JPH02262127A - Waveguide type optical switch - Google Patents

Waveguide type optical switch

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JPH02262127A
JPH02262127A JP8245689A JP8245689A JPH02262127A JP H02262127 A JPH02262127 A JP H02262127A JP 8245689 A JP8245689 A JP 8245689A JP 8245689 A JP8245689 A JP 8245689A JP H02262127 A JPH02262127 A JP H02262127A
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JP
Japan
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optical switch
mode
waveguide
polarized wave
state
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JP8245689A
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Japanese (ja)
Inventor
Keishiro Takakura
高倉 敬志郎
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Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To select a switching structure matching each polarized wave and to improve manufacture conditions by switching each polarized wave with a TE optical switch and a TM optical switch and joining respective polarized waves by a confluence part. CONSTITUTION:Electrodes 31 and 33 are respectively controlled to put a TE optical switch 30 in a bar state and a TM optical switch 32 in a cross state. In those states, a TE-mode polarized wave after passing through a waveguide 23 enters the TE optical switch 30 in the bar state and has no transition here to reach an exit terminal 36. A TM-mode polarized wave, on the other hand, enters the TM optical switch 32 in the cross state after passing through the waveguide 23 and has transition here to pass through a waveguide 26 and the polarized wave is joined with the TE-mode polarized wave at a confluence point 35 to reach the exit end 36. Consequently, the E optical switches 30 and TM signal switch 32 select switching structures matching the respective polarized waves and the manufacture conditions are improved.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は光通信、光測定などに用いる導波路形光スイッ
チに関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a waveguide type optical switch used for optical communication, optical measurement, etc.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

現在、導波路形光スイッチとしては、Ti(チタン)拡
散LiNbO3にオブ酸リチウム)をベースとした方向
性結合器形光スイッチが勇も良く知られている。この形
式の光スイッチでは、第4図(a)。
Currently, as a waveguide type optical switch, a directional coupler type optical switch based on Ti (titanium) diffused LiNbO3 and lithium oxide is well known. This type of optical switch is shown in FIG. 4(a).

(b)に示すように2木の先導波路(1) 、 (2)
が近接して光方向性結合器部(3)を形成し、この結合
器部(3)の先導波路(1) 、 (2)の上部には電
極(4)。
As shown in (b), there are two leading waveguides (1) and (2).
are in close proximity to form an optical directional coupler section (3), and electrodes (4) are disposed above the leading waveguides (1) and (2) of this coupler section (3).

(5)が設置されている。電圧が印加されていない状態
では、先導波路(1)のボート(6)から入射した光は
、方向性結合器部(3)で近接した他の光導波路(2)
に結合し、結合器部(3)の長さに応じて出力側のボー
ト(8)へ移行する。ボート(6)からの入射光が完全
にボート(8)へ移行した状態を■状態(クロス状態)
と言い(第4図(b)中の曲線A)、この時の結合器部
(3)の長さを、完全結合長Lcという。
(5) is installed. When no voltage is applied, the light incident from the boat (6) of the leading waveguide (1) passes through another nearby optical waveguide (2) at the directional coupler section (3).
and is transferred to the output port (8) depending on the length of the coupler section (3). The state where the incident light from the boat (6) is completely transferred to the boat (8) is the ■ state (cross state).
(curve A in FIG. 4(b)), and the length of the coupler section (3) at this time is called the complete coupling length Lc.

一方、電極(4) 、 (5)に電圧を印加すると、電
気光学効果(ポッケルス効果)により導波路(1)。
On the other hand, when a voltage is applied to the electrodes (4) and (5), the waveguide (1) is formed due to the electro-optic effect (Pockels effect).

(2)の屈折率が変化し、結合器部(3)の2木の先導
波路(1) 、 (2)間に位相不整合Δβ(Δβは伝
1搬定数差)が生じ、ボート(8)から出射されていた
光はボート(7)から出射されるようになりスイッチン
グが行われる。この状態をe状態(バー状態)という(
第4図(b)中の曲線B)。
The refractive index of (2) changes, and a phase mismatch Δβ (Δβ is the difference in propagation constant) occurs between the two trees of leading wavepaths (1) and (2) in the coupler section (3), and the boat (8 ) is now emitted from the boat (7), and switching is performed. This state is called e state (bar state) (
Curve B in FIG. 4(b)).

〔発明が解決しようとする劃1 かかる導波路形光スイッチは、光交換機、高速LANノ
ード、光計測器等のキーデバイスとして使用されるもの
であるが、通常の単一モードファイバを用いたシステム
の適用上の制約となっている入射偏光依存性をなくすこ
とが重要な課題である。
[Part 1 to be solved by the invention Such a waveguide optical switch is used as a key device in optical exchanges, high-speed LAN nodes, optical measuring instruments, etc., but it is not suitable for systems using ordinary single mode fibers. An important issue is to eliminate the dependence on incident polarization, which is a constraint on the application of

この偏光無依存化の試みとして、クロス状態(即ち電圧
は0)で、TEモード及びTMモードの完全結合長Lc
が一致するとともに、バー状態になる時の電圧が両モー
ドで一致するように、導波路構造や結合長等を調整して
該各条件を満足させるものが提案されている。ここでT
Eモードとは、光の伝搬方向をZ方向としたとき、電界
成分E、と磁界成分Hx、 H,からなり、電界成分E
、、 E、と磁界成分H,は存在しないものをいい、T
Mモードとは、電界成分E、、 E、と磁界成分H,と
からなり、E、、 H,、)l。
As an attempt to make this polarization independent, in a cross state (that is, the voltage is 0), the complete coupling length Lc of the TE mode and TM mode is
It has been proposed to satisfy each of these conditions by adjusting the waveguide structure, coupling length, etc. so that the voltages at the time of the bar state are the same in both modes. Here T
The E mode is composed of an electric field component E and magnetic field components Hx and H, when the light propagation direction is the Z direction.
, E, and the magnetic field component H, refer to non-existent ones, and T
The M mode consists of an electric field component E,, E, and a magnetic field component H, where E,, H,,)l.

は存在しないものをいう。refers to something that does not exist.

しかしながら、上記のような偏光無依存式の光スイッチ
における導波路は光の閉じ込め効果が弱いため、導波路
伝搬損失や導波路臼がり部分での放射損失が大きくなる
という課題があり、また、上記各条件を満足させるよう
な導波路構造とするには製作条件が厳しく、そのため製
作が難しいという課題があった。
However, since the waveguide in the polarization-independent optical switch described above has a weak light confinement effect, there is a problem that the waveguide propagation loss and the radiation loss at the waveguide milling part become large. In order to create a waveguide structure that satisfies each of the conditions, the manufacturing conditions are strict, making it difficult to manufacture.

また偏光無依存化の別の試みとして、LiNb0゜の2
軸を光の伝搬方向に採る(即ちXカット(x cut)
)ことにより、TEモード及びTMモードに関する電気
光学定数を一致させるものが提案されているが、このX
カットのものは、利用できる電気光学定数が小さいこと
から、電気光学効果の作用が弱く、そのため、光のスイ
ッチングに必要な駆動電圧が大きくなるという課題があ
った。
In addition, as another attempt to make polarization independent, LiNb0°2
The axis is taken in the direction of light propagation (i.e. X cut)
), it has been proposed to match the electro-optic constants for TE mode and TM mode, but this
Since the available electro-optic constant is small in the cut type, the electro-optic effect is weak, and as a result, the problem is that the drive voltage required for light switching becomes large.

本発明はかかる課題を解決するためになされたもので、
製作条件を改善することができる導波路形光スイッチを
得ることを目的とする。
The present invention was made to solve such problems,
The purpose of this invention is to obtain a waveguide type optical switch that can improve manufacturing conditions.

(課題を解決するための手段) 本発明に係る導波路形光スイッチは、無偏光の入射光を
TEモード偏波とTMモード偏波とに分離するモードス
プリッタと、上記TEモード偏波のスイッチングを行な
うTE光スイッチと、上記TMモード偏波のスイッチン
グを行なうTM光スイッチと、上記各光スイッチから出
力される各偏波を合流させる合流部と、上記モードスプ
リッタ、各光スイッチ及び合流部を取付けた基板とを備
えたものである。
(Means for Solving the Problems) A waveguide type optical switch according to the present invention includes a mode splitter that separates unpolarized incident light into TE mode polarization and TM mode polarization, and a mode splitter that separates unpolarized incident light into TE mode polarization and TM mode polarization, and a switching method for the TE mode polarization. a TE optical switch for switching the TM mode polarized waves, a merging section for merging the respective polarized waves output from each of the optical switches, and a TE optical switch for switching the TM mode polarized waves; It is equipped with an attached board.

(作用〕 本発明においては、TEモード偏波とTMモード偏波と
を独立にスイッチングするため、TE光スイッチ及びT
M光スイッチはそれぞれの偏波に合ったスイッチ構造を
選定することができる。
(Function) In the present invention, in order to switch TE mode polarization and TM mode polarization independently, the TE optical switch and the TM mode polarization are switched independently.
For the M optical switch, a switch structure suitable for each polarization can be selected.

(実施例) 以下本発明の一実施例を第1〜3図に基づいて説明する
。第1図は導波路形光スイッチの外観図で、光は図中左
から右方に移動する。第1図において、(21)は電気
光学効果を有する材料で形成された基板で、例えばLi
NbO3結晶、LITa03結晶、BaTi0.結晶又
はGaAs結晶等が利用できるが、ZカットのLiNb
0.結晶を用いるのが最も好ましい。
(Example) An example of the present invention will be described below based on FIGS. 1 to 3. FIG. 1 is an external view of a waveguide type optical switch, and light moves from left to right in the figure. In FIG. 1, (21) is a substrate made of a material having an electro-optic effect, such as Li.
NbO3 crystal, LITa03 crystal, BaTi0. Crystals or GaAs crystals can be used, but Z-cut LiNb
0. Most preferably, crystals are used.

(22)〜(26)は基板(21)にTi拡散法によっ
て形成された導波路、(27)は導波路(22)に接続
され、無偏光の入射光(28)が入射する入口側シング
ルモードファイバ、(29)は導波路(22)から入射
した無偏光の入射光(28)をTEモード偏波とTMモ
ード偏波とに分離し、TEモード偏波は導波路(23)
に、TMモード偏波は導波路(24)に出射するモード
スプリッタである。
(22) to (26) are waveguides formed on the substrate (21) by the Ti diffusion method, and (27) is a single inlet side connected to the waveguide (22) and into which unpolarized incident light (28) enters. The mode fiber (29) separates the unpolarized incident light (28) entering from the waveguide (22) into TE mode polarization and TM mode polarization, and the TE mode polarization is transmitted through the waveguide (23).
A mode splitter outputs the TM mode polarized wave to the waveguide (24).

(30)は、導波路(23)から入射するTEモード偏
波のスイッチングを行ない、導波路(23)又は(25
)に出射するTE光スイッチであり、このTE光スイッ
チ(30)は、2木の先導波路(23)、 (25)が
近接して光方向性結合器部を形成し、この結合器部の先
導波路(23)、  (25)の上部には電圧V、を印
加する電極(31)が設置されている。このTE光スイ
ッチ(30)において、電極(31)に電圧V。が印加
されていない状態ではクロス状態となり、導波路(23
)から入射したTEモード偏波は導波路(25)のみに
出射するが、電圧v0を印加した状態ではバー状態とな
り、TEモード偏波は導波路(23)のみに出射する。
(30) performs switching of the TE mode polarized wave incident from the waveguide (23), and the waveguide (23) or (25)
), and this TE optical switch (30) has two leading waveguides (23) and (25) in close proximity to form an optical directional coupler section. An electrode (31) for applying a voltage V is installed above the leading waveguides (23) and (25). In this TE optical switch (30), a voltage V is applied to the electrode (31). is not applied, it becomes a cross state, and the waveguide (23
) is emitted only to the waveguide (25), but when voltage v0 is applied, it becomes a bar state, and the TE mode polarized wave is emitted only to the waveguide (23).

(32)は導波路(24)から入射するTMモード偏波
のスイッチングを行ない、導波路(24)又は(26)
に出射するTM光スイッチであり、このTM光スイッチ
(32)は、2木の先導波路(24)、 (H)が近接
して光方向性結合器部を形成し、この結合器部の先導波
路(24)、  (26)の上部には電圧v0を印加す
る電極(33)が設置されている。このTM光スイッチ
(32)において、電極(33)に電圧が印加されてい
ない状態ではクロス状態となり、導波路(24)から入
射したTMモード偏波は導波路(26)のみに出射する
が、電圧V。を印加した状態ではバー状態となりTMモ
ード偏波は導波路(24)のみに出射する。
(32) performs switching of the TM mode polarized wave incident from the waveguide (24), and the waveguide (24) or (26)
This TM optical switch (32) has two leading waveguides (24), (H) in close proximity to form an optical directional coupler section, and the leading waveguide of this coupler section An electrode (33) for applying voltage v0 is installed above the wave paths (24) and (26). In this TM optical switch (32), when no voltage is applied to the electrode (33), it is in a cross state, and the TM mode polarized wave incident from the waveguide (24) is emitted only to the waveguide (26). Voltage V. In the state where is applied, the state becomes a bar state and the TM mode polarized wave is emitted only to the waveguide (24).

(34)は、光スイッチ(30)、  (32)から出
力される各偏波を合流させる合流部であり、導波路(2
3)。
(34) is a merging section for merging the respective polarized waves output from the optical switches (30) and (32), and a waveguide (2
3).

(26)からの光は合流点(35)で合流した後導波路
(23)を通って出口端(36)から出射され、一方、
導波路(24)、 (25)からの光は合流点(37)
で合流した後導波路(24)を通って出口端(38)か
ら出射されるようになっている。また、導波路出口端(
36)(38)にはそれぞれ出口側シングルモードファ
イバ(39)、  (40)が接続されている。
The light from (26) merges at the confluence point (35), passes through the waveguide (23), and is emitted from the exit end (36).
The light from the waveguides (24) and (25) meet at the confluence point (37)
After merging at the waveguide (24), the light is emitted from the exit end (38). In addition, the waveguide exit end (
Exit side single mode fibers (39) and (40) are connected to 36 and 38, respectively.

上記モードスプリッタ(29)、光スイッチ(30)。The mode splitter (29) and the optical switch (30).

(32)、合流部(34)は基板(21)に取付けられ
ており、特に光スイッチ(30)、  (32)におい
ては、導波路(23)、  (25)及び導波路(24
) 、  (2B)をTi拡散法等により形成した後、
5in2等のバッファ層をコーティングし、最後に電極
パターンを設けて形成している。
(32), the confluence part (34) is attached to the substrate (21), and especially in the optical switch (30), (32), the waveguides (23), (25) and the waveguide (24) are attached to the substrate (21).
), (2B) is formed by Ti diffusion method etc.,
A buffer layer such as 5in2 is coated, and an electrode pattern is finally provided.

ところで、光スイッチ(30)、  (32)の構造に
ついてはバリエーションが複数考えられるが、例えば光
スイッチ(30) 、  (32)を共に一様Δβとし
た場合、無電界で、両スイッチ(30)、  (32)
ともクロス状態となってしまうので、導波路形光スイッ
チ全体としてスイッチングを行なうには、各スイッチ(
30)、 (32)毎にそれぞれ駆動用の電気回路が必
要となる。これに対して、TM光スイッチ(32)を−
様Δβ、TE光スイッチ(30)を反転Δβのスイッチ
構造にとると、電極(31)、 (33)が無電界の状
態では、 TM光スイッチ(32)をクロス状態に、T
E光スイッチ(30)をバー状態にするとともに、電極
(31)、  (33)に電界をかけた状態では、TM
光スイッチ(32)をバー状態に、TE光スイッチ(3
0)をクロス状態にすることが可能となり、駆動を一括
して行なうことができることとなり好ましい。いずれに
しても、駆動電圧は両スイッチ(30)、  (32)
とも同じになるように結合長を調整することが望ましい
By the way, there are several variations in the structure of the optical switches (30) and (32), but for example, if both the optical switches (30) and (32) are made uniform Δβ, both switches (30) , (32)
Therefore, in order to perform switching as a whole of the waveguide type optical switch, each switch (
30) and (32) each require a driving electric circuit. On the other hand, the TM optical switch (32) -
When the TE optical switch (30) has a reverse Δβ switch structure, when the electrodes (31) and (33) are in no electric field, the TM optical switch (32) is in the crossed state, and the T
When the E optical switch (30) is in the bar state and an electric field is applied to the electrodes (31) and (33), the TM
The optical switch (32) is in the bar state, and the TE optical switch (3
0) can be placed in a crossed state, which is preferable because it allows driving to be performed all at once. In any case, the driving voltage is both switches (30), (32)
It is desirable to adjust the bond length so that both are the same.

次に第2図、第3図により動作を説明する。まず第2図
に示すように光を出口端(36)から出射させる場合に
ついて説明すると、無偏光の入射光(28)は、入射後
入口側シングルモードファイバ(27)、導波路(22
)を通り、モードスプリッタ(29)でTEモード偏波
とTMモード偏波とに分離される。
Next, the operation will be explained with reference to FIGS. 2 and 3. First, to explain the case where light is emitted from the exit end (36) as shown in FIG.
), and is separated into TE mode polarization and TM mode polarization by a mode splitter (29).

モードスプリッタ(29)は、光スイッチ(30)、 
 (32)のクロス状態、バー状態にかかわらず常に一
定の電界がかけられているため、入射光(28)は常に
TEモード偏波とTMモード偏波とに分離される。
The mode splitter (29) includes an optical switch (30),
Since a constant electric field is always applied regardless of the cross state or bar state of (32), the incident light (28) is always separated into TE mode polarization and TM mode polarization.

また、光スイッチ(30) 、 (32)は、それぞれ
電極(31)、  (33)を制御して、TE光スイッ
チ(30)はバー状態にし、TM光スイッチ(32)は
クロス状態にして招く。かかる状態にされた場合TEモ
ード偏波は導波路(23)を通った後、バー状態のTE
光スイッチ(30)に入り、ここでは移行せず導波路(
23)を通り出口端(36)に至る。一方TMモード偏
波は導波路(24)を通った後、クロス状態のTM光ス
イッチ(32)に入り、ここで移行が行なわれて導波路
(26)を通り合流点(35)でTEモード偏波と合流
した後出口端(36)に至る。これにより出口端(36
)からはTEモード偏波及びTMモード偏波が出射され
、出口端(38)からの出力は零となる。
In addition, the optical switches (30) and (32) control the electrodes (31) and (33), respectively, so that the TE optical switch (30) is in the bar state and the TM optical switch (32) is in the cross state. . In such a state, the TE mode polarized wave passes through the waveguide (23) and then becomes a bar-state TE.
It enters the optical switch (30), does not migrate here, and passes through the waveguide (
23) to reach the outlet end (36). On the other hand, after passing through the waveguide (24), the TM mode polarized wave enters the TM optical switch (32) in a crossed state, where it undergoes a transition, passes through the waveguide (26), and enters the TE mode at the confluence (35). After merging with the polarized wave, it reaches the exit end (36). This allows the outlet end (36
), TE mode polarized waves and TM mode polarized waves are emitted, and the output from the exit end (38) becomes zero.

次に、第3図に示すように光を出口端(38)から出射
させる場合について説明する。入射光(28)がモード
スプリッタ(29)でTEモード偏波とTMモード偏波
とに分離されるのは第2図と同様であるが、この場合に
はTE光スイッチ(30)をクロス状態にし、 TM光
スイッチ(32)をバー状態にしておく。この状態にお
いて、TEモード偏波は導波路(23)を通った後、ク
ロス状態のTE光スイッチ(30)に入り、ここで移行
が行なわれて導波路(25)を通り合流点(37)を介
して出口端(38)に至る。一方TMモード偏波は導波
路(24)を通った後、バー状態のTM光スイッチ(3
2)に入り、ここでは移行せず導波路(24)を通り、
合流点(37)でTEモード偏波と合流した後出口端(
38)に至る。これにより出口端(38)からはTEモ
ード偏波及びTMモード偏波が出射され、出口端(36
)からの出力は零となる。
Next, the case where light is emitted from the exit end (38) as shown in FIG. 3 will be described. The incident light (28) is separated into TE mode polarization and TM mode polarization by the mode splitter (29) as shown in Fig. 2, but in this case, the TE optical switch (30) is in the crossed state. and leave the TM optical switch (32) in the bar state. In this state, the TE mode polarized wave passes through the waveguide (23) and then enters the cross-state TE optical switch (30), where the transition occurs and passes through the waveguide (25) to the confluence (37). to the outlet end (38). On the other hand, the TM mode polarized wave passes through the waveguide (24) and then passes through the bar-state TM optical switch (3).
2), passes through the waveguide (24) without transitioning here,
After merging with the TE mode polarized wave at the confluence point (37), the exit end (
38). As a result, TE mode polarization and TM mode polarization are emitted from the exit end (38), and the exit end (36)
) is zero.

したがって、本実施例においては、偏光無依存が実現で
き、また2カツト基板(21)を使用しているので、高
い電気光学定数を利用できる。またTEモード偏波及び
TMモード偏波を独立にスイッチングしてるため、光ス
イッチ(30)、  (32)をそれぞれの偏波に合っ
たスイッチ構造とすることができることとなり、両モー
ド個別に結合長を選定でき、それぞれの偏波状態に合っ
た導波路構造が利用でき、トレランスが良くなり、その
結果として伝搬損失アイソレーションの改善が実現でき
る。
Therefore, in this embodiment, polarization independence can be achieved, and since a two-cut substrate (21) is used, a high electro-optical constant can be utilized. In addition, since TE mode polarization and TM mode polarization are switched independently, the optical switches (30) and (32) can be configured to suit each polarization, and the coupling length for both modes can be adjusted individually. can be selected, a waveguide structure suitable for each polarization state can be used, tolerance is improved, and as a result, propagation loss isolation can be improved.

また、モードスプリッタ(29)、光スイッチ(30)
(32)等が基板(21)に一体集積化されているので
製作、取扱いが容易となり、小型化が実現できる。
Also, mode splitter (29), optical switch (30)
(32) etc. are integrally integrated on the substrate (21), making it easy to manufacture and handle, and downsizing can be achieved.

なお、本発明は、入射光(28)を出口端(36)又は
(38)にふり分けるスイッチングの他に、例えば出口
端(36)にはTEモード偏波を送るとともに出口端(
38)にはTMモード偏波を送ることもでき、又はこれ
と逆にすることもでき、変調にバリエーションができる
In addition to the switching that distributes the incident light (28) to the exit end (36) or (38), the present invention provides, for example, a TE mode polarized wave to be sent to the exit end (36) and a
38), TM mode polarization can be sent, or vice versa, allowing variations in modulation.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明は以上説明したとおり、各偏波のスイッチングを
TE光スイッチとTM光スイッチとで行なうとともに合
流部で各偏波を合流させるという構成をとったことから
、各偏波に合ったスイッチ構造を選定できることとなり
、製作条件を改善することがで診る。
As explained above, the present invention employs a configuration in which switching of each polarized wave is performed by a TE optical switch and a TM optical switch, and each polarized wave is merged at a merging section, so that a switch structure suitable for each polarized wave is adopted. This will allow us to select the desired value and improve the manufacturing conditions.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1〜3図は本発明の一実施例を示す図で、第1図は導
波路形光スイッチの外観図、第2図、第3図はそれぞれ
動作を示す説明図、第4図(a)は方向性結合器形導波
路光スイッチの動作原理を示す説明図、第4図(b)は
、第4図(a)の動作を示すためのグラフである。 (21)・・・基板、 (28)・・・入射光、 (29)・・・モードスプリッタ、 (30)・・・TE光スイッチ、 (32)・・・TM光スイッチ、 (34)・・・合流部。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 特許出願人 株式会社 島津製作所
1 to 3 are diagrams showing one embodiment of the present invention, in which FIG. 1 is an external view of a waveguide type optical switch, FIGS. 2 and 3 are explanatory diagrams showing the operation, and FIG. 4(b) is a graph showing the operation of FIG. 4(a). (21)... Substrate, (28)... Incident light, (29)... Mode splitter, (30)... TE optical switch, (32)... TM optical switch, (34)...・Confluence section. Note that the same reference numerals in each figure indicate the same or corresponding parts. Patent applicant: Shimadzu Corporation

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 無偏光の入射光をTEモード偏波とTMモード偏波とに
分離するモードスプリッタと、上記TEモード偏波のス
イッチングを行なうTE光スイッチと、上記TMモード
偏波のスイッチングを行なうTM光スイッチと、上記各
光スイッチから出力される各偏波を合流させる合流部と
、上記モードスプリッタ、各光スイッチ及び合流部を取
付けた基板とを備えたことを特徴とする導波路形光スイ
ッチ。
a mode splitter that separates unpolarized incident light into TE mode polarization and TM mode polarization; a TE optical switch that switches the TE mode polarization; and a TM optical switch that switches the TM mode polarization. A waveguide type optical switch comprising: a merging section for merging the respective polarized waves output from each of the optical switches; and a substrate to which the mode splitter, each optical switch, and the merging section are attached.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10228007A (en) * 1997-02-13 1998-08-25 Nec Corp Optical waveguide type electrically controlled variable attenuator
JP2006023517A (en) * 2004-07-08 2006-01-26 Yokogawa Electric Corp Optical signal exchange device
JP2008090320A (en) * 2003-03-19 2008-04-17 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Digital optical switch
CN104407415A (en) * 2014-12-09 2015-03-11 浙江大学 Switchable polarizer based on MZI (Mach Zehnder Interferometer) silicon substrate

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10228007A (en) * 1997-02-13 1998-08-25 Nec Corp Optical waveguide type electrically controlled variable attenuator
US5974216A (en) * 1997-02-13 1999-10-26 Nec Corporation Optical waveguide electrically controlled variable attenuator
JP2008090320A (en) * 2003-03-19 2008-04-17 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Digital optical switch
JP4703627B2 (en) * 2003-03-19 2011-06-15 日本電信電話株式会社 1 × 2 polarization splitter and 1 × 2 polarization independent optical switch
JP2006023517A (en) * 2004-07-08 2006-01-26 Yokogawa Electric Corp Optical signal exchange device
JP4636426B2 (en) * 2004-07-08 2011-02-23 横河電機株式会社 Optical signal switching device
CN104407415A (en) * 2014-12-09 2015-03-11 浙江大学 Switchable polarizer based on MZI (Mach Zehnder Interferometer) silicon substrate

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