JPH0226389U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0226389U JPH0226389U JP10425488U JP10425488U JPH0226389U JP H0226389 U JPH0226389 U JP H0226389U JP 10425488 U JP10425488 U JP 10425488U JP 10425488 U JP10425488 U JP 10425488U JP H0226389 U JPH0226389 U JP H0226389U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stop
- motor
- sequence controller
- sensor
- drive signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
Landscapes
- Stopping Of Electric Motors (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るモータ制
御回路を示すブロツク図である。第２図は、第１
図中の停止回路の一例を示すブロツク図である。
第３図は、第１図のモータ制御回路に第２図の停
止回路を用いた場合のタイムチヤートの一例を示
す図である。第４図は、第１図中の停止回路の他
の例を示すブロツク図である。第５図は、第１図
のモータ制御回路に第４図の停止回路を用いた場
合のタイムチヤートの一例を示す図である。第６
図は、従来のモータ制御回路の一例を示すブロツ
ク図である。 ２……シーケンスコントローラ、４……モータ
、６……停止用センサ、８……停止回路、Ｓ１，
Ｓ１′……駆動信号、Ｓ２……停止信号。
御回路を示すブロツク図である。第２図は、第１
図中の停止回路の一例を示すブロツク図である。
第３図は、第１図のモータ制御回路に第２図の停
止回路を用いた場合のタイムチヤートの一例を示
す図である。第４図は、第１図中の停止回路の他
の例を示すブロツク図である。第５図は、第１図
のモータ制御回路に第４図の停止回路を用いた場
合のタイムチヤートの一例を示す図である。第６
図は、従来のモータ制御回路の一例を示すブロツ
ク図である。 ２……シーケンスコントローラ、４……モータ
、６……停止用センサ、８……停止回路、Ｓ１，
Ｓ１′……駆動信号、Ｓ２……停止信号。
Claims (1)
- シーケンスコントローラからウエハハンドリン
グ装置の１以上のモータに駆動信号をそれぞれ供
給してそれらをそれぞれ駆動し、各モータ用の停
止用センサから出力される停止信号に応答して、
シーケンスコントローラから駆動信号を出力する
のを停止して各モータをそれぞれ停止させるよう
構成されたものにおいて、前記シーケンスコント
ローラと各モータとの間に、停止用センサから出
力される停止信号に応答して、シーケンスコント
ローラからモータに供給する駆動信号を断つ停止
回路をそれぞれ設けたことを特徴とするウエハハ
ンドリング装置用モータ制御回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10425488U JPH0226389U (ja) | 1988-08-05 | 1988-08-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10425488U JPH0226389U (ja) | 1988-08-05 | 1988-08-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0226389U true JPH0226389U (ja) | 1990-02-21 |
Family
ID=31335810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10425488U Pending JPH0226389U (ja) | 1988-08-05 | 1988-08-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0226389U (ja) |
-
1988
- 1988-08-05 JP JP10425488U patent/JPH0226389U/ja active Pending