JPH02291932A - Temperature measuring method - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 24
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims abstract description 24
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims abstract description 24
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 17
- 230000005457 Black-body radiation Effects 0.000 claims description 9
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 9
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000003321 amplification Effects 0.000 abstract 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 abstract 1
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000008014 freezing Effects 0.000 description 2
- 238000007710 freezing Methods 0.000 description 2
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ズームレンズを用いた光高温計による温度測
定方法に関し、特に、その測定温度範囲を変える方法に
関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a temperature measurement method using an optical pyrometer using a zoom lens, and particularly to a method for changing the measurement temperature range.
光高温計は、溶鉱炉その他の高温の彼測温体からの放射
光を受光素子で検知することにより非接触的に測温を行
なう装置として各分野で利用されている。Optical pyrometers are used in various fields as devices for non-contact temperature measurement by detecting emitted light from blast furnaces and other high-temperature thermometers with light-receiving elements.
その測定原理の概略を説明すれば次の通りである。An outline of the measurement principle is as follows.
即ち、国際実用温度目盛でも、計１法の温度目盛でも、
金点（金の凝固点１３３７． ５Ｋ即ち １０６４．
４３゜Ｃ、金点即ち金の凝固点）以上の温度ＴＫは、な
る式で定義されている。こ＼で、Ｌλ（Ｔ）とＬλ（Ｔ
Ａｕ）は、それぞれ温度ＴＫと金点ＴＡｕとでの黒体の
放射のエネルギー輝度の波長λの分光密度であり、Ｃ
ｏ ” １． ４３８８Ｘ １０−２ｍ Ｋである。In other words, whether it is the international practical temperature scale or the temperature scale of the one-total method,
Gold point (freezing point of gold 1337.5K or 1064.
The temperature TK above 43°C (gold point, that is, the freezing point of gold) is defined by the following formula. Here, Lλ(T) and Lλ(T
Au) is the spectral density of the wavelength λ of the energy brightness of the blackbody radiation at the temperature TK and the gold point TAu, respectively, and C
o ” 1. 4388X 10-2mK.
この温度の定義は、黒体の放射のエネルギー輝度の波長
λの分光密度が金点のそれの何倍であるかによクて、そ
の黒体の温度が定められる、とするものである。This definition of temperature is that the temperature of a black body is determined by how many times the spectral density of the wavelength λ of the energy brightness of the black body's radiation is that of a gold point.
そこで、金点以上の温度領域の温度ＴＫを測定するには
、ＴＫの黒体のＬλ（Ｔ）をｎ分の１としたものが金点
のＬλ（ＴＡ−）に等しいようにすれば、
Ｌ λ （ Ｔ Ａｕ）
であるから、式（１）によって温度ＴＫが知られもので
ある。Therefore, in order to measure the temperature TK in the temperature range above the gold point, if Lλ(T) of the black body of TK is 1/n equal to Lλ(TA-) of the gold point, then Since L λ (T Au), the temperature TK is known from equation (1).
Ｌλ（Ｔ）を変える方法はいろいろあり、吸収板（フィ
ルター）、回転セクター、偏光仮、絞りなどが用いられ
ることは公知である。There are various methods for changing Lλ(T), and it is known that an absorption plate (filter), rotating sector, polarization temporary, aperture, etc. are used.
然しなから、フィルターや絞りは光量を非連続的にしか
変えられず、また回転セクターや偏光板は可変のレンジ
が狭いという問題点があった。However, there were problems in that filters and apertures could only change the amount of light discontinuously, and rotating sectors and polarizing plates had a narrow variable range.
そこで本出願人は先に特わ昭６０− ２８５６９０号に
おいて、彼測温体から受光素子に照射される放射の強さ
をズームレンズにより調節するようにした光高温計を開
示した。Therefore, the present applicant previously disclosed, particularly in No. 1985-285690, an optical pyrometer in which the intensity of radiation irradiated from a thermometer to a light receiving element is adjusted by a zoom lens.
その場合、最大倍率がνのズームレンズを用いる光高温
計では、金点の黒体の輝度のν２倍の輝度の黒体の温度
までの測定ができる。この測定可能な温度範囲を変える
方法は、フィルターを用いる等いろいろあるが、本発明
においては基準温度を変えることによって測定可能な〆
温度範囲を変えようとするものである。In that case, an optical pyrometer using a zoom lens with a maximum magnification of ν can measure up to the temperature of a black body with a luminance ν2 times the luminance of a black body at a gold point. There are various ways to change this measurable temperature range, such as using a filter, but in the present invention, the measurable end temperature range is changed by changing the reference temperature.
即ち、従来は基準温度を金点に設定するのが常法であっ
た。然しなから、必ずしも金点を基準温度とする必要は
なく、適宜の温度を基準温度とすることか可能である。That is, conventionally, the standard temperature was set at the gold point. However, it is not always necessary to set the gold point as the reference temperature, and it is possible to set an appropriate temperature as the reference temperature.
本発明は、叙上の観点に立ってなされたものであり、そ
の目的とするところは、ズームレンズを用いた光高温計
において、金点を基準温度とすることなく、適宜の基準
温度を用いることにより、測定可能な温度範囲を変え得
る温度測定方法を提供することにある。The present invention has been made based on the above-mentioned viewpoints, and its purpose is to use an appropriate reference temperature without using the gold point as the reference temperature in an optical pyrometer using a zoom lens. Accordingly, it is an object of the present invention to provide a temperature measurement method that can change the measurable temperature range.
上記の目的は、
ズームレンズを具備した光高温計を用いて温度を測定す
る方法において、
金点にある黒体の放射のエネルギー輝度のν。The above purpose is to determine the energy brightness ν of the blackbody radiation at a gold point in a method of measuring temperature using an optical pyrometer equipped with a zoom lens.
倍の輝度に対応する温度を基準温度として光高温計の較
正を行なうステップと、
上記ステップにより較正された光高温計を用いて所望の
黒体の放射のエネルギー輝度を測定するステップと、
上記所望の黒体の放射のエネルギー輝度から下記式、即
ち、
〔こ＼で、Ｌλ（Ｔ）及びＬλ（Ｔν。）は、それぞれ
ユ度ＴＫとＴν。とでの黒体の放射のエネルギー輝度の
波長λの分光密度であり、Ｃｏ＝１． ４３８８ｘ １
０−”ｍ Ｋ − Ｔ Ａ− − １３３７． ５Ｋ
（ １０６４． ４３℃、金点）である。〕
により上記所望の魚体の温度Ｔを得るステップとから成
る上記の温度測定方法、
によって達成し得る。calibrating an optical pyrometer using a temperature corresponding to double the brightness as a reference temperature; measuring the energy brightness of the desired blackbody radiation using the optical pyrometer calibrated in the above step; From the energy luminance of the blackbody radiation, the following equation is obtained: [Here, Lλ(T) and Lλ(Tν.) are the degrees TK and Tν, respectively. is the spectral density of the wavelength λ of the energy brightness of the radiation of the black body at Co=1. 4388x 1
0-”m K-TA--1337.5K
(1064.43℃, gold point). ] Obtaining the desired temperature T of the fish body according to the above temperature measuring method.
上記の如き方法によれば、金点を基準温度とすることな
く、適宜の基準温度を用いて、測定可能な温度範囲を変
え得るものである。According to the method described above, the measurable temperature range can be changed using an appropriate reference temperature without using the gold point as the reference temperature.
以下、図面を参照しつ＼本発明の構成を具体的に説明す
る。Hereinafter, the configuration of the present invention will be specifically explained with reference to the drawings.
第１図は本発明にか＼る方法を実施する場合に使用する
光高１計の概要を示す説明図であり、Ｘ中、１は受光素
子、２はズームレンズ、３は増幅器、４は演算回路、５
は彼測温体であり、ｌ゜は説明の便宜のため上記受光素
子１の受光面と同一平面上に描かれた投影面である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing the outline of a light height meter used when carrying out the method according to the present invention, where 1 is a light receiving element, 2 is a zoom lens, 3 is an amplifier, and 4 is Arithmetic circuit, 5
is a temperature measuring body, and l° is a projection plane drawn on the same plane as the light-receiving surface of the light-receiving element 1 for convenience of explanation.
披測温体５から放射された光はズームレンズ２を通過し
て投影面工１上に像５ａ若しくは５ｂ等を結ぶ。The light emitted from the thermometer 5 passes through the zoom lens 2 and forms an image 5a or 5b on the projection surface 1.
受光素子ｌ、ズームレンズ２及び彼測温体５の配置は、
ズームレンズ２により投影面ｌ“上に彼測温体５の鮮明
な影像が形成されるような位置関係となるよう配置する
のが望ましい。The arrangement of the light receiving element 1, the zoom lens 2 and the thermometer 5 is as follows:
It is desirable to arrange the thermometer 5 in such a positional relationship that a clear image of the thermometer 5 is formed on the projection plane l'' by the zoom lens 2.
また、図では省略してあるが、ズームレンズ２の倍率は
ズーム制御モータにより制御され、かつ演算回路４にフ
ィードバックされ、温度の演算に用いられる。Further, although not shown in the figure, the magnification of the zoom lens 2 is controlled by a zoom control motor, and fed back to the calculation circuit 4, which is used to calculate the temperature.
受光素子１の出力は増幅器３で増幅された後、演算回路
４に送られ、上記出力の大きさに基づいて彼測温体５の
温度か算出される。The output of the light receiving element 1 is amplified by an amplifier 3 and then sent to an arithmetic circuit 4, where the temperature of the thermometer 5 is calculated based on the magnitude of the output.
而して、投影面１′上に形成される被測温体５の影像の
大きさは、上記投影面１“、ズームレンズ２及び被測温
体５の相互間の距離を一切変化させることなく、ズーム
レンズの調節リング２ａを回動させることによって自由
に変更することかできる。その場合、被ｌｌｌｌＩａ体
５とズームレンズ２の距離が一定であるから、ズームレ
ンズ２を通過する光量は一定であり、従って受光素子ｌ
の受ける放射の強さは像の面積に逆比例する形で増減す
る。Therefore, the size of the image of the object to be measured 5 formed on the projection surface 1' can be determined by changing the distance between the projection surface 1'', the zoom lens 2, and the object to be measured 5 at all. The amount of light passing through the zoom lens 2 is constant because the distance between the object 5 and the zoom lens 2 is constant. Therefore, the light receiving element l
The intensity of the radiation received by the image increases or decreases in inverse proportion to the area of the image.
即ち、例えば図示した例において、像５ａの面積を５Ａ
，像５ｂの面積を５Ｂとすれば、像５ａが形成されてい
るときに受光素子１の受ける放射の強さは、像５ｂが形
成されているときの強さの５Ｂ／ ５Ａ倍ということに
なる。That is, in the illustrated example, the area of the image 5a is 5A.
, if the area of the image 5b is 5B, then the intensity of the radiation received by the light receiving element 1 when the image 5a is formed is 5B/5A times the intensity when the image 5b is formed. Become.
従って、ズームレンズ２の調節リング２ａを調整するだ
けで、受光素子１に照射される放射の強さを連続的かつ
広範囲に変更し得るものである。Therefore, simply by adjusting the adjustment ring 2a of the zoom lens 2, the intensity of radiation irradiated to the light receiving element 1 can be changed continuously and over a wide range.
而して、上記の如くズームレンズ２を具備した光高温計
を用いて被測温体５の温度測定を行なうに当たっては、
従来金点を基準温度としていた。Therefore, when measuring the temperature of the object to be measured 5 using the optical pyrometer equipped with the zoom lens 2 as described above,
Traditionally, the gold point was used as the reference temperature.
即ち、金点にある黒体からの放射光をズームレンズ２を
通して受光素子１で受光せしめ、当該放射？工不ルギー
輝度の波長λの分光密度Ｌλ（ＴＡ，）を基準とするよ
う増幅器３や演算回路４等の基準設定を行ない、然るの
ち、被測温体５からの放射光を受光せしめてそのエネル
ギー蝉度の波長λの分光！度Ｌλ（Ｔ）と上記基準値Ｌ
λ（ＴＡｕ）とを演算回路において比較することにより
彼測温体５の温度を求めていたものである。That is, the light emitted from the black body at the gold point is received by the light receiving element 1 through the zoom lens 2, and the emitted light is received by the light receiving element 1. The amplifier 3, the arithmetic circuit 4, etc. are set as a reference so that the spectral density Lλ(TA,) of the wavelength λ of the industrial luminance is used as a reference, and then the emitted light from the temperature-measuring object 5 is received. Spectroscopy of the wavelength λ of that energy! degree Lλ(T) and the above reference value L
He used to find the temperature of the thermometer 5 by comparing it with λ(TAu) in an arithmetic circuit.
然しなから、本発明においては、従来の如く金点を基４
温度とすることなく、適宜の温度を基準温度として、測
定可能な温度範囲を変え得るようにするものである。However, in the present invention, four points are used based on gold points as in the past.
It is possible to change the measurable temperature range by setting an appropriate temperature as a reference temperature without setting it as a temperature.
即ち例えば、金点が基準温度であるときの黒体の放射の
エネルギー輝度の波長λの分光密度Ｌλ（Ｔ■）のν。That is, for example, ν of the spectral density Lλ(T■) of the wavelength λ of the energy luminance of the radiation of a black body when the gold point is at the reference temperature.
倍のＬλ（Ｔν。）に対応する温度Ｔν。Ｋを基準温度
とすると、
Ｌ λ （Ｔν。）＝ νｏ Ｌ λ （ Ｔ ，
．，） 一・・・ｆ２１であり、
Ｌλ （Ｔ） Ｌ λ （Ｔ）
Ｌ λ （ＴＡ．）Ｌλ （Ｔν．） Ｌλ
（ＴＡ．） Ｌ λ （Ｔν。Temperature Tν corresponding to twice Lλ(Tν.). If K is the reference temperature, L λ (Tν.) = νo L λ (T,
．． ,) 1...f21, and Lλ (T) L λ (T)
L λ (TA.) Lλ (Tν.) Lλ
(TA.) L λ (Tν.
１ Ｌλ （Ｔ） ν。 Ｌ λ （ Ｔ Ａｕ） である。1 Lλ (T) ν. L λ (T Au) It is.
上記（２）式と前記（１）式とから、
〔こ＼で、Ｌλ（Ｔ）及びＬλ（Ｔν。）は、それぞれ
温度ＴＫとＴν．とでの黒体の放射のエネルギー輝度の
波長λの分光密度であり、Ｃｏ”１． ４３８８Ｘ １
０−”ｍ Ｋ ， Ｔ Ａ−＝ １３３７． ５Ｋ （
金点）である。〕
が導かれる。From the above equation (2) and the above equation (1), [Here, Lλ(T) and Lλ(Tν.) are the temperature TK and Tν., respectively. is the spectral density of the wavelength λ of the energy brightness of the blackbody radiation at Co”1.4388X 1
0-”m K, T A-= 1337.5K (
gold point). ] is derived.
従って被測１体からの放射のエネルギー輝度の波長λの
分光密度Ｌλ（Ｔ）を測定することにより、予め知られ
たＬλ（ＴＡ，，）、Ｌλ（Ｔν。）、Ｃ０、ＴＡｕに
基づき、被測昌体の昌度Ｔを求め得るものである。Therefore, by measuring the spectral density Lλ(T) of the wavelength λ of the energy brightness of the radiation from one object to be measured, based on the previously known Lλ(TA,,), Lλ(Tν.), C0, TAu, It is possible to obtain the degree T of the object to be measured.
従って、金点にある黒体の放射のエネルギー輝度Ｌλ（
ＴＡ．，）のν。倍の輝度Ｌλ（Ｔν，）に対応する温
度Ｔν。を基準温度として光高温計の較正を行なってお
き、このように較正された光高温計を用いて彼測温体の
放射のエネルギー輝度Ｌλ（Ｔ）を測定し、これに基づ
き上記（３）式を用いて彼測１体の温度Ｔを求め得るも
のである。Therefore, the energy luminance Lλ(
T.A. , ) of ν. Temperature Tν corresponding to double luminance Lλ(Tν,). The optical pyrometer is calibrated using the reference temperature as the reference temperature, and the optical pyrometer thus calibrated is used to measure the energy luminance Lλ(T) of the radiation of the thermometer, and based on this, the above (3) is determined. Using the formula, the temperature T of a single body can be determined.
本発明は叙上の如く構成されるから、本発明によるとき
は、ズームレンズを用いた光高温計において、金点を基
ｆ＄温度とすることなく、適宜の基準温度を用いること
により、測定可能な温度範囲を変え得る温度測定方法を
提供し得るものである。Since the present invention is configured as described above, in the optical pyrometer using a zoom lens, measurement can be performed by using an appropriate reference temperature without using the gold point as the base f$ temperature. It is possible to provide a temperature measurement method that allows changing the possible temperature range.
第１図は本発明にか＼る方法を実施する場合に使用する
光高温計の概要を示す説明図である。
１−・・・−・・・−・・・・・・・・・・・・・−・
−・受光素子２・−・・・・・・・・・− ・−・・・
ズームレンズ増幅器
演算回路
彼測温体FIG. 1 is an explanatory diagram showing an outline of an optical pyrometer used when carrying out the method according to the present invention. 1−・・・−・・・−・・・・・・・・・・・・・・・・−・
−・Photodetector 2・−・・・・・・・− ・−・・
Zoom lens amplifier arithmetic circuit thermometer
Claims (1)
る方法において、 金点にある黒体の放射のエネルギー輝度のν＿０倍の輝
度に対応する温度を基準温度として光高温計の較正を行
なうステップと、 上記ステップにより較正された光高温計を用いて所望の
黒体の放射のエネルギー輝度を測定するステップと、 上記所望の黒体の放射のエネルギー輝度から下記式、即
ち、 ｛ｅｘｐ［Ｃ＿２／λＴ＿Ａ＿ｕ］−１｝／｛ｅｘｐ［
Ｃ＿２／λＴ］−１｝＝ν＿０［Ｌλ（Ｔ）］／［Ｌλ
（Ｔ＿ν＿０）］〔こゝで、Ｌλ（Ｔ）及びＬλ（Ｔ＿
ν＿０）は、それぞれ温度ＴＫとＴ＿ν＿０とでの黒体
の放射のエネルギー輝度の波長λの分光密度であり、Ｃ
＿０＝１．４３８８×１０＾−＾２ｍＫ、Ｔ＿Ａ＿ｕ＝
１３３７．５Ｋ（１０６４．４３℃、金点）である。〕 により上記所望の黒体の温度Ｔを得るステップとから成
る上記の温度測定方法。[Claims] In a method of measuring temperature using an optical pyrometer equipped with a zoom lens, the optical high temperature is set to a temperature corresponding to a luminance of ν_0 times the energy luminance of radiation of a black body at a gold point as a reference temperature. calibrating the meter, measuring the energy brightness of the desired black body radiation using the optical pyrometer calibrated in the above step, and calculating the energy brightness of the desired black body radiation from the following formula, i.e. , {exp[C_2/λT_A_u]-1}/{exp[
C_2/λT]-1}=ν_0[Lλ(T)]/[Lλ
(T_ν_0)] [Here, Lλ(T) and Lλ(T_
ν_0) is the spectral density of the wavelength λ of the energy brightness of the blackbody radiation at temperatures TK and T_ν_0, respectively, and C
_0=1.4388×10^-^2mK, T_A_u=
It is 1337.5K (1064.43°C, gold point). ] Obtaining the desired blackbody temperature T by:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1112242A JPH02291932A (en) | 1989-05-02 | 1989-05-02 | Temperature measuring method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1112242A JPH02291932A (en) | 1989-05-02 | 1989-05-02 | Temperature measuring method |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02291932A true JPH02291932A (en) | 1990-12-03 |
Family
ID=14581802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1112242A Pending JPH02291932A (en) | 1989-05-02 | 1989-05-02 | Temperature measuring method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02291932A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5335308A (en) * | 1992-05-04 | 1994-08-02 | Bgk Finishing Systems, Inc. | Movable heat treat apparatus with sighting means |
-
1989
- 1989-05-02 JP JP1112242A patent/JPH02291932A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5335308A (en) * | 1992-05-04 | 1994-08-02 | Bgk Finishing Systems, Inc. | Movable heat treat apparatus with sighting means |
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