JPH02262267A - 薄膜イオン伝導性被覆 - Google Patents
薄膜イオン伝導性被覆Info
- Publication number
- JPH02262267A JPH02262267A JP1073775A JP7377589A JPH02262267A JP H02262267 A JPH02262267 A JP H02262267A JP 1073775 A JP1073775 A JP 1073775A JP 7377589 A JP7377589 A JP 7377589A JP H02262267 A JPH02262267 A JP H02262267A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxide
- layer
- electronically
- conductive
- ionically conductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 18
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 16
- FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N lithium oxide Chemical compound [Li+].[Li+].[O-2] FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 13
- 229910001947 lithium oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 12
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract 3
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract 3
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract 3
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract 3
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract 2
- 229910001195 gallium oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 29
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 27
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 16
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 13
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 7
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910003455 mixed metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 5
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 3
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims description 3
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 3
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 2
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 claims 4
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N barium oxide Chemical compound [Ba]=O QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L hydroxy(oxo)manganese;manganese Chemical compound [Mn].O[Mn]=O.O[Mn]=O AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims 2
- IATRAKWUXMZMIY-UHFFFAOYSA-N strontium oxide Chemical compound [O-2].[Sr+2] IATRAKWUXMZMIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N ZrO2 Inorganic materials O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052810 boron oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Inorganic materials [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 claims 1
- JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N diboron trioxide Chemical compound O=BOB=O JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N germanium oxide Inorganic materials O=[Ge]=O YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 claims 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910000476 molybdenum oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- PVADDRMAFCOOPC-UHFFFAOYSA-N oxogermanium Chemical compound [Ge]=O PVADDRMAFCOOPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N oxomolybdenum Chemical compound [Mo]=O PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 11
- 238000001552 radio frequency sputter deposition Methods 0.000 abstract description 6
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 abstract description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 2
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 229910000413 arsenic oxide Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229960002594 arsenic trioxide Drugs 0.000 abstract 1
- KTTMEOWBIWLMSE-UHFFFAOYSA-N diarsenic trioxide Chemical compound O1[As](O2)O[As]3O[As]1O[As]2O3 KTTMEOWBIWLMSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 abstract 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 abstract 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000011572 manganese Substances 0.000 abstract 1
- 239000004984 smart glass Substances 0.000 description 10
- HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N Lithium ion Chemical compound [Li+] HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910001416 lithium ion Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 3
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 3
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 3
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011149 active material Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- ZKATWMILCYLAPD-UHFFFAOYSA-N niobium pentoxide Chemical compound O=[Nb](=O)O[Nb](=O)=O ZKATWMILCYLAPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 1
- 239000005041 Mylar™ Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000004320 controlled atmosphere Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 239000003574 free electron Substances 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000010416 ion conductor Substances 0.000 description 1
- 230000037427 ion transport Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000000075 oxide glass Substances 0.000 description 1
- 229920003223 poly(pyromellitimide-1,4-diphenyl ether) Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
- 230000014616 translation Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052845 zircon Inorganic materials 0.000 description 1
- GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N zirconium(iv) silicate Chemical compound [Zr+4].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M10/00—Secondary cells; Manufacture thereof
- H01M10/05—Accumulators with non-aqueous electrolyte
- H01M10/056—Accumulators with non-aqueous electrolyte characterised by the materials used as electrolytes, e.g. mixed inorganic/organic electrolytes
- H01M10/0561—Accumulators with non-aqueous electrolyte characterised by the materials used as electrolytes, e.g. mixed inorganic/organic electrolytes the electrolyte being constituted of inorganic materials only
- H01M10/0562—Solid materials
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/15—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on an electrochromic effect
- G02F1/1514—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on an electrochromic effect characterised by the electrochromic material, e.g. by the electrodeposited material
- G02F1/1523—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on an electrochromic effect characterised by the electrochromic material, e.g. by the electrodeposited material comprising inorganic material
- G02F1/1525—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on an electrochromic effect characterised by the electrochromic material, e.g. by the electrodeposited material comprising inorganic material characterised by a particular ion transporting layer, e.g. electrolyte
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M6/00—Primary cells; Manufacture thereof
- H01M6/14—Cells with non-aqueous electrolyte
- H01M6/18—Cells with non-aqueous electrolyte with solid electrolyte
- H01M6/185—Cells with non-aqueous electrolyte with solid electrolyte with oxides, hydroxides or oxysalts as solid electrolytes
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
- Secondary Cells (AREA)
- Battery Electrode And Active Subsutance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、薄膜イオン伝導性被覆の形成方法及びこれを
用いた蓄電池に関する。
用いた蓄電池に関する。
[スマー) (smart) J窓を形成すべく光学的
活性材料を改質するための薄膜透明被覆を現在入手する
ことができ、光学的可変層に対する電子及びイオンの出
入移動を制御することにより窓の反射特性及び透過特性
を変化させることができる。1984年8月21日付は
出願の「光度iJl装置」と題する米国特許出願筒64
2,956号の明細書及び図面は、この種の被覆を形成
するために使用される材料を記載している。
活性材料を改質するための薄膜透明被覆を現在入手する
ことができ、光学的可変層に対する電子及びイオンの出
入移動を制御することにより窓の反射特性及び透過特性
を変化させることができる。1984年8月21日付は
出願の「光度iJl装置」と題する米国特許出願筒64
2,956号の明細書及び図面は、この種の被覆を形成
するために使用される材料を記載している。
更に、電気エネルギーを貯蔵する大面積を備えた蓄電池
を形成するための薄膜材料も知られている。固相バッテ
リー用として特定の薄膜電子−光学活性材料を使用する
ことが、例えば、ロナルドB、ゴルドナーにより「電気
クロミック・スマート・窓」と題する論文(T REE
リフレクタ−・パブリケーション、第35巻(19
87年5月))に記載されている。
を形成するための薄膜材料も知られている。固相バッテ
リー用として特定の薄膜電子−光学活性材料を使用する
ことが、例えば、ロナルドB、ゴルドナーにより「電気
クロミック・スマート・窓」と題する論文(T REE
リフレクタ−・パブリケーション、第35巻(19
87年5月))に記載されている。
この開示によれば、薄膜電気−光学装置は数千オングス
トロームの程度の厚さを有するのに対し、所謂「厚膜J
固相・電子回路は数ミクロン以上である。参照のために
ここに引用する上記米国特許出願は5層の装置を教示し
ており、この装置はガラス上に載置されてこれら層の1
つの反射特性を制御することにより光学エネルギーを透
明基板中に選択的に伝達させる。成る磁気にはこの種の
薄膜装置が知られていたが、この種の薄膜電気−光学装
置の産業上の利用は、従来経済的に可能でなかった。
トロームの程度の厚さを有するのに対し、所謂「厚膜J
固相・電子回路は数ミクロン以上である。参照のために
ここに引用する上記米国特許出願は5層の装置を教示し
ており、この装置はガラス上に載置されてこれら層の1
つの反射特性を制御することにより光学エネルギーを透
明基板中に選択的に伝達させる。成る磁気にはこの種の
薄膜装置が知られていたが、この種の薄膜電気−光学装
置の産業上の利用は、従来経済的に可能でなかった。
変調層の1つ(即ち、電気クロミック層中にイオンを移
動させるべく使用されるイオン伝導性)は、電気的に反
対の2つの性質を示し且つ維持せねばならない。イオン
伝導層は電場を加えた際にイオンを容易に伝達し、しか
も電子移動に対し電気絶縁性を維持せねばならない。こ
のような電気絶縁特性は、広範囲の気候条件にわたって
変化することが判明した。イオン伝導層を電気クロミッ
ク装置内で形成すべく現在使用されている材料は、僅か
に吸湿性であると共に水容性である。電気クロミンク装
置を包囲する空気中の水分含有量が増加すると、絶縁特
性に変化をもたらすだけでなく、実際に装置が湿度制御
された環境に置かれなければ被覆を溶解し且つ破壊する
ことがある。この種の材料の機械的性質は、湿度上昇と
共に変化することが判明している。100℃を越える温
度になるとこれらの材料は結晶化し、亀裂し、従ってそ
の接触基板に対する付着性を喪失する傾向がある。
動させるべく使用されるイオン伝導性)は、電気的に反
対の2つの性質を示し且つ維持せねばならない。イオン
伝導層は電場を加えた際にイオンを容易に伝達し、しか
も電子移動に対し電気絶縁性を維持せねばならない。こ
のような電気絶縁特性は、広範囲の気候条件にわたって
変化することが判明した。イオン伝導層を電気クロミッ
ク装置内で形成すべく現在使用されている材料は、僅か
に吸湿性であると共に水容性である。電気クロミンク装
置を包囲する空気中の水分含有量が増加すると、絶縁特
性に変化をもたらすだけでなく、実際に装置が湿度制御
された環境に置かれなければ被覆を溶解し且つ破壊する
ことがある。この種の材料の機械的性質は、湿度上昇と
共に変化することが判明している。100℃を越える温
度になるとこれらの材料は結晶化し、亀裂し、従ってそ
の接触基板に対する付着性を喪失する傾向がある。
建築用途並びに自動車、飛行機及び軍事用途の場合、機
械的強度、耐湿性及び温度安定性に関し厳密な性能基準
が要求される。大抵の産業用途に関する温度基準は、例
えば200℃を越える温度にて良好な機械強度を要求す
る。
械的強度、耐湿性及び温度安定性に関し厳密な性能基準
が要求される。大抵の産業用途に関する温度基準は、例
えば200℃を越える温度にて良好な機械強度を要求す
る。
従って、本発明の課題は、良好なイオン移動特性を高電
子抵抗と共に有し、しかも広範囲の温度及び湿度にわた
り高い物理的一体性を保持するような電気的活性層を形
成するための方法及び材料を提供することである。
子抵抗と共に有し、しかも広範囲の温度及び湿度にわた
り高い物理的一体性を保持するような電気的活性層を形
成するための方法及び材料を提供することである。
透明な薄膜イオン伝導性−電子抵抗層は、リチウムとタ
ンタル又はリチウムとニオブの混合酸化物を電気−光学
活性基板の上に付着させて光学特性を制御することによ
り形成される。薄膜蓄電池内に電解層を形成するにも、
同じ材料が使用される。
ンタル又はリチウムとニオブの混合酸化物を電気−光学
活性基板の上に付着させて光学特性を制御することによ
り形成される。薄膜蓄電池内に電解層を形成するにも、
同じ材料が使用される。
以下、添付図面を参照して更に詳述する。
ガラス基板20上に載置された5層構造体18が第1A
図に示されており、この層状構造体I8はイオン伝導層
14を備えている−この層状構造体を以下「スマート窓
」と称し、低電圧バッテリー16とスイッチ17とによ
り形成された電場が、インジウム若しくはその他の金属
電極19と導電線21とにより層状構造体に加えられる
。上記米国特許出願明細書及び図面に記載されている如
く、バッテリー16の極性が、第1の透明電子伝導層1
1と対向電極層13とイオン伝導層14と電気クロミッ
ク層15と第2の透明伝導層12との間を移動する電尚
の性質を支配する。第1A図におけるスイッチ17が閉
になると、付着された層状構造体18に対する電場は、
イオンを電気クロミック層15から対向電極層13まで
イオン伝導層14を介して伝達し、第2図に示した「ブ
リーチ(bleached) J状態をもたらし、これ
によりガラス基板20に対する透過率が最大となる0代
表的な光線26は、光学スペクトルの「近赤外」領域と
して規定される0、7μmより大きい波長を示す。
図に示されており、この層状構造体I8はイオン伝導層
14を備えている−この層状構造体を以下「スマート窓
」と称し、低電圧バッテリー16とスイッチ17とによ
り形成された電場が、インジウム若しくはその他の金属
電極19と導電線21とにより層状構造体に加えられる
。上記米国特許出願明細書及び図面に記載されている如
く、バッテリー16の極性が、第1の透明電子伝導層1
1と対向電極層13とイオン伝導層14と電気クロミッ
ク層15と第2の透明伝導層12との間を移動する電尚
の性質を支配する。第1A図におけるスイッチ17が閉
になると、付着された層状構造体18に対する電場は、
イオンを電気クロミック層15から対向電極層13まで
イオン伝導層14を介して伝達し、第2図に示した「ブ
リーチ(bleached) J状態をもたらし、これ
によりガラス基板20に対する透過率が最大となる0代
表的な光線26は、光学スペクトルの「近赤外」領域と
して規定される0、7μmより大きい波長を示す。
上記特許出願の明細書及び図面に記載されている如く、
太陽光線スペクトルの赤外領域は、太陽からの使用可能
な熱エネルギーの大部分を伝達する領域である。
太陽光線スペクトルの赤外領域は、太陽からの使用可能
な熱エネルギーの大部分を伝達する領域である。
第1B図にはパンテリー16の極性を第1A図における
極性とは逆転にした層状構造体18を図示し、スイッチ
17が閉になると電場が層状構造体に発生し、イオンは
対向電極層13から電気クロミック層15中に伝達され
、電気クロミック層の構造を第2図に示された金属状態
(即ち、所謂「着色」状態)に変化させる。この状態に
おいては赤外エネルギーの大部分は、代表的光線26の
反射によって示される如く、電気クロミック層15によ
り反射される。電気クロミック層15を構成する多結晶
酸化タングステン材料(WO:+ )による反射の現象
は、例えばアプライド・フィジックス・レタース、第4
7巻、第5頁(1985年9月1日)における「電気ク
ロミック性多結晶WO,フィルムの挙動を支配する自由
電子の証明」と題する論文に記載されており、この刊行
物及び前記米国特許出願明細書及び図面を参照のためこ
こに引用する。
極性とは逆転にした層状構造体18を図示し、スイッチ
17が閉になると電場が層状構造体に発生し、イオンは
対向電極層13から電気クロミック層15中に伝達され
、電気クロミック層の構造を第2図に示された金属状態
(即ち、所謂「着色」状態)に変化させる。この状態に
おいては赤外エネルギーの大部分は、代表的光線26の
反射によって示される如く、電気クロミック層15によ
り反射される。電気クロミック層15を構成する多結晶
酸化タングステン材料(WO:+ )による反射の現象
は、例えばアプライド・フィジックス・レタース、第4
7巻、第5頁(1985年9月1日)における「電気ク
ロミック性多結晶WO,フィルムの挙動を支配する自由
電子の証明」と題する論文に記載されており、この刊行
物及び前記米国特許出願明細書及び図面を参照のためこ
こに引用する。
耐久性のある経済上可能な電気クロミック装置を提供す
るために、前記図面に示した層状構造体における層11
乃至15のため次の材料を選択した。層11及び】2は
、RFスパッタリングされた錫ドープ酸化インジウムか
ら形成し、層13はRFスパッタリングされたIn30
:+から形成し、層14はRFスパッタリングされたL
iO□: 1lbzOsから形成し、また層15はRF
スパッタリングされた賀03から形成した。層11.1
2.13及び15は上記米国特許出願の明細書及び図面
に記載されたものと同様である。層14、即ちイオン伝
導性若しくは電解層は、「ガラス状」 (即ち耐久性及
び透明性を有する)混合酸化物層を形成するようLiN
bO3をRFスパッタリングして形成した。この種の混
合酸化物ガラスは、ジャーナル・オプ・アプライド・フ
ィジックス、第49巻、第9頁(1978年9月)にお
ける「急冷アルカリニオベート及びタンタレートガラス
のイオン伝導性」と題する論文に記載されている如く、
それ自体で高イオン伝導性と高電子抵抗性とを示すこと
が従来から知られているが、光変調用の層状構造体にイ
オン伝導層として使用することは従来から考えられてい
なかった。
るために、前記図面に示した層状構造体における層11
乃至15のため次の材料を選択した。層11及び】2は
、RFスパッタリングされた錫ドープ酸化インジウムか
ら形成し、層13はRFスパッタリングされたIn30
:+から形成し、層14はRFスパッタリングされたL
iO□: 1lbzOsから形成し、また層15はRF
スパッタリングされた賀03から形成した。層11.1
2.13及び15は上記米国特許出願の明細書及び図面
に記載されたものと同様である。層14、即ちイオン伝
導性若しくは電解層は、「ガラス状」 (即ち耐久性及
び透明性を有する)混合酸化物層を形成するようLiN
bO3をRFスパッタリングして形成した。この種の混
合酸化物ガラスは、ジャーナル・オプ・アプライド・フ
ィジックス、第49巻、第9頁(1978年9月)にお
ける「急冷アルカリニオベート及びタンタレートガラス
のイオン伝導性」と題する論文に記載されている如く、
それ自体で高イオン伝導性と高電子抵抗性とを示すこと
が従来から知られているが、光変調用の層状構造体にイ
オン伝導層として使用することは従来から考えられてい
なかった。
混合酸化物相をRFスパッタリングして化学量論的Li
□0 : Nb2O2を形成させる試みに伴う困難性の
1つは、電気クロミック層15上にRFスパッタリング
するべく化学量論量のLift及びNb2O5を作成す
ると、得られるリチウム及びタンタルの混合酸化物相が
化学量論量より少なくなり、従って電気クロミック性層
状構造体に要求されるように最適のイオン伝導性と最大
の電子抵抗性とを示さないことである。リチウムとニオ
ブとの混合酸化物を化学量論量以上で作成すると、得ら
れるスパッタリング付着した混合物酸化物は幾分かの材
料がスパッタリング過程で損失されるため化学量論量に
なることが従来から知られている。電子層状構造体18
を不活性ガス−酸素雰囲気中で連続RFスパッタリング
法により形成すると、200乃至300℃以上の温度で
安定性を示すような耐久性及び耐水性を有する層状構造
体が形成される。
□0 : Nb2O2を形成させる試みに伴う困難性の
1つは、電気クロミック層15上にRFスパッタリング
するべく化学量論量のLift及びNb2O5を作成す
ると、得られるリチウム及びタンタルの混合酸化物相が
化学量論量より少なくなり、従って電気クロミック性層
状構造体に要求されるように最適のイオン伝導性と最大
の電子抵抗性とを示さないことである。リチウムとニオ
ブとの混合酸化物を化学量論量以上で作成すると、得ら
れるスパッタリング付着した混合物酸化物は幾分かの材
料がスパッタリング過程で損失されるため化学量論量に
なることが従来から知られている。電子層状構造体18
を不活性ガス−酸素雰囲気中で連続RFスパッタリング
法により形成すると、200乃至300℃以上の温度で
安定性を示すような耐久性及び耐水性を有する層状構造
体が形成される。
「スマート窓」装置lOを第1B図に示すようにその着
色状態で操作する場合は、パンテリー16に対するスイ
ッチ17を、リチウムイオンがイオン伝導性−電子抵抗
層14から電気クロミック層15まで移動して電気クロ
ミック層をその金属状B(即ち着色状態)にするのに充
分な時間にわたって閉にする。次いで、スイッチ17を
開にし、極性が逆転し且つリチウムイオンが電気クロミ
ック層15から除去されることによりこの電気クロミッ
ク層をブリーチ状態に酸化するような時間まで電気クロ
ミック層をその着色状態に維持する。
色状態で操作する場合は、パンテリー16に対するスイ
ッチ17を、リチウムイオンがイオン伝導性−電子抵抗
層14から電気クロミック層15まで移動して電気クロ
ミック層をその金属状B(即ち着色状態)にするのに充
分な時間にわたって閉にする。次いで、スイッチ17を
開にし、極性が逆転し且つリチウムイオンが電気クロミ
ック層15から除去されることによりこの電気クロミッ
ク層をブリーチ状態に酸化するような時間まで電気クロ
ミック層をその着色状態に維持する。
バッテリー16の極性が第1A図に示した状態に逆転し
且つスイッチ17が閉されれると、電気クロミック層1
5内に貯えられた電荷は導電線21によりバッテリーま
で返送され、バッテリーをその初期電荷まで復帰させる
。何故なら、電気クロミック層15へのイオン移動に際
し、極めて僅かのエネルギーしか損失しないからである
。バッテリー16以外の整流された電圧源を用いて「ス
マート窓」装置に充電すれば、「スマート窓」自体は蓄
電池のように作用し、電気クロミック層15の厚さと「
スマート窓」装着の全表面積とに応じて、相当量の電気
エネルギーを貯蔵することができる。
且つスイッチ17が閉されれると、電気クロミック層1
5内に貯えられた電荷は導電線21によりバッテリーま
で返送され、バッテリーをその初期電荷まで復帰させる
。何故なら、電気クロミック層15へのイオン移動に際
し、極めて僅かのエネルギーしか損失しないからである
。バッテリー16以外の整流された電圧源を用いて「ス
マート窓」装置に充電すれば、「スマート窓」自体は蓄
電池のように作用し、電気クロミック層15の厚さと「
スマート窓」装着の全表面積とに応じて、相当量の電気
エネルギーを貯蔵することができる。
リチウムイオン移動の説明は、LjgO: NbzOs
混合物のガラス状構造体によるものと思われる。リチウ
ムイオンは不飽和酸素結合を補うことができ、従って移
動性イオンとなる。ガラス状混合物のランダムな性質は
、移動性リチウムイオンに対する過剰の利用可能部位を
容易に提供する。イオン移動メカニズムの良好な説明は
、H,L、ツラー及びり、P、バトンによる「急速イオ
ン伝導性ガラスにおける構造体の割役」と題する論文〔
金属及び材料科学における第6回国際シンポジウムのプ
ロシーディング(1985年)〕に見られる。この刊行
物及び上記米国特許出願明細書及び図面を参照のためこ
こに引用し、リチウムイオン移動のメカニズムに関する
説明として充分検討すべきである。
混合物のガラス状構造体によるものと思われる。リチウ
ムイオンは不飽和酸素結合を補うことができ、従って移
動性イオンとなる。ガラス状混合物のランダムな性質は
、移動性リチウムイオンに対する過剰の利用可能部位を
容易に提供する。イオン移動メカニズムの良好な説明は
、H,L、ツラー及びり、P、バトンによる「急速イオ
ン伝導性ガラスにおける構造体の割役」と題する論文〔
金属及び材料科学における第6回国際シンポジウムのプ
ロシーディング(1985年)〕に見られる。この刊行
物及び上記米国特許出願明細書及び図面を参照のためこ
こに引用し、リチウムイオン移動のメカニズムに関する
説明として充分検討すべきである。
LizO: Nb倉Os及びLitO: Ta205の
両者のイオン伝導層における電気特性を別々に決定する
ため、5乃至X5ミリトールの全圧力を有するアルゴン
と酸素とを含む制御された雰囲気下の減圧室内にて、W
O2及び錫ドープされたInzQ2で被覆されたガラス
基板上にRFスパッタリングすることにより、これらの
混合酸化物を作成した。付着過程でXモルのリチウム損
失を補うべく、 を作成した。
両者のイオン伝導層における電気特性を別々に決定する
ため、5乃至X5ミリトールの全圧力を有するアルゴン
と酸素とを含む制御された雰囲気下の減圧室内にて、W
O2及び錫ドープされたInzQ2で被覆されたガラス
基板上にRFスパッタリングすることにより、これらの
混合酸化物を作成した。付着過程でXモルのリチウム損
失を補うべく、 を作成した。
付着過程におけるリチウムイオンの損失を補う他の方法
は、混合酸化物の付着前にXモルのリチウムを被覆ガラ
ス基板中に導入することである。
は、混合酸化物の付着前にXモルのリチウムを被覆ガラ
ス基板中に導入することである。
LixO: Nb*Os及びLitO: Ta!05の
化学量論的混合酸化物を伴う補填方法は、得られる化学
量論組成における混合酸化物層が従来得られていないた
め本発明の重要な部分である。得られる混合酸化物層の
厚さは140乃至800ナノメータの範囲であり、測定
された電子抵抗はIQIOオーム−センチメータ以上で
あり、またリチウムイオン伝導率はlO1オーム−セン
チメーター1以上であった。
化学量論的混合酸化物を伴う補填方法は、得られる化学
量論組成における混合酸化物層が従来得られていないた
め本発明の重要な部分である。得られる混合酸化物層の
厚さは140乃至800ナノメータの範囲であり、測定
された電子抵抗はIQIOオーム−センチメータ以上で
あり、またリチウムイオン伝導率はlO1オーム−セン
チメーター1以上であった。
Li1Oとの混合酸化物を形成すると思われる他の材料
は、Btu、、 MgQ、八h03.5iot、 Ca
b、 MnO,Zn0Gaz03+ WOff+ Mo
O3,Ge0t+ sro、 YzO3+ BaO及び
Zr0zである。リチウムとの混合酸化物を形成する金
属酸化物を、以下「リチウム化酸化物」と称する。
は、Btu、、 MgQ、八h03.5iot、 Ca
b、 MnO,Zn0Gaz03+ WOff+ Mo
O3,Ge0t+ sro、 YzO3+ BaO及び
Zr0zである。リチウムとの混合酸化物を形成する金
属酸化物を、以下「リチウム化酸化物」と称する。
例えば可撓性マイラー若しくはカプトン(ポリイミドプ
ラスチックに関するデュポン社の登録商標〕のような他
の透明基板もガラスの代わりに用いることができる。次
いで、「スマート窓」層状構造体を有するこの可撓性基
板は、現存する建築物の板ガラス窓を、この可撓性「ス
マート窓」層状プラスチック材料を板ガラスの内表面又
は外表面のいずれかに現場で付着させることにより、「
スマート窓」に変換することができる。
ラスチックに関するデュポン社の登録商標〕のような他
の透明基板もガラスの代わりに用いることができる。次
いで、「スマート窓」層状構造体を有するこの可撓性基
板は、現存する建築物の板ガラス窓を、この可撓性「ス
マート窓」層状プラスチック材料を板ガラスの内表面又
は外表面のいずれかに現場で付着させることにより、「
スマート窓」に変換することができる。
単純化した3層バッテリー装置25を第3図に示す。第
3図において、電子伝導性−イオン伝導性基板24はイ
オン伝導性−電子抵抗層23により被覆される。電子伝
導性−イオン伝導性22を次いでイオン伝導性−電子抵
抗層23の上に施す。
3図において、電子伝導性−イオン伝導性基板24はイ
オン伝導性−電子抵抗層23により被覆される。電子伝
導性−イオン伝導性22を次いでイオン伝導性−電子抵
抗層23の上に施す。
層22及び24との電気接続はインジウムハンガ19及
び導電線21によって行われる。上述した如く、外部バ
ッテリー16とスイッチ17とがバッテリー装置に必要
電圧を印加し、これにより外部バッテリーの極性がイオ
ン伝導性−電子絶縁層23に対するイオンの出入移動の
方向を決定する。
び導電線21によって行われる。上述した如く、外部バ
ッテリー16とスイッチ17とがバッテリー装置に必要
電圧を印加し、これにより外部バッテリーの極性がイオ
ン伝導性−電子絶縁層23に対するイオンの出入移動の
方向を決定する。
外部バッテリーの代わりに電圧発生器を用い且つスイッ
チ17を閉状態にすれば、電荷が電子伝導性−イオン伝
導層22及び24に容易に貯えられる。電子伝導性−イ
オン伝導層は、マンガン、クロム、鉄、コバルト及びニ
ッケルの任意のリチウム化酸化物から構成されるのに対
し、イオン伝導性−電子抵抗層は、上記イオン伝導性−
電子抵抗層と同様な酸化リチウム及びタンタル、ニオブ
若しくはジルコンの混合金属酸化物から構成される。
チ17を閉状態にすれば、電荷が電子伝導性−イオン伝
導層22及び24に容易に貯えられる。電子伝導性−イ
オン伝導層は、マンガン、クロム、鉄、コバルト及びニ
ッケルの任意のリチウム化酸化物から構成されるのに対
し、イオン伝導性−電子抵抗層は、上記イオン伝導性−
電子抵抗層と同様な酸化リチウム及びタンタル、ニオブ
若しくはジルコンの混合金属酸化物から構成される。
4層バッテリー装置27を第4図に示す。この装置は第
1A図及び第1B図の「スマート窓」装置10と同様で
あるが、電気クロミック層15が省略され且つ基板28
が例えばアルミニウムのような電子伝導性材料から作成
されている。例えばマンガン、クロム、鉄、コバルト及
びニッケルのリチウム化酸化物のようなイオン伝導性−
電子伝導材料からなる第1の貯蔵電極29を電子伝導性
基板の上に載置する。イオン伝導性−電子抵抗層30を
第1の貯蔵電極の上に載置すると共に、これを第1A図
及び第1B図の層14につき上記した混合酸化物で作成
する。第1の貯蔵電極29と同様な材料よりなる第2の
貯蔵電極31を、次いでイオン伝導性−電子抵抗層30
の上に付着させる。錫ドープされた酸化インジウムより
なる電子伝導層32を第2の電極層の上に付着させ、外
部バッテリー16をスイッチ17、導電線21及びイン
ジウムハンダ19とにより電子伝導性基板28及び電子
伝導層32に接続する。スイッチを閉にすると、3層装
置につき記載したように、エネルギーが第1及び第2の
貯蔵電極に貯えられ、ここで電子伝導性基板28と第1
の貯蔵電極29とは層24の機能を果たすと共に、電子
伝導層32と第2の貯蔵電極31とが層22の機能を果
たす。
1A図及び第1B図の「スマート窓」装置10と同様で
あるが、電気クロミック層15が省略され且つ基板28
が例えばアルミニウムのような電子伝導性材料から作成
されている。例えばマンガン、クロム、鉄、コバルト及
びニッケルのリチウム化酸化物のようなイオン伝導性−
電子伝導材料からなる第1の貯蔵電極29を電子伝導性
基板の上に載置する。イオン伝導性−電子抵抗層30を
第1の貯蔵電極の上に載置すると共に、これを第1A図
及び第1B図の層14につき上記した混合酸化物で作成
する。第1の貯蔵電極29と同様な材料よりなる第2の
貯蔵電極31を、次いでイオン伝導性−電子抵抗層30
の上に付着させる。錫ドープされた酸化インジウムより
なる電子伝導層32を第2の電極層の上に付着させ、外
部バッテリー16をスイッチ17、導電線21及びイン
ジウムハンダ19とにより電子伝導性基板28及び電子
伝導層32に接続する。スイッチを閉にすると、3層装
置につき記載したように、エネルギーが第1及び第2の
貯蔵電極に貯えられ、ここで電子伝導性基板28と第1
の貯蔵電極29とは層24の機能を果たすと共に、電子
伝導層32と第2の貯蔵電極31とが層22の機能を果
たす。
環境的に安定である電気クロミック反射装置は、酸化リ
チウムを諸成分の1種として含む混合酸化物を混入して
形成し得ることが示された。得られる混合酸化物層の化
学量論は、初期酸化リチウムに過剰のリチウムを混入す
るか或いは基板上に過剰のリチウムを予備付着させるこ
とにより確保される。安定な電気クロミック装置は、制
御される光学反射装置及び蓄電池に有用である。
チウムを諸成分の1種として含む混合酸化物を混入して
形成し得ることが示された。得られる混合酸化物層の化
学量論は、初期酸化リチウムに過剰のリチウムを混入す
るか或いは基板上に過剰のリチウムを予備付着させるこ
とにより確保される。安定な電気クロミック装置は、制
御される光学反射装置及び蓄電池に有用である。
以上、本発明を具体例につき説明したが、本発明の範囲
内において多くの修正乃至改良をなしうろことが了解さ
れよう。
内において多くの修正乃至改良をなしうろことが了解さ
れよう。
第1A図及び第1B図は、電子制御された光学反射特性
を示す5層電気−光学装置の断面図。 第2図は、第1A図及び第1B図に示した装置における
入射波長の関数としての透過率の特性曲線図。 第3図は、本発明による3層薄膜蓄電池の側面図。 第4図は、本発明による4層薄膜蓄電池の側面図。 l 1 ・ l 2 ・ l 3 ・ 14 ・ 15 ・ 16 ・ 17 ・ 18 ・ 20 ・ 第1の透明電子伝導層 第2の透明伝導層 対向電極層 イオン伝導層 電気クロミック層 バッテリー スイッチ 5層構造体 ガラス基板 図面の浄書(内容に変更なし) 第1A回 第11 手続補正書 (方式) %式% 1、事件の表示 平成1年特許願第73775号 2、発明の名称 薄膜イオン伝導性被覆 3、補正をする者 名称 タフツ ユニバーシティ− 7゜ 2、委任状及び法人証明書並びにそれらの訳文3、図
面(全 図) 補正の内容 1、別紙の通り
を示す5層電気−光学装置の断面図。 第2図は、第1A図及び第1B図に示した装置における
入射波長の関数としての透過率の特性曲線図。 第3図は、本発明による3層薄膜蓄電池の側面図。 第4図は、本発明による4層薄膜蓄電池の側面図。 l 1 ・ l 2 ・ l 3 ・ 14 ・ 15 ・ 16 ・ 17 ・ 18 ・ 20 ・ 第1の透明電子伝導層 第2の透明伝導層 対向電極層 イオン伝導層 電気クロミック層 バッテリー スイッチ 5層構造体 ガラス基板 図面の浄書(内容に変更なし) 第1A回 第11 手続補正書 (方式) %式% 1、事件の表示 平成1年特許願第73775号 2、発明の名称 薄膜イオン伝導性被覆 3、補正をする者 名称 タフツ ユニバーシティ− 7゜ 2、委任状及び法人証明書並びにそれらの訳文3、図
面(全 図) 補正の内容 1、別紙の通り
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、電子伝導性基板と、 この基板上に位置し、イオン伝導性−電子伝導層からな
る第1の貯蔵電極と、 この第1の貯蔵電極上に位置し、陽金属イオンを前記第
1の貯蔵電極中に移動させうるイオン伝導性−電子抵抗
層と、 前記イオン伝導性−電子抵抗層の上の第2の貯蔵電極と
、 前記第2の貯蔵電極上の電子伝導層と、 からなり、前記電子伝導層及び前記電子伝導性基板は外
部電圧源に接続されており、第1の電極の電圧が前記電
子伝導層及び前記電子伝導性基板に印加されると、前記
陽金属イオンが前記第1の貯蔵電極から前記イオン伝導
性−電子抵抗層を介して移動され、また第2の電極の電
圧が前記電子伝導層及び前記電子伝導性基板に印加され
ると、前記陽金属イオン前記イオン伝導性−電子抵抗層
を介して前記第1の貯蔵電極まで移動され、前記イオン
伝導性−電子抵抗層が混合金属酸化物から形成されてい
ることを特徴とする蓄電池。 2、混合金属酸化物が酸化リチウム、酸化硼素、酸化マ
グネシウム、酸化アルミニウム、酸化珪素、酸化カルシ
ウム、酸化マンガン及び酸化亜鉛からなる群から選択さ
れる請求項1記載の蓄電池。 3、混合酸化物が酸化リチウム、酸化ガリウム、酸化タ
ングステン、酸化モリブデン、酸化ゲルマニウム、酸化
ストロンチウム、酸化イットリウム及び酸化バリウムよ
りなる群から選択される請求項1記載の蓄電池。 4、混合金属酸化物が酸化リチウム、酸化タンタル、酸
化ニオブ及び二酸化ジルコンよりなる群から選択される
請求項1記載の蓄電池。 5、イオン伝導性−電子伝導層がマンガン、クロム、鉄
、コバルト及びニッケルのリチウム化酸化物よりなる群
から選択される請求項1記載の蓄電池。 6、透明基板を付着室内に設ける工程と、 透明基板上に透明伝導性被覆の第1の層を付着させる工
程と、 この第1の伝導層の上に電気クロミック材料の層を付着
させる工程と、 この電気クロミック層の上にイオン伝導性−電子抵抗性
の混合酸化物の層を付着させる工程と、 このイオン伝導性−電子抵抗層の上に電子伝導性−イオ
ン抵抗材料の対向電極層を付着させる工程と、 この電子伝導性−イオン抵抗層の上に透明伝導性被覆の
第2の層を付着させる工程と、 から成ることを特徴とする耐久性薄膜電気被覆の形成方
法。 7、混合酸化物層の付着工程が、酸化リチウムを含む化
学量論的組成物を付着させることからなる請求項6記載
の方法。 8、化学量論量を越える量の酸化リチウムを含む混合酸
化物を導入する工程と、 前記量の混合酸化物を付着させて化学量論的組成を与え
る工程と、を含んでいる請求項7記載の方法。 9、所定量の金属リチウムを電気クロミック層の上に付
着させる工程と、 化学量論的組成物を前記電気クロミック層の上には付着
させる工程と、を含んでいる請求項7記載の方法。 10、酸化リチウムと酸化タンタルとの化学量論量を越
える混合酸化物を作成する工程と、 前記混合酸化物を同時に付着させる工程と、を含んでい
る請求項7記載の方法。 11、酸化リチウムと酸化ニオブとの化学量論量を越え
る混合酸化物を作成する工程と、 前記混合酸化物を同時に付着させる工程と、を含んでい
る請求項7記載の方法。 12、電子伝導性−イオン伝導性基板と、 この基板上のイオン伝導性−電子抵抗層と、このイオン
伝導性−電子抵抗層の上の電子伝導性−イオン伝導層と
からなり、前記電子伝導性−イオン伝導性基板と前記電
子伝導性−イオン伝導層は外部電圧源に接続されており
、第1の極性の電圧が前記電子伝導性−イオン伝導性基
板及び前記電子伝導性−イオン伝導層に印加されると、
陽金属イオンが前記電子伝導性−イオン伝導層から前記
イオン伝導性−電子抵抗層を介して前記電子伝導性−イ
オン伝導性基板まで移動され、また第2の極性の電圧が
前記電子伝導性−イオン伝導基板及び前記電子伝導性−
イオン伝導層に印加されると、陽金属イオンが前記イオ
ン伝導性−電子抵抗層を介して前記イオン伝導性−電子
伝導層まで返送され、前記イオン伝導性−電子抵抗層が
混合金属酸化物から形成されていることを特徴とする蓄
電池。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US07/093,782 US4832463A (en) | 1987-09-08 | 1987-09-08 | Thin film ion conducting coating |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02262267A true JPH02262267A (ja) | 1990-10-25 |
Family
ID=22240687
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1073775A Pending JPH02262267A (ja) | 1987-09-08 | 1989-03-28 | 薄膜イオン伝導性被覆 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4832463A (ja) |
EP (1) | EP0386350A1 (ja) |
JP (1) | JPH02262267A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008532238A (ja) * | 2005-03-03 | 2008-08-14 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 電気化学エネルギー源の製造方法、その方法により得られる電気化学エネルギー源及び電子デバイス |
Families Citing this family (60)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4832463A (en) * | 1987-09-08 | 1989-05-23 | Tufts University | Thin film ion conducting coating |
US5051274A (en) * | 1989-09-11 | 1991-09-24 | Tufts University | Ion-beam based deposition of coatings for electrochromic devices |
US5189550A (en) * | 1989-09-11 | 1993-02-23 | Tufts University | Ion-beam based deposition of coatings for electrochromic devices |
US5733506A (en) * | 1989-11-08 | 1998-03-31 | British Technology Group, Ltd. | Gas sensors and compounds suitable therefor |
US4979828A (en) * | 1989-11-13 | 1990-12-25 | Tufts University | Phase conjugate interferometer for measuring thin film properties |
US5080471A (en) * | 1990-04-06 | 1992-01-14 | Eic Laboratories, Inc. | Electrochromic material and electro-optical device using same |
US5133594A (en) * | 1990-07-19 | 1992-07-28 | Tufts University | Transparent ion-blocking layer for electrochromic windows |
US5171413A (en) * | 1991-09-16 | 1992-12-15 | Tufts University | Methods for manufacturing solid state ionic devices |
KR100271537B1 (ko) * | 1992-04-10 | 2000-11-15 | 존 이. 밴 다인 | 전자크롬장치 및 그 제조방법 |
US5532869A (en) * | 1994-04-29 | 1996-07-02 | Tufts University | Transparent, electrically-conductive, ion-blocking layer for electrochromic windows |
WO1996006203A1 (en) * | 1994-08-19 | 1996-02-29 | Optical Coating Laboratory, Inc. | Electrochromic materials and devices, and method |
FR2746934B1 (fr) * | 1996-03-27 | 1998-05-07 | Saint Gobain Vitrage | Dispositif electrochimique |
FR2753545B1 (fr) * | 1996-09-18 | 1998-10-16 | Saint Gobain Vitrage | Dispositif electrochimique |
US6094292A (en) * | 1997-10-15 | 2000-07-25 | Trustees Of Tufts College | Electrochromic window with high reflectivity modulation |
US6982132B1 (en) | 1997-10-15 | 2006-01-03 | Trustees Of Tufts College | Rechargeable thin film battery and method for making the same |
US20070221265A1 (en) * | 2006-03-22 | 2007-09-27 | Sion Power Corporation | Rechargeable lithium/water, lithium/air batteries |
US7247408B2 (en) | 1999-11-23 | 2007-07-24 | Sion Power Corporation | Lithium anodes for electrochemical cells |
US6515787B1 (en) | 2000-03-07 | 2003-02-04 | Eclipse Energy Systems, Inc. | Electrochromic layer |
DE60135100D1 (de) * | 2000-03-24 | 2008-09-11 | Cymbet Corp | E mit ultradünnem elektrolyten |
GB0015664D0 (en) * | 2000-06-28 | 2000-08-16 | Secr Defence | Electrochromic devices |
US7009750B1 (en) | 2002-10-25 | 2006-03-07 | Eclipse Energy Systems, Inc. | Apparatus and methods for modulating refractive index |
US7603144B2 (en) * | 2003-01-02 | 2009-10-13 | Cymbet Corporation | Active wireless tagging system on peel and stick substrate |
US20040131760A1 (en) * | 2003-01-02 | 2004-07-08 | Stuart Shakespeare | Apparatus and method for depositing material onto multiple independently moving substrates in a chamber |
US7294209B2 (en) * | 2003-01-02 | 2007-11-13 | Cymbet Corporation | Apparatus and method for depositing material onto a substrate using a roll-to-roll mask |
US6906436B2 (en) * | 2003-01-02 | 2005-06-14 | Cymbet Corporation | Solid state activity-activated battery device and method |
US7211351B2 (en) | 2003-10-16 | 2007-05-01 | Cymbet Corporation | Lithium/air batteries with LiPON as separator and protective barrier and method |
CN1957487A (zh) * | 2004-01-06 | 2007-05-02 | Cymbet公司 | 具有一个或者更多个可限定层的层式阻挡物结构和方法 |
US7118069B2 (en) * | 2004-12-02 | 2006-10-10 | The Boeing Company | Integrated window belt system for aircraft cabins |
US7372610B2 (en) | 2005-02-23 | 2008-05-13 | Sage Electrochromics, Inc. | Electrochromic devices and methods |
US7776478B2 (en) * | 2005-07-15 | 2010-08-17 | Cymbet Corporation | Thin-film batteries with polymer and LiPON electrolyte layers and method |
WO2007011900A1 (en) * | 2005-07-15 | 2007-01-25 | Cymbet Corporation | Thin-film batteries with soft and hard electrolyte layers and method |
US7593154B2 (en) * | 2005-10-11 | 2009-09-22 | Sage Electrochromics, Inc. | Electrochromic devices having improved ion conducting layers |
US8432603B2 (en) | 2009-03-31 | 2013-04-30 | View, Inc. | Electrochromic devices |
US10156762B2 (en) | 2009-03-31 | 2018-12-18 | View, Inc. | Counter electrode for electrochromic devices |
US11187954B2 (en) | 2009-03-31 | 2021-11-30 | View, Inc. | Electrochromic cathode materials |
US9261751B2 (en) | 2010-04-30 | 2016-02-16 | View, Inc. | Electrochromic devices |
US8582193B2 (en) | 2010-04-30 | 2013-11-12 | View, Inc. | Electrochromic devices |
US10591795B2 (en) | 2009-03-31 | 2020-03-17 | View, Inc. | Counter electrode for electrochromic devices |
WO2016085764A1 (en) | 2014-11-26 | 2016-06-02 | View, Inc. | Counter electrode for electrochromic devices |
US10852613B2 (en) | 2009-03-31 | 2020-12-01 | View, Inc. | Counter electrode material for electrochromic devices |
US10261381B2 (en) | 2009-03-31 | 2019-04-16 | View, Inc. | Fabrication of low defectivity electrochromic devices |
US12043890B2 (en) | 2009-03-31 | 2024-07-23 | View, Inc. | Electrochromic devices |
FR2948356B1 (fr) | 2009-07-22 | 2011-08-19 | Saint Gobain | Dispositif electrochrome |
US20110299155A1 (en) * | 2010-04-13 | 2011-12-08 | Mccarthy Derrick J | Energy reflective device |
US9759975B2 (en) * | 2010-04-30 | 2017-09-12 | View, Inc. | Electrochromic devices |
US11527774B2 (en) | 2011-06-29 | 2022-12-13 | Space Charge, LLC | Electrochemical energy storage devices |
US9853325B2 (en) | 2011-06-29 | 2017-12-26 | Space Charge, LLC | Rugged, gel-free, lithium-free, high energy density solid-state electrochemical energy storage devices |
US10601074B2 (en) | 2011-06-29 | 2020-03-24 | Space Charge, LLC | Rugged, gel-free, lithium-free, high energy density solid-state electrochemical energy storage devices |
US11996517B2 (en) | 2011-06-29 | 2024-05-28 | Space Charge, LLC | Electrochemical energy storage devices |
US10658705B2 (en) | 2018-03-07 | 2020-05-19 | Space Charge, LLC | Thin-film solid-state energy storage devices |
CN104122730A (zh) * | 2013-04-27 | 2014-10-29 | 珠海兴业绿色建筑科技有限公司 | 一种反射型电致变色器件 |
US20150177585A1 (en) * | 2013-12-19 | 2015-06-25 | Intermolecular, Inc. | Systems, Methods, and Apparatus for Integrated Glass Units Having Adjustable Transmissivities |
US11891327B2 (en) | 2014-05-02 | 2024-02-06 | View, Inc. | Fabrication of low defectivity electrochromic devices |
JP6610023B2 (ja) * | 2014-07-01 | 2019-11-27 | 株式会社リコー | エレクトロクロミック表示装置 |
EP3982195A1 (en) | 2014-09-05 | 2022-04-13 | View, Inc. | Counter electrode for electrochromic devices |
CN107078277B (zh) | 2014-09-09 | 2022-07-22 | 赛昂能源有限公司 | 锂离子电化学电池中的保护层及相关电极和方法 |
WO2017201529A1 (en) * | 2016-05-20 | 2017-11-23 | Gentex Corporation | Resistive coating for voltage uniformity |
WO2019162887A1 (en) | 2018-02-22 | 2019-08-29 | Gentex Corporation | Nanoparticle resistive films for electrochromic devices, and methods of making the same |
CN111142304B (zh) * | 2019-12-25 | 2022-10-14 | 宁波祢若电子科技有限公司 | 一种全固态电致变色器件及其制作方法 |
CN115261792B (zh) * | 2022-07-05 | 2023-10-13 | 锦西化工研究院有限公司 | 一种电致变色涂层的制备方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3888565A (en) * | 1973-01-02 | 1975-06-10 | American Cyanamid Co | Electrochromic voltage indicator |
CH573155A5 (ja) * | 1974-06-12 | 1976-02-27 | Bbc Brown Boveri & Cie | |
GB1588511A (en) * | 1976-07-07 | 1981-04-23 | Ici Ltd | Electrochromic device |
US4130694A (en) * | 1977-08-15 | 1978-12-19 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Amorphous metal oxide material between electrodes of a cell |
JPS5543555A (en) * | 1978-09-25 | 1980-03-27 | Toshiba Corp | Display cell |
DE3068002D1 (en) * | 1979-04-05 | 1984-07-05 | Atomic Energy Authority Uk | Electrochemical cell and method of making ion conductors for said cell |
US4325611A (en) * | 1979-12-26 | 1982-04-20 | Stanford University | Electrochromic material and electro-optical display using same |
US4367267A (en) * | 1980-04-25 | 1983-01-04 | Hitachi, Ltd. | Amorphous lithium fluoaluminate |
JPS578524A (en) * | 1980-06-19 | 1982-01-16 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Electrochromic display element |
US4482216A (en) * | 1980-11-11 | 1984-11-13 | Citizen Watch Co., Ltd. | Solid state complementary electrochromic display devices |
JPS5960814A (ja) * | 1982-09-29 | 1984-04-06 | 株式会社日立製作所 | 酸化リチウム系非晶質イオン導電体 |
FR2550015B3 (fr) * | 1983-07-28 | 1986-03-21 | Rech Applic Electrochimique | Generateur electrochimique en couche mince comportant une electrode positive electrodeposee |
GB8422261D0 (en) * | 1984-09-04 | 1984-10-10 | Green M | Electrochromic display device |
GB8521753D0 (en) * | 1985-09-02 | 1985-10-09 | Green M | Oxide bronze materials |
US4832463A (en) * | 1987-09-08 | 1989-05-23 | Tufts University | Thin film ion conducting coating |
JPH01239228A (ja) * | 1988-03-18 | 1989-09-25 | Iseki & Co Ltd | フロントローダの支持装置 |
-
1987
- 1987-09-08 US US07/093,782 patent/US4832463A/en not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-03-06 EP EP89302219A patent/EP0386350A1/en not_active Withdrawn
- 1989-03-28 JP JP1073775A patent/JPH02262267A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008532238A (ja) * | 2005-03-03 | 2008-08-14 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 電気化学エネルギー源の製造方法、その方法により得られる電気化学エネルギー源及び電子デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4832463A (en) | 1989-05-23 |
EP0386350A1 (en) | 1990-09-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH02262267A (ja) | 薄膜イオン伝導性被覆 | |
US20230176439A1 (en) | Electrochromic devices and methods | |
US5321544A (en) | Electrochromic structures and methods | |
US6822778B2 (en) | Electrochromic layer | |
US5133594A (en) | Transparent ion-blocking layer for electrochromic windows | |
AU675822B2 (en) | Electrochromic devices with optical tuning layers | |
US5171413A (en) | Methods for manufacturing solid state ionic devices | |
US5080471A (en) | Electrochromic material and electro-optical device using same | |
US4876628A (en) | Thin film ion conducting coating | |
JPH10206902A (ja) | 電気化学装置及びその製造方法 | |
JPH04267227A (ja) | エレクトロクロミックガラス | |
US4225216A (en) | Tungsten niobate electrochromic device | |
US5919571A (en) | Counterelectrode layer | |
JPH0215243A (ja) | エレクトロクロム型可変透過性ガラス板 | |
JPS61103982A (ja) | エレクトロクロミツク素子 | |
JPS61103981A (ja) | エレクトロクロミツク素子 |