JPH0223836Y2 - - Google Patents

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JPH0223836Y2
JPH0223836Y2 JP8551785U JP8551785U JPH0223836Y2 JP H0223836 Y2 JPH0223836 Y2 JP H0223836Y2 JP 8551785 U JP8551785 U JP 8551785U JP 8551785 U JP8551785 U JP 8551785U JP H0223836 Y2 JPH0223836 Y2 JP H0223836Y2
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JP
Japan
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input shaft
casing
side wall
oil
outside
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Description

【考案の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本考案は、真空排気を必要とする各種産業機器
分野で広く使用されるメカニカルブースタポンプ
に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a mechanical booster pump that is widely used in various industrial equipment fields that require vacuum evacuation.

[従来の技術] 従来、この種のメカニカルブースタポンプとし
て第3図および第4図に示すようなものが知られ
ている。すなわち、このものは、両側に油貯留室
a,bを隣接し周壁に吸込口sと排出口tを有し
た楕円形のケーシングc内に、入力軸dに支承さ
れたまゆ形のロータeと、従動軸fに支承された
まゆ形のロータgとを90゜位相を異ならせて収容
し、前記入力軸dおよび従動軸fの一端を前記ケ
ーシングcの一側壁hに設けた第1の油貯留室a
内に延出させてタイミングギヤi,jにより連結
している。そして、前記入力軸dの他端を前記ケ
ーシングcの他側壁k部および第2の油貯留室b
を貫通させて外部に突出させ、その吐出端をモー
タ1により回転駆動することによつて、周知なポ
ンプ機能を営み得るようになつている。しかし
て、このようなメカニカルブースタポンプでは前
記入力軸dおよび従動軸fを前記ケーシングcの
両側壁h,k部に設けた軸受m,nにより支承す
るとともに、前記入力軸dが側壁kおよび第2の
油貯留室bを貫通して外部に突出する部位にケー
シングcの内、外を隔離するためのオイルシール
方式による真空シール機構pを設けている。そし
て、前記各タイミングギヤi,jとこのギヤ側の
軸受mとを前記第1の油貯留室a内の潤滑油qに
より潤滑するとともに、前記真空シール機構pと
このシール側の軸受nとに前記第2の油貯留室b
内の潤滑油rを供給するようにしている。
[Prior Art] Conventionally, mechanical booster pumps of this type as shown in FIGS. 3 and 4 are known. That is, this device has an oval-shaped casing c with oil storage chambers a and b adjacent to each other on both sides and a suction port s and a discharge port t on the peripheral wall, and an eyebrow-shaped rotor e supported on an input shaft d. , an eyebrow-shaped rotor g supported by a driven shaft f is housed with a phase difference of 90°, and one end of the input shaft d and the driven shaft f is provided on one side wall h of the casing c. Storage chamber a
The timing gears i and j extend inward and are connected by timing gears i and j. The other end of the input shaft d is connected to the other side wall k of the casing c and the second oil storage chamber b.
By penetrating the pump and projecting it to the outside, and rotating its discharge end by the motor 1, a well-known pump function can be performed. In such a mechanical booster pump, the input shaft d and the driven shaft f are supported by bearings m and n provided on both side walls h and k of the casing c, and the input shaft d is supported on the side wall k and the driven shaft f. A vacuum seal mechanism p using an oil seal type is provided at a portion that penetrates the oil storage chamber b of No. 2 and projects to the outside to isolate the inside and outside of the casing c. Then, each of the timing gears i and j and the bearing m on this gear side are lubricated with the lubricating oil q in the first oil storage chamber a, and the vacuum seal mechanism p and the bearing n on this seal side are lubricated. Said second oil storage chamber b
The lubricating oil r inside is supplied.

[考案が解決しようとする問題点] ところが、このようにオイルシール式の真空シ
ール機構pを用いている場合には、入力軸dをつ
たつて第2の油貯留室b内の潤滑油rが、外部に
漏出するのを確実に防止するのが難しく、メンテ
ナンスの大部分がこの油漏れに関連するものとな
つている。また、油潤滑式のシール機構pは、そ
の寿命が2000〜5000Hrと比較的短く、例えば、
重要な製造プロセス等には、製品トラブルを起す
虞れがあるため採用が難しいという問題がある。
[Problems to be solved by the invention] However, when the oil seal type vacuum seal mechanism p is used in this way, the lubricating oil r in the second oil storage chamber b passes through the input shaft d. It is difficult to reliably prevent oil from leaking to the outside, and most of the maintenance is related to this oil leakage. In addition, the oil-lubricated seal mechanism p has a relatively short life of 2000 to 5000 hours, for example,
There is a problem in that it is difficult to adopt this method in important manufacturing processes because of the risk of product trouble.

本考案は、このような不都合をことごとく解消
することを目的としている。
The present invention aims to eliminate all such inconveniences.

[問題点を解決するための手段] 本考案は、かかる目的を達成するために、メカ
ニカルブースタポンプを、入力軸に支承されたロ
ータと、従動軸に支承されたロータとをケーシン
グ内に収容し、前記入力軸および従動軸の一端を
前記ケーシングの一側壁部の外側に隣接した油貯
留室内に延出させてタイミングギヤにより連結す
るとともに、前記入力軸の他端を前記ケーシング
の他側壁部を貫通させて外部に突出させてなるも
のにし、さらに、前記入力軸および前記従動軸を
前記ケーシングの側壁部に設けたグリース封入形
または無給油形のベアリングにより支承するとと
もに、前記入力軸の側壁貫通部に前記ケーシング
の内、外を隔離する磁気流体シール機構を設けた
ことを特徴とする。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the present invention provides a mechanical booster pump in which a rotor supported by an input shaft and a rotor supported by a driven shaft are housed in a casing. , one end of the input shaft and the driven shaft extend into an oil storage chamber adjacent to the outside of one side wall of the casing and are connected by a timing gear, and the other end of the input shaft is connected to the other side wall of the casing. The input shaft and the driven shaft are supported by grease-filled or oil-free bearings provided on the side wall of the casing, and the input shaft extends through the side wall of the casing. The casing is characterized in that a magnetic fluid seal mechanism is provided in the casing to separate the inside and outside of the casing.

[作用] このような構成のものであれば、ケーシングの
入力軸導出側に油貯留室を設ける必要がないた
め、油貯留室内の潤滑油が入力軸をつたつて外部
に漏洩するという現象を確実になくすことができ
る。しかも、ケーシングの内部と外部とは、磁気
流体シール機構により隔離されるため、片側の油
貯留室を省略しても、真空排気性能が低下する虞
れは全くない。
[Function] With this configuration, there is no need to provide an oil storage chamber on the input shaft leading-out side of the casing, so it is possible to prevent the lubricating oil in the oil storage chamber from leaking to the outside through the input shaft. can be lost. Moreover, since the inside and outside of the casing are isolated by the magnetic fluid sealing mechanism, there is no risk of deterioration in evacuation performance even if the oil storage chamber on one side is omitted.

[実施例] 以下、本考案の一実施例を第3図および第4図
を参照して説明する。
[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 3 and 4.

第3図に示すように、このメカニカルブースタ
ポンプは、ケーシング1内に、入力軸2に支承さ
れたまゆ形のロータ3と、従動軸4に支承された
まゆ形のロータ5とを相互に90゜位相を異ならせ
て収容し、前記入力軸2および従動軸4の一端2
a,4aを前記ケーシング1の一側壁部の外側に
隣設した油貯留室6内に延出させてタイミングギ
ヤ7,8により連結するとともに、前記入力軸2
の他端2bを前記ケーシング1の他側壁部を貫通
させて外部に突出させている。
As shown in FIG. 3, this mechanical booster pump has a cocoon-shaped rotor 3 supported on an input shaft 2 and a cocoon-shaped rotor 5 supported on a driven shaft 4 in a casing 1 at a 90-degree angle to each other. ° The input shaft 2 and the one end 2 of the driven shaft 4 are housed with different phases.
a, 4a extend into an oil storage chamber 6 adjacent to the outside of one side wall of the casing 1 and are connected by timing gears 7, 8, and the input shaft 2
The other end 2b passes through the other side wall of the casing 1 and projects to the outside.

ケーシング1は、横断面楕円形の周壁11と、
この周壁11の両端開口部を閉塞する側壁12,
13とをシール14を介して気密に接合させてな
るもので、前記周壁11には、図示しない吸込口
と、排出口とが設けてある。そして、前記側壁1
2,13には、ベアリング保持孔15が設けてあ
り、この保持孔15内に設けたグリス封入形のボ
ールベアリング16により前記入力軸2および前
記従動軸4を回転可能に支持している。なお、こ
れらのボールベアリング16と、ケーシング1の
内部に形成されるポンプ室17との間には、それ
ぞれラビリンスシール18が設けてある。
The casing 1 includes a peripheral wall 11 having an oval cross section;
A side wall 12 that closes the openings at both ends of the peripheral wall 11;
13 are airtightly joined via a seal 14, and the peripheral wall 11 is provided with an inlet and an outlet (not shown). And the side wall 1
2 and 13 are provided with bearing holding holes 15, and the input shaft 2 and the driven shaft 4 are rotatably supported by grease-filled ball bearings 16 provided in the holding holes 15. Note that labyrinth seals 18 are provided between these ball bearings 16 and a pump chamber 17 formed inside the casing 1, respectively.

また、前記入力軸2が外部に突出する部分にお
ける側壁13には、前記ベアリング保持孔15に
連続する筒状部21が一体に設けてあり、この筒
状部21に前記ケーシング1の内、外を隔離する
磁気流体シール機構22を設けている。磁気流体
シール機構22は、第3図に示すように前記筒状
部21の内周に円筒状の永久磁石23をシール材
20を介して気密に嵌着するとともに、前記入力
軸2の外周に複数の円環突条部24を所定のピツ
チで平行に形成し、これら各円環突条部24の外
周と、前記永久磁石23の内周との間に磁性流体
25を介在させたものである。
Further, a cylindrical portion 21 that is continuous with the bearing holding hole 15 is integrally provided on the side wall 13 at a portion where the input shaft 2 protrudes to the outside. A magnetic fluid seal mechanism 22 is provided to isolate the . As shown in FIG. 3, the magnetic fluid sealing mechanism 22 includes a cylindrical permanent magnet 23 hermetically fitted to the inner periphery of the cylindrical portion 21 via a sealing material 20, and a permanent magnet 23 to the outer periphery of the input shaft 2. A plurality of annular protrusions 24 are formed in parallel at a predetermined pitch, and a magnetic fluid 25 is interposed between the outer periphery of each of these annular protrusions 24 and the inner periphery of the permanent magnet 23. be.

なお、26は前記ケーシング1にフレーム2
7,28を介して支持させたモータであり、この
モータ26の出力軸29を、このメカニカルブー
スタポンプの入力軸2に軸継手31を介して接続
している。また、32は前記油貯留室6内の潤滑
油33を前記タイミングギヤ7,8に供給するた
めの油飛沫翼である。
In addition, 26 is a frame 2 attached to the casing 1.
The output shaft 29 of this motor 26 is connected to the input shaft 2 of this mechanical booster pump through a shaft coupling 31. Further, reference numeral 32 denotes an oil splashing blade for supplying the lubricating oil 33 in the oil storage chamber 6 to the timing gears 7 and 8.

このような構成のものであれば、前記モータ2
6を作動させて前記入力軸2を回転駆動すれば、
この入力軸2の回転がタイミングギヤ7,8を介
して従動軸4にも伝達されるため、前記両ロータ
5は同一の速度で逆方向に回転して周知なポンプ
機能を営むことになるが、このポンプではタイミ
ングギヤ7,8の潤滑のみを油貯留室6に貯留し
た潤滑油33により行なうようにしているので、
油漏れを有効に防止することができる。すなわ
ち、このポンプは、入力軸2および従動軸4をグ
リース封入形のベアリング16により支承すると
ともに、入力軸2が外部に突出する部分の軸封を
潤滑油の不要な磁気流体シール機構22により行
なうようにしているので、ケーシング1の磁気流
体シール機構22を配設した側には、油貯留室を
一切設けなくてもよい。したがつて、従来問題と
なつていた油もれを無理なく確実に防止すること
ができ、メンテナンスの容易化を図ることができ
る。しかも、前記磁気流体シール機構22は、磁
性流体25を隙間に充満させて軸封を行なうもの
であるため、高いシール性を発揮させることが可
能であるとともに摩耗等によつてそのシール性が
低下するようなことがなく、所期の真空排気性能
を長期ににわたつて維持することができる。具体
的には、例えば、真空シール部分の耐久性を
10000〜15000Hrと飛躍的に向上させることが可
能となる。また、前記磁気流体シール機構22
は、固体同士を摺接させてシールを行なうもので
はないため、従来のオイルシール式のものに比べ
て摩擦抵抗が少ない。そのため、発熱を有効に防
止することができるとともに、駆動力が少なくて
済み、モータ26の容量を小さくすることができ
るという効果も得られる。
With such a configuration, the motor 2
6 to rotate the input shaft 2,
Since the rotation of the input shaft 2 is also transmitted to the driven shaft 4 via the timing gears 7 and 8, both rotors 5 rotate at the same speed in opposite directions and perform the well-known pump function. In this pump, only the timing gears 7 and 8 are lubricated by the lubricating oil 33 stored in the oil storage chamber 6.
Oil leakage can be effectively prevented. That is, in this pump, the input shaft 2 and the driven shaft 4 are supported by a grease-filled bearing 16, and the portion of the input shaft 2 that protrudes outside is sealed by a magnetic fluid seal mechanism 22 that does not require lubricating oil. Therefore, there is no need to provide any oil storage chamber on the side of the casing 1 where the magnetic fluid seal mechanism 22 is provided. Therefore, oil leakage, which has been a problem in the past, can be reasonably and reliably prevented, and maintenance can be facilitated. Moreover, since the magnetic fluid sealing mechanism 22 performs shaft sealing by filling the gap with the magnetic fluid 25, it is possible to exhibit high sealing performance, but the sealing performance may deteriorate due to wear or the like. There is no such problem, and the desired evacuation performance can be maintained for a long period of time. Specifically, for example, the durability of the vacuum seal part
It is possible to dramatically improve the speed to 10,000 to 15,000 hours. Further, the magnetic fluid seal mechanism 22
Since this type does not create a seal by sliding solid objects together, it has less frictional resistance than conventional oil seal types. Therefore, it is possible to effectively prevent heat generation, and there is also an effect that less driving force is required and the capacity of the motor 26 can be reduced.

なお、前記実施例では、入力軸を駆動するモー
タをケーシングに支持させた場合について説明し
たが、本考案は必ずしもこのような構造のものに
限定されるものではない。
In addition, although the said Example demonstrated the case where the casing supported the motor which drives an input shaft, this invention is not necessarily limited to such a structure.

また、ベアリングはグリース封入形のものに限
定されるものではなく、無給油形のものであつて
もよい。
Further, the bearing is not limited to a grease filled type, but may be a non-lubricated type.

[考案の効果] 本考案は、以上のような構成であるから、入力
軸の軸封部分から油が漏れるという不都合を無理
なく確実に防止することが可能である上に、その
軸封部分の真空シール性能を長期にわたつて維持
することができ、また、発熱や不要な動力消費を
抑制して効率の高い運転を行なうことができるメ
カニカルブースタポンプをを提供できるものであ
る。
[Effects of the invention] Since the present invention has the above-described structure, it is possible to reasonably and reliably prevent the inconvenience of oil leaking from the shaft sealing part of the input shaft. It is possible to provide a mechanical booster pump that can maintain vacuum sealing performance over a long period of time, and can operate with high efficiency by suppressing heat generation and unnecessary power consumption.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本考案の一実施例を示す概略断面図、
第2図は同実施例における要部を示す拡大断面図
である。第3図は従来例を示す第1図相当の概略
断面図、第4図は第3図における−線断面図
である。 1……ケーシング、2……入力軸、3……ロー
タ、4……従動軸、5……ロータ、6……油貯留
室、7,8……タイミングギヤ、12,13……
側壁、16……ベアリング、18……ラビリンス
シール、22……磁気流体シール、33……潤滑
油。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing an embodiment of the present invention;
FIG. 2 is an enlarged sectional view showing main parts in the same embodiment. FIG. 3 is a schematic sectional view corresponding to FIG. 1 showing a conventional example, and FIG. 4 is a sectional view taken along the - line in FIG. 1... Casing, 2... Input shaft, 3... Rotor, 4... Driven shaft, 5... Rotor, 6... Oil storage chamber, 7, 8... Timing gear, 12, 13...
Side wall, 16...bearing, 18...labyrinth seal, 22...magnetic fluid seal, 33...lubricating oil.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 入力軸に支承されたロータと、従動軸に支承さ
れたロータとをケーシング内に収容し、前記入力
軸および従動軸の一端を前記ケーシングの一側壁
部の外側に隣設した油貯留室内に延出させてタイ
ミングギヤにより連結するとともに、前記入力軸
の他端を前記ケーシングの他側壁部を貫通させて
外部に突出させてなるメカニカルブースタポンプ
であつて、前記入力軸および前記従動軸を前記ケ
ーシングの側壁部に設けたグリース封入形または
無給油形のベアリングにより支承するとともに、
前記入力軸の側壁貫通部に前記ケーシングの内、
外を隔離する磁気流体シール機構を設けたことを
特徴とするメカニカルブースタポンプ。
A rotor supported by an input shaft and a rotor supported by a driven shaft are housed in a casing, and one ends of the input shaft and the driven shaft are extended into an oil storage chamber adjacent to the outside of one side wall of the casing. A mechanical booster pump, wherein the input shaft and the driven shaft are connected to each other by a timing gear, and the other end of the input shaft extends through the other side wall of the casing and projects to the outside. Supported by grease-filled or oil-free bearings installed on the side wall of the
In the side wall penetrating portion of the input shaft, inside the casing,
A mechanical booster pump characterized by having a magnetic fluid seal mechanism that isolates the outside.
JP8551785U 1985-06-05 1985-06-05 Expired JPH0223836Y2 (en)

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JP8551785U JPH0223836Y2 (en) 1985-06-05 1985-06-05

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JPS61200484U JPS61200484U (en) 1986-12-15
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JPS61200484U (en) 1986-12-15

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