JPH02262267A - 薄膜イオン伝導性被覆 - Google Patents

薄膜イオン伝導性被覆

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JPH02262267A
JPH02262267A JP1073775A JP7377589A JPH02262267A JP H02262267 A JPH02262267 A JP H02262267A JP 1073775 A JP1073775 A JP 1073775A JP 7377589 A JP7377589 A JP 7377589A JP H02262267 A JPH02262267 A JP H02262267A
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layer
electronically
conductive
ionically conductive
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B Goldner Ronald
ロナルド ビー ゴールドナー
Haas Terry
テリー ハース
Keong Hwang Kwok
クオク・ケオング ウオング
Seward George
ジヨージ セワード
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Tufts University
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、薄膜イオン伝導性被覆の形成方法及びこれを
用いた蓄電池に関する。
〔従来の技術〕
[スマー) (smart) J窓を形成すべく光学的
活性材料を改質するための薄膜透明被覆を現在入手する
ことができ、光学的可変層に対する電子及びイオンの出
入移動を制御することにより窓の反射特性及び透過特性
を変化させることができる。1984年8月21日付は
出願の「光度iJl装置」と題する米国特許出願筒64
2,956号の明細書及び図面は、この種の被覆を形成
するために使用される材料を記載している。
更に、電気エネルギーを貯蔵する大面積を備えた蓄電池
を形成するための薄膜材料も知られている。固相バッテ
リー用として特定の薄膜電子−光学活性材料を使用する
ことが、例えば、ロナルドB、ゴルドナーにより「電気
クロミック・スマート・窓」と題する論文(T REE
  リフレクタ−・パブリケーション、第35巻(19
87年5月))に記載されている。
この開示によれば、薄膜電気−光学装置は数千オングス
トロームの程度の厚さを有するのに対し、所謂「厚膜J
固相・電子回路は数ミクロン以上である。参照のために
ここに引用する上記米国特許出願は5層の装置を教示し
ており、この装置はガラス上に載置されてこれら層の1
つの反射特性を制御することにより光学エネルギーを透
明基板中に選択的に伝達させる。成る磁気にはこの種の
薄膜装置が知られていたが、この種の薄膜電気−光学装
置の産業上の利用は、従来経済的に可能でなかった。
変調層の1つ(即ち、電気クロミック層中にイオンを移
動させるべく使用されるイオン伝導性)は、電気的に反
対の2つの性質を示し且つ維持せねばならない。イオン
伝導層は電場を加えた際にイオンを容易に伝達し、しか
も電子移動に対し電気絶縁性を維持せねばならない。こ
のような電気絶縁特性は、広範囲の気候条件にわたって
変化することが判明した。イオン伝導層を電気クロミッ
ク装置内で形成すべく現在使用されている材料は、僅か
に吸湿性であると共に水容性である。電気クロミンク装
置を包囲する空気中の水分含有量が増加すると、絶縁特
性に変化をもたらすだけでなく、実際に装置が湿度制御
された環境に置かれなければ被覆を溶解し且つ破壊する
ことがある。この種の材料の機械的性質は、湿度上昇と
共に変化することが判明している。100℃を越える温
度になるとこれらの材料は結晶化し、亀裂し、従ってそ
の接触基板に対する付着性を喪失する傾向がある。
建築用途並びに自動車、飛行機及び軍事用途の場合、機
械的強度、耐湿性及び温度安定性に関し厳密な性能基準
が要求される。大抵の産業用途に関する温度基準は、例
えば200℃を越える温度にて良好な機械強度を要求す
る。
〔発明が解決しようとする課題〕
従って、本発明の課題は、良好なイオン移動特性を高電
子抵抗と共に有し、しかも広範囲の温度及び湿度にわた
り高い物理的一体性を保持するような電気的活性層を形
成するための方法及び材料を提供することである。
〔課題を解決するための手段〕
透明な薄膜イオン伝導性−電子抵抗層は、リチウムとタ
ンタル又はリチウムとニオブの混合酸化物を電気−光学
活性基板の上に付着させて光学特性を制御することによ
り形成される。薄膜蓄電池内に電解層を形成するにも、
同じ材料が使用される。
〔具体例〕
以下、添付図面を参照して更に詳述する。
ガラス基板20上に載置された5層構造体18が第1A
図に示されており、この層状構造体I8はイオン伝導層
14を備えている−この層状構造体を以下「スマート窓
」と称し、低電圧バッテリー16とスイッチ17とによ
り形成された電場が、インジウム若しくはその他の金属
電極19と導電線21とにより層状構造体に加えられる
。上記米国特許出願明細書及び図面に記載されている如
く、バッテリー16の極性が、第1の透明電子伝導層1
1と対向電極層13とイオン伝導層14と電気クロミッ
ク層15と第2の透明伝導層12との間を移動する電尚
の性質を支配する。第1A図におけるスイッチ17が閉
になると、付着された層状構造体18に対する電場は、
イオンを電気クロミック層15から対向電極層13まで
イオン伝導層14を介して伝達し、第2図に示した「ブ
リーチ(bleached) J状態をもたらし、これ
によりガラス基板20に対する透過率が最大となる0代
表的な光線26は、光学スペクトルの「近赤外」領域と
して規定される0、7μmより大きい波長を示す。
上記特許出願の明細書及び図面に記載されている如く、
太陽光線スペクトルの赤外領域は、太陽からの使用可能
な熱エネルギーの大部分を伝達する領域である。
第1B図にはパンテリー16の極性を第1A図における
極性とは逆転にした層状構造体18を図示し、スイッチ
17が閉になると電場が層状構造体に発生し、イオンは
対向電極層13から電気クロミック層15中に伝達され
、電気クロミック層の構造を第2図に示された金属状態
(即ち、所謂「着色」状態)に変化させる。この状態に
おいては赤外エネルギーの大部分は、代表的光線26の
反射によって示される如く、電気クロミック層15によ
り反射される。電気クロミック層15を構成する多結晶
酸化タングステン材料(WO:+ )による反射の現象
は、例えばアプライド・フィジックス・レタース、第4
7巻、第5頁(1985年9月1日)における「電気ク
ロミック性多結晶WO,フィルムの挙動を支配する自由
電子の証明」と題する論文に記載されており、この刊行
物及び前記米国特許出願明細書及び図面を参照のためこ
こに引用する。
耐久性のある経済上可能な電気クロミック装置を提供す
るために、前記図面に示した層状構造体における層11
乃至15のため次の材料を選択した。層11及び】2は
、RFスパッタリングされた錫ドープ酸化インジウムか
ら形成し、層13はRFスパッタリングされたIn30
:+から形成し、層14はRFスパッタリングされたL
iO□: 1lbzOsから形成し、また層15はRF
スパッタリングされた賀03から形成した。層11.1
2.13及び15は上記米国特許出願の明細書及び図面
に記載されたものと同様である。層14、即ちイオン伝
導性若しくは電解層は、「ガラス状」 (即ち耐久性及
び透明性を有する)混合酸化物層を形成するようLiN
bO3をRFスパッタリングして形成した。この種の混
合酸化物ガラスは、ジャーナル・オプ・アプライド・フ
ィジックス、第49巻、第9頁(1978年9月)にお
ける「急冷アルカリニオベート及びタンタレートガラス
のイオン伝導性」と題する論文に記載されている如く、
それ自体で高イオン伝導性と高電子抵抗性とを示すこと
が従来から知られているが、光変調用の層状構造体にイ
オン伝導層として使用することは従来から考えられてい
なかった。
混合酸化物相をRFスパッタリングして化学量論的Li
□0 : Nb2O2を形成させる試みに伴う困難性の
1つは、電気クロミック層15上にRFスパッタリング
するべく化学量論量のLift及びNb2O5を作成す
ると、得られるリチウム及びタンタルの混合酸化物相が
化学量論量より少なくなり、従って電気クロミック性層
状構造体に要求されるように最適のイオン伝導性と最大
の電子抵抗性とを示さないことである。リチウムとニオ
ブとの混合酸化物を化学量論量以上で作成すると、得ら
れるスパッタリング付着した混合物酸化物は幾分かの材
料がスパッタリング過程で損失されるため化学量論量に
なることが従来から知られている。電子層状構造体18
を不活性ガス−酸素雰囲気中で連続RFスパッタリング
法により形成すると、200乃至300℃以上の温度で
安定性を示すような耐久性及び耐水性を有する層状構造
体が形成される。
「スマート窓」装置lOを第1B図に示すようにその着
色状態で操作する場合は、パンテリー16に対するスイ
ッチ17を、リチウムイオンがイオン伝導性−電子抵抗
層14から電気クロミック層15まで移動して電気クロ
ミック層をその金属状B(即ち着色状態)にするのに充
分な時間にわたって閉にする。次いで、スイッチ17を
開にし、極性が逆転し且つリチウムイオンが電気クロミ
ック層15から除去されることによりこの電気クロミッ
ク層をブリーチ状態に酸化するような時間まで電気クロ
ミック層をその着色状態に維持する。
バッテリー16の極性が第1A図に示した状態に逆転し
且つスイッチ17が閉されれると、電気クロミック層1
5内に貯えられた電荷は導電線21によりバッテリーま
で返送され、バッテリーをその初期電荷まで復帰させる
。何故なら、電気クロミック層15へのイオン移動に際
し、極めて僅かのエネルギーしか損失しないからである
。バッテリー16以外の整流された電圧源を用いて「ス
マート窓」装置に充電すれば、「スマート窓」自体は蓄
電池のように作用し、電気クロミック層15の厚さと「
スマート窓」装着の全表面積とに応じて、相当量の電気
エネルギーを貯蔵することができる。
リチウムイオン移動の説明は、LjgO: NbzOs
混合物のガラス状構造体によるものと思われる。リチウ
ムイオンは不飽和酸素結合を補うことができ、従って移
動性イオンとなる。ガラス状混合物のランダムな性質は
、移動性リチウムイオンに対する過剰の利用可能部位を
容易に提供する。イオン移動メカニズムの良好な説明は
、H,L、ツラー及びり、P、バトンによる「急速イオ
ン伝導性ガラスにおける構造体の割役」と題する論文〔
金属及び材料科学における第6回国際シンポジウムのプ
ロシーディング(1985年)〕に見られる。この刊行
物及び上記米国特許出願明細書及び図面を参照のためこ
こに引用し、リチウムイオン移動のメカニズムに関する
説明として充分検討すべきである。
LizO: Nb倉Os及びLitO: Ta205の
両者のイオン伝導層における電気特性を別々に決定する
ため、5乃至X5ミリトールの全圧力を有するアルゴン
と酸素とを含む制御された雰囲気下の減圧室内にて、W
O2及び錫ドープされたInzQ2で被覆されたガラス
基板上にRFスパッタリングすることにより、これらの
混合酸化物を作成した。付着過程でXモルのリチウム損
失を補うべく、 を作成した。
付着過程におけるリチウムイオンの損失を補う他の方法
は、混合酸化物の付着前にXモルのリチウムを被覆ガラ
ス基板中に導入することである。
LixO: Nb*Os及びLitO: Ta!05の
化学量論的混合酸化物を伴う補填方法は、得られる化学
量論組成における混合酸化物層が従来得られていないた
め本発明の重要な部分である。得られる混合酸化物層の
厚さは140乃至800ナノメータの範囲であり、測定
された電子抵抗はIQIOオーム−センチメータ以上で
あり、またリチウムイオン伝導率はlO1オーム−セン
チメーター1以上であった。
Li1Oとの混合酸化物を形成すると思われる他の材料
は、Btu、、 MgQ、八h03.5iot、 Ca
b、 MnO,Zn0Gaz03+ WOff+ Mo
O3,Ge0t+ sro、 YzO3+ BaO及び
Zr0zである。リチウムとの混合酸化物を形成する金
属酸化物を、以下「リチウム化酸化物」と称する。
例えば可撓性マイラー若しくはカプトン(ポリイミドプ
ラスチックに関するデュポン社の登録商標〕のような他
の透明基板もガラスの代わりに用いることができる。次
いで、「スマート窓」層状構造体を有するこの可撓性基
板は、現存する建築物の板ガラス窓を、この可撓性「ス
マート窓」層状プラスチック材料を板ガラスの内表面又
は外表面のいずれかに現場で付着させることにより、「
スマート窓」に変換することができる。
単純化した3層バッテリー装置25を第3図に示す。第
3図において、電子伝導性−イオン伝導性基板24はイ
オン伝導性−電子抵抗層23により被覆される。電子伝
導性−イオン伝導性22を次いでイオン伝導性−電子抵
抗層23の上に施す。
層22及び24との電気接続はインジウムハンガ19及
び導電線21によって行われる。上述した如く、外部バ
ッテリー16とスイッチ17とがバッテリー装置に必要
電圧を印加し、これにより外部バッテリーの極性がイオ
ン伝導性−電子絶縁層23に対するイオンの出入移動の
方向を決定する。
外部バッテリーの代わりに電圧発生器を用い且つスイッ
チ17を閉状態にすれば、電荷が電子伝導性−イオン伝
導層22及び24に容易に貯えられる。電子伝導性−イ
オン伝導層は、マンガン、クロム、鉄、コバルト及びニ
ッケルの任意のリチウム化酸化物から構成されるのに対
し、イオン伝導性−電子抵抗層は、上記イオン伝導性−
電子抵抗層と同様な酸化リチウム及びタンタル、ニオブ
若しくはジルコンの混合金属酸化物から構成される。
4層バッテリー装置27を第4図に示す。この装置は第
1A図及び第1B図の「スマート窓」装置10と同様で
あるが、電気クロミック層15が省略され且つ基板28
が例えばアルミニウムのような電子伝導性材料から作成
されている。例えばマンガン、クロム、鉄、コバルト及
びニッケルのリチウム化酸化物のようなイオン伝導性−
電子伝導材料からなる第1の貯蔵電極29を電子伝導性
基板の上に載置する。イオン伝導性−電子抵抗層30を
第1の貯蔵電極の上に載置すると共に、これを第1A図
及び第1B図の層14につき上記した混合酸化物で作成
する。第1の貯蔵電極29と同様な材料よりなる第2の
貯蔵電極31を、次いでイオン伝導性−電子抵抗層30
の上に付着させる。錫ドープされた酸化インジウムより
なる電子伝導層32を第2の電極層の上に付着させ、外
部バッテリー16をスイッチ17、導電線21及びイン
ジウムハンダ19とにより電子伝導性基板28及び電子
伝導層32に接続する。スイッチを閉にすると、3層装
置につき記載したように、エネルギーが第1及び第2の
貯蔵電極に貯えられ、ここで電子伝導性基板28と第1
の貯蔵電極29とは層24の機能を果たすと共に、電子
伝導層32と第2の貯蔵電極31とが層22の機能を果
たす。
環境的に安定である電気クロミック反射装置は、酸化リ
チウムを諸成分の1種として含む混合酸化物を混入して
形成し得ることが示された。得られる混合酸化物層の化
学量論は、初期酸化リチウムに過剰のリチウムを混入す
るか或いは基板上に過剰のリチウムを予備付着させるこ
とにより確保される。安定な電気クロミック装置は、制
御される光学反射装置及び蓄電池に有用である。
以上、本発明を具体例につき説明したが、本発明の範囲
内において多くの修正乃至改良をなしうろことが了解さ
れよう。
【図面の簡単な説明】
第1A図及び第1B図は、電子制御された光学反射特性
を示す5層電気−光学装置の断面図。 第2図は、第1A図及び第1B図に示した装置における
入射波長の関数としての透過率の特性曲線図。 第3図は、本発明による3層薄膜蓄電池の側面図。 第4図は、本発明による4層薄膜蓄電池の側面図。 l 1 ・ l 2 ・ l 3 ・ 14 ・ 15 ・ 16 ・ 17 ・ 18 ・ 20 ・ 第1の透明電子伝導層 第2の透明伝導層 対向電極層 イオン伝導層 電気クロミック層 バッテリー スイッチ 5層構造体 ガラス基板 図面の浄書(内容に変更なし) 第1A回 第11 手続補正書 (方式) %式% 1、事件の表示 平成1年特許願第73775号 2、発明の名称 薄膜イオン伝導性被覆 3、補正をする者 名称  タフツ ユニバーシティ− 7゜ 2、委任状及び法人証明書並びにそれらの訳文3、図 
面(全 図) 補正の内容 1、別紙の通り

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、電子伝導性基板と、 この基板上に位置し、イオン伝導性−電子伝導層からな
    る第1の貯蔵電極と、 この第1の貯蔵電極上に位置し、陽金属イオンを前記第
    1の貯蔵電極中に移動させうるイオン伝導性−電子抵抗
    層と、 前記イオン伝導性−電子抵抗層の上の第2の貯蔵電極と
    、 前記第2の貯蔵電極上の電子伝導層と、 からなり、前記電子伝導層及び前記電子伝導性基板は外
    部電圧源に接続されており、第1の電極の電圧が前記電
    子伝導層及び前記電子伝導性基板に印加されると、前記
    陽金属イオンが前記第1の貯蔵電極から前記イオン伝導
    性−電子抵抗層を介して移動され、また第2の電極の電
    圧が前記電子伝導層及び前記電子伝導性基板に印加され
    ると、前記陽金属イオン前記イオン伝導性−電子抵抗層
    を介して前記第1の貯蔵電極まで移動され、前記イオン
    伝導性−電子抵抗層が混合金属酸化物から形成されてい
    ることを特徴とする蓄電池。 2、混合金属酸化物が酸化リチウム、酸化硼素、酸化マ
    グネシウム、酸化アルミニウム、酸化珪素、酸化カルシ
    ウム、酸化マンガン及び酸化亜鉛からなる群から選択さ
    れる請求項1記載の蓄電池。 3、混合酸化物が酸化リチウム、酸化ガリウム、酸化タ
    ングステン、酸化モリブデン、酸化ゲルマニウム、酸化
    ストロンチウム、酸化イットリウム及び酸化バリウムよ
    りなる群から選択される請求項1記載の蓄電池。 4、混合金属酸化物が酸化リチウム、酸化タンタル、酸
    化ニオブ及び二酸化ジルコンよりなる群から選択される
    請求項1記載の蓄電池。 5、イオン伝導性−電子伝導層がマンガン、クロム、鉄
    、コバルト及びニッケルのリチウム化酸化物よりなる群
    から選択される請求項1記載の蓄電池。 6、透明基板を付着室内に設ける工程と、 透明基板上に透明伝導性被覆の第1の層を付着させる工
    程と、 この第1の伝導層の上に電気クロミック材料の層を付着
    させる工程と、 この電気クロミック層の上にイオン伝導性−電子抵抗性
    の混合酸化物の層を付着させる工程と、 このイオン伝導性−電子抵抗層の上に電子伝導性−イオ
    ン抵抗材料の対向電極層を付着させる工程と、 この電子伝導性−イオン抵抗層の上に透明伝導性被覆の
    第2の層を付着させる工程と、 から成ることを特徴とする耐久性薄膜電気被覆の形成方
    法。 7、混合酸化物層の付着工程が、酸化リチウムを含む化
    学量論的組成物を付着させることからなる請求項6記載
    の方法。 8、化学量論量を越える量の酸化リチウムを含む混合酸
    化物を導入する工程と、 前記量の混合酸化物を付着させて化学量論的組成を与え
    る工程と、を含んでいる請求項7記載の方法。 9、所定量の金属リチウムを電気クロミック層の上に付
    着させる工程と、 化学量論的組成物を前記電気クロミック層の上には付着
    させる工程と、を含んでいる請求項7記載の方法。 10、酸化リチウムと酸化タンタルとの化学量論量を越
    える混合酸化物を作成する工程と、 前記混合酸化物を同時に付着させる工程と、を含んでい
    る請求項7記載の方法。 11、酸化リチウムと酸化ニオブとの化学量論量を越え
    る混合酸化物を作成する工程と、 前記混合酸化物を同時に付着させる工程と、を含んでい
    る請求項7記載の方法。 12、電子伝導性−イオン伝導性基板と、 この基板上のイオン伝導性−電子抵抗層と、このイオン
    伝導性−電子抵抗層の上の電子伝導性−イオン伝導層と
    からなり、前記電子伝導性−イオン伝導性基板と前記電
    子伝導性−イオン伝導層は外部電圧源に接続されており
    、第1の極性の電圧が前記電子伝導性−イオン伝導性基
    板及び前記電子伝導性−イオン伝導層に印加されると、
    陽金属イオンが前記電子伝導性−イオン伝導層から前記
    イオン伝導性−電子抵抗層を介して前記電子伝導性−イ
    オン伝導性基板まで移動され、また第2の極性の電圧が
    前記電子伝導性−イオン伝導基板及び前記電子伝導性−
    イオン伝導層に印加されると、陽金属イオンが前記イオ
    ン伝導性−電子抵抗層を介して前記イオン伝導性−電子
    伝導層まで返送され、前記イオン伝導性−電子抵抗層が
    混合金属酸化物から形成されていることを特徴とする蓄
    電池。
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