JPH0224540A - Optical disk checking apparatus - Google Patents
Optical disk checking apparatusInfo
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- JPH0224540A JPH0224540A JP17582888A JP17582888A JPH0224540A JP H0224540 A JPH0224540 A JP H0224540A JP 17582888 A JP17582888 A JP 17582888A JP 17582888 A JP17582888 A JP 17582888A JP H0224540 A JPH0224540 A JP H0224540A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 49
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 24
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 19
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000009191 jumping Effects 0.000 abstract 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9506—Optical discs
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は光ディスク検査装置に関し、特に、光ディス
クに形成されている多数の層状のトラックのそれぞれに
対してトラッキングサーボをがけ、光ディスク上の傷な
どの欠陥を検査するような光ディスク検査装置に関する
。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to an optical disc inspection device, and in particular, a tracking servo is applied to each of a large number of layered tracks formed on an optical disc to detect scratches and the like on the optical disc. The present invention relates to an optical disc inspection device for inspecting defects in an optical disc.
[従来の技術]
第3図は光ディスクの一例を示す図である。光ディスク
1の表面には多数の層状のトラックが形成されているが
、製造工程において凹凸の傷のような欠陥が生じること
がある。ディスク面上の欠陥は読出信号に直接影響を与
えるため、これを発見して、欠陥の多い光ディスクを排
除する必要がある。従来は、光ピツクアップを用いてデ
ィスク面上のトラックに光ビームを追従させ、すべての
トラックの欠陥を検査していた。[Prior Art] FIG. 3 is a diagram showing an example of an optical disc. Although a large number of layered tracks are formed on the surface of the optical disc 1, defects such as uneven scratches may occur during the manufacturing process. Since defects on the disk surface directly affect the read signal, it is necessary to discover them and eliminate optical disks with many defects. Conventionally, an optical pickup was used to make a light beam follow the tracks on the disk surface, and all tracks were inspected for defects.
[発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、上述の方法では、光ディスク1上の欠陥
をすべて検出できるという利点はあるが、検査時間が長
くなってしまう。特に、量産レベルで光ディスク1を選
別する場合には不都合であり、検査の高速化が要求され
ている。[Problems to be Solved by the Invention] However, although the method described above has the advantage of being able to detect all defects on the optical disc 1, the inspection time becomes long. This is particularly inconvenient when selecting optical discs 1 at a mass-produced level, and faster inspection is required.
それゆえに、この発明の主たる目的は、検査トラック数
を減少させて検査時間を短縮できるような光ディスク検
査装置を提供する、ことである。Therefore, the main object of the present invention is to provide an optical disk inspection apparatus that can reduce the number of inspection tracks and shorten inspection time.
[課題を解決するための手段]
この発明は光ディスクに形成されている多数の層状のト
ラックのそれぞれに対してトラッキングサーボをかけて
光ディスク上の傷などの欠陥を検査する光ディスク検査
装置において、光ディスク上の或るトラックを検査した
後、予め定める数のトラックを検査せずにジャンプして
、その先のトラックを検査するようにしたものである。[Means for Solving the Problems] The present invention provides an optical disc inspection apparatus that inspects defects such as scratches on an optical disc by applying a tracking servo to each of a large number of layered tracks formed on an optical disc. After a certain track is inspected, a predetermined number of tracks are not inspected, and the next track is inspected.
[作用]
この発明に係る光ディスク検査装置では、1トラツクを
検査した後、n周分のトラックの検査を省略することに
より、検査時間を1/ (n+1)に短縮することがで
きる。[Function] In the optical disk inspection apparatus according to the present invention, after inspecting one track, the inspection time for n tracks is omitted, thereby reducing the inspection time to 1/(n+1).
[発明の実施例]
第1図はこの発明の一実施例の動作を説明するためのフ
ロー図であり、第2図はこの発明の一実施例の具体的な
ブロック図である。[Embodiment of the Invention] FIG. 1 is a flow diagram for explaining the operation of an embodiment of the invention, and FIG. 2 is a specific block diagram of the embodiment of the invention.
まず、第2図を参照して、この発明の一実施例の構成に
ついて説明する。図示しないがスピンドルモータの上に
は光ディスク1が載置されていて、スピンドルモータは
スピンドルサーボ回路13によってサーボ制御される。First, the configuration of an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Although not shown, an optical disk 1 is placed on a spindle motor, and the spindle motor is servo-controlled by a spindle servo circuit 13.
光ディスク1の表面の欠陥を検出するために2組の検出
装置が設けられている。このように2組の検出装置を設
けるのは検査時間を半分に短縮するためである。Two sets of detection devices are provided to detect defects on the surface of the optical disc 1. The reason why two sets of detection devices are provided in this way is to cut the inspection time in half.
一方の検査装置は光学ヘッド2aを含む。この光学ヘッ
ド2aには、レーザ光を光ディスク1上に照射するとと
もに、その反射光を検知するための光学系が設けられて
いる。光学ヘッド2aはリニアモータ3aによって駆動
され、エアスライド4a上をスライドできるように構成
されている。One inspection device includes an optical head 2a. This optical head 2a is provided with an optical system for irradiating laser light onto the optical disc 1 and detecting the reflected light. The optical head 2a is driven by a linear motor 3a and is configured to be able to slide on an air slide 4a.
そして、光学ヘッド2aのスライドした距離はリニアス
ケール5aで検出される。光学ヘッド2aで検出された
出力は検出回路6aを介してフォーカシングサーボ回路
8aとトラッキングサーボ回路9aとレーザパワーサー
ボ回路10aとRF信号処理回路12aに与えられる。The distance that the optical head 2a has slid is detected by the linear scale 5a. The output detected by the optical head 2a is given to a focusing servo circuit 8a, a tracking servo circuit 9a, a laser power servo circuit 10a, and an RF signal processing circuit 12a via a detection circuit 6a.
フォーカシングサーボ回路8aはレーザビームスポット
を先ディスク1上に合焦させるためのフォーカシングサ
ーボ制御を行なうものであり、トッキングサーボ回路9
aはレーザビームスポットが光ディスク1上のトラック
に追従するようにトラッキングサーボ制御を行なうもの
であり、レーザパワーサーボ回路10aはレーザビーム
の強さを調節するためのレーザパワーサーボ制御を行な
うものである。また、リニアスケール5aの検出出力は
リニアスケール信号処理回路7aによって処理された後
、スライドサーボ回路11aに与えられる。スライドサ
ーボ回路11aはリニアモータ3aを駆動して光学ヘッ
ド2aがエアスライド4a上をスライドするようにスラ
イドサーボ制御するものである。フォーカシングサーボ
回路8a。The focusing servo circuit 8a performs focusing servo control to focus the laser beam spot onto the destination disk 1, and the focusing servo circuit 9
The circuit a performs tracking servo control so that the laser beam spot follows the track on the optical disc 1, and the laser power servo circuit 10a performs laser power servo control to adjust the intensity of the laser beam. . Further, the detection output of the linear scale 5a is processed by the linear scale signal processing circuit 7a and then given to the slide servo circuit 11a. The slide servo circuit 11a drives the linear motor 3a to perform slide servo control so that the optical head 2a slides on the air slide 4a. Focusing servo circuit 8a.
トラッキングサーボ回路9a、 レーザパワーサーボ
回路10a、スライドサーボ回路11aのそれぞれの出
力はマイクロプロセッサ14に与えられる。なお、RF
信号処理回路12aは検出回路6aの出力に含まれる高
周波成分を処理するものである。The respective outputs of the tracking servo circuit 9a, the laser power servo circuit 10a, and the slide servo circuit 11a are given to the microprocessor 14. In addition, RF
The signal processing circuit 12a processes high frequency components contained in the output of the detection circuit 6a.
他方の検出回路も同様にして構成され、光学ヘッド2b
とりニアモータ3bとエアスライド4bとリニアスケー
ル5bと検出回路6bとり;アスケール信号処理回路7
bとフォーカシングサーボ回路8bとトラッキングサー
ボ回路9bとレーザパワーサーボ回路10bとスライド
サーボ回路11bとRF信号処理回路12bとを含む。The other detection circuit is configured similarly, and the optical head 2b
Near motor 3b, air slide 4b, linear scale 5b, detection circuit 6b; asscale signal processing circuit 7
b, a focusing servo circuit 8b, a tracking servo circuit 9b, a laser power servo circuit 10b, a slide servo circuit 11b, and an RF signal processing circuit 12b.
マイクロプロセッサ14には入力部15が接続され、こ
の入力部15から光ディスク1を検査するための必要な
データが入力される。また、マイクロプロセッサ14は
コンピュータ16に接続され、コンピュータ16には検
査した光ディスクの検査結果をプロットするためのブロ
ック17が接続されている。An input section 15 is connected to the microprocessor 14, and necessary data for inspecting the optical disc 1 is inputted from this input section 15. Further, the microprocessor 14 is connected to a computer 16, and a block 17 for plotting the inspection results of the inspected optical disk is connected to the computer 16.
次に、第1図および第2図を参照して、この発明の一実
施例の具体的な動作について説明する。Next, with reference to FIG. 1 and FIG. 2, a specific operation of an embodiment of the present invention will be described.
光学ヘッド2a、2bは光ディスク1上の最初のトラッ
クに欠陥があるか否かを検出し、その検出を終了すると
、予め定める数日(n≦20)本のトラックをジャンプ
し、次のトラックの欠陥を検査する。この動作を繰返し
5.0本のトラックおきに欠陥があるか否かを検出する
。The optical heads 2a and 2b detect whether or not there is a defect in the first track on the optical disc 1, and when the detection is completed, they jump a predetermined number of days (n≦20) tracks and start the next track. Inspect for defects. This operation is repeated to detect whether or not there is a defect every 5.0 tracks.
光ディスク1には、前述の第3図に示すように、欠陥が
一様に分布してメ、;す、検査すべきトラックを間引き
しても、間引き方が一様であれば、検査長に対する°欠
陥長の割合、すなわち欠陥率はすべてのトラックを検査
した場合に比べて、その誤差を数パーセント以下に抑え
ることができた。As shown in FIG. 3 above, the optical disc 1 has defects uniformly distributed, so even if the tracks to be inspected are thinned out, if the thinning method is uniform, the inspection length will be °The error in the defect length ratio, that is, the defect rate, was suppressed to a few percent or less compared to when all tracks were inspected.
このことは、欠陥というのはある広さを有しており、半
径方向に相関がある特性を持っていることを示している
。This shows that the defect has a certain width and has characteristics that are correlated in the radial direction.
なお、検査した欠陥または光ディスク1の傷の分布状態
に応じて、光ディスク1の使用は可能であるか否かは人
的によって判断される。Note that depending on the inspected defects or the distribution of scratches on the optical disc 1, whether or not the optical disc 1 can be used is determined manually.
[発明の効果]
以上のように、この発明によれば、光ディスク上の或る
トラックを検査した後、予め定める数のトラックを検査
せずにジャンプして、その先のトラックを検査するよう
にしたので、すべてのトラックの欠陥を検査する場合に
比べて、検査精度をあまり低下させることなく検査時間
を大幅に短縮することができる。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, after inspecting a certain track on an optical disk, a predetermined number of tracks are not inspected, and the next track is inspected. Therefore, compared to the case where all tracks are inspected for defects, inspection time can be significantly shortened without significantly reducing inspection accuracy.
第1図はこの発明の一実施例の動作を説明するだめのフ
ロー図である。第2図はこの発明の一実施例の具体的な
ブロック図である。第3図は光ディスクの一例を示す図
である。
図において、1は光ディスク、2a、2bは光学ヘッド
、3a、3bはリニアモータ、4a、4bはエアスライ
ド、5a、5bはリニアスケール、5a、5bは検出回
路、7a、7bはリニアスケール信号処理回路、8g、
8bはフォーカシングサーボ回路、9a、9bはトラッ
キングサーボ回路、10a、10bはレーザパワーサー
ボ回路、11a、llbはスライドサーボ回路、12a
12bはRF信号処理回路、13はスピンドルサーボ回
路、14はマイクロプロセッサ、15は入力部、16は
コンピュータ、17はプロッタを示す。FIG. 1 is a flow diagram for explaining the operation of one embodiment of the present invention. FIG. 2 is a concrete block diagram of an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a diagram showing an example of an optical disc. In the figure, 1 is an optical disk, 2a, 2b are optical heads, 3a, 3b are linear motors, 4a, 4b are air slides, 5a, 5b are linear scales, 5a, 5b are detection circuits, 7a, 7b are linear scale signal processing circuit, 8g,
8b is a focusing servo circuit, 9a and 9b are tracking servo circuits, 10a and 10b are laser power servo circuits, 11a and llb are slide servo circuits, 12a
12b is an RF signal processing circuit, 13 is a spindle servo circuit, 14 is a microprocessor, 15 is an input section, 16 is a computer, and 17 is a plotter.
Claims (1)
れぞれに対してトラッキングサーボをかけて、前記光デ
ィスク上の傷などの欠陥を検査する光ディスク検査装置
において、前記光ディスク上の或るトラックを検査した
後、予め定める数のトラックを検査せずにジャンプして
、その先のトラックを検査するようにしたことを特徴と
する、光ディスク検査装置。In an optical disk inspection apparatus that applies tracking servo to each of a large number of layered tracks formed on an optical disk to inspect defects such as scratches on the optical disk, after inspecting a certain track on the optical disk, An optical disk inspection device characterized in that the apparatus jumps to a predetermined number of tracks without inspecting them and inspects the next track.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17582888A JPH0224540A (en) | 1988-07-13 | 1988-07-13 | Optical disk checking apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17582888A JPH0224540A (en) | 1988-07-13 | 1988-07-13 | Optical disk checking apparatus |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0224540A true JPH0224540A (en) | 1990-01-26 |
Family
ID=16002930
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17582888A Pending JPH0224540A (en) | 1988-07-13 | 1988-07-13 | Optical disk checking apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0224540A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03124332U (en) * | 1990-03-27 | 1991-12-17 | ||
US7777334B2 (en) | 2005-07-06 | 2010-08-17 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor device having active element formation region provided under a bump pad |
US7936064B2 (en) | 2005-07-19 | 2011-05-03 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor device |
US8878365B2 (en) | 2005-07-13 | 2014-11-04 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor device having a conductive layer reliably formed under an electrode pad |
-
1988
- 1988-07-13 JP JP17582888A patent/JPH0224540A/en active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03124332U (en) * | 1990-03-27 | 1991-12-17 | ||
US7777334B2 (en) | 2005-07-06 | 2010-08-17 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor device having active element formation region provided under a bump pad |
US8878365B2 (en) | 2005-07-13 | 2014-11-04 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor device having a conductive layer reliably formed under an electrode pad |
US7936064B2 (en) | 2005-07-19 | 2011-05-03 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor device |
US8441125B2 (en) | 2005-07-19 | 2013-05-14 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor device |
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