JPH02248708A - Position detector for actuator - Google Patents

Position detector for actuator

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JPH02248708A
JPH02248708A JP7023589A JP7023589A JPH02248708A JP H02248708 A JPH02248708 A JP H02248708A JP 7023589 A JP7023589 A JP 7023589A JP 7023589 A JP7023589 A JP 7023589A JP H02248708 A JPH02248708 A JP H02248708A
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actuator
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detector
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Mitsutaka Yoshida
光孝 吉田
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Abstract

PURPOSE:To detect plural positions by one position detector by storing substrates in a case, loading plural detecting elements on one main surface of plural substrates and incorporating the detecting elements in such a manner as to be displaced from each other in the moving direction of a moving portion of an actuator. CONSTITUTION:A detector 3 is loaded on one main surface of a substrate 2 and has detecting elements 3a, 3b. The detector is disposed in such a manner as to shift for the distance corresponding to the length of a piston for detecting the stroke end of the piston by the detecting elements. An integrated circuit 4 is electrically connected to the detecting elements 3a, 3b, and the circuit comprises amplifiers 9a, 9b, comparators 10a, 10b, an AND element 11 and output elements 12a, 12b. The output elements 12a, 12b are adapted to conduct logical operation for switching signals C, D from the comparators 10a, 10b and a signal conversion output of a converting element and send output signals F, G. The signals F, G are turned on at both ends of the stroke and sent to light emitting diodes 5a, 5b to display the position of the stroke end.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はアクチュエータに用いられる位置検出装置に関
し、特にエアシリンダのような流体圧アクチュエータの
短ストロークのピストン位贋検出が可能とされるアクチ
ュエータ用位置検出装置に適用して有効な技術に関する
[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention relates to a position detection device used in an actuator, particularly for an actuator that is capable of detecting the position of a short stroke piston of a fluid pressure actuator such as an air cylinder. The present invention relates to techniques that are effective when applied to position detection devices.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

一般に、たとえばエアシリンダのような流体圧アクチー
エータにおいて、ピストンのストローク位置を検出する
ためにはリードスイッチや磁気抵抗素子などの検出素子
を設けた位置検出装置が使用されている。
Generally, in a fluid pressure actuator such as an air cylinder, a position detection device equipped with a detection element such as a reed switch or a magnetic resistance element is used to detect the stroke position of a piston.

この種の位置検出装置はそれ自体が小形化されるよう努
力が重ねられているが、アクチュエータの小形化への要
求が強くなっている現在では、位置検出装置の小形化が
アクチュエータの小形化に追従しきれなくなっているの
が現実である。
Efforts have been made to miniaturize this type of position detection device itself, but now that the demand for smaller actuators is increasing, miniaturization of position detection devices has led to miniaturization of actuators. The reality is that we are no longer able to keep up.

特に、たとえばロボットや精密自動機器、半導体製造機
器などに用いられるアクチュエータでは、アクチ二二一
タのピストンのストローク自体が極めて短くなってきて
いる。
In particular, in actuators used in robots, precision automatic equipment, semiconductor manufacturing equipment, etc., the stroke of the piston of the actuator itself has become extremely short.

そこで、従来、このような短ストロークのアクチュエー
タにおけるピストン位置の検出を行うために、位置検出
装置を各ストローク端について1個ずつ設け、しかもこ
れらの位置検出装置をそれぞれピストン移動方向および
その直角方向に位置をずらして配設するようにしたもの
が考えられている。
Therefore, conventionally, in order to detect the piston position in such a short stroke actuator, one position detection device was provided at each stroke end, and these position detection devices were arranged in the piston movement direction and in the direction perpendicular to the piston movement direction. A device in which the device is arranged at a different location is being considered.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

しかしながら、このような技術では、位置検出装置自体
が複数個必要であることに加えて、位置検出装置の寸法
を小形化するにも限度があるため、全体として大形の位
置検出装置となってしまう。
However, with this technology, in addition to requiring multiple position detection devices, there is also a limit to how small the size of the position detection device can be, resulting in a large position detection device as a whole. Put it away.

また、複数個の位置検出装置をアクチユエータに取付け
るために、位置検出装置の個数に応じた取付溝や取付具
が必要であり、それらの溝加工や取付具の製造に要する
コストの向上、さらにはアクチユエータへの取付作業の
繁雑化などの問題がある。
In addition, in order to attach multiple position detection devices to an actuator, mounting grooves and mounting tools are required according to the number of position detection devices, which increases the cost of processing these grooves and manufacturing the mounting tools. There are problems such as complicated installation work to the actuator.

さらに、従来は、特に動作距離の長い、すなわちON時
間の長い位置検出装置の場合には、そのセツティングが
困難で、セツティングの調整が必要となる上に、短スト
ロークのピストンなどの位置検出が困難であるなどの問
題があることも本発明者は見い出した。
Furthermore, in the past, especially in the case of a position detection device with a long operating distance, that is, a long ON time, it was difficult to set the device and required adjustment of the setting. The inventors have also found that there are problems such as difficulty in

そこで、本発明の目的は、1個の位置検出装置のみで両
ストローク端のような複数の位置を検出できる技術を提
供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to provide a technique that can detect multiple positions such as both stroke ends using only one position detection device.

本発明の他の目的は、極めて短いストロークの移動部の
位置検出を精確に行うことが可能な技術を提供すること
にある。
Another object of the present invention is to provide a technique that can accurately detect the position of a moving part with an extremely short stroke.

本発明のさらに他の目的は、小形で実装の簡単なアクチ
エエータ用位置検出装置を提供することにある。
Still another object of the present invention is to provide a position detection device for an actuator that is small and easy to implement.

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
A brief overview of typical inventions disclosed in this application is as follows.

すなわち、本発明のアクチエエータ用位置検出装置は、
1つのケース内に基板が収納され、該複数個の基板の一
生面に複数個の検出素子が実装され、該検出素子がアク
チュエータの移動部の移動方向に互いに変位されて内蔵
されてなるものである。
That is, the actuator position detection device of the present invention has the following features:
Boards are housed in one case, a plurality of detection elements are mounted on the entire surface of the plurality of boards, and the detection elements are built in and displaced from each other in the movement direction of the moving part of the actuator. be.

また、前記検出素子および基板が合成樹脂で一体成形さ
れたケース内に埋設されているものである。
Further, the detection element and the substrate are embedded in a case integrally molded with synthetic resin.

さらに、前記複数個の検出素子が1チップの検出器に形
成されているものである。
Furthermore, the plurality of detection elements are formed in a one-chip detector.

〔作用〕[Effect]

前記したアクチエエータ用位置検出装置によれば、1つ
のケース内に複数個の検出素子が内蔵されていることに
より、1個の位置検出装置のみで両ストローク端などの
複数位置を精確に検出でき、セツティングの調整が不要
となる。
According to the actuator position detection device described above, multiple detection elements are built into one case, so that multiple positions such as both stroke ends can be accurately detected with only one position detection device. No need to adjust settings.

また、1つのケース内の複数個の検出素子の位置を所望
の距離だけ互いに変位させることにより、超短ストロー
クの位置検出が可能となる。
Further, by displacing the positions of a plurality of detection elements within one case by a desired distance, position detection with an ultra-short stroke becomes possible.

さらに、検出素子および基板がケース内に合成樹脂で一
体成形されることにより、検出素子および基板の密閉状
態にあける保護が可能となる。
Furthermore, by integrally molding the detection element and the substrate with synthetic resin within the case, it is possible to protect the detection element and the substrate in a sealed state.

また、複数個の検出素子が1チップの検出器に形成され
ることにより、検出器自体のコンパクト化が可能となる
Further, by forming a plurality of detection elements into a single-chip detector, the detector itself can be made more compact.

〔実施例〕〔Example〕

第1図は本発明の一実施例であるアクチュエータ用位置
検出装置の概略的拡大斜視図、第2図はこの位置検出装
置をエアシリンダに実装した状態を示す斜視図、第3図
は位置検出装置の回路図、第4図(a)〜(6)は第3
図の各回路素子の出力信号を示す波形図である。
Fig. 1 is a schematic enlarged perspective view of a position detection device for an actuator which is an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a perspective view showing a state in which this position detection device is mounted on an air cylinder, and Fig. 3 is a position detection device. The circuit diagram of the device, Figures 4(a) to (6) are the third
FIG. 3 is a waveform diagram showing output signals of each circuit element in the figure.

まず、第1図により本実施例のアクチエエータ用位置検
出装置の構成を説明する。
First, the configuration of the actuator position detection device of this embodiment will be explained with reference to FIG.

本実施例の位置検出装置lは、基板2と、この基板2に
実装された検出器3と、この検出器3で検出された信号
を処理する専用または汎用の集積回路素子4と、表示用
の発光ダイオード5と、リード線6とで構成されている
。そして、これらの基板2および検出器3、集積回路素
子4は、たとえばエポキシ樹脂などの合成樹脂のケース
7の中に一体的に成形されて埋設されている。
The position detection device l of this embodiment includes a substrate 2, a detector 3 mounted on the substrate 2, a dedicated or general-purpose integrated circuit element 4 for processing signals detected by the detector 3, and a display device 4. It is composed of a light emitting diode 5 and a lead wire 6. These substrate 2, detector 3, and integrated circuit element 4 are integrally molded and embedded in a case 7 made of synthetic resin such as epoxy resin.

本実施例の検出器3は、−例として磁気抵抗素子で構成
される2個の検出素子3a、3bが1チップに形成され
ており、たとえば第2図に示すアクチユエータとしての
シリンダ8のピストン(図示せず)の両ストローク端が
それぞれの検出素子3a、3bにより検出される構造と
されている。
The detector 3 of this embodiment has two detecting elements 3a and 3b formed of magnetic resistance elements, for example, formed on one chip.For example, the piston of the cylinder 8 as an actuator shown in FIG. Both stroke ends (not shown) are detected by respective detection elements 3a and 3b.

すなわち、2個の検出素子3a、3bが内蔵された検出
器3は基板2の一方の主面に実装され、雨検出素子3a
、3bによりピストンの両ストローク端を検出するため
、ピストンのストロークの長さに一致する距離だけピス
トンの移動方向に互いに位置がずらされて配置されてい
る。
That is, the detector 3 with two built-in detection elements 3a and 3b is mounted on one main surface of the substrate 2, and the rain detection element 3a is mounted on one main surface of the substrate 2.
, 3b are arranged such that they are shifted from each other in the piston movement direction by a distance corresponding to the length of the piston stroke.

また、本実施例の場合、検出されるストロークが超短ス
トロークである場合にも容易に対応できるものであり、
そのために前記のように2個の検出素子3a、3bがそ
れぞれ1チップに形成されている。また、3点以上の位
置を検出したい場合には、3個以上の検出素子を相互に
所望の距離をおいて1チップ内に収納すればよい。この
ような構造とすることにより、検出器3自体のコンパク
ト化が可能となる。
In addition, in the case of this embodiment, it is possible to easily cope with the case where the detected stroke is an extremely short stroke.
For this purpose, two detection elements 3a and 3b are each formed on one chip as described above. Furthermore, if it is desired to detect three or more positions, three or more detection elements may be housed within one chip at a desired distance from each other. With such a structure, the detector 3 itself can be made more compact.

前記集積回路素子4は、それぞれ検出素子3a。Each of the integrated circuit elements 4 is a detection element 3a.

3bの各々に基板2上のプリント配線(図示せず)で電
気的に接続され、第3図に示すように各検出素子3a、
3bからの検出信号を増幅する増幅器9a、9bと、増
幅器9a、9bからの増幅信号を基準電圧と比較する比
較器10a、lObと、比較器10a、jobからのス
イッチング信号を論理積演算する論理積素子11と、比
較器10a。
3b through printed wiring (not shown) on the substrate 2, and as shown in FIG.
Amplifiers 9a and 9b that amplify the detection signal from 3b, comparators 10a and 1Ob that compare the amplified signals from amplifiers 9a and 9b with a reference voltage, and logic that performs an AND operation on the switching signals from comparator 10a and job. A product element 11 and a comparator 10a.

10bからのスイッチング信号を論理積素子itのイン
ヒビット信号により強制的にOFFにする出力素子12
a、12bとからなる。
Output element 12 that forcibly turns off the switching signal from 10b by the inhibit signal of AND element it.
It consists of a and 12b.

また、出力素子12a、12bは、たとえば論理積素子
11のインヒビット信号を符号変換する変換素子と、比
較器toa、tabからのスイッチング信号と変換素子
の符号変換出力とを論理積演算する論理積素子などで構
成される。
The output elements 12a and 12b are, for example, a conversion element that converts the code of the inhibit signal of the AND element 11, and an AND element that performs an AND operation on the switching signals from the comparators toa and tab and the code conversion output of the conversion element. It consists of etc.

さらに、発光ダイオード5も、それぞれの出力回路に接
続され、ピストンの両ストローク端の検出を表示する発
光ダイオード5a、5bよりなる。
Furthermore, the light emitting diodes 5 are also connected to respective output circuits, and are comprised of light emitting diodes 5a and 5b that display the detection of both stroke ends of the piston.

なお、第1図では明確化のために省略されているが、第
2図に示すように位置検出装置1をシリンダ本体13の
取付溝14に取付けるため、位置検出装置1の側面には
取付フランジ部15が一体的に突設され、この取付フラ
ンジB15においてねじ16により位置検出装置ffが
シリンダ本体!3に取付けられている。
Although omitted in FIG. 1 for clarity, in order to attach the position detection device 1 to the mounting groove 14 of the cylinder body 13 as shown in FIG. 2, a mounting flange is provided on the side surface of the position detection device 1. A portion 15 is integrally protruded, and the position detection device ff is connected to the cylinder body by a screw 16 at this mounting flange B15! It is attached to 3.

なお、シリンダ8にふいて、17はピストンロッド、1
8は圧縮空気の給排ポート、19は取付孔である。
In addition, in addition to the cylinder 8, 17 is a piston rod, 1
8 is a compressed air supply/discharge port, and 19 is a mounting hole.

次に、本実施例の作用について説明する。Next, the operation of this embodiment will be explained.

まず、本実施例のアクチユエータ用位置検出装置1を製
作する場合、検出素子3a、3bが内蔵された検出器3
、集積回路素子4、発光ダイオード5a、5bsさらに
リード116を基板2に実装し、それをケース7の中に
収容し、樹脂を注入して封入する。この場合、これらの
検出器3および集積回路素子4などは基板2の一方の主
面に実装されている。これにより、封入される検出器3
などが1個のケース7の中に内蔵されたアクチユエータ
用位置検出装置1が得られ、これらの検出器3、集積回
路素子4および発光ダイオード5a。
First, when manufacturing the actuator position detection device 1 of this embodiment, a detector 3 with built-in detection elements 3a and 3b is used.
, the integrated circuit element 4, the light emitting diodes 5a and 5bs, and the leads 116 are mounted on the substrate 2, housed in the case 7, and sealed with resin. In this case, these detectors 3, integrated circuit elements 4, etc. are mounted on one main surface of the substrate 2. As a result, the enclosed detector 3
An actuator position detecting device 1 is obtained in which the actuator 3, integrated circuit element 4, and light emitting diode 5a are built in a single case 7.

5bの密閉状態における保護が可能とされる。5b can be protected in a closed state.

次に、このアクチュエータ用位置検出装置lを第2図の
ようにシリンダ8に適用した場合について、その作動を
第3図および第4図に基づいて説明する。
Next, when this actuator position detection device 1 is applied to the cylinder 8 as shown in FIG. 2, its operation will be explained based on FIGS. 3 and 4.

まず、シリンダ8のピストン(図示せず)のストローク
端は、それぞれ検出素子3aまたは3bによって検出さ
れる。すなわち、シリンダ8のピストンに設けられた磁
石(図示せず)の接近を各検出素子3a、3bで検出す
ることにより得られた位置検出信号は、各検出素子3a
、−3bからそれぞれ増幅器9a、9bに出力される。
First, the stroke end of a piston (not shown) of the cylinder 8 is detected by the detection element 3a or 3b, respectively. That is, the position detection signal obtained by detecting the approach of a magnet (not shown) provided on the piston of the cylinder 8 by each detection element 3a, 3b is
, -3b are output to amplifiers 9a and 9b, respectively.

そして、増幅器9a、9bで増幅された位置検出信号は
、検出素子3a、3bにおけるピストン移動方向の相互
間距離、すなわちピストンのストローク距離Sに対応し
て、第4図(a)に示すように各検出素子3a、3bの
位置でピークとなる増幅信号A、Bとして出力される。
The position detection signals amplified by the amplifiers 9a and 9b correspond to the distance between the detection elements 3a and 3b in the piston movement direction, that is, the stroke distance S of the piston, as shown in FIG. The amplified signals A and B are outputted as peaks at the positions of the respective detection elements 3a and 3b.

さらに、各増幅器9a、9bからの増幅信号A。Furthermore, the amplified signal A from each amplifier 9a, 9b.

Bは比較器11)a、10bに人力され、比較器10 
a ; :H:i、Ob、jこより比較され、シ2リン
ダ8のピストンが、ど−ミち・ら、のストローク端にあ
、・るかが検知される。 パ2.S・1、 こ、の時、検出素子3a、3bから増幅器9a。
B is input manually to comparators 11)a and 10b, and
a ; :H: i, Ob, and j are compared, and it is detected whether the piston of cylinder 2 or cylinder 8 is at the stroke end of either. Pa2. S.1, When this happens, the amplifier 9a is transmitted from the detection elements 3a and 3b.

9bを経て、増幅された各増幅信号A、Bは、比較器1
0a、lObにより各検出素子3a、3bが同時にON
になる状態が確保される基準電圧Vと比較され、ONと
OFFとの間でスイッチングされるスイッチング信号C
,Dとして出力される。
9b, each of the amplified signals A and B is sent to the comparator 1.
Each detection element 3a, 3b is turned on at the same time by 0a, 1Ob.
A switching signal C is compared with a reference voltage V to ensure a state of
, D.

そして、第4図(b)に示すように、比較器10a。Then, as shown in FIG. 4(b), a comparator 10a.

10bからのスイッチング信号C,Dは、ストローク距
離Sの位置を中心にON状態となる。
Switching signals C and D from 10b are turned on around the position of stroke distance S.

さらに、各比較器10a、10bからのスイッチング信
号C,Dは、論理積素子11に入力され、論理積演算さ
れることにより、第4図(C)に示すように両スイッチ
ング信号C,DがON状態の時にONとされるインヒピ
ット信号Eが出力される。
Further, the switching signals C and D from each of the comparators 10a and 10b are input to the AND element 11 and subjected to an AND operation, whereby both the switching signals C and D are output as shown in FIG. 4(C). An inhibit signal E that is turned ON when in the ON state is output.

また、比較器10a、lObからのスイッチング信号C
,Dと、論理積素子11からのインヒビット信号Eが出
力素子12a、12bに入力され、スイッチング信号C
,Dがインヒビット信号Eにより強制的にOFF状態と
される。そして、出力素子12a、12bの出力信号F
、Gは、第4図(d)に示すようにストローク距離Sの
両端側でON状態となり、位置検出装置lの出力端子0
UTI。
Furthermore, the switching signal C from the comparators 10a and lOb
, D and the inhibit signal E from the AND element 11 are input to the output elements 12a and 12b, and the switching signal C
, D are forcibly turned off by the inhibit signal E. Then, the output signal F of the output elements 12a and 12b
, G are in the ON state at both ends of the stroke distance S as shown in FIG. 4(d), and the output terminal 0 of the position detection device l
U.T.I.

0UT2に各ストローク端の検出信号として出力される
。さらに、これに応じて発光ダイオード5aまたは5b
が発光され、シリンダ8の両ストローク端に右ける位置
検出の動作表示が行われる。
It is output as a detection signal of each stroke end to 0UT2. Furthermore, depending on this, the light emitting diode 5a or 5b
is emitted, and an operation display for detecting the position of the cylinder 8 at both stroke ends is performed.

以上のように、本実施例の位置検出装置1においては、
複数個の検出素子3a、3bが1つのケース7に収納さ
れることにより、1個の位置検出装置1のみで両ストロ
ーク端などの複数位置を精確に検出でき、また複数個の
検出素子3a、3bの位置を所望の距離だけ互いに変位
させることにより、超短ストロークの位置検出が可能で
ある。
As described above, in the position detection device 1 of this embodiment,
By housing the plurality of detection elements 3a, 3b in one case 7, it is possible to accurately detect a plurality of positions such as both stroke ends with only one position detection device 1, and also the plurality of detection elements 3a, By displacing the positions of 3b from each other by a desired distance, position detection of an ultra-short stroke is possible.

以上、本発明者によってなされた発明を実施例に基づき
具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。
As above, the invention made by the present inventor has been specifically explained based on Examples, but it should be noted that the present invention is not limited to the Examples and can be modified in various ways without departing from the gist thereof. Not even.

たとえば、本実施例の検出器3については、複数個の検
出素子3a、3bを1チップに形成する場合について説
明したが、これに限られず、各検出素子3a、3bをそ
れぞれlチップに形成し、複数個の検出素子3a、3b
を並設して実装してもよく、また1枚の基板2に設ける
必要はない。
For example, with regard to the detector 3 of this embodiment, a case has been described in which a plurality of detection elements 3a and 3b are formed on one chip, but the present invention is not limited to this, and each detection element 3a and 3b may be formed on one chip. , a plurality of detection elements 3a, 3b
They may be mounted in parallel and do not need to be provided on one board 2.

また、本発明におけるケース7は、必ずしも合成樹脂の
成形品に限らず、箱形など他の形式のケース7であって
もよい。
Further, the case 7 in the present invention is not necessarily limited to a molded product of synthetic resin, and may be of other types such as a box shape.

さらに、本実施例の位置検出装置1は、シリンダ8に適
用した場合について説明したが、これに限定されるもの
ではなく、たとえばロークリアクチニエータなどのアク
チユエータについても広く適用可能である。
Furthermore, although the position detection device 1 of this embodiment has been described with reference to the case where it is applied to the cylinder 8, the present invention is not limited thereto, and can be widely applied to actuators such as a low actuator.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本願において開示される発明のうち、代表的なものによ
って得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりで
ある。
Among the inventions disclosed in this application, the effects obtained by typical inventions are briefly described below.

(1)、  1つのケース内に収納された基板の一生面
に複数個の検出素子が実装され、これらの検出素子がア
クチユエータの移動部の移動方向に互いに変位されて内
蔵されることにより、複数個の検出素子の相互間距離を
必要に応じて適宜に形成することができるので、短スト
ロークの移動部の検出を確実に行うことができ、特に超
短ストロークのアクチユエータに適応することができる
(1) A plurality of detection elements are mounted on the entire surface of a board housed in one case, and these detection elements are displaced from each other in the moving direction of the moving part of the actuator. Since the distance between the detection elements can be set appropriately as necessary, it is possible to reliably detect a moving part with a short stroke, and it is particularly applicable to an actuator with an ultra-short stroke.

(2)、検出素子および基板が合成樹脂で一体成形され
たケース内に埋設されることにより、検出素子および基
板が密閉状態において保護されるので、位置検出装置の
寿命および信頼性の向上が可能である。
(2) By embedding the detection element and board in a case integrally molded with synthetic resin, the detection element and board are protected in a sealed state, which improves the lifespan and reliability of the position detection device. It is.

(3)、複数個の検出素子が1チップの検出器に形成さ
れることにより、検出器のコンパクト化が可能にされる
と同時に、2つ以上の位置検出装置に別れる場合に比べ
て、位置検出装置の小形化が実現できる。
(3) By forming multiple detection elements into a single-chip detector, it is possible to make the detector more compact, and at the same time, it is possible to reduce the position It is possible to downsize the detection device.

(4)、前記(1)、(2)および(3)により、位置
検出装置の配線構造右よび実装が簡単になると同時に、
低コスト化が可能とされる位置検出装置を得ることがで
きる。
(4) The above (1), (2) and (3) simplify the wiring structure and mounting of the position detection device, and at the same time,
It is possible to obtain a position detection device whose cost can be reduced.

(5)、前記(3)により、位置検出装置における検出
素子のセツティングの調整が不要とされ、また検出器の
実装および位置検出装置のセツティングが容易となる。
(5) According to (3) above, there is no need to adjust the setting of the detection element in the position detecting device, and mounting of the detector and setting of the position detecting device are facilitated.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の一実施例であるアクチュエータ用位置
検出装置の概略的拡大斜視図、第2図は本実施例の位置
検出装置をエアシリンダに実装した状態を示す斜視図、
第3図は本実施例の位置検出装置の回路図、第4図(a
)〜(6)は第3図の各回路素子の出力信号を示す波形
図である。 l・・・・・・・・位置検出装置、 2・・・・・・・・基板、 3・・・・・・・・検出器、 3a、3b・・・・検出素子、 4・・・・・・・・集積回路素子、 5゜ 6 ・ 7 ・ 8 ・ 9a。 10a。 1 l ・ 12a。 l 3 ・ ・ 14 ・ ・ l 5 ・ ・ 16 ・ ・ 17 ・ ・ 18 ・ ・ l 9 ・ ・ A、  B  ・ C,D ・ E ・ ・ ・ F、G− 8・ ・ ・ ・発光ダイオード、 ・ リード線、 ・ケース、 ・シリンダ(アクチュエータ)、 ・増幅器、 ・比較器、 ・論理積素子、 ・出力素子、 ・シリンダ本体、 ・取付溝、 ・取付7ランジ部、 ・ねじ、 0ピストンロンド、 ・給排ポート、 ・取付孔、 ・増幅信号、 ・スイッチング信号、 ・インヒビット信号、 ・出力信号、 ・ストローク距離、 V・・・・・・・・・基準電圧。 特許出願人  株式会社 小金井製作所代理人 弁理士
  筒 井 大 相 同   弁理士   中  野  敏  失策3図 b b 1υO 2b
FIG. 1 is a schematic enlarged perspective view of a position detection device for an actuator which is an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing a state in which the position detection device of this embodiment is mounted on an air cylinder.
Figure 3 is a circuit diagram of the position detection device of this embodiment, and Figure 4 (a
) to (6) are waveform diagrams showing output signals of each circuit element in FIG. 3. 1...Position detection device, 2...Board, 3...Detector, 3a, 3b...Detection element, 4... ...Integrated circuit element, 5゜6 ・ 7 ・ 8 ・ 9a. 10a. 1 l・12a. l 3 ・ ・ 14 ・ ・ l 5 ・ ・ 16 ・ ・ 17 ・ ・ 18 ・ ・ l 9 ・ ・ A, B ・ C, D ・ E ・ ・ ・ F, G- 8 ・ ・ ・ Light emitting diode, ・ Lead Wire, ・Case, ・Cylinder (actuator), ・Amplifier, ・Comparator, ・AND element, ・Output element, ・Cylinder body, ・Mounting groove, ・Mounting 7 lange, ・Screw, 0 piston rond, ・Supply Exhaust port, ・Mounting hole, ・Amplified signal, ・Switching signal, ・Inhibit signal, ・Output signal, ・Stroke distance, V・・・・・・Reference voltage. Patent applicant Koganei Seisakusho Co., Ltd. Agent Patent attorney Dai Tsutsui Sodo Patent attorney Satoshi Nakano Mistake 3 Diagram b b 1υO 2b

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、1つのケース内に基板が収納され、該基板の一主面
に複数個の検出素子が実装され、該複数個の検出素子が
アクチュエータの移動部の移動方向に互いに変位されて
内蔵されていることを特徴とするアクチュエータ用位置
検出装置。 2、前記検出素子および基板が合成樹脂で一体成形され
たケース内に埋設されていることを特徴とする請求項1
記載のアクチュエータ用位置検出装置。 3、前記複数個の検出素子が1チップの検出器に形成さ
れていることを特徴とする請求項1または2記載のアク
チュエータ用位置検出装置。
[Claims] 1. A substrate is housed in one case, and a plurality of detection elements are mounted on one main surface of the substrate, and the plurality of detection elements are mutually arranged in the moving direction of the moving part of the actuator. A position detection device for an actuator, characterized in that it is displaced and built-in. 2. Claim 1, wherein the detection element and the substrate are embedded in a case integrally molded of synthetic resin.
The position detection device for the actuator described above. 3. The actuator position detection device according to claim 1 or 2, wherein the plurality of detection elements are formed in a one-chip detector.
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