からなり、前記光学電子位置検出器が、反射された走査
光線入射点の位置検出器基準点からの距離の大きさおよ
び必要な場合には方向に対応する電気計測データ信号を
供給する複数の光学計測反射器の走査方法あるいは同じ
く、直角屋根プリズムを、それらの斜辺平面が入射走査
光線に対して一般に平行となるよう配置する形式の計測
反射器を使用する前記方法の変形態様に関する。本発明
は、また、このような方法を実施するための装置に関す
る。
査光線、殊にレーザ形式の光線を、それぞれの対象物体
の空間内における位置に対応する角度で位置検出器に対
して反射するよう各々配置された複数の光学計測反射器
からなり、前記光学電子位置検出器が、反射された走査
光線入射点の位置検出器基準点からの距離の大きさおよ
び必要な場合には方向に対応する電気計測データ信号を
供給する複数の光学計測反射器の走査方法あるいは同じ
く、直角屋根プリズムを、それらの斜辺平面が入射走査
光線に対して一般に平行となるよう配置する形式の計測
反射器を使用する前記方法の変形態様に関する。本発明
は、また、このような方法を実施するための装置に関す
る。
レーザ光線を用いる計測装置は、しばしば、鏡、プリズ
ムおよびこの種のものからなる異なる複数の計測反射器
を含み、そしてこれらの反射器は、これらに投射される
レーザ光線を反射して位置検出器に対するその時々の位
置をそれぞれ読み取りもしくは検出し、位置検出器は、
計測位置に対応しかつ検出器平面内における反射光源の
入射位置に準拠する信号を供給する。
ムおよびこの種のものからなる異なる複数の計測反射器
を含み、そしてこれらの反射器は、これらに投射される
レーザ光線を反射して位置検出器に対するその時々の位
置をそれぞれ読み取りもしくは検出し、位置検出器は、
計測位置に対応しかつ検出器平面内における反射光源の
入射位置に準拠する信号を供給する。
この方法のために設計された公知の方法においては、各
計測反射器に対して、別々の光線源を有する別々のレー
ザ光線と、ならびに別々の位置検出器とが備えられてい
た。このことは、装置を複雑化すると共に、計測．反射
器の異なる計測位置から導かれる計測データを得るため
に、それぞれのレーザ光線および位置検出器の相互間に
おける整合を必要とする。
計測反射器に対して、別々の光線源を有する別々のレー
ザ光線と、ならびに別々の位置検出器とが備えられてい
た。このことは、装置を複雑化すると共に、計測．反射
器の異なる計測位置から導かれる計測データを得るため
に、それぞれのレーザ光線および位置検出器の相互間に
おける整合を必要とする。
本発明の目的は、前記方法を達成するために必要とされ
る装置の複雑性を実質的に減少することにある。
る装置の複雑性を実質的に減少することにある。
これと同時に、本発明の別の目的は、複数のレーザ光線
および位置検出器の特別の整合を不要とすることにより
、従来より簡単な方法で正確な計算データを得られるよ
うにすることである。
および位置検出器の特別の整合を不要とすることにより
、従来より簡単な方法で正確な計算データを得られるよ
うにすることである。
本発明によれば、前記およびその他の目的を達成するた
めに用いられる第１の形式の方法は、総ての計測反射器
に対して共通の放射線源ならびに共通の位置検出器が使
用され、かつ （ａ）放射線源によって放射された走査光線が計測反射
器の数に対応する数の光線部分に分割され、そしてその
それぞれが前記反射器の中のそれぞれ別の反射器へ指向
され、（ｂ）光線部分が偏光され、 （ｃ）偏光された光線部分の偏光が個々の反射器に到達
される前に分析され、そしてそれぞれの光線部分は、そ
の偏光方向がそれぞれの反射器に対応する方向に合致し
た時にのみその反射器への到達を許容され、そして （ｄ）偏光された光線部分の偏光方向はそれらの偏光平
面の制御された回転によって、偏光分析器に到達する前
に、単一の反射器の場合には前記偏光方向が反射器に設
定された偏光方向と合致し一方その他の場合には一般に
これと直交するように選択、設定される ことを特徴とする。
めに用いられる第１の形式の方法は、総ての計測反射器
に対して共通の放射線源ならびに共通の位置検出器が使
用され、かつ （ａ）放射線源によって放射された走査光線が計測反射
器の数に対応する数の光線部分に分割され、そしてその
それぞれが前記反射器の中のそれぞれ別の反射器へ指向
され、（ｂ）光線部分が偏光され、 （ｃ）偏光された光線部分の偏光が個々の反射器に到達
される前に分析され、そしてそれぞれの光線部分は、そ
の偏光方向がそれぞれの反射器に対応する方向に合致し
た時にのみその反射器への到達を許容され、そして （ｄ）偏光された光線部分の偏光方向はそれらの偏光平
面の制御された回転によって、偏光分析器に到達する前
に、単一の反射器の場合には前記偏光方向が反射器に設
定された偏光方向と合致し一方その他の場合には一般に
これと直交するように選択、設定される ことを特徴とする。
第２の形式の方法、すなわち直角屋根プリズム形状の計
測反射器を使用する場合には、前記直角屋根プリズムは
、その斜辺平面がこれに入射される走査光線に対して一
般に直交されるように配設されており、そしてこの方法
には、総ての屋根プリズムに対して共通の光線放射器お
よび共通の位置検出器が使用され、そして （１）屋根プリズムは、入射走査光線の方向に前後して
配置され、 （ｂ）走査光線は偏光され、 （ｅ）少くとも最後尾の前に配置されるプリズムの材料
は、走査光線の方向に整列、配置されるプリズムのそれ
ぞれの屋根面における走査光線の入射角度がブルースタ
角に等しくなるように選定され、そして （ｄ）偏光された走査光線の偏光平面は、最後尾のプリ
ズムの前における制御された回転によって、走査のため
に選択されたプリズムにおける走査光線が投射される屋
根面では他の屋根面に対する反射が行われるが一方走査
光線の方向に配置される屋根面あるいはその前方の総て
のプリズムは走査光線の通過を許容するように設定され
る。
測反射器を使用する場合には、前記直角屋根プリズムは
、その斜辺平面がこれに入射される走査光線に対して一
般に直交されるように配設されており、そしてこの方法
には、総ての屋根プリズムに対して共通の光線放射器お
よび共通の位置検出器が使用され、そして （１）屋根プリズムは、入射走査光線の方向に前後して
配置され、 （ｂ）走査光線は偏光され、 （ｅ）少くとも最後尾の前に配置されるプリズムの材料
は、走査光線の方向に整列、配置されるプリズムのそれ
ぞれの屋根面における走査光線の入射角度がブルースタ
角に等しくなるように選定され、そして （ｄ）偏光された走査光線の偏光平面は、最後尾のプリ
ズムの前における制御された回転によって、走査のため
に選択されたプリズムにおける走査光線が投射される屋
根面では他の屋根面に対する反射が行われるが一方走査
光線の方向に配置される屋根面あるいはその前方の総て
のプリズムは走査光線の通過を許容するように設定され
る。
前記目的を達成するための、本発明に係る第１の形式の
装置は、小一拡開度の入射光学走査光線、殊にレーザ光
線で形成される走査光線の位置一対応反射のための反射
器からなり、各反射器は基準としての走査光線を放射す
る放射線源と反射された走査光線を受取る位置検出器と
を組合わされている装置において、 （ａ）総ての反射器に共通する、走査光線用の単一の放
射線源と、 （ｂ）総ての反射器に共通する単一の位置検出器と、 （ｃ）放射線源によって放射された走査光線を、それぞ
れの反射器へ向けて指向される各光線部分に分割する光
線分割装置と、 （（１）光線部分を線形偏光するための偏光装置と、 （ｅ）光線部分の偏光平面を約９０°制御回転するため
の、偏光方向回転装置としての装置と、および （ｆ）偏光回転装置と各それぞれの光線部分に対する反
射器との間に配置されるそれぞれの偏光分析器とからな
ることを特徴とする。
装置は、小一拡開度の入射光学走査光線、殊にレーザ光
線で形成される走査光線の位置一対応反射のための反射
器からなり、各反射器は基準としての走査光線を放射す
る放射線源と反射された走査光線を受取る位置検出器と
を組合わされている装置において、 （ａ）総ての反射器に共通する、走査光線用の単一の放
射線源と、 （ｂ）総ての反射器に共通する単一の位置検出器と、 （ｃ）放射線源によって放射された走査光線を、それぞ
れの反射器へ向けて指向される各光線部分に分割する光
線分割装置と、 （（１）光線部分を線形偏光するための偏光装置と、 （ｅ）光線部分の偏光平面を約９０°制御回転するため
の、偏光方向回転装置としての装置と、および （ｆ）偏光回転装置と各それぞれの光線部分に対する反
射器との間に配置されるそれぞれの偏光分析器とからな
ることを特徴とする。
本発明に係る第２の形式の装置は、小一拡開度の入射光
学光線、殊にレーザ光線で形成される光線を位置一対応
反射するための直角屋根プリズムが使用され、各屋根プ
リズムに対して、走査光線を基準光線として放射する放
射線源と反射走査光源を受取る位置検出器とが組合され
得る装置において、 （ａ）総ての屋根プリズムに共通する、走査光線のため
の単一の放射線源と、 （ｂ）総ての屋根プリズムに共通する単一の位置検出器
とを有し、 （ｃ）前記プリズムは入射走査光線の方向に連続して整
列されており、 （ｄ）走査光線を、最前列の屋根プリズムに到達する前
に線形偏光するための偏光装置と、（ｅ）走査光線の偏
光平面を約９０°の角度範囲で制御回転するために、偏
光装置と最前列の屋根プリズムとの間に配設される、偏
光方向回転装置としての装置とを有し、少くとも最後尾
の前面にあるプリズムの材料は、走査光線の方向に整列
されるプリズムのそれぞれの屋根面における走査光線の
入射角度がブルースタ角に等しくなるように選定されて
いることを特徴とする。
学光線、殊にレーザ光線で形成される光線を位置一対応
反射するための直角屋根プリズムが使用され、各屋根プ
リズムに対して、走査光線を基準光線として放射する放
射線源と反射走査光源を受取る位置検出器とが組合され
得る装置において、 （ａ）総ての屋根プリズムに共通する、走査光線のため
の単一の放射線源と、 （ｂ）総ての屋根プリズムに共通する単一の位置検出器
とを有し、 （ｃ）前記プリズムは入射走査光線の方向に連続して整
列されており、 （ｄ）走査光線を、最前列の屋根プリズムに到達する前
に線形偏光するための偏光装置と、（ｅ）走査光線の偏
光平面を約９０°の角度範囲で制御回転するために、偏
光装置と最前列の屋根プリズムとの間に配設される、偏
光方向回転装置としての装置とを有し、少くとも最後尾
の前面にあるプリズムの材料は、走査光線の方向に整列
されるプリズムのそれぞれの屋根面における走査光線の
入射角度がブルースタ角に等しくなるように選定されて
いることを特徴とする。
本発明に係る方法によれば、一方の第１形式で規定され
るものにおいても他方の第２形式で規定されるものにお
いても、唯１つのレ一ザ光線のみが、走査のためにある
いは個々の計測反射器を送信・応答させるために最初に
発生する。したがって、放射線源は唯１つのみが必要で
ある。本発明に係る第１形式の方法によれば、前記最初
のレーザ光線は光線部分に分割され、この光線部分が反
射器に指向し、そして反射器からその位置に対応して反
射される。光線部分は、その中の１つだけが、関連する
反射器への通過を許容され、そしてこの反射器によって
総ての光線部分に共通する位置検出器へ向けて反射され
る。個々の反射器の送信●応答は時系列的に達成される
。何となれば、反射器へ到達しこれによって反射され得
る光線部分は常に異なっており、その他の総ての光線部
分は阻止されるからである。
るものにおいても他方の第２形式で規定されるものにお
いても、唯１つのレ一ザ光線のみが、走査のためにある
いは個々の計測反射器を送信・応答させるために最初に
発生する。したがって、放射線源は唯１つのみが必要で
ある。本発明に係る第１形式の方法によれば、前記最初
のレーザ光線は光線部分に分割され、この光線部分が反
射器に指向し、そして反射器からその位置に対応して反
射される。光線部分は、その中の１つだけが、関連する
反射器への通過を許容され、そしてこの反射器によって
総ての光線部分に共通する位置検出器へ向けて反射され
る。個々の反射器の送信●応答は時系列的に達成される
。何となれば、反射器へ到達しこれによって反射され得
る光線部分は常に異なっており、その他の総ての光線部
分は阻止されるからである。
第２形式の方法においては、反射器（この形式の方法で
は前後に配設される屋根プリズムから形成される）に対
して送信・応答するレーザ光線の供給が行われる。何と
なれば、異なるブルースタ角が異なる屋根プリズムに設
定されており、これにより、１つのプリズムがある時点
で反射状態にもたらされると、その前方に配設されてい
る他の総てのプリズムは送信・応答するレーザ光線に対
して透明を維持されるように構成されているからである
。この場合も、第１形式の方法におけると同様に、共通
の放射線源によって発生される唯１つのレーザ光線と、
総ての反射光線に対する唯１つの位置検出器とが存在さ
れるだけである。
は前後に配設される屋根プリズムから形成される）に対
して送信・応答するレーザ光線の供給が行われる。何と
なれば、異なるブルースタ角が異なる屋根プリズムに設
定されており、これにより、１つのプリズムがある時点
で反射状態にもたらされると、その前方に配設されてい
る他の総てのプリズムは送信・応答するレーザ光線に対
して透明を維持されるように構成されているからである
。この場合も、第１形式の方法におけると同様に、共通
の放射線源によって発生される唯１つのレーザ光線と、
総ての反射光線に対する唯１つの位置検出器とが存在さ
れるだけである。
２つの代案、すなわち前述した第１および第２形式の方
法は、このように、装置の構成を効果的に簡単ならしめ
る。そして、複数の最初のレーザ光線と複数の位置検出
器との整合は、唯１つの共通放射線源と唯１つの共通位
置検出器との使用により、もはや必要とされない。
法は、このように、装置の構成を効果的に簡単ならしめ
る。そして、複数の最初のレーザ光線と複数の位置検出
器との整合は、唯１つの共通放射線源と唯１つの共通位
置検出器との使用により、もはや必要とされない。
本発明に係るさらに別の形式は、特許請求の範囲内に記
載されている。
載されている。
次に、本発明の実施例につき略図的に示す添付図面を参
照しながら以下詳細に説明する。
照しながら以下詳細に説明する。
第１図に示す装置において、放射線源Ｓが極めて小さい
拡開度の電磁放射線、この場合は、また本発明の別の場
合も同様であるが、レーザ光線Ｌ１を発生し、このレー
ザ光線が偏光フィルタ１を通過してハウジング２内へ進
入する。ハウジング内には、互いに直角な反射面を有す
る２つの計測反射器３ａおよび３ｂと、部品間に固定３
一次元関係を備えた連結電子回路５を有する光ダイオー
ドアレイ４とが備えられている。光ダイオードアレイ４
は計測反射器３ａに平行でかつ一般にこれと対向する入
射平面を有する。ハウジング内には、半一透明鏡６が、
その鏡面が計測反射器３ａおよび３ｂの反射面間の角度
を二等分するようにして配設されている。レーザ光線Ｌ
１は、この鏡に対してその鏡面に約４５°の角度で入射
し、そして２つの光線部分？ｌ．およびＬ １ ２に分
割される。その中の１つ（Ｌ１，）は計測反射器３ａの
反射面に対して一般に直交し、他の１つ（Ｌ１２）は計
測反射器３ｂの反射面に対して一般に垂直になるように
指向する。光線部分Ｌ １ ｓおよびＬ１■の経路中に
は偏光回転装置７ａおよび７ｂがそれぞれ配設され、そ
して後者とそれぞれの計測反射器３ａおよび３ｂとの間
には、偏光フィルタ形式の偏光分析器８ａおよび８ｂが
それぞれ設けられる。偏光分析器７ａおよび７ｂは、一
般に、相互に同一の偏光方向を有する。
拡開度の電磁放射線、この場合は、また本発明の別の場
合も同様であるが、レーザ光線Ｌ１を発生し、このレー
ザ光線が偏光フィルタ１を通過してハウジング２内へ進
入する。ハウジング内には、互いに直角な反射面を有す
る２つの計測反射器３ａおよび３ｂと、部品間に固定３
一次元関係を備えた連結電子回路５を有する光ダイオー
ドアレイ４とが備えられている。光ダイオードアレイ４
は計測反射器３ａに平行でかつ一般にこれと対向する入
射平面を有する。ハウジング内には、半一透明鏡６が、
その鏡面が計測反射器３ａおよび３ｂの反射面間の角度
を二等分するようにして配設されている。レーザ光線Ｌ
１は、この鏡に対してその鏡面に約４５°の角度で入射
し、そして２つの光線部分？ｌ．およびＬ １ ２に分
割される。その中の１つ（Ｌ１，）は計測反射器３ａの
反射面に対して一般に直交し、他の１つ（Ｌ１２）は計
測反射器３ｂの反射面に対して一般に垂直になるように
指向する。光線部分Ｌ １ ｓおよびＬ１■の経路中に
は偏光回転装置７ａおよび７ｂがそれぞれ配設され、そ
して後者とそれぞれの計測反射器３ａおよび３ｂとの間
には、偏光フィルタ形式の偏光分析器８ａおよび８ｂが
それぞれ設けられる。偏光分析器７ａおよび７ｂは、一
般に、相互に同一の偏光方向を有する。
偏光器１は入射レーザ光線Ｌ１を、例えば図示平面に平
行な方向に偏光し、したがって光線部分Ｌｌ，およびＬ
１２も同様に同一の方向に偏光される。しかしながら、
偏光方向回転装置は、相互の間において、それらの中の
１つは入射光線部分の偏光方向を９０°回転し、一方他
の１つは偏光方向を変化しないように設定される。偏光
方向回転装置７ａおよび７ｂは、その中の偏光方向を回
転するものが白色領域で、回転を発生しないものが斜線
領域で示されている。偏光器の偏光方向は偏光器１内で
発生されるレーザ光線Ｌ１の偏光に対して直角であるの
で、第１図において、偏光方向を回転することなく計測
反射器３ａへ向けて上向きに指向される方の光線部分Ｌ
１は、計測反射器３ａへの経路上における偏光分析器８
ａによって阻止される。しかしながら、別の光線部分Ｌ
１ ２は、その偏光平面が偏光回転装置７ｂによって
９０°捩じられる結果分析器８ｂのそれと同一となるの
で、計測反射器３ｂへ到達し、そしてこれにより、入射
光線部分ＬＬ．に関連するそれぞれの計測設定に準拠し
て反射される。このような反射は同位角となる。偏光方
向が同一であるので、反射光線は分析器を通過し、偏光
方向回転装置７ｂによって反転され、入射光線部分Ｌ１
２の元の偏光方向に沿って進行し、そしてこの偏光方向
をもって偏光器１から外部へ？して位置検出器へと逆進
する。位置検出器は、検出平面上の反射光線の入射点に
準拠して、検出平面内における基準点に関連する電気信
号を供給する。
行な方向に偏光し、したがって光線部分Ｌｌ，およびＬ
１２も同様に同一の方向に偏光される。しかしながら、
偏光方向回転装置は、相互の間において、それらの中の
１つは入射光線部分の偏光方向を９０°回転し、一方他
の１つは偏光方向を変化しないように設定される。偏光
方向回転装置７ａおよび７ｂは、その中の偏光方向を回
転するものが白色領域で、回転を発生しないものが斜線
領域で示されている。偏光器の偏光方向は偏光器１内で
発生されるレーザ光線Ｌ１の偏光に対して直角であるの
で、第１図において、偏光方向を回転することなく計測
反射器３ａへ向けて上向きに指向される方の光線部分Ｌ
１は、計測反射器３ａへの経路上における偏光分析器８
ａによって阻止される。しかしながら、別の光線部分Ｌ
１ ２は、その偏光平面が偏光回転装置７ｂによって
９０°捩じられる結果分析器８ｂのそれと同一となるの
で、計測反射器３ｂへ到達し、そしてこれにより、入射
光線部分ＬＬ．に関連するそれぞれの計測設定に準拠し
て反射される。このような反射は同位角となる。偏光方
向が同一であるので、反射光線は分析器を通過し、偏光
方向回転装置７ｂによって反転され、入射光線部分Ｌ１
２の元の偏光方向に沿って進行し、そしてこの偏光方向
をもって偏光器１から外部へ？して位置検出器へと逆進
する。位置検出器は、検出平面上の反射光線の入射点に
準拠して、検出平面内における基準点に関連する電気信
号を供給する。
半一透明鏡６の通過に際し、反射光線部分Ｌ２■からさ
らに光線部分Ｌ３が分割され、そしてこの光線部分Ｌ３
は光ダイオードアレイ４に投射される。この光線部分Ｌ
３は、ダイオードアレイおよび電子回路５と協働されて
、偏光回転装置７ａおよび７ｂを、時計の制御下でもし
くはレーザ光線を変調する信号手段によって、それぞれ
反対方向へ切換える。
らに光線部分Ｌ３が分割され、そしてこの光線部分Ｌ３
は光ダイオードアレイ４に投射される。この光線部分Ｌ
３は、ダイオードアレイおよび電子回路５と協働されて
、偏光回転装置７ａおよび７ｂを、時計の制御下でもし
くはレーザ光線を変調する信号手段によって、それぞれ
反対方向へ切換える。
前記信号は復調後電子回路５内で評価される。
第２図は、第１図に対して、偏光回転装置８ａおよび８
ｂが変換されていることだけ異なっている。本実施例の
場合は、偏光回転装置８ａは、反射器３ａへ通過する上
向き光線部分ＬＬ．の偏光方向を回転し、一方偏光回転
装置８ｂは、光線部分Ｌ １ ２の偏光方向を偏光しな
い。したがって、光線部分Ｌ １ ＞は計測反射器に到
達し、光線部分Ｌ１２は戻される。光線部分Ｌｌ．の反
射は、第１図に関連して前述した方法によって行われる
。
ｂが変換されていることだけ異なっている。本実施例の
場合は、偏光回転装置８ａは、反射器３ａへ通過する上
向き光線部分ＬＬ．の偏光方向を回転し、一方偏光回転
装置８ｂは、光線部分Ｌ １ ２の偏光方向を偏光しな
い。したがって、光線部分Ｌ １ ＞は計測反射器に到
達し、光線部分Ｌ１２は戻される。光線部分Ｌｌ．の反
射は、第１図に関連して前述した方法によって行われる
。
偏光器７ａおよび７ｂは電圧一制御液体クリスタル要素
に形成することができ、これはこの目的に特に好適であ
る。
に形成することができ、これはこの目的に特に好適であ
る。
第３および４図に示す設計は、第１および２図に示す設
計とは異なり、偏光回転装置７ａ’および７ｂ’ならび
にさらに分析器８ａ’および８ｂ’が半一透明鏡６に対
してそれぞれ平行になるように配置されている。
計とは異なり、偏光回転装置７ａ’および７ｂ’ならび
にさらに分析器８ａ’および８ｂ’が半一透明鏡６に対
してそれぞれ平行になるように配置されている。
すなれち、これらは、入射光線部分Ｌｌ．およびＬ１２
に対してそれぞれ４５°の角度に配置され、これにより
、破線で図示されている放射部分一各構成要素の入射面
において不可避的に反射されるーは、それぞれの入射光
線部分Ｌ １ ｓおよびＬ１２に対してそれぞれ直角方
向に横方向へ放射され、したがって進入光線部分内へ戻
り指向されることがなく、何等の干渉を引起すことがな
い。
に対してそれぞれ４５°の角度に配置され、これにより
、破線で図示されている放射部分一各構成要素の入射面
において不可避的に反射されるーは、それぞれの入射光
線部分Ｌ １ ｓおよびＬ１２に対してそれぞれ直角方
向に横方向へ放射され、したがって進入光線部分内へ戻
り指向されることがなく、何等の干渉を引起すことがな
い。
？置の他の機能に関しては、第１および２図に示す装置
のそれと同様であるが、第３および４図には、また、偏
光回転装置７ａ’ および７ｂ’のそれぞれの光線経路
に関する異なる設置が示されている。
のそれと同様であるが、第３および４図には、また、偏
光回転装置７ａ’ および７ｂ’のそれぞれの光線経路
に関する異なる設置が示されている。
第５および６図の装置は、第１および２図の装置に対し
て、偏向器１′ならびに偏光方向回転装置７′が、ハウ
ジング２内に組合せ状に収納され、かつ放射線源Ｓによ
って放射されるレーザ光線Ｌ１の主経路内に直接配置さ
れる要素と協働される点において異なる。
て、偏向器１′ならびに偏光方向回転装置７′が、ハウ
ジング２内に組合せ状に収納され、かつ放射線源Ｓによ
って放射されるレーザ光線Ｌ１の主経路内に直接配置さ
れる要素と協働される点において異なる。
この方法においても、２つの光線部分Ｌ１１およびＬ１
■は偏光器８ａおよび８ｂに対して同一の偏光で到達さ
れるが、偏光器の偏光方向（この場合異なっている）に
よって、何れの場合にも、光線部分の１つだけが通過を
許容され他の１つは阻止される。この場合、光線部分の
偏光方向は連鎖的に偏光され得るので、一方の反射器３
ａから他方（３ｂ）への所望の切換えを共通の偏光回転
装置７１によって達成することができる。
■は偏光器８ａおよび８ｂに対して同一の偏光で到達さ
れるが、偏光器の偏光方向（この場合異なっている）に
よって、何れの場合にも、光線部分の１つだけが通過を
許容され他の１つは阻止される。この場合、光線部分の
偏光方向は連鎖的に偏光され得るので、一方の反射器３
ａから他方（３ｂ）への所望の切換えを共通の偏光回転
装置７１によって達成することができる。
第５および６図には、光線経路に対してそれぞれ異なる
２つの位置に設定された偏光回転装置７′が示されてい
る。
２つの位置に設定された偏光回転装置７′が示されてい
る。
第７および８図に示す装置の場合には、２つの屋根プリ
ズム１０および１１がレーザ光線Ｌ（その光源は図示さ
れていない）の経路内に互いに前後に離間して配置され
、レーザ光線Ｌが、屋根プリズムのそれぞれの直角三角
形斜辺平面１０ｂおよび１１ｂ上に投射され得るように
構成されている。前記平面は、これらの平面に一般に直
交するそれぞれの頂上線１０ａおよびｌｌａにそれぞれ
対向している。屋根プリズムは、相互に、それらの頂上
線１０ａおよびｌｌａが互いに一般に直角に延在される
ように整列される。屋根プリズム１０および１１は、相
互に、それらの頂上線１０ａおよびｌｌａが互いに一般
に直角に延在されるように整列される。屋根プリズム１
０および１１間の空間内にはガラス充填部材１３が隙間
１２を残すようにして部分的に充填される。レーザ光線
Ｌの経路上には図示しない偏光器が配設され、そしてこ
れと第１のプリズム１０との間には、例えば液体クリス
タル要素からなる偏光回転装置１４が設けられる。レー
ザ光線Ｌの経路内に平行斜線を描かれている四角形は所
定の、例えばＥベクトルが図示される紙面に平行な偏光
方向を示し、一方、互いに直交する線を描かれている四
角形はこれに直交する、すなわちこの場合にはＥベクト
ルが図示される紙面に直交する方向の偏向方向を示して
いる。第７および８図を一見すると、偏光回転装置を用
いて、発生されるレーザ光線Ｌの偏光方向を入射レーザ
光線に関して９０°回転し得ることは明らかに理解され
るであろう。
ズム１０および１１がレーザ光線Ｌ（その光源は図示さ
れていない）の経路内に互いに前後に離間して配置され
、レーザ光線Ｌが、屋根プリズムのそれぞれの直角三角
形斜辺平面１０ｂおよび１１ｂ上に投射され得るように
構成されている。前記平面は、これらの平面に一般に直
交するそれぞれの頂上線１０ａおよびｌｌａにそれぞれ
対向している。屋根プリズムは、相互に、それらの頂上
線１０ａおよびｌｌａが互いに一般に直角に延在される
ように整列される。屋根プリズム１０および１１は、相
互に、それらの頂上線１０ａおよびｌｌａが互いに一般
に直角に延在されるように整列される。屋根プリズム１
０および１１間の空間内にはガラス充填部材１３が隙間
１２を残すようにして部分的に充填される。レーザ光線
Ｌの経路上には図示しない偏光器が配設され、そしてこ
れと第１のプリズム１０との間には、例えば液体クリス
タル要素からなる偏光回転装置１４が設けられる。レー
ザ光線Ｌの経路内に平行斜線を描かれている四角形は所
定の、例えばＥベクトルが図示される紙面に平行な偏光
方向を示し、一方、互いに直交する線を描かれている四
角形はこれに直交する、すなわちこの場合にはＥベクト
ルが図示される紙面に直交する方向の偏向方向を示して
いる。第７および８図を一見すると、偏光回転装置を用
いて、発生されるレーザ光線Ｌの偏光方向を入射レーザ
光線に関して９０°回転し得ることは明らかに理解され
るであろう。
第７および８図の装置の場合には、ブルースタ角の効果
は送信・応答を１つの屋根プリズムから他の屋根プリズ
ムへ切換えるために用いられる。ブルースタ角は、１つ
の媒体から他の媒体への通過に関し媒体の屈折率を考慮
して次のように定義される。
は送信・応答を１つの屋根プリズムから他の屋根プリズ
ムへ切換えるために用いられる。ブルースタ角は、１つ
の媒体から他の媒体への通過に関し媒体の屈折率を考慮
して次のように定義される。
ブノレースタ角＝アークタンジェン｝ （ ｎ ２
／ ｎ １ ）もし、偏光光線がこの角において媒
体間の界面に到達すると、光線、この場合レーザ光線Ｌ
の偏光方向における変化が媒体界面の反射率の変化、す
なわち反射から透過への変換あるいはその逆の変換を引
起すであろう。この効果を利用゜し得るように、第１の
プリズム１０はその鏡面を何等被覆されていないという
意味で光に対して透明でなければならない。
／ ｎ １ ）もし、偏光光線がこの角において媒
体間の界面に到達すると、光線、この場合レーザ光線Ｌ
の偏光方向における変化が媒体界面の反射率の変化、す
なわち反射から透過への変換あるいはその逆の変換を引
起すであろう。この効果を利用゜し得るように、第１の
プリズム１０はその鏡面を何等被覆されていないという
意味で光に対して透明でなければならない。
第２のプリズム１１はその鏡面を被覆し、この場合は第
１のプリズムの場合のように、屋根面に投射される光が
、他の屋根面に反射される際にあるいはさらに他の屋根
面から図示されていない位置検出器に新たに反射される
際に、偏光方向を何等変化されないようにしなければな
らない。何となれば、このような変化は、空気間隙１２
ならびに屋根プリズム１０を通過する反射光線Ｌ′に干
渉を及ぼすからである。
１のプリズムの場合のように、屋根面に投射される光が
、他の屋根面に反射される際にあるいはさらに他の屋根
面から図示されていない位置検出器に新たに反射される
際に、偏光方向を何等変化されないようにしなければな
らない。何となれば、このような変化は、空気間隙１２
ならびに屋根プリズム１０を通過する反射光線Ｌ′に干
渉を及ぼすからである。
プリズム１０に使用される材料ならびに隙間１２内の材
料、例えば空気あるいは光学セメントは、ブルースタ効
果によって、入射レーザ光線の第７図に示される偏光方
向の場合にはプリズムを透過し、一方、第８図の偏光方
向の場合には入射光線を図示される方法で反射するよう
に選択される。これにより、レーザ光線Ｌは、前者の場
合には後部屋根プリズム１１を送信・応答し、後者の場
合には前部屋根プリズム１０を送信・応答する。反射光
線Ｌ′の検出器基準点に関する入射点は送信・応答され
た屋根プリズム１０あるいは１１のそれぞれの位置を指
示し、そして検出器は対応する信号を供給する。
料、例えば空気あるいは光学セメントは、ブルースタ効
果によって、入射レーザ光線の第７図に示される偏光方
向の場合にはプリズムを透過し、一方、第８図の偏光方
向の場合には入射光線を図示される方法で反射するよう
に選択される。これにより、レーザ光線Ｌは、前者の場
合には後部屋根プリズム１１を送信・応答し、後者の場
合には前部屋根プリズム１０を送信・応答する。反射光
線Ｌ′の検出器基準点に関する入射点は送信・応答され
た屋根プリズム１０あるいは１１のそれぞれの位置を指
示し、そして検出器は対応する信号を供給する。
したがって、第７および８図に係る装置を前述の第２の
方法で操作する場合には、屋根プリズム１０および１１
に対する計測範囲は一般に極めて小さい変位に限定され
る。
方法で操作する場合には、屋根プリズム１０および１１
に対する計測範囲は一般に極めて小さい変位に限定され
る。
屋根プリズムとして現在利用し得る材料では、反射と透
過との間の切換えを完全に行なうことは到底不可能であ
る。この問題は、しかしながら、検出器と新たな反射を
受ける光線Ｌ′の経路とをそれぞれ組合せた計測方法に
よって解決されるが、このような計測方法は、新しい材
料が屋根プリズム１０として利用されるようになると、
後日不必要となるであろう。
過との間の切換えを完全に行なうことは到底不可能であ
る。この問題は、しかしながら、検出器と新たな反射を
受ける光線Ｌ′の経路とをそれぞれ組合せた計測方法に
よって解決されるが、このような計測方法は、新しい材
料が屋根プリズム１０として利用されるようになると、
後日不必要となるであろう。
本発明は、走査光線を位置一対応方法で位置検出器に対
して反射する複数の光学計測反射器からなり、前記位置
検出器は検出平面内における光線入射点位置に対応する
信号を供給する、前記複数の光学計測反射器の走査方法
に関する。従来は、別々の走査光線が各計測反射器に対
して発生され、そしてこれらと協働される別々の位置検
出器が設けられていた。本発明によれば、唯１つの共通
線形走査光線Ｌ１と唯１つの共通検出器Ｄとが設けられ
、そして走査光線の偏光平面を電圧制御下で回転するこ
とによりまたさらに光学手段を用いることにより、走査
光線が所望により選択された計測反射器に対して切換え
られ、そして計測反射器が入射走査光線を、共通位置検
出器Ｄに対して位置一対応方法で反射する。
して反射する複数の光学計測反射器からなり、前記位置
検出器は検出平面内における光線入射点位置に対応する
信号を供給する、前記複数の光学計測反射器の走査方法
に関する。従来は、別々の走査光線が各計測反射器に対
して発生され、そしてこれらと協働される別々の位置検
出器が設けられていた。本発明によれば、唯１つの共通
線形走査光線Ｌ１と唯１つの共通検出器Ｄとが設けられ
、そして走査光線の偏光平面を電圧制御下で回転するこ
とによりまたさらに光学手段を用いることにより、走査
光線が所望により選択された計測反射器に対して切換え
られ、そして計測反射器が入射走査光線を、共通位置検
出器Ｄに対して位置一対応方法で反射する。
第１図および第２図は前記第１形式の方法を実施するた
めの装置の第１実施例を示し、第１および２図は偏光方
向回転手段の異なる設定状態をそれぞれ示す説明図、 第３図および第４図は第１形式の方法を実施するための
装置の第２実施例を示し、第３図および第４図において
は偏光回転装置の設定状態が異なっている場合をそれぞ
れ示す説明図、 第５図および第６図は前記方法を実施するための装置の
第３実施例を示し、第５図および第６図は２つの反射器
に共通する偏光回転手段の設定状態が異なっている場合
をそれぞれ示す説明図、 第７図および第８図は第２形式の方法を実施するための
装置を示し、第７図および第８図は総ての反射器に共通
する偏光回転手段の設定状態が異なっている場合をそれ
ぞれ示す説明図である。 １，１′・・・偏光フィルタ（偏光器）２・・・ハウジ
ング ３ａ．３ｂ・・・計測反射器 ４・・・光ダイオードアレイ ５・・・電子回路 ６・・・半一透明鏡 ７ａ．７ｂ・・・偏光（方向）回転装置７ａ’ ，７ｂ
’・・・偏光（方向）回転装置７′ １４・・・偏光（
方向）回転装置８ａ，８ｂ，８ａ’ ８ｂ’ ・・・
偏光分析器１０．１１・・・屋根プリズム １０ａ，ｌｌａ・・・頂上線 １０ｂ．ｌｌｂ・・・直角三角形の斜辺平面１２・・・
隙間 ・・・ガラス充填部材 Ｓ ・・・放射線源 Ｌ Ｌ， Ｌ′ ・・・レーザ光線 Ｌ Ｌ Ｌ Ｌ Ｆｉｇ．３ ３ａ ＦＩｇ．４ ・・・光線部分 Ｆｉａ５ Ｆ番６ 口４１ 口９２ Ｉ
めの装置の第１実施例を示し、第１および２図は偏光方
向回転手段の異なる設定状態をそれぞれ示す説明図、 第３図および第４図は第１形式の方法を実施するための
装置の第２実施例を示し、第３図および第４図において
は偏光回転装置の設定状態が異なっている場合をそれぞ
れ示す説明図、 第５図および第６図は前記方法を実施するための装置の
第３実施例を示し、第５図および第６図は２つの反射器
に共通する偏光回転手段の設定状態が異なっている場合
をそれぞれ示す説明図、 第７図および第８図は第２形式の方法を実施するための
装置を示し、第７図および第８図は総ての反射器に共通
する偏光回転手段の設定状態が異なっている場合をそれ
ぞれ示す説明図である。 １，１′・・・偏光フィルタ（偏光器）２・・・ハウジ
ング ３ａ．３ｂ・・・計測反射器 ４・・・光ダイオードアレイ ５・・・電子回路 ６・・・半一透明鏡 ７ａ．７ｂ・・・偏光（方向）回転装置７ａ’ ，７ｂ
’・・・偏光（方向）回転装置７′ １４・・・偏光（
方向）回転装置８ａ，８ｂ，８ａ’ ８ｂ’ ・・・
偏光分析器１０．１１・・・屋根プリズム １０ａ，ｌｌａ・・・頂上線 １０ｂ．ｌｌｂ・・・直角三角形の斜辺平面１２・・・
隙間 ・・・ガラス充填部材 Ｓ ・・・放射線源 Ｌ Ｌ， Ｌ′ ・・・レーザ光線 Ｌ Ｌ Ｌ Ｌ Ｆｉｇ．３ ３ａ ＦＩｇ．４ ・・・光線部分 Ｆｉａ５ Ｆ番６ 口４１ 口９２ Ｉ
Claims (18)
- （１）基準として放射される小さい拡開度の光学走査光
線、殊にレーザ形式の光線を、それぞれの対象物体の空
間内における位置に対応する角度で位置検出器に対して
反射するよう各々配置された複数の光学計測反射器から
なり、前記光学電子位置検出器が、反射された走査光線
入射点の位置検出器基準点からの距離の大きさおよび必
要な場合には方向に対応する電気計測データ信号を供給
する複数の光学計測反射器の走査方法において、総ての
計測反射器に対して共通の放射線源ならびに共通の位置
検出器が使用され、かつ （ａ）放射線源によって放射された走査光線が反射器の
数に対応する数の光線部分に分割 され、そしてそのそれぞれが前記反射器の 中のそれぞれ別の反射器へ指向され、 （ｂ）光線部分が偏光され、 （ｃ）偏光された光線部分の偏光が個々の反射器に到達
される前に分析され、そしてそれ ぞれの光線部分は、その偏光方向がそれぞ れの反射器に対応する方向に合致した時に のみその反射器への到達を許容され、そし て （ｄ）偏光された光線部分の偏光方向はそれらの偏光平
面の制御された回転によって、偏 光分析器に到達する前に、単一の反射器の 場合には前記偏光方向が反射器に設定され た偏光方向と合致し一方その他の場合には 一般にこれと直交するように選択、設定さ れる ことを特徴とする複数の光学計測反射器の走査方法。 - （２）小−拡開度の入射光学走査光線、殊にレーザ光線
で形成される走査光線の位置一対応反射のための反射器
からなり、各反射器は基準としての走査光線を放射する
放射線源と反射された走査光線を受取る位置検出器とを
組合わされている装置において、 （ａ）総ての反射器に共通する、走査光線用の単一の放
射線源と、 （ｂ）総ての反射器に共通する単一の位置検出器と、 （ｃ）放射線源によって放射された走査光線を、それぞ
れの反射器へ向けて指向される各光 線部分に分割する光線分割装置と、 （ｄ）光線部分を線形偏光するための偏光装置と、 （ｅ）光線部分の偏光平面を約９０°制御回転するため
の装置および 偏光回転装置と各それぞれの光線部分に対 する反射器との間に配置されるそれぞれの偏光分析器と
からなることを特徴とする請求項１記載の複数の光学計
測反射器の走査方法を実施する装置。 - （３）偏光装置は、総ての光線部分に対して放射線源と
光線分割装置との間に組合わせ状に配設されている請求
項２記載の装置。 - （４）偏光方向を回転するための装置は、総ての光線部
分に対して光線分割装置の前方に組合わせ状に配設され
ている請求項３記載の装置。 - （５）各光線部分に対する別々の偏光方向回転装置を光
線分割装置の後方に有する請求項２記載の装置。 - （６）各光線部分に対する偏光装置が、同じく別々に光
線分割装置の後方に配設されている請求項５記載の装置
。 - （７）分析器、偏光方向回転装置の光線入射平面および
その他の偏光装置が、光線分割装置から進入する光線部
分に対して、実質的に ９０°と異なる角度に配設されている請求項５記載の装
置。 - （８）偏光方向回転装置が、電圧−制御液体クリスタル
要素を含む請求項２記載の装置。 - （９）偏光装置および分析器が偏光フィルタを含む請求
項２記載の装置。 - （１０）計測反射器が、それらの光線入射方向を互いに
直角になるように配設されている請求項２記載の装置。 - （１１）計測反射器は屋根プリズムおよび等価鏡手段か
らなる群から選定され、その直角三角形斜辺平面が入射
光線部分に直交されており、かつ前記位置検出器は２軸
である請求項２記載の装置。 - （１２）直角三角形の斜辺平面が入射される走査光線に
対して一般に直交するように配設された直角屋根プリズ
ムと、すべての屋根プリズムに対して共通の光線放射器
と共通の位置検出器とを使用し、 （ａ）屋根プリズムが、入射走査光線の方向に前後して
配置され、 （ｂ）走査光線が偏光され、 （ｃ）少くとも最後尾の前に配置されるプリズムの材料
は、走査光線の方向に整列、配置 されるプリズムのそれぞれの屋根面におけ る走査光線の入射角度がブルースタ角に等 しくなるように選定され、そして （ｄ）偏光された走査光線の偏光平面は、最後尾のプリ
ズムの前における制御された回転 によって、走査のために選択されたプリズ ムにおける走査光線が投射される屋根面で は他の屋根面に対する反射が行われるが一 方走査光線の方向に配置される屋根面ある いはその前方の総てのプリズムは走査光線 の通過を許容するように設定される 請求項１記載の複数の光学計測反射器の走査方法。 - （１３）屋根プリズムは、その屋根頂上線が最前列プリ
ズムの屋根頂上線と交差し、この交差は２つ以上のプリ
ズムがある場合には交差角度が異なるように配設される
請求項１２記載の方法。 - （１４）小−拡開度の入射光学光線、殊にレーザ光線で
形成される光線を反射するための直角屋根プリズムを使
用し、各屋根プリズムは、走査光線を基準光線として放
射する放射線源と反射走査光源を受取る位置検出器とを
組合されている装置において、 （ａ）総ての屋根プリズムに共通する、走査光線のため
の単一の放射線源と、 （ｂ）総ての屋根プリズムに共通する単一の位置検出器
とを有し、 （ｃ）前記プリズムは入射走査光線の方向に連続して整
列されており、 （ｄ）走査光線を、最前列の屋根プリズムに到達する前
に線形偏光するための偏光装置と、（ｅ）走査光線の偏
光平面を約９０°の角度範囲で制御回転するために、偏
光装置と最前 列の屋根プリズムとの間に配設される装置 とを有し、 少くとも最後尾の前面にあるプリズムの材料は、走査光
線の方向に整列されるプリズムのそれぞれの屋根面にお
ける走査光線の入射角度がブルースタ角に等しくなるよ
うに選定されていることを特徴とする請求項１２記載の
複数の光学計測反射器の走査方法を実施する装置。 - （１５）屋根プリズムは、その屋根頂上線が最前列プリ
ズムの屋根頂上線に対して異なる交差角度で交差され得
るように角度的に整列されている請求項１４記載の装置
。 - （１６）屋根頂上線が約９０°の角度で交差する２つの
プリズムからなる請求項１５記載の装置。 - （１７）連続して配置されるプリズムの間にそれぞれの
プリズムに、沿って設定される隙間が、走査光線を透過
する媒体で充填され、前記媒体はプリズムと略同一の反
射率を有する請求項１４記載の装置。 - （１８）隙間は空気隙間である請求項１８記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3912406A DE3912406B4 (de) | 1989-04-15 | 1989-04-15 | Verfahren und Vorrichtung zum Abtasten mehrerer optischer Meßreflektoren |
| DE3912406.1 | 1989-04-15 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02293608A true JPH02293608A (ja) | 1990-12-04 |
| JP2563141B2 JP2563141B2 (ja) | 1996-12-11 |
Family
ID=6378745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2097426A Expired - Lifetime JP2563141B2 (ja) | 1989-04-15 | 1990-04-12 | 複数の光学計測反射器の走査方法および走査装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5049757A (ja) |
| JP (1) | JP2563141B2 (ja) |
| DE (1) | DE3912406B4 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3474605B2 (ja) * | 1993-06-25 | 2003-12-08 | 株式会社トプコン | 対象反射物体検出装置 |
| US6038050A (en) * | 1997-05-08 | 2000-03-14 | Hamar Laser Instruments, Inc. | Rotating laser scanner head with target mounted therein and system and method for use therewith |
| US5929983A (en) * | 1997-10-29 | 1999-07-27 | International Business Machines Corporation | Optical apparatus for determining the height and tilt of a sample surface |
| DE29801635U1 (de) * | 1998-01-31 | 1998-03-19 | Dyckerhoff & Widmann Ag | Reflexionsanordnung zur Verwendung beim Messen der Koordinaten eines Vermessungspunktes mittels eines Tachymeters |
| JP2003083812A (ja) * | 2001-09-10 | 2003-03-19 | Ando Electric Co Ltd | 解析中の光を出力可能な偏波アナライザ装置 |
| EP3009877A1 (en) * | 2014-10-15 | 2016-04-20 | Optosys SA | Device for emission of polarized light and its detection |
Citations (1)
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|---|---|---|---|---|
| JPS6457111A (en) * | 1987-08-27 | 1989-03-03 | Central Motor Wheel Co Ltd | Measuring apparatus of linear motion |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3981587A (en) * | 1962-12-17 | 1976-09-21 | Chrysler Corporation | Monitoring relative displacement between two devices |
| FR2592721B1 (fr) * | 1986-01-08 | 1988-11-04 | Signaux Entr Electriques | Procede et dispositif de telemetrie ecartometrie laser sur cibles cooperatives |
| US4774405A (en) * | 1987-05-26 | 1988-09-27 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Real time autocollimator device for aligning two surfaces in parallel |
| DE3719235A1 (de) * | 1987-06-09 | 1988-12-22 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Verfahren und vorrichtung zur unterdrueckung des einflusses von ungewollten reflexionen auf einem mit reflektoren markierten ziel |
-
1989
- 1989-04-15 DE DE3912406A patent/DE3912406B4/de not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-04-04 US US07/504,652 patent/US5049757A/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-04-12 JP JP2097426A patent/JP2563141B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6457111A (en) * | 1987-08-27 | 1989-03-03 | Central Motor Wheel Co Ltd | Measuring apparatus of linear motion |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2563141B2 (ja) | 1996-12-11 |
| DE3912406A1 (de) | 1990-10-18 |
| US5049757A (en) | 1991-09-17 |
| DE3912406B4 (de) | 2004-05-13 |
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