JPH02232194A - Clean robot - Google Patents
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- JPH02232194A JPH02232194A JP4883189A JP4883189A JPH02232194A JP H02232194 A JPH02232194 A JP H02232194A JP 4883189 A JP4883189 A JP 4883189A JP 4883189 A JP4883189 A JP 4883189A JP H02232194 A JPH02232194 A JP H02232194A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、クリーンルームで使用されるクリーンロボッ
トの構造の改良に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an improvement in the structure of a clean robot used in a clean room.
第７図乃至第ｌθ図は従来のクリーンロボットを示すも
ので、図中、（１）は床に立設された縦長のフレーム、
（２）はこのフレーム（１）の正面に穿設された縦長の
溝孔（スリット）（第８図参照）、（３）はフレーム（
１）内の背面に並列に配設された一対のガイド（同図参
照）、（４）はフレーム（１）内の背面下部に水平に取
着された支持部、（５）はこの支持部（４） とフレー
ム（１）の内部上面との間に垂直に支承されたボールネ
ジで、このボールネジ（５）の支持部（４）を貫通した
下端にはプーリ《６》が嵌着されている。（７）は支持
部（４）に載置された駆動用のモータで、このモータ（
７）の支持部（４）を貫通した出力釉の先端にはベルト
車（８）が嵌着され、このベルト車（８） と上記ブー
リ（６）とにはベルト（９）が巻架されており、該モー
タ（ア）の駆動によりボールネジ（５）がベルト伝動に
より回転するようになっている。Figures 7 to 1θ show conventional clean robots, in which (1) is a vertically long frame installed on the floor;
(2) is a vertically long slot (slit) drilled in the front of this frame (1) (see Figure 8), (3) is a frame (
1) A pair of guides arranged in parallel on the back side of the frame (1) (see the same figure), (4) a support section horizontally attached to the lower back side of the frame (1), and (5) this support section. (4) is a ball screw supported vertically between the inner upper surface of the frame (1), and a pulley (6) is fitted to the lower end of the ball screw (5) that passes through the support portion (4). . (7) is a drive motor placed on the support part (4), and this motor (
A belt wheel (8) is fitted to the tip of the output glaze that has passed through the support portion (4) of 7), and a belt (9) is wound around this belt wheel (8) and the boule (6). When the motor (A) is driven, the ball screw (5) is rotated by belt transmission.
また、（ＩＯ）はボールネジ（５）に螺合された昇降体
で、この昇降体（１０）は、第７図および第９図に示す
ようにボールネジ（５）に螺合され且つ上記一対のガイ
ド（３）に案内される本体（１０ａ）と、この本体（１
０ａ）の溝孔（２）を貫通して外部に延出された先端に
水平回動可能に設けられたアーム（ｔｏｂ）と、このア
ーム（ｉｏｂ）の先端に装着されたハンド（１０ｃ）と
を備え、ボールネジ《５》の回転によりガイド（３）に
案内されつつ上昇若しくは下降動作して図示しないワー
ク等を搬送する機能を営む。In addition, (IO) is an elevating body screwed onto a ball screw (5), and this elevating body (10) is screwed onto the ball screw (5) as shown in FIGS. The main body (10a) guided by the guide (3) and this main body (1
An arm (tob) that extends outward through the slot (2) of 0a) and is horizontally rotatable, and a hand (10c) that is attached to the end of this arm (iob). It has the function of transporting a workpiece (not shown) by moving upward or downward while being guided by the guide (3) by the rotation of the ball screw (5).
然して、（ｌ１）はフレーム（ｌ｝の背面下部に穿設さ
れた排気口、（ｌ２）はこの排気口（ｌ１）にフレーム
内部から重着された濾過用のフィルタ、そして（ｌ３）
はこのフィルタ（ｌ２）に重着されたファンで、このフ
ァン（ｌ３）は、フレーム内部の塵を含む空気を吸引し
てフィルタ（ｌ２）から濾過された空気のみを排気口（
１ｌ）から外部に排出するとともに、該吸引作用により
フレーム内を負圧にして外部の汚染されていない空気を
溝孔《２）からフレーム内に導入する機能を営む（第７
図矢印参照）。Therefore, (l1) is an exhaust port drilled at the bottom of the back of the frame (l}, (l2) is a filter for filtration attached to this exhaust port (l1) from inside the frame, and (l3)
is a fan attached to this filter (l2), and this fan (l3) sucks air containing dust from inside the frame and sends only the filtered air from the filter (l2) to the exhaust port (
It has the function of discharging air from the outside from the slot (1l) and also introducing the uncontaminated air from the outside into the frame through the slot (2) by making the inside of the frame negative pressure by the suction action (7th hole).
(see arrow in figure).
従って、モータ（７）の駆動に伴うボールネジ（５）の
回転により、昇降体（ｌＯ）はガイド（３）に案内され
つつ上昇若しくは下降動作して図示しないワーク等を把
持搬送する。この一方、フレーム内に発生する塵はフレ
ーム内の空気とともにファン（ｌ３）に吸引され、フィ
ルタ（１２）に濾過された後に排気口（１ｌ）から外部
に排出される。そしてファン（Ｉ３）の吸引による負圧
作用により外部の汚染されいていない空気は溝孔（２）
を経てフレーム内部に導入される。Therefore, by the rotation of the ball screw (5) in conjunction with the drive of the motor (7), the elevating body (lO) moves upward or downward while being guided by the guide (3) to grip and convey a workpiece (not shown) or the like. On the other hand, dust generated within the frame is sucked together with the air within the frame by a fan (13), filtered by a filter (12), and then discharged to the outside from an exhaust port (11). Then, due to the negative pressure effect caused by the suction of the fan (I3), the outside uncontaminated air is transferred to the slot (2).
It is then introduced into the frame.
尚、この種の先行技術文献として特開昭６０−４４４０
５号、６２−１５２６９２号公報等がある。Furthermore, as a prior art document of this kind, Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-4440
No. 5, No. 62-152692, etc.
従来のクリーンロボットは以上のように構成され、縦長
の溝孔（２）からフレーム内部に導入される全ての空気
をフレーム下部のファン（ｌ３）により単に吸引するよ
うにしていたので、溝孔（２）の上部の風速《ｖ１》と
下部の風速（ｖ２）とが第ｌＯ図に示すように著しく異
なり、フレーム内の汚染された全ての空気を濾過して外
部に排出するには、非常に大きなファンを必要とした。Conventional clean robots are configured as described above, and all the air introduced into the frame through the vertical slot (2) is simply sucked in by the fan (l3) at the bottom of the frame. 2) The wind speed at the top (v1) and the wind speed at the bottom (v2) are significantly different, as shown in Figure 1O. Needed a big fan.
また昇降体（１０）の上昇動作に際し、当該昇降体（ｉ
ｏ）より上方のフレーム内の汚染された空気は昇降体（
ｌＯ）のピストン作用により圧縮されて終には溝孔《２
》から外部に逆に排出されてしまい、外部の空気が容易
に汚染されてしまう、といった問題点があった。In addition, when the elevating object (10) moves upward, the elevating object (i)
o) Contaminated air in the upper frame is removed from the elevator (
It is compressed by the piston action of lO) and finally the slot 《2
There was a problem in that the air was discharged from the air to the outside, easily contaminating the outside air.
本発明は叙上の点に鑑みなされたもので、ファンの小型
化と昇降体の上昇動作による弊害を防止することのでき
るクリーンロボットを提供することを目的としている。The present invention has been made in view of the above points, and an object thereof is to provide a clean robot that can reduce the size of the fan and prevent the harmful effects caused by the ascending operation of the elevating body.
（課題を解決するための手段）
本発明においては、上述の目的を達成するため、フレー
ム内の反溝孔側に当該フレームに沿う通風路を画成し、
この通風路の側部には溝孔からフレーム内に流入した空
気を該通風路内に導く流入口を設けるとともに、通風路
の下側部には通風路内の空気を上記通風機に導く排出口
を設けたことを特徴としている。(Means for Solving the Problems) In the present invention, in order to achieve the above-mentioned object, a ventilation path is defined along the frame on the side opposite to the slot in the frame,
An inlet is provided on the side of this ventilation passage to guide the air that has flowed into the frame from the slot into the ventilation passage, and an exhaust port is provided on the lower side of the ventilation passage to guide the air in the ventilation passage to the ventilator. It is characterized by having an exit.
（作用〕
本発明によれば、外部からフレーム内に導入された空気
がファンにより直接吸引される他に、該ファンに略連通
した通風路の流入口に吸引されるので、ファンの小型化
と昇降体のピストン作用による塵の拡散とを防止するこ
とができる。(Function) According to the present invention, the air introduced into the frame from the outside is not only sucked directly by the fan, but also sucked into the inlet of the ventilation path that is substantially in communication with the fan, so that the fan can be made smaller. Diffusion of dust due to the piston action of the elevating body can be prevented.
（実施例）
以下、第１図乃至第３図に示す一実施例に基づき本発明
を詳述すると、図中、（１）は床に立設した縦長のフレ
ームで、このフレーム（１）の正面には溝孔（スリット
）（２）を縦長に穿設し、又フレーム（１）の内部には
仕切り板（ｌ４）を設けて当該仕切り板（ｌ４）と背面
との間に通風路（ｌ５）を画成しており、該仕切り板の
上側部と下側部とには第１図に示すように流入口（１Ｂ
）と排出口（ｌ７）をそれぞれ穿設している。（３）は
フレーム（１）内の仕切り板（ｌ４）に並列に配設した
一対のガイド（第２図参照）．（４）は仕切り板《ｌ４
》の下部に、換言すれば排出口（ｌ７）の上方に水平に
取着した支持部で、この支持部（４）とフレーム（１．
）の内部上面との間にはボールネジ（５）を回動自在に
配置し、このボールネジ（５）の支持部（４）を貫通し
た下端にはプーリ《６）を嵌着している。（７）は支持
部（４）に載置した駆動用のモータで、このモータ（７
）の支持部（４）を貫通して下端に突出した出力軸の先
端にはベルト車（８）を嵌着し、このベルト車（８）と
上記プーリ（６）とにはベルト（９）を巻架しており、
該モータ（７）の駆動によりボールネジ（５）がベルト
伝動により回転するようになっている。(Embodiment) Hereinafter, the present invention will be described in detail based on an embodiment shown in FIGS. 1 to 3. In the figure, (1) is a vertically long frame installed on the floor; A vertical slit (2) is formed on the front surface, and a partition plate (l4) is provided inside the frame (1) to create a ventilation passage ( The upper and lower parts of the partition plate define an inlet (1B) as shown in FIG.
) and a discharge port (l7) are provided respectively. (3) is a pair of guides arranged in parallel on the partition plate (l4) in the frame (1) (see Figure 2). (4) is the partition plate《l4
], in other words, above the discharge port (l7), the support part (4) and the frame (1.
) A ball screw (5) is rotatably disposed between the inner upper surface of the ball screw (5) and a pulley (6) is fitted to the lower end of the ball screw (5) passing through the support portion (4). (7) is a drive motor placed on the support part (4).
) A belt pulley (8) is fitted to the tip of the output shaft that protrudes from the lower end through the support part (4) of the belt pulley (8) and the pulley (6). is on a rack,
Driven by the motor (7), the ball screw (5) is rotated by belt transmission.
また（１０）はボールネジ（５）に螺合した昇降体で、
この昇降体（１０）は、ボールネジ（５）に螺合され且
つ上記一対のガイド（３）に案内される本体（１０ａ）
と、この本体（１０ａ）の溝孔（２）を貫通して外部に
延出された先端に水平回動可能に設けられたアーム（１
０ｂ）と、このアーム（１０ｂ）の先端に装着されたハ
ンド（１０ｃ）とを備え、ボールネジ（５）の回転によ
りガイド（３）に案内されつつ上昇若しくは下降動作し
て図示しない，ワーク等を搬送する機能を営む。In addition, (10) is an elevating body screwed onto the ball screw (5),
This elevating body (10) has a main body (10a) screwed onto a ball screw (5) and guided by the pair of guides (3).
and an arm (1) that is horizontally rotatable at the tip that extends outside through the slot (2) of the main body (10a).
0b) and a hand (10c) attached to the tip of this arm (10b), and moves upward or downward while being guided by the guide (3) by rotation of the ball screw (5) to pick up a workpiece, etc. (not shown). Performs the function of transport.
然して、（ｔｉ）はフレーム（１）の背面最下部に穿設
した排気口、（１２）はこの排気口（１１）にフレーム
内部から重着した濾過用のフィルタ、そして（ｌ３）は
このフィルタ（１２）に重着したファンで、このファン
（１３）は、フレーム内部の塵を含む空気を吸引してフ
ィルタ（１２）より濾過された空気のみを排気口（１．
１）から排出するとともに、該吸引作用によりフレーム
内を負圧にして外部の汚染されていない空気を溝孔（２
）からフレーム内に導入する機能を営む（第１図矢印参
照）。そして、このファン（ｌ３）は、第１図に示すよ
うに上記排出口（ｌ７）を介して通風路（ｌ５）と略連
通しており、該負圧作用により、溝孔（２）からフレー
ム内に流入した空気を通風路上部の流入口｛１６｝から
通風路（１５）内に導入する機能を営む（第１図矢印参
照）。Therefore, (ti) is an exhaust port drilled at the bottom of the back of the frame (1), (12) is a filtration filter attached to this exhaust port (11) from inside the frame, and (l3) is this filter. (12), this fan (13) sucks the air containing dust inside the frame and exhausts only the air filtered from the filter (12) through the exhaust port (1.
At the same time, the suction action creates a negative pressure inside the frame and uncontaminated air from the outside is discharged from the slot (2).
) into the frame (see arrow in Figure 1). As shown in FIG. 1, this fan (l3) is in approximately communication with the ventilation passage (l5) via the outlet (l7), and due to the negative pressure action, the fan (l3) is connected to the frame from the slot (2). The function is to introduce the air flowing into the ventilation passage (15) from the inlet {16} at the upper part of the ventilation passage (see arrow in FIG. 1).
従って、フレーム内の塵を含んだ空気は、ファン（ｌ３
）に直接吸引される他に、ファン（ｌ３）に略連通した
通風路（ｌ５）の流入口（Ｉ６）に導入され、排出口（
ｌ７）を経てファン（ｌ３）に吸引された後にフィルタ
（ｌ２）に濾過されて排気口（１１）から外部に排出さ
れる。そしてファン（ｌ３）の吸引作用により外部の汚
染されていない空気は溝孔（２》を経てフレーム内部に
導入される。Therefore, the dust-laden air inside the frame is removed by the fan (l3
), it is also introduced into the inlet (I6) of the ventilation passage (l5) which is in communication with the fan (l3), and is also sucked directly into the exhaust port (
The air is sucked into the fan (l3) through the air filter (l7), filtered by the filter (l2), and discharged to the outside from the exhaust port (11). Then, by the suction action of the fan (13), uncontaminated air from the outside is introduced into the frame through the slot (2).
以上のように本発明によれば、フレーム内の汚染された
空気をフレーム下部のファン（ｌ３）と、このファン（
１３）に略連通した通風路（１５）の上部の流入口（ｌ
６）とに吸引するので、第３図に示すように溝孔（２）
の上部の風速（ｖ３）と下部の風速《ｖ４》とを略均一
にしてファン（ｌ３）の小型化を図ることが可能となる
。そして昇降体（１０）より上方のフレーム内の汚染さ
れた空気が流入口（ｌ６）に吸引されるので、昇降体（
ｌＯ）のピストン作用による塵の拡散を防止することが
期待できる。As described above, according to the present invention, the contaminated air inside the frame is removed by the fan (l3) at the bottom of the frame and this fan (l3).
The upper inlet (l) of the ventilation passage (15) is in approximately communication with
6) As shown in Figure 3, the slot (2)
By making the upper wind speed (v3) and the lower wind speed <<v4>> substantially uniform, it is possible to downsize the fan (l3). Then, the contaminated air in the frame above the elevating body (10) is sucked into the inlet (16), so the elevating body (
This can be expected to prevent the diffusion of dust due to the piston action of lO).
次に、第４図乃至第６図は本発明の他の実施例を示すも
ので、この場合には、通風路《１５》を画成する仕切り
板（ｌ４）に溝孔《２）より小幅の流入口（Ｉ６）を縦
列に多数穿設している。本実施例においても、上記実施
例と同様の作用効果を期待し得られ、より確実に風速の
均一化、ファン（１３）の小型化及び昇降体（ｌＯ）の
ピストン作用による塵の拡散防止を図ることができるの
は明白である。さらに本実施例によれば、フレーム（１
）を第５図に示すようにパイプ形状に構成しているので
、フレーム（１）の強度をより向上させることができる
。Next, FIGS. 4 to 6 show another embodiment of the present invention. In this case, the partition plate (l4) defining the ventilation passage (15) has a width smaller than the slot (2). A large number of inlets (I6) are bored in tandem. In this embodiment, the same effects as in the above-mentioned embodiment can be expected, and the uniformity of the wind speed, the miniaturization of the fan (13), and the prevention of dust diffusion due to the piston action of the elevating body (lO) can be achieved more reliably. It is clear that this can be achieved. Furthermore, according to this embodiment, the frame (1
) is formed into a pipe shape as shown in FIG. 5, so that the strength of the frame (1) can be further improved.
尚、上記実施例においては仕切り板（１４）に流入口（
ｌ６）を穿設したものを示したが、溝孔（２）より小巾
の溝孔を穿設しても上記実施例と同様の作用効果を奥す
る。In the above embodiment, the partition plate (14) has an inlet (
16) is shown, but even if a slot narrower than slot (2) is drilled, the same effect as in the above embodiment can be obtained.
（発明の効果）
以上のように本発明によれば、ファンの小型化と昇降体
の上昇動作による弊害を防止することのできるクリーン
ロボットを提供することができる。(Effects of the Invention) As described above, according to the present invention, it is possible to provide a clean robot that can reduce the size of the fan and prevent adverse effects caused by the ascending operation of the elevating body.
第１図は本発明に係るクリーンロボットの一実施例を示
す断面側面図、第２図は第１図のＶｌ−Ｖｌ線断面図、
第３図は本発明に係るクリーンロボットの一実施例にお
ける溝孔の風速を示す説明図、第４図は本発明に係るク
リーンロボットの他の実施例を示す断面側面図、第５図
は第４図の■一■線断面図、第６図は本発明に係るクリ
ーンロボットの他の実施例にあける溝孔の風速を示す説
明図、第７図は従来のクリーンロボットを示す断面側面
図、第８図は第７図のＩ−Ｉ線断面図、第９図は第７図
の■一■線断面図、第１０図は従来のクリーンロボット
における溝孔の風速を示す説明図である。
図中、（１）はフレーム、（２）は溝孔、（１０）は昇
降体、（ｌ３）はファン（通風機），（１５）は通風路
、（ｌ６）は流入口、（ｌ７）は排出口である。
尚、各図中、同一符号は同一又は相当部分を示す。FIG. 1 is a cross-sectional side view showing an embodiment of a clean robot according to the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line Vl-Vl in FIG.
FIG. 3 is an explanatory diagram showing the wind velocity of the slot in one embodiment of the clean robot according to the present invention, FIG. 4 is a cross-sectional side view showing another embodiment of the clean robot according to the present invention, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line ■-■, FIG. 6 is an explanatory diagram showing the wind speed of a slot formed in another embodiment of the clean robot according to the present invention, and FIG. 7 is a cross-sectional side view showing a conventional clean robot. 8 is a cross-sectional view taken along the line I--I in FIG. 7, FIG. 9 is a cross-sectional view taken along the line 1--2 in FIG. 7, and FIG. 10 is an explanatory diagram showing the wind velocity in the slot in the conventional clean robot. In the figure, (1) is the frame, (2) is the slot, (10) is the elevating body, (l3) is the fan (ventilator), (15) is the ventilation path, (l6) is the inlet, (l7) is the outlet. In each figure, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts.
Claims (1)
内部から該溝孔を貫通して外部に延出された昇降可能な
昇降体と、該フレーム内の下部に設けられてフレーム内
の塵を外部に排出する通風機とを備えたクリーンロボッ
トにおいて、上記フレーム内の反溝孔側に当該フレーム
に沿う通風路を画成し、この通風路の側部には溝孔から
フレーム内に流入した空気を該通風路内に導く流入口を
設けるとともに、通風路の下側部には通風路内の空気を
上記通風機に導く排出口を設けたことを特徴とするクリ
ーンロボット。A vertically long frame with a vertically long slot, an elevating body that extends from the inside of the frame to the outside through the slot, and is provided at a lower part of the frame to remove dust inside the frame. In a clean robot equipped with a ventilator that discharges water to the outside, a ventilation path is defined on the side opposite to the slot in the frame along the frame, and the side of the ventilation path is provided with air flowing into the frame from the slot. A clean robot, characterized in that an inlet is provided for guiding the air into the ventilation passage, and an outlet is provided at the lower side of the ventilation passage for guiding the air in the ventilation passage to the ventilation fan.
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
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