JPH02243226A - Base plate positioning device - Google Patents

Base plate positioning device

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Publication number
JPH02243226A
JPH02243226A JP6171789A JP6171789A JPH02243226A JP H02243226 A JPH02243226 A JP H02243226A JP 6171789 A JP6171789 A JP 6171789A JP 6171789 A JP6171789 A JP 6171789A JP H02243226 A JPH02243226 A JP H02243226A
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JP
Japan
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substrate
clamp
positioning
roller
fixed
Prior art date
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Application number
JP6171789A
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Japanese (ja)
Inventor
Katsuyuki Fukui
克幸 福居
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Publication of JPH02243226A publication Critical patent/JPH02243226A/en
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Abstract

PURPOSE:To simplify the whole equipment of a device for positioning a rectangular base plate at a constant position by composing in such a way that each of base plates of different sizes is positioned at the center with deflection within a predetermined range at a good reproducibility and high precision. CONSTITUTION:This device consists of a first fixed positioning body 12 to contact with a side of a base plate, a first clamp body 14 to be applied to a side facing this side, a second fixed positioning body 13 and a second clamp body 15. A table base 18 is provided including installing parts 19, 20 for the fixed positioning bodies 12, 13. For the clamp bodies 13, 14, a first slider 26 and a second slider 27 are provided. Springs 31, 32 are provided between the sliders 26, 27 and a clamper base 25 for applying a clamp force. If the sizes of the base plate change, it can be positioned at a good reproducibility and a high precision keeping the center position within a predetermined range.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は、四角形状の基板を定位置に再現性よく位置決
めするための基板位置決め装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a substrate positioning device for positioning a rectangular substrate in a fixed position with good reproducibility.

(従来の技術) 抵抗チップセラミック基板等、矩形状のセラミック基板
上に素子や回路パターンが設置される基板では、加工処
理、テストチエツク等のために、この矩形状の基板が定
位置に再現性よく位置決めできることが要求される。
(Prior art) In substrates such as resistor chip ceramic substrates in which elements and circuit patterns are installed on a rectangular ceramic substrate, the rectangular substrate is placed in a fixed position reproducibly for processing, test checking, etc. Good positioning is required.

このような要求を満たすべく、例えば、第9図に示すよ
うな位置決め方法を採っている。
In order to meet such requirements, for example, a positioning method as shown in FIG. 9 is adopted.

第9図において、IIは矩形状の基板、12は第1のロ
ーラ状固定位置決め体(以下、第1の固定ローラと呼ぶ
)で、基板11の一辺I11と接してその位置決めを行
なうべく設けられる。13は第2のローラ状固定位置決
め体(以下、第2の固定ローラと呼ぶ)で、上記基板1
1の前記一辺118に隣接する他の一辺flbと接して
その位置決めを行なうべく複数個(図の例では2個)設
けられる。これら第1の固定ローラ12および第2の固
定ローラ13に対しては、これらが接する前記各辺11
! 、 llbと対向する各他辺11c 、 lidに
当接するべく第1のローラ状クランプ体(以下、第1の
クランプローラと呼ぶ) +4および第2のローラ状ク
ランプ体(以下、第2のクランプローラと呼ぶ)15が
設けられる。これらクランプローラ14. 15には、
それらが当接対象となる各他辺11c 、 Ildに向
う(図示矢印方向)クランプ力が、図示しないばねによ
り加わっている。
In FIG. 9, II is a rectangular substrate, and 12 is a first roller-shaped fixed positioning body (hereinafter referred to as a first fixed roller), which is provided in contact with one side I11 of the substrate 11 for positioning. . 13 is a second roller-shaped fixed positioning body (hereinafter referred to as the second fixed roller), which is connected to the substrate 1
A plurality of (two in the illustrated example) are provided so as to contact and position the other side flb adjacent to the one side 118 of No. 1. For these first fixed rollers 12 and second fixed rollers 13, each side 11 that they contact is
! , each other side 11c facing the llb, a first roller-shaped clamp body (hereinafter referred to as the first clamp roller) +4 and a second roller-shaped clamp body (hereinafter referred to as the second clamp roller) to abut on the lid. ) 15 are provided. These clamp rollers 14. On the 15th,
A clamping force directed toward each of the other sides 11c and Ild (in the direction of the arrow in the drawing) with which they come into contact is applied by a spring (not shown).

上記各クランプローラ14.15は基板11の対応する
辺11c 、 l1ddに当接し、そのクランプ力によ
り基板11を第1の固定ローラ12、第2の固定ローラ
13に押し付け、定位置に再現性よく位置決めする。
Each of the clamp rollers 14, 15 contacts the corresponding sides 11c and l1dd of the substrate 11, and uses their clamping force to press the substrate 11 against the first fixed roller 12 and second fixed roller 13, holding it in a fixed position with good reproducibility. Position.

ところで、このような基板11についても多品種共用の
要求がある。これに応じるためには、搬送系やその他ツ
ールの関係から、位置決め装置としては基板のサイズが
異なっても基板のセンター位置をある範囲内に収める必
要がある。
By the way, there is also a demand for such a substrate 11 to be used in many different types. In order to meet this demand, it is necessary for the positioning device to keep the center position of the substrate within a certain range even if the size of the substrate differs due to the transportation system and other tools.

しかし、第9図の位置決め方法によれば、基板11のサ
イズが異なればそのセンター位置も大きくずれてしまう
。このため、基板サイズに応じた専用の位置決め装置を
用意しておき、品種切換の際に位置決め装置を交換する
ことで対応している。
However, according to the positioning method shown in FIG. 9, if the size of the substrate 11 is different, the center position thereof will deviate greatly. For this reason, a dedicated positioning device is prepared according to the board size, and the positioning device is replaced when changing the product type.

(発明が解決しようとする課題) 上記のように、基板サイズに応じた専用の位置決め装置
を用意し、それを交換する方法では、多品種化した場合
に位置決め装置の数が増えてしまい、コストアップにな
ってしまう。また、これらの専用位置決め装置は交換時
に位置再現性を要求されると、個々に高精度な部品の集
合となるだけでなく、切換えによる誤差はある値以下に
は抑えられない。
(Problem to be Solved by the Invention) As described above, with the method of preparing a dedicated positioning device according to the board size and replacing it, the number of positioning devices will increase when a variety of products are produced, and the cost will increase. It ends up being up. Furthermore, if these dedicated positioning devices are required to have position repeatability when replaced, not only do they become a collection of individually highly accurate parts, but errors due to switching cannot be suppressed below a certain value.

本発明の目的は、各種サイズの基板を定位置に再現性よ
く高精度で位置決めすることができる多品種共用形の基
板位置決め装置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a substrate positioning device that can be used for many types of substrates and can position substrates of various sizes in fixed positions with good reproducibility and high precision.

〔発明の構成〕[Structure of the invention]

(課題を解決するための手段) 本発明による基板位置決め装置は、基板の一辺と接する
べく設けられる第1の固定位置決め体および前記一辺と
対向する他辺に当接するべく設けられる第1のクランプ
体と、前記基板の前記一辺に隣接する他の一辺に接する
べく設けられる第2の固定位置決め体および前記能の一
辺と対向する他辺に当接するべく設けられる第2のクラ
ンプ体とを有する。前記第1の固定位置決め体および第
2の固定位置決め体に対しては、これらが当接すべき各
辺と直交する各方向に沿ってそれぞれ複数個直線状に配
列され、かつそれぞれが対応する固定位置決め体を取付
は可能な取付部を有するテーブルベースを設ける。さら
に、前記第1のクランプ体および第2のクランプ体に対
しては、これらが当接すべき各辺と直交する方向に沿っ
てそれぞれ移動可能に設けられ、これら移動方向に沿っ
てそれぞ直線状に配列されかつそれぞれが前記対応する
クランプ体を取付可能な複数の取付部を有し、さらに前
記当接すべき各辺に向うクランプ力を受けるようにそれ
ぞれ設けられた第1のスライダおよび第2のスライダと
を設けている。
(Means for Solving the Problems) A substrate positioning device according to the present invention includes a first fixed positioning body provided to be in contact with one side of the substrate, and a first clamp body provided to be in contact with the other side opposite to the one side. and a second fixed positioning body provided to contact another side adjacent to the one side of the substrate, and a second clamp body provided to contact the other side opposite to the one side of the cap. For the first fixed positioning body and the second fixed positioning body, a plurality of fixed positioning bodies are arranged linearly along each direction perpendicular to each side with which they should come into contact, and each of them has a corresponding fixed positioning body. A table base is provided which has a mounting portion to which a positioning body can be mounted. Further, the first clamp body and the second clamp body are provided so as to be movable along a direction perpendicular to each side to which they are to come into contact, and are respectively movable in a straight line along these moving directions. a first slider and a first slider each having a plurality of mounting portions arranged in a shape and each having a plurality of mounting portions to which the corresponding clamp body can be attached; 2 sliders are provided.

(作用) 本発明では、基板の辺部と接してその位置決めを行なう
第1および第2の固定位置決め体の固定位置を、複数の
取付部により任意の位置に設定し、また、これらに対応
するクランプ体の位置も、このクランプ体を支持するス
ライダに設けられた複数の取付部により任意の位置に設
定し、これにより基板サイズが変化しても、これらのセ
ンター位置をある範囲に保って再現性よく高精度に位置
決めする。
(Function) In the present invention, the fixing positions of the first and second fixed positioning bodies that contact the sides of the board to determine their position can be set to arbitrary positions by a plurality of attachment parts, and The position of the clamp body can also be set to any desired position using the multiple mounting parts provided on the slider that supports this clamp body, so even if the board size changes, these center positions can be maintained and reproduced within a certain range. positioning with good performance and high precision.

(実施例) 以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。(Example) Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

本発明による基板位置決め装置も、第1図および第2図
に示すように、第9図で示した従来装置と同様に、矩形
状の基板11の一辺11!およびこれに隣接する他の一
辺11. bに接してその位置決めを第1の固定ローラ
12および第2の固定ローラ13と、これらに対向する
第1のクランプローラ14および第2のクランプローラ
15を持っている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the substrate positioning device according to the present invention also has one side 11 of a rectangular substrate 11, similar to the conventional device shown in FIG. and the other side 11 adjacent to this. It has a first fixed roller 12 and a second fixed roller 13 that are positioned in contact with b, and a first clamp roller 14 and a second clamp roller 15 that oppose these rollers.

本発明では、各種サイズの基板をセンター位置のずれ量
がある範囲内に収まるように再現性よく、高精度に位置
決めするため、上記第1の固定ローラ12および第2の
固定ローラ13と、第1のクランプローラ14および第
2のクランプローラI5とを第1図および第2図で示す
ように構成している。
In the present invention, in order to position substrates of various sizes with good reproducibility and high precision so that the deviation of the center position is within a certain range, the first fixed roller 12 and the second fixed roller 13 are The first clamp roller 14 and the second clamp roller I5 are constructed as shown in FIGS. 1 and 2.

すなわち、第1図および第2図において、18はテーブ
ルベースで、第3図にも示すように、前記第1の固定ロ
ーラ12および第2の固定ローラ13を、各種基板サイ
ズに対応した最適位置に取付けるための取付部としての
ねじ孔19.20およびストッパ段部21.22がそれ
ぞれ設けられている。ここでねじ孔19は、前記第1の
固定ローラ12に対応するもので、第2図において2点
鎖線で示す基板11の一辺11!と直交する方向(図示
上下方向)に沿って複数個直線状に配列されている。こ
れら各ねじ孔19に対しては前記ストッパ段部21が個
別に設けられている。このストッパ段部21は、第4図
で示すように、基板IIから第1の固定ローラ12に加
わる圧力に対し、この第1の固定ローラ12の軸部と接
して高精度に位置決めするものである。
That is, in FIGS. 1 and 2, reference numeral 18 is a table base, and as shown in FIG. A screw hole 19.20 and a stopper step 21.22 are respectively provided as attachment parts for attachment to the stopper. Here, the screw hole 19 corresponds to the first fixed roller 12, and is one side 11 of the substrate 11 shown by the two-dot chain line in FIG. A plurality of them are arranged in a straight line along a direction perpendicular to (vertical direction in the figure). The stopper step portion 21 is individually provided for each of these screw holes 19. As shown in FIG. 4, this stopper stepped portion 21 contacts the shaft portion of the first fixed roller 12 and positions it with high precision against the pressure applied to the first fixed roller 12 from the substrate II. be.

また、ねじ孔20は、前記第2の固定ローラ13に対応
するもので、第2図で示す基板11の他の一辺11bと
直交する方向(図示横方向)に沿って複数個直線状に配
列されている。ここで、第2の固定ローラ13は、一辺
i+bに対し複数個(図の例では2個)設けられる。ま
た、基板11のサイズに応じて、一辺11bに沿う方向
の取付位置も変化させる必要があり、上述したねじ孔2
0を複数個、図示横方向に配列して成るねじ孔20列を
複数列平行に設けている。これら各ねじ孔20に対して
も、それぞれ第4図で示す関係でストッパ段部22を個
別に設けている。
Further, the screw holes 20 correspond to the second fixed roller 13, and a plurality of screw holes 20 are arranged in a straight line along the direction (horizontal direction in the drawing) perpendicular to the other side 11b of the substrate 11 shown in FIG. has been done. Here, a plurality of second fixed rollers 13 (two in the illustrated example) are provided for one side i+b. Furthermore, depending on the size of the board 11, it is necessary to change the mounting position along the side 11b, and the above-mentioned screw hole 2
A plurality of 20 rows of screw holes each having a plurality of 0's arranged in the horizontal direction in the figure are provided in parallel. Each of these screw holes 20 is also individually provided with a stopper step 22 in the relationship shown in FIG. 4.

上記各固定ローラ12.13の対応するねじ孔19゜2
0への取付けは、それぞれ固定ねじ23によるねじ止め
とする。
Corresponding screw holes 19°2 of each of the above fixed rollers 12.13
0 by screwing with fixing screws 23.

25はクランパベースで、その上面には第6図で示した
基板11の他辺11c 、 lidとそれぞれ直交する
方向に沿って移動可能に構成されたクランプ用の第1の
スライダ2Gおよび第2のスライダ27が設けられてい
る。これらスライダ26.27には、対応するクランプ
ローラ14.15を固定するためのねじ孔28.29が
それぞれ移動方向に沿って所定ピッチ(例えば4目)で
複数個直線状に配列されている。これら各ねじ孔28.
29に対するクランプローラ14. 15の取付けはね
じ30によるねじ止めとする。
Reference numeral 25 denotes a clamper base, and on its upper surface there are provided a first slider 2G and a second slider for clamping, which are configured to be movable along the direction perpendicular to the other side 11c of the substrate 11 shown in FIG. 6, and the lid, respectively. A slider 27 is provided. In these sliders 26, 27, a plurality of screw holes 28, 29 for fixing the corresponding clamp rollers 14, 15 are linearly arranged at a predetermined pitch (for example, 4 threads) along the moving direction. Each of these screw holes 28.
Clamp roller 14 for 29. 15 is attached using screws 30.

また、前記各スライダ26.17とクランパベース25
上面との間にはそれぞればね31.32が張設してあり
、各スライダ26.27に対し、対応するクランプロー
ラ14.  +5が基板11の対応する他辺11c。
In addition, each of the sliders 26 and 17 and the clamper base 25
A spring 31,32 is tensioned between each slider 26,27 and a corresponding clamp roller 14,27. +5 is the corresponding other side 11c of the board 11.

lidに当接する方向のクランプ力を与える。Apply clamping force in the direction of contacting the lid.

さらに、一方のスライダ26の一端部にはカム辺261
が形成されており、他方のスライダ27の一端部には上
記カム辺26!と係合する駆動ローラ33が設けられて
いる。このため、一方のスライダ26を移動させること
により他方のスライダ27が連動して移動する。
Further, a cam side 261 is provided at one end of one slider 26.
The cam side 26! is formed at one end of the other slider 27. A drive roller 33 is provided which engages with. Therefore, by moving one slider 26, the other slider 27 moves in conjunction.

このようにして構成されるクランパベース25は、前記
テーブルベース18の下面に筒状のスペーサ35を介し
てボルト36により一体的に取付けられる。
The clamper base 25 constructed in this manner is integrally attached to the lower surface of the table base 18 with a bolt 36 via a cylindrical spacer 35.

38は基板ステージで、前記第1の固定ローラ12およ
び第2の固定ローラ13をよけるための切欠部39と、
第1のクランプローラ14および第2のクランプローラ
15を移動自在に貫通させるための長孔40とを持つ。
38 is a substrate stage, which has a notch 39 for avoiding the first fixed roller 12 and the second fixed roller 13;
It has a long hole 40 through which the first clamp roller 14 and the second clamp roller 15 are movably passed.

この基板ステージ38は位置決め対象となる基板11を
載支するもので、前記テーブルベース18上に取付けら
でいる。
This substrate stage 38 supports the substrate 11 to be positioned, and is mounted on the table base 18.

これらテーブルベース18、クランパベース25、基板
ステージ38が一体化して基板位置決めテーブル42が
形成されている。この基板位置決めテーブル42はテー
ブルステージ43上に取付けられる。すなわち、テーブ
ルベース18側にはその一側縁部に位置決め用の嵌合孔
44を設けると共に、その両側に連結孔45を設けてい
る。また、テーブルステージ43側には上記嵌合孔44
と嵌合する位置決め用のピン4Gを設けるとともに、そ
の両側にねじ孔47を設けている。そして、テーブルベ
ース18に設けた嵌合孔44をテーブルステージ43に
授けたビン46に嵌合させて位置決めを行なった後、ボ
ルト48を連結孔45からねじ孔47にねじ込み、一体
化することにより取付けられている。
The table base 18, clamper base 25, and substrate stage 38 are integrated to form a substrate positioning table 42. This substrate positioning table 42 is mounted on a table stage 43. That is, a fitting hole 44 for positioning is provided on one edge of the table base 18, and connecting holes 45 are provided on both sides thereof. In addition, the above-mentioned fitting hole 44 is provided on the table stage 43 side.
A positioning pin 4G is provided to fit into the positioning pin 4G, and screw holes 47 are provided on both sides of the positioning pin 4G. Then, after positioning is performed by fitting the fitting hole 44 provided in the table base 18 into the pin 46 provided on the table stage 43, the bolt 48 is screwed from the connecting hole 45 into the threaded hole 47 to integrate it. installed.

第2図は、2点鎖線で示す基板11(大小2種類が示さ
れている)の位置決め状態を示しているが、このように
位置決めするための手法を第7rI!Jによって説明す
る。
FIG. 2 shows the positioning state of the substrate 11 (two types, large and small, are shown) indicated by a chain double-dashed line. Explained by J.

まず、第7図(りで示すように、位置決めしようとする
基板11のサイズに応じて第1の固定ローラ12および
第2の固定ローラ13への固定位置を対応するねじ孔1
9.20から選択する。
First, as shown in FIG.
Select from 9.20.

上記各複数のねじ孔19.20から基板サイズにあった
固定位置を選択する手法を以下説明する。
A method for selecting fixing positions suitable for the substrate size from the plurality of screw holes 19 and 20 will be described below.

まず、第3図によりY方向のねじ孔19の位置を外側か
らx、n、m・・・・・・と定める。また、X方向のね
じ孔20め位置は各列A、B、C毎に外側から1.2.
3と定める。すなわち、A列は外側からA、  A2、
A、と定める。B列、0列も同様に定める。
First, the positions of the screw holes 19 in the Y direction are determined from the outside as x, n, m, . . . according to FIG. Also, the position of the 20th screw hole in the X direction is 1.2 from the outside for each row A, B, and C.
3. That is, from the outside, row A is A, A2,
Define A. Column B and column 0 are determined in the same manner.

第5図は基板11のX1Y方向の寸法とX1Y方向のね
じ孔19.20位置との関係を示している。
FIG. 5 shows the relationship between the dimensions of the substrate 11 in the X1Y directions and the positions of the screw holes 19 and 20 in the X1Y directions.

すなわち、位置決めしようする基板11のサイズがX=
60、Y=70であれば、第5図から第1の固定ローラ
12のねじ孔位置は第3図における■の位置となる。ま
た、第2の固定ローラ13!のねじ孔位置は第3図にお
けるB2に位置する。
That is, the size of the substrate 11 to be positioned is X=
60 and Y=70, the position of the screw hole of the first fixed roller 12 from FIG. 5 is the position marked with ■ in FIG. 3. Also, the second fixed roller 13! The screw hole position is located at B2 in FIG.

このようして、第1の固定ローラ12および第2の固定
ローラ131を固定した後、基板11を基板ステージ3
8上に載置する。
After fixing the first fixed roller 12 and the second fixed roller 131 in this way, the substrate 11 is moved to the substrate stage 3.
8.

次に、第7図(b)で示すように、もう1つの第2の固
定ローラ13bを取付ける。この第2の固定ローラ13
bの取付は位置は、Y方向については、基板IIの他の
一辺11bに接することができ、かつ前記第2の固定ロ
ーラ13gから最も離れた位置とする。また、X方向に
ついては、前記第2の固定ローラH1と同じ位置とする
Next, as shown in FIG. 7(b), another second fixed roller 13b is attached. This second fixed roller 13
b is attached at a position in the Y direction that can contact the other side 11b of the substrate II and is farthest from the second fixed roller 13g. Further, in the X direction, the position is the same as that of the second fixed roller H1.

次に、第7図(C)で示すように、第1のクランプロー
ラ14を対応するスライダ2Gのねじ孔28に取付ける
。この取付位置は、第1の固定ローラ12の位置からの
距離が基板11のY方向の長さより短く、かつこの第1
の固定ローラ12から最も離れた位置とする。この位置
のねじ孔28に第1のクランプローラ14をセットする
に当っては、スライダ26をばね31の張力に抗して移
動させ、取付対象となるねじ孔28を基板11の辺11
cより外方に引き出し、このねじ孔28に第2のクラン
プローラI4をねじ30によりねじ止めする。
Next, as shown in FIG. 7(C), the first clamp roller 14 is attached to the corresponding screw hole 28 of the slider 2G. This mounting position is such that the distance from the first fixed roller 12 is shorter than the length of the substrate 11 in the Y direction, and
This is the position farthest from the fixed roller 12. To set the first clamp roller 14 in the screw hole 28 at this position, the slider 26 is moved against the tension of the spring 31, and the screw hole 28 to be mounted is aligned with the side 11 of the substrate 11.
c, and the second clamp roller I4 is screwed into this screw hole 28 with a screw 30.

このように第1のクランプローラ14を取付けた後、ス
ライダ26に対する力を解除し、ばね31によるクラン
プ力により第1のクランプローラ14を基板11の辺1
1cに圧接させ、第1の固定ローラ12とによりY方向
をクランプする。
After attaching the first clamp roller 14 in this way, the force on the slider 26 is released, and the clamping force of the spring 31 moves the first clamp roller 14 to the side 1 of the substrate 11.
1c and clamped in the Y direction with the first fixed roller 12.

次に、第7図(d)で示すように、第2のクランプロー
ラ15を対応するスライダ27のねじ孔29に取付ける
。この取付位置の選定は第1のクランプローラ14と同
じ手法で行なう。すなわち、第2の固定ローラ13から
の距離が、基板IfのX方向の長さより短く、かつこの
第2の固定ローラ13が最モ離れた位置にあるねじ孔2
9を選定する。この選定されたねじ孔29に第2のクラ
ンプローラ15をセットするに当っては、スライダ27
をばね32の張力に抗して移動させ、取付は対象となっ
ているねじ孔29を基板11の辺lidより外方に引き
出し、このねじ孔29に第2のクランプローラ15をね
じ30によりねじ止めする。
Next, as shown in FIG. 7(d), the second clamp roller 15 is attached to the corresponding screw hole 29 of the slider 27. This mounting position is selected in the same manner as the first clamp roller 14. That is, the distance from the second fixed roller 13 is shorter than the length of the substrate If in the X direction, and the screw hole 2 is located at the farthest position from the second fixed roller 13.
Select 9. When setting the second clamp roller 15 in this selected screw hole 29, the slider 27
The screw hole 29 to be mounted is pulled out from the side lid of the substrate 11, and the second clamp roller 15 is screwed into this screw hole 29 with the screw 30. Stop it.

この後、スライダ27に対する力を解除し、ばね32に
よるクランプ力により第2のクランプローラ14を基板
11の辺11cに圧接させ、第2の固定ローラ13とに
よりX方向をクランプする。
Thereafter, the force on the slider 27 is released, the second clamp roller 14 is brought into pressure contact with the side 11c of the substrate 11 by the clamping force of the spring 32, and the second fixed roller 13 is clamped in the X direction.

上記クランプ動作の結果、基板Ifの辺111 。As a result of the above clamping operation, the side 111 of the substrate If.

11bは第4図で示すように、対応する固定ローラ12
、 13に押し付けられる。固定ローラ12. 13の
軸部は前述のようにストッパ段部21.22の対応する
ものと係合しているので、このストッパ段部21゜22
を精密に加工しておけば、異なる基板サイズの基板間の
平行度等を含め位置再現性を高精度に保つことができる
。また、このような基板位置決めテーブル42を複数個
持ち、交互に基板の加工や処理を行なう場合であっても
、複数個のテーブル42間に誤差がほとんど生じない。
11b is a corresponding fixed roller 12 as shown in FIG.
, pressed against 13. Fixed roller 12. Since the shank of 13 engages with the corresponding one of the stopper steps 21, 22 as described above, this stopper step 21, 22
If it is precisely processed, position repeatability, including parallelism between substrates of different substrate sizes, can be maintained with high accuracy. Further, even when a plurality of such substrate positioning tables 42 are provided and substrates are processed and processed alternately, almost no error occurs between the plurality of tables 42.

すなわち、位置再現性を高精度に保つことができる。That is, position repeatability can be maintained with high precision.

このように、位置決め対象となる基板11のサイズに応
じて第1の固定ローラ12および第2の固定ローラ13
の固定位置を定め、かつこれに対応して第1のクランプ
ローラ14および第2のクランプローラ15のセット位
置も定めるので、各種サイズの基板Ifをそのセンター
位置が大幅にずれない範囲内で再現性よく高精度に位置
決めすることができる。
In this way, the first fixed roller 12 and the second fixed roller 13 are adjusted according to the size of the substrate 11 to be positioned.
, and the set positions of the first clamp roller 14 and the second clamp roller 15 are also determined accordingly, so substrates If of various sizes can be reproduced within a range where the center position does not shift significantly. It allows for easy and highly accurate positioning.

第2の例では、口30〜口100の基板(縦長の長方形
を対象としているが、縦横比の小さな横長の長方形にも
充分対応できる)を前述した手法によって位置決めする
ことによりセンター位置のずれがφ14扉以内で全て位
置決めすることができた。
In the second example, by positioning the substrates of mouths 30 to 100 (targeted as vertically long rectangles, but also suitable for horizontally long rectangles with a small aspect ratio) using the method described above, the shift in the center position is prevented. I was able to position everything within a φ14 door.

第8図は、第1図で説明した基板位置決めテーブル42
の使用例を示している。この例では、2台の基板位置決
めテーブル42をテーブルステージ43の両側に相対抗
して取付けている。この2台の基板位置決めテーブル4
2のポジションをステージ切換機構51により図示手前
と奥とに高精度で切換える。そして、手前を基板11の
ローディングおよびアンローディングポジションとし、
奥を加工ポジジョンとして図示しない前行程から搬送さ
れてくる基板11を順次加工し、図示しない後行程に搬
送するものとする。
FIG. 8 shows the board positioning table 42 explained in FIG.
shows an example of its use. In this example, two substrate positioning tables 42 are mounted on opposite sides of a table stage 43. These two board positioning tables 4
The stage switching mechanism 51 switches the position of No. 2 between the front and the back in the figure with high precision. Then, the front side is the loading and unloading position of the board 11,
It is assumed that the substrates 11 transported from a pre-processing position (not shown) are sequentially processed with the back as a processing position, and then transported to a post-processing process (not shown).

このように使用した場°合、2台の基板位置決めテーブ
ル42による加工ポジションでの各サイズにおける位置
決め精度(再現性)は高く維持され、良好な加工を行な
うことができる。
When used in this manner, the positioning accuracy (reproducibility) of each size at the processing position by the two substrate positioning tables 42 is maintained high, and good processing can be performed.

なお、第1のクランプローラ14および第2のクランプ
ローラ15の開閉動作、すなわちスライダ26゜27の
移動は、例えば第8図で示したカム52およびその駆動
機構53よりなる動力開閉機構によって駆動してもよい
The opening and closing operations of the first clamp roller 14 and the second clamp roller 15, that is, the movement of the sliders 26 and 27, are driven by a power opening and closing mechanism consisting of, for example, the cam 52 and its drive mechanism 53 shown in FIG. It's okay.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上のように本発明によれば、各種サイズの基板をセン
ター位置のずれ量がある範囲に収まる状態で、再現性よ
く高精度に位置決めでき、従来のように各サイズ毎の専
用位置決め装置を用意する必要はなく、設備全体の簡素
化、低コスト化を実現することができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to position boards of various sizes with high precision and reproducibility while keeping the deviation of the center position within a certain range, and unlike conventional methods, a dedicated positioning device for each size is provided. There is no need to do so, and it is possible to simplify the entire equipment and reduce costs.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明による基板位置決め装置の一実施例を示
す分割斜視図、第2図は第1図の装置による基板位置決
め状態を示す平面図、第3図は第1図のテーブルベース
の平面図、第4図は固定位置決め体による基板の支持状
態を示す断面図、第5図は第3図で示したねじ孔位置と
基板サイズとの関係を示すグラフ、第6図は第5図で決
定されたタップ位置による基板の位置決め状態を示す平
面図、第7図は基板に対する位置決め過程を説明する平
面図、第8図は本発明の装置の使用例を示す斜視図、第
9図は基板の位置決め方法を説明する平面図である。 11・・基板、12・・第1の固定位置決め体、13・
・第2の固定位置決め体、14・・第1のクランプ体、
15・・第2のクランプ体、18・・テーブルベース、
19.20・・取付部、26・・第1のスライダ、27
・・第2のスライダ、28.29・・取付部、3i、 
32・・ばね。 蓬μ回
FIG. 1 is a divided perspective view showing an embodiment of the substrate positioning device according to the present invention, FIG. 2 is a plan view showing a substrate positioning state by the device shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a plan view of the table base shown in FIG. 1. Figure 4 is a sectional view showing how the board is supported by the fixed positioning body, Figure 5 is a graph showing the relationship between the screw hole position and board size shown in Figure 3, and Figure 6 is the graph shown in Figure 5. FIG. 7 is a plan view illustrating the positioning process of the substrate according to the determined tap position; FIG. 8 is a perspective view illustrating an example of the use of the device of the present invention; and FIG. FIG. 3 is a plan view illustrating a positioning method. 11. Board, 12. First fixed positioning body, 13.
・Second fixed positioning body, 14...first clamp body,
15...Second clamp body, 18...Table base,
19.20...Mounting part, 26...First slider, 27
...Second slider, 28.29...Mounting part, 3i,
32...Spring. Homu times

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)基板の一辺と接するべく設けられる第1の固定位
置決め体および前記一辺と対向する他辺に当接するべく
設けられる第1のクランプ体と、前記基板の前記一辺に
隣接する他の一辺に接するべく設けられる第2の固定位
置決め体および前記他の一辺と対向する他辺に当接する
べく設けられる第2のクランプ体と、 前記第1の固定位置決め体および第2の固定位置決め体
に対しこれらが当接すべき各辺と直交する各方向に沿っ
てそれぞれ複数個直線状に配列され、かつそれぞれが対
応する固定位置決め体を取付け可能な取付部を有するテ
ーブルベースと、前記第1のクランプ体および第2のク
ランプ体に対しこれらが当接すべき各辺と直交する方向
に沿ってそれぞれ移動可能に設けられ、これら移動方向
に沿ってそれぞ直線状に配列されかつそれぞれが前記対
応するクランプ体を取付可能な複数の取付部を有し、さ
らに前記当接すべき各辺に向うクランプ力を受けるよう
にそれぞれ設けられた第1のスライダおよび第2のスラ
イダと、 を備えたことを特徴とする基板位置決め装置。
(1) A first fixed positioning body provided to be in contact with one side of the substrate, a first clamp body provided to be in contact with the other side opposite to the one side, and another side adjacent to the one side of the substrate. a second fixed positioning body provided to be in contact with the second fixed positioning body and a second clamp body provided to be in contact with the other side opposite to the other side; a table base having a plurality of mounting portions arranged linearly along each direction perpendicular to each side to be in contact with each other, and each having a mounting portion to which a corresponding fixed positioning member can be attached; and the first clamp member. and a second clamp body, each of which is movable along a direction perpendicular to each side with which they are to abut, arranged in a straight line along these moving directions, and each of which is provided with the corresponding clamp. It has a plurality of attachment parts to which the body can be attached, and further comprises a first slider and a second slider each provided to receive a clamping force toward each side to be contacted. Board positioning device.
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