JPH02267895A - X線発生装置 - Google Patents

X線発生装置

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JPH02267895A
JPH02267895A JP8900289A JP8900289A JPH02267895A JP H02267895 A JPH02267895 A JP H02267895A JP 8900289 A JP8900289 A JP 8900289A JP 8900289 A JP8900289 A JP 8900289A JP H02267895 A JPH02267895 A JP H02267895A
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JP
Japan
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nozzle
ray
liquid
discharged
plasma
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Pending
Application number
JP8900289A
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English (en)
Inventor
Seiichi Iwamatsu
誠一 岩松
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は新らしいX線発生装置に関する。
[従来の技術] 従来、氷等の固体ペレットをノズルから吐出し、該吐出
ペレットにレーザー光を照射して核融合反応までは到ら
ないエネルギーにてX線を放射させるX線発生装置等の
アイデアはあった。
〔発明が解決しようとする課題] しかし、上記従来技術によると、氷等の固体ペレット作
成が困難であったり、又氷等の固体ペレットをノズルか
ら吐出させるのが困難であったり、更に、固体ペレット
被覆体が有る場合には、被覆体のガス化とチャンバー側
壁への再付着によるX線放射強度の低下等の課題があっ
た。
本発明・は、かかる従来技術の課題を解決し、ノズルか
らの吐出が容易な、且つ高エネルギーのX線を発生する
事が出来る新しいX線発生装置を提供する事を目的とす
る。
[課題を解決する為の手段] 上記課題を解決するために、本発明はX線発生装置に関
し、耐熱性ノズルからの液滴または粘性吐出体にレーザ
ー光を照射しプラズマ化し、X線を発生させる手段をと
る。
[実施例] 以下九実施例により本発明を詳述する。
第1図は本発明の一実施例を示すX線発生装置の要部の
模式図である。すなわち、セラミック製の耐熱ノズルぐ
の先端から氷等の液滴2を吐出させ、該液滴2にレーザ
ー3からのレーザー光4を照射する事により、前記液滴
2はプラズマ化し、X線5が発生する。
尚液滴2は水以外のアルコール等地の液滴であっても良
く、更には、該液滴中に、粉体を混入させたものであり
ても良く、更には、液滴2は必ずしも液体である必要は
な(、粘性のあるものをノズル1の先端から吐出させて
も良い。
更に、ノズル1からの吐出液滴や粘性あるものの吐出位
置は必ずしもノズル1の先端にある必要はなく、落下さ
せてもよ(、その場合には標的に同期して、レーザー光
4の照射位置と照射タイミングを変化させる必要がある
[発明の効果] 本発明により、固体ペレットへのレーザー照射によるX
@発生強度と同程度の強度のx′mをノズルからの吐出
が容易な状態で発生させる事が出来る効果がある。
【図面の簡単な説明】 第1図は、本発明の一実施例を示すX線発生装置の要部
の模式図である。 1・・・・・・・・・ノズル 2・・・・・・・・・液 滴 6・・・・・・・・・レーザー 4・・・・・・・・・レーサー光 5・・・・・・・・・X線 以上

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 耐熱性ノズルからの液滴または粘性吐出体にはレーザー
    光を照射してプラズマ化し、X線を発生させる事を特徴
    とするX線発生装置。
JP8900289A 1989-04-08 1989-04-08 X線発生装置 Pending JPH02267895A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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WO2003013197A1 (en) * 2001-07-31 2003-02-13 Japan Science And Technology Agency Method and apparatus for generating x-ray
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US6831963B2 (en) 2000-10-20 2004-12-14 University Of Central Florida EUV, XUV, and X-Ray wavelength sources created from laser plasma produced from liquid metal solutions

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