JPH0227696U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0227696U JPH0227696U JP10552588U JP10552588U JPH0227696U JP H0227696 U JPH0227696 U JP H0227696U JP 10552588 U JP10552588 U JP 10552588U JP 10552588 U JP10552588 U JP 10552588U JP H0227696 U JPH0227696 U JP H0227696U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- halogen lamps
- filaments
- light irradiation
- heating
- irradiation device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
Description
第１図および第２図は、本考案に係る半導体ウ
エハの加熱用光照射装置の実施例を示し、第１図
は、ランプ配列を示す概略平面図、第２図ａ，ｂ
，ｃは、それぞれ別の実施例におけるランプ配列
を示す部分平面図である。第３図は従来の加熱用
光照射装置の一例を示す側面図、第４図は、その
要部の斜視図である。また、第５図は従来装置に
おけるランプ配列を示す平面図である。 ４……ハロゲンランプ、６ａ……長尺の密巻き
フイラメント、６ｂ……短尺の密巻きフイラメン
ト、Ｌ……長尺の密巻きフイラメントの長さ、ｌ
……短尺の密巻きフイラメントの長さ、Ｗ……間
隔。
エハの加熱用光照射装置の実施例を示し、第１図
は、ランプ配列を示す概略平面図、第２図ａ，ｂ
，ｃは、それぞれ別の実施例におけるランプ配列
を示す部分平面図である。第３図は従来の加熱用
光照射装置の一例を示す側面図、第４図は、その
要部の斜視図である。また、第５図は従来装置に
おけるランプ配列を示す平面図である。 ４……ハロゲンランプ、６ａ……長尺の密巻き
フイラメント、６ｂ……短尺の密巻きフイラメン
ト、Ｌ……長尺の密巻きフイラメントの長さ、ｌ
……短尺の密巻きフイラメントの長さ、Ｗ……間
隔。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 複数個の密巻きフイラメントが、棒状封体内に
所定間隔をもつて縦列状に封入されている分割フ
イラメント型のハロゲンランプを複数本並設して
なる半導体ウエハの加熱用光照射装置において、 各ハロゲンランプは、その一端側に長尺の密巻
きフイラメントが配置され、他端側に向けて短尺
の密巻きフイラメントが所定間隔をもつて縦列状
に配置されており、このようなハロゲンランプを
交互に向きを反転させて並設することにより、隣
合うハロゲンランプの分割フイラメントを千鳥状
に配置したことを特徴とする半導体ウエハの加熱
用光照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10552588U JPH0227696U (ja) | 1988-08-09 | 1988-08-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10552588U JPH0227696U (ja) | 1988-08-09 | 1988-08-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0227696U true JPH0227696U (ja) | 1990-02-22 |
Family
ID=31338219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10552588U Pending JPH0227696U (ja) | 1988-08-09 | 1988-08-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0227696U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH086756B2 (ja) * | 1991-02-12 | 1996-01-29 | ジーケーエヌ・オートモーティブ・インコーポレーテッド | トライポット型等速ユニバーサル継手 |
| JP2009117237A (ja) * | 2007-11-08 | 2009-05-28 | Ushio Inc | フィラメントランプおよび光照射式加熱処理装置 |
-
1988
- 1988-08-09 JP JP10552588U patent/JPH0227696U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH086756B2 (ja) * | 1991-02-12 | 1996-01-29 | ジーケーエヌ・オートモーティブ・インコーポレーテッド | トライポット型等速ユニバーサル継手 |
| JP2009117237A (ja) * | 2007-11-08 | 2009-05-28 | Ushio Inc | フィラメントランプおよび光照射式加熱処理装置 |