JPH02205719A - Detecting-system supporting and driving mechanism - Google Patents

Detecting-system supporting and driving mechanism

Info

Publication number
JPH02205719A
JPH02205719A JP2542289A JP2542289A JPH02205719A JP H02205719 A JPH02205719 A JP H02205719A JP 2542289 A JP2542289 A JP 2542289A JP 2542289 A JP2542289 A JP 2542289A JP H02205719 A JPH02205719 A JP H02205719A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
measured
detector
positional relationship
detection system
measurement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2542289A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Michitomo Iiyama
飯山 道朝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority to JP2542289A priority Critical patent/JPH02205719A/en
Publication of JPH02205719A publication Critical patent/JPH02205719A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PURPOSE:To make quickly the positioning with a detecting system, to reduce the amount of driving, to shorten the required measuring time and to improve measuring accuracy by correcting an error which is caused by the fact that a measuring point and the detector are not arranged in predetermined positional relationship. CONSTITUTION:A detecting system 1 is attached so that the head of a detector 11 has the specified direction with respect to a wall 5 of an environment device. An environment device 2 houses the detector 11. The environment device 2 has the wall surface of the environment device which is commonly used and picks up a plurality of data all together. Adjustment is performed so that the detector 11 corresponding to each measuring point of a material to be measured 4 has the predetermined positional relationship. Then the shape of the material to be measured is measured. The achievement of the predetermined positional relationship is found with the detecting system 1. The shape of the material to be measured 4 is found based on the amount of movement up to now. The data with regard to the shape of the material to be measured 4 are obtained. An error which is caused by the fact that the measuring point and the material to be measured 4 are not in the predetermined positional relationship is corrected based on said data. In this way, the positioning can performed quickly, and the measuring accuracy can be improved.

Description

【発明の詳細な説明】 (ア)技術分野 この発明は、複数個の検出器と、これを動作させる環境
を実現し、維持するのに必要な環境装置とからなり、被
測定物の複数個の点の情報を検出する装置に関する。
Detailed Description of the Invention (A) Technical field This invention consists of a plurality of detectors and an environmental device necessary to realize and maintain an environment in which they operate, and The present invention relates to a device for detecting point information.

こ゛こで検出器というのは、低温にしたり、高圧にした
り、或いは、高温、低圧に維持したり、なんらかの特別
な環境を必要とする検出器である。
Here, a detector is a detector that requires some kind of special environment, such as being kept at low temperature, high pressure, or maintained at high temperature and low pressure.

例えば、超電導状態を必要とする量子干渉素子(SQU
ID )などである。これは、例えば液体ヘリウムで冷
却しなければならない。検出器素材として、高温酸化物
超電動体を使うことができれば、液体窒素で冷却すれば
よいことになる。
For example, a quantum interference device (SQU) that requires a superconducting state
ID) etc. This must be cooled, for example with liquid helium. If a high-temperature oxide superelectric body could be used as the detector material, it would be possible to cool it with liquid nitrogen.

このように、特別な環境を実現し、維持するための装置
が、ここで環境装置といっているものである。
A device for realizing and maintaining a special environment in this way is referred to as an environmental device here.

被測定物が生体などであって、この環境内に入れること
ができないものとする。従って、被測定物は、環境装置
の外にあり。検出器のみが、環境装置のなかにある。
Assume that the object to be measured is a living body or the like and cannot be placed in this environment. Therefore, the object to be measured is outside the environmental device. Only the detector is in the environmental equipment.

さらに、被測定物の表面に複数の測定点があって、複数
の検出器を同時に用いて、全ての測定点の情報を一時に
得たい。これが本願発明の目的である。
Furthermore, there are multiple measurement points on the surface of the object to be measured, and it is desired to use multiple detectors at the same time to obtain information on all of the measurement points at once. This is the purpose of the present invention.

(イ)従来技術 検出器が環境装置の中に有り、被測定物が環境装置の外
にあるような場合の測定装置は、従来衣のようなものが
あった。
(a) Prior art When a detector is located inside an environmental device and an object to be measured is located outside the environmental device, a conventional measuring device has been a type of clothing.

従来装置I (a) 4j!出器は、1個であるか、または、複数個
を1flr所にまとめている。実質的には1個であった
Conventional device I (a) 4j! The number of output devices is one, or multiple devices are grouped together in one flr location. There was actually one piece.

(b)環境装置が検出器の周囲を覆っている。(b) An environmental device surrounds the detector.

(C)検出器を内蔵する環境装置は、移動テーブルか、
自在継手に取り付けられている。被測定物戴置台が、移
動テーブルに取り付けられている場合もある。
(C) The environmental device containing the detector is a moving table or
Attached to a universal joint. In some cases, the object-to-be-measured mounting table is attached to a moving table.

(d)測定に先立って、環境装置を移動し、被測定物と
環境装置との相対位置関係を111!iシ、被測定物の
各測定点に対し検出器を、一定の間隔、方向で対向させ
る。
(d) Prior to measurement, move the environmental device and check the relative positional relationship between the object to be measured and the environmental device. i. A detector is placed facing each measurement point of the object at a constant interval and direction.

(e)測定を実施する。(e) Perform measurements.

別の測定点で、(d)を行い次の測定を実施する。At another measurement point, perform (d) and perform the next measurement.

このような装置は、実用装置として、既に作られており
、広く適用されている。
Such a device has already been produced as a practical device and is widely applied.

従来装置I+ (a)被測定物の測定点に対応する数の検出器を用意し
、測定する位置に所定の方向で配置する。複数の検出器
は全て独立である。独立に動かすことができるし、独立
に固定できる。
Conventional device I+ (a) A number of detectors corresponding to the measurement points of the object to be measured are prepared and arranged in a predetermined direction at the position to be measured. All the multiple detectors are independent. They can be moved independently and fixed independently.

(b)検出系全体を環境装置で覆う。(b) Cover the entire detection system with an environmental device.

(C)検出系を内蔵する環境装置を被測定物に接近させ
、所定位置である事を確認後、測定を実施する。
(C) Bring the environmental device containing the detection system close to the object to be measured, and after confirming that it is in the specified position, perform the measurement.

この装置は未だ提案段階であり、実用には至っていない
。環境装置の中にある多くの検出器を独立に動かし、独
立に固定するのが、難しいからである。
This device is still in the proposal stage and has not yet been put into practical use. This is because it is difficult to independently move and independently fix the many detectors in an environmental device.

(つ)発明が解決しようとする問題点 環境装置の中に検出器がある。検出器のヘッドと被測定
物とは、少なくとも、環境装置の厚さの分だけ隔てられ
ている。
(1) Problems to be Solved by the Invention An environmental device includes a detector. The head of the detector and the object to be measured are separated by at least the thickness of the environmental device.

被測定物上の測定点について、正確な測定値を得るため
には、環境装置の外壁を被測定物にできるだけ接近させ
ることが望ましい。
In order to obtain accurate measurement values for measurement points on the object to be measured, it is desirable to bring the outer wall of the environmental device as close as possible to the object to be measured.

従来装置Iは、被測定物の測定点と検出器の最適の位置
関係を実現できる。ところかつぎの欠点がある。
Conventional device I can realize the optimal positional relationship between the measurement point of the object to be measured and the detector. There are some shortcomings here and there.

ひとつは、最適位置関係の実現のために、複雑な駆動機
構と、長い調整時間が必要となる、ということである。
One is that a complex drive mechanism and long adjustment time are required to achieve the optimal positional relationship.

もうひとつは、環境装置に、固有の環境を実現あるいは
維持できない方向が存在するということである。このた
め被測定物に、死角が出来て、測定不可能な点が生ずる
Another problem is that there are directions in which the environmental device cannot realize or maintain a unique environment. For this reason, blind spots are created in the object to be measured, resulting in points that cannot be measured.

駆動機構が単純で、調整時間は短いほうが良いのはもち
ろんである。また、死角があってはならない。
Of course, the simpler the drive mechanism and the shorter the adjustment time, the better. Also, there should be no blind spots.

従来装置11は、独立の検出器を持つので、位置関係の
設定が容易である。死角をなくす事もできる。しかし、
反面、次の難点がある。
Since the conventional device 11 has an independent detector, it is easy to set the positional relationship. You can also eliminate blind spots. but,
On the other hand, there are the following difficulties.

被測定物の形状と環境装置の形状が対応しなければなら
ない。このため、被測定物が、任意の形状、寸法を有す
る場合、被測定物ごとに環境装置が必要となる。多くの
形状、寸法の環境装置が要るということである。
The shape of the object to be measured and the shape of the environmental device must correspond. Therefore, if the object to be measured has an arbitrary shape and dimensions, an environmental device is required for each object to be measured. This means that environmental devices of many shapes and sizes are required.

あるいは、実現できる環境を制限し、しかも環境装置の
壁面を可変にする必要がある。しかし壁面を可変にする
のは容易でない。
Alternatively, it is necessary to limit the environment that can be realized and to make the wall surface of the environmental device variable. However, it is not easy to make the wall surface variable.

または、最大公約数的な共通の環境装置をひとつ用いる
ことにする事も出来ないことではない。
Alternatively, it is not impossible to use one common environmental device that is the greatest common divisor.

しかし、こうすると、個々の検出器と、測定点が必ずし
も正確に対応しなくなるので、測定値が、不正確になる
However, in this case, individual detectors and measurement points do not necessarily correspond accurately, resulting in inaccurate measurements.

(1)  構  成 本発明の機構は、検出器を複数にする。複数の測定点に
複数の検出器を対応させるために、支持駆動機構を設け
る。
(1) Configuration The mechanism of the present invention includes a plurality of detectors. A support drive mechanism is provided to make the plurality of detectors correspond to the plurality of measurement points.

さらに、複数の検知器のアレイを設ける。検知系により
、複数の被測物に、複数の検出器が対応したことを検知
する。この後、あるいは、その前に、測定を行う。
Additionally, an array of multiple detectors is provided. The detection system detects that multiple detectors correspond to multiple objects. After or before this, measurements are taken.

さらに、演算装置と位置検出機構とを設ける。Furthermore, a calculation device and a position detection mechanism are provided.

位置検出機構は、検出系と被測定物の測定時の位置関係
を求めるものである。
The position detection mechanism determines the positional relationship between the detection system and the object to be measured during measurement.

演算装置は、測定後、位置関係情報に基づき、測定値を
補正するものである。
After the measurement, the arithmetic device corrects the measured value based on the positional relationship information.

これらは、測定時において、被測定物と検出器とが予め
定められた位置関係にないことによって生ずる誤差を補
正するためのものである。
These are for correcting errors caused by the fact that the object to be measured and the detector are not in a predetermined positional relationship during measurement.

本発明の検出系支持駆動機構の構成を列挙すると以下の
とおりである。
The configuration of the detection system support and drive mechanism of the present invention is listed below.

被測定物の測定点に対応する複数の検出器からなる検知
系と、 検出系を動作させるのに必要な環境を実現し維持する環
境装置と、 検出系を内蔵する環境装置を支持し被測定物の各測定点
と、対応する検出器が予め定めた位置関係になるように
調整する支持駆動機構と、位置検出機構と、 検出器が被測定物と予め定めた位置関係になったことを
検知する検知器を各測定点に対応させて配置した検知系
と、 演算処理装置と、 からなり、各測定点での測定に先立って、あるいは測定
後に、被測定物の各測定点と対応する検出器が予め定め
た位置関係になるように調整して、被測定物の形状を測
定し、これを元に測定点と検出器が予め定めた位置関係
にないために生ずる誤差を補正することとする。
A detection system consisting of multiple detectors corresponding to the measurement points of the object to be measured, an environmental device that realizes and maintains the environment necessary to operate the detection system, and an environment device that supports the environment device that houses the detection system and supports the object to be measured. A support drive mechanism that adjusts each measurement point of an object and a corresponding detector so that they have a predetermined positional relationship, a position detection mechanism, and a position detection mechanism that detects when the detector has reached a predetermined positional relationship with the object It consists of a detection system in which a detector is arranged corresponding to each measurement point, and a processing unit, and the system is configured to detect a detection system corresponding to each measurement point of the object to be measured before or after measurement at each measurement point. Adjusting the detector so that it has a predetermined positional relationship, measuring the shape of the object to be measured, and based on this, correcting errors that occur because the measuring point and the detector are not in the predetermined positional relationship. shall be.

図面によって説明する。This will be explained using drawings.

第1図および第2図はひとつの測定点の近傍の例を示す
概略断面図である。
FIGS. 1 and 2 are schematic cross-sectional views showing an example of the vicinity of one measurement point.

被測定物には、多くの測定点をもち、これに応じて、検
出系が多くの検出器を持つ。全ての検出器を支持駆動す
るのが支持駆動機構であるが、ここでは、ひとつの検出
器の近傍だけを示すので、支持駆動機構は図に現れてい
ない。
The object to be measured has many measurement points, and the detection system accordingly has many detectors. The support and drive mechanism supports and drives all the detectors, but since only the vicinity of one detector is shown here, the support and drive mechanism is not shown in the figure.

検出系1は複数の検出器11を持つ。検出器は支持駆動
機構によって支持され、駆動できるようになっている。
The detection system 1 has a plurality of detectors 11. The detector is supported and driven by a support drive mechanism.

全ての検出器の回りを環境装置2が覆っている。An environmental device 2 surrounds all the detectors.

環境装置2は、環境装置壁5で囲まれた空間に、例えば
、冷媒6が充填されたものである。これは検出器が機能
できる環境を用意するものであるり、低温、あるいは高
温、または、真空、さらには高圧などの環境であっても
良い。環境装置壁5によって仕切られているので、任意
の環境を与えつる。
The environmental device 2 has a space surrounded by an environmental device wall 5 filled with, for example, a refrigerant 6. This may be to prepare an environment in which the detector can function, or may be an environment at low temperature, high temperature, vacuum, or even high pressure. Since it is partitioned by the environmental device wall 5, any environment can be provided.

被測定物4は、たとえば人体の一部である。The object to be measured 4 is, for example, a part of the human body.

環境装置2は、個々の被測定物4の形状に応じた形状で
はなく、任意の大きさと形状ををする被測定物に対応で
きるものとなっている。
The environmental device 2 does not have a shape that corresponds to the shape of each individual object 4 to be measured, but can be adapted to an object to be measured having an arbitrary size and shape.

検知系3は環境装置壁5の外側に設けられる。The detection system 3 is provided outside the environmental device wall 5.

検知系3は、上部被覆7と、光ファイバ9と、圧縮空気
8等よりなる。
The detection system 3 includes an upper cover 7, an optical fiber 9, compressed air 8, and the like.

上部被覆7は、ある程度の剛性と、柔軟性を持った材料
である。環境装置壁5との間に一定幅の空間を作り、こ
こに、圧縮空気8と、光ファイバ9を入れている。
The upper covering 7 is made of a material with a certain degree of rigidity and flexibility. A space of a certain width is created between the environmental device wall 5 and compressed air 8 and an optical fiber 9 are placed in this space.

光ファイバ9は、検出器11の前方で、微少ルーブエ0
を存する。微少ループはマイクロベンディングロス変化
を起こさせることによって、上部被覆7に加わる圧力を
検知するものである。
In front of the detector 11, the optical fiber 9
exists. The micro loop detects the pressure applied to the upper coating 7 by causing a micro bending loss change.

光ファイバの一端には、発光ダイオードまたはレーザダ
イオードなどの光源からの光を通す。
One end of the optical fiber passes light from a light source such as a light emitting diode or a laser diode.

他端には、受光素子を設け、光ファイバを通った光量を
検出する。
A light receiving element is provided at the other end to detect the amount of light passing through the optical fiber.

もしも、上部被覆7に圧力が加わると、光ファイバの微
少ループ10が撓む。すると、マイクロベンディングロ
ス変化により、透過光量が変化する。これにより、圧力
が加わったということが分かる。微少ループと検出器1
1とが同一地点にあるので、このとき、検出器11と被
測定物4とが、重なったということになる。
If pressure is applied to the upper coating 7, the minute loop 10 of the optical fiber will bend. Then, the amount of transmitted light changes due to the change in microbending loss. This indicates that pressure has been applied. Micro loop and detector 1
1 are located at the same point, it means that the detector 11 and the object to be measured 4 overlap at this time.

これが、検知系3のひとつの例である。This is one example of the detection system 3.

第2図の例は光を用いた検知器を使っている。The example shown in Figure 2 uses a light detector.

検知系3は、反射面付きカバー17と、光ファイバ19
と、光フアイバ支持部18等よりなる。
The detection system 3 includes a cover 17 with a reflective surface and an optical fiber 19.
, an optical fiber support section 18, and the like.

反射面付きカバー17は、ある程度の剛性と、柔軟性を
持った材料である。環境装置壁15との間に一定幅の空
間を作り、ここに、光ファイバ19と、光フアイバ支持
部18を入れている。
The reflective surface cover 17 is made of a material with a certain degree of rigidity and flexibility. A space of a certain width is created between the environmental device wall 15 and the optical fiber 19 and the optical fiber support section 18 are placed in this space.

反射面付きカバー17はある程度の剛性を有し、なかに
空気23が入っているので、外力が掛からない限り固有
の形状を保つことができる。
Since the cover 17 with a reflective surface has a certain degree of rigidity and contains air 23, it can maintain its original shape unless external force is applied.

反射面付きカバー17の内側には、樹脂膜22が内張す
されている。
A resin film 22 is lined inside the cover 17 with a reflective surface.

光ファイバ19は、検出器11の丁度前方で、前方に彎
曲し、終端に斜め研磨面20を有する。
Just in front of the detector 11, the optical fiber 19 curves forward and has an obliquely polished surface 20 at its end.

斜め研磨面は、反射条件を変化させることによって、反
射面付きカバー17に加わる圧力を検知するものである
The obliquely polished surface is used to detect the pressure applied to the cover 17 with a reflective surface by changing the reflection conditions.

光フアイバ支持部18は環境装置壁15に固定されるブ
ロック材であり、光ファイバの斜め研磨面20を反射面
付きカバー17に向けるための部材である。
The optical fiber support part 18 is a block member fixed to the environmental device wall 15, and is a member for directing the obliquely polished surface 20 of the optical fiber toward the cover 17 with a reflective surface.

光ファイバの始端はふたつに分岐しておき、その一端に
は、発光ダイオードまたは、レーザダイオードなどの光
源からの光を通す。
The starting end of the optical fiber is branched into two, and one end passes light from a light source such as a light emitting diode or a laser diode.

分岐の他端には、受光素子を設ける。A light receiving element is provided at the other end of the branch.

光ファイバの一端から入った光が、先端の斜め研磨面2
0から出て、反射面付きカバー17で反射され、一部の
光が再び光ファイバのなかに戻り、分岐の他端に入る。
The light entering from one end of the optical fiber reaches the diagonally polished surface 2 at the tip.
0, is reflected by the reflective surface cover 17, and part of the light returns to the optical fiber and enters the other end of the branch.

受光素子が戻ってきた光量を検出する。The light receiving element detects the amount of returned light.

もしも、反射面付きカバー17の検出器の前方に圧力が
加わると、光フアイバ終端の斜め研磨面20の前方の反
射面が接近する。すると、反射条件が変化する。斜め研
磨面20と反射面が近づくので、反射光量が増加する。
If pressure is applied to the cover 17 with a reflective surface in front of the detector, the reflective surface in front of the obliquely polished surface 20 at the end of the optical fiber approaches. Then, the reflection conditions change. Since the obliquely polished surface 20 and the reflective surface become closer, the amount of reflected light increases.

これにより、圧力が加わったということが分かる。斜め
研磨面20と検出器11とが同一地点にあるので、この
とき、検出器11と被測定物4とが、重なったというこ
とになる。
This indicates that pressure has been applied. Since the obliquely polished surface 20 and the detector 11 are located at the same point, the detector 11 and the object to be measured 4 overlap at this time.

これが、検知系3の他の例である。本発明においては、
一定位置関係になってから測定をするのではない。任意
の位置関係において測定することができる。いったん測
定したものを補正するのである。
This is another example of the detection system 3. In the present invention,
Measurements are not made after a certain positional relationship has been achieved. It can be measured in any positional relationship. Once measured, it is corrected.

図には現れないが、これ等のほかに、演算処理装置と、
位置検出機構とがある。位置検出機構は、測定時におけ
る、被測定物の各測定点と検出器の位置関係を検出する
ものである。
Although not shown in the diagram, in addition to these, there is also an arithmetic processing unit,
There is a position detection mechanism. The position detection mechanism detects the positional relationship between each measurement point of the object to be measured and the detector during measurement.

演算処理装置は、この位置関係に基づいて測定値を補正
するものである。
The arithmetic processing device corrects the measured value based on this positional relationship.

(オ) 作 用 検出系1においては、検出器11のヘッドが、環境装置
壁5に対し、所定の方向をなすよう取り付けらでいる。
(E) Effect In the detection system 1, the head of the detector 11 is attached to the environmental device wall 5 so as to form a predetermined direction.

環境装置2は、すでに述べたように、検出器11を内蔵
する。環境装置は、共通に用いられる環境装置壁面を有
し、複数個の情報を一括して採取できる。
The environmental device 2 incorporates the detector 11, as already mentioned. The environmental device has a commonly used environmental device wall surface, and can collect a plurality of pieces of information at once.

測定に先立っであるいは、測定後に被測定物の各測定点
と対応する検出器が予め定められた位置関係に成るよう
に調整して被測定物の形状を測定する。
Before or after measurement, the shape of the object is measured by adjusting each measuring point of the object and the corresponding detector to have a predetermined positional relationship.

予め定められた位置関係になったということば検知系に
よって分かる。こうなるまでの移動量によって被測定物
の形状がわかる。
The word detection system can tell that a predetermined positional relationship has been reached. The shape of the object to be measured can be determined by the amount of movement until this point occurs.

こうして、被測定物の形状に関する情報を得ることがで
きる。
In this way, information regarding the shape of the object to be measured can be obtained.

この被測定物の形状に関する情報をもとに、測定点と、
被測定物が予め定められた位置関係にないために生ずる
誤差を補正する。
Based on this information about the shape of the object to be measured, the measurement points are
Corrects errors caused by objects being measured that are not in a predetermined positional relationship.

もちろん、定められた位置関係からのずれと、誤差の関
係は予め分かっているものとする。
Of course, it is assumed that the relationship between the deviation from the determined positional relationship and the error is known in advance.

本発明によれば、検知系による位置ぎめが迅速になされ
、駆動量が少なくて済むため、測定に要する時間を短縮
できる。また、測定精度が向上する。
According to the present invention, positioning by the detection system can be performed quickly and the amount of driving can be reduced, so that the time required for measurement can be shortened. Furthermore, measurement accuracy is improved.

(力)  実  施  例 一例について述べる。(Power) Example of implementation An example will be described.

検出器としては、量子干渉素子(SQUID)を、測定
対象としては、生体、特に脳磁を想定する。被測定物は
脳である。
A quantum interference device (SQUID) is assumed as a detector, and a living body, particularly a magnetic brain, is assumed as a measurement object. The object to be measured is the brain.

診断、観測の目的で、頭の100以上の点で、脳磁を測
定する。
Magnetoencephalography is measured at over 100 points on the head for diagnostic and observation purposes.

環境装置は、 (a)超電導状態を維持するため極低温を保てること、 (b)雑音を減少するため、磁化しにくい材料であるこ
と、 等の要求を溝たす必要がある。
Environmental equipment needs to meet the following requirements: (a) It must be able to maintain extremely low temperatures to maintain superconducting state, and (b) It must be made of materials that are difficult to magnetize to reduce noise.

そこで、環境装置は、通常、ファイバ強化プラスチック
(FPC)製の、真空断熱、二重構造などの工夫を施し
たデユワ−構造をとる。環境装置の厚さは、通常、数c
mある。環境装置の内部に、冷媒として、液体または、
気体のHe  が入っている従って、液体の場合は、環
境装置を上に向けることができない。
Therefore, the environmental device usually has a dewar structure made of fiber-reinforced plastic (FPC) with vacuum insulation, double structure, etc. The thickness of the environmental device is typically several centimeters
There are m. Inside the environmental equipment, as a refrigerant, liquid or
If it contains gaseous He and therefore liquid, the environmental device cannot be turned upwards.

また、剛性の高いFPCのため、環境装置の壁面を変形
させることが難しい。
Furthermore, since the FPC has high rigidity, it is difficult to deform the wall surface of the environmental device.

環境装置は、頭を覆うヘルメットの形をしており、多様
な形状、大きさの頭を収容できる形状になっている。
The environmental device is in the form of a helmet that covers the head, and is shaped to accommodate heads of various shapes and sizes.

検出器である5QUIDの検出コイルは、この環境装置
の壁面に対して、所定の角度で取り付けられている。
The detection coil of the 5QUID, which is a detector, is attached at a predetermined angle to the wall of this environmental device.

ヘルメット状の環境装置、あるいは、その一部に冷媒で
ある液体あるいは気体のHe等が満たされているので、
5QUID本体を含めた検出系が、超電導状態に保たれ
る。
Since the helmet-shaped environmental device or a part of it is filled with a refrigerant such as liquid or gaseous He,
The detection system including the 5QUID body is maintained in a superconducting state.

ヘルメット状の環境装置は、頭の所定位置に装着し、−
括して情報を収集する。
A helmet-like environmental device is attached to a predetermined position on the head, and -
Collect information collectively.

測定に先立っであるいは測定後に、各測定点と対応する
検出器が予め定められた位置関係になるように調整して
、頭の形状を測定する。
Before or after the measurement, each measurement point and the corresponding detector are adjusted so that they have a predetermined positional relationship, and the shape of the head is measured.

この頭の形状に関する情報を元に、測定点と検出器が予
め定められた位置関係にないために生ずる測定間隔のず
れ、検出器の傾き、などの影響による誤差を補正する。
Based on this information regarding the shape of the head, errors due to influences such as deviations in measurement intervals, tilt of the detector, etc. caused by the fact that the measurement point and the detector are not in a predetermined positional relationship are corrected.

(キ) 効 果 被測定物の複数の測定点に対応する複数個の検出器から
なる検出系と、 検出系を収容し、これを動作させる環境を実現し維持す
る環境装置と、 被測定物の形状情報を得る事ができる支持駆動機構およ
び位置検出機構と、 検出器が被測定物と予め定めた位置関係にあることを検
知する検知系と、 から成り立っているためっぎの効果がある。
(g) Effect: A detection system consisting of multiple detectors corresponding to multiple measurement points of the object to be measured, an environmental device that accommodates the detection system and realizes and maintains an environment in which it operates, and the object to be measured. It has the effect of being comprised of a support drive mechanism and a position detection mechanism that can obtain shape information of the object, and a detection system that detects that the detector is in a predetermined positional relationship with the object to be measured.

(1)任意の大きさ、形状の被測定物に対応できる。(1) Can handle objects of any size and shape.

(2)環境装置の支持駆動機構を簡略化できる。(2) The support drive mechanism of the environmental device can be simplified.

(3)測定に要する時間を短縮できる。(3) The time required for measurement can be shortened.

(4)測定にともなう誤差を低減できる。(4) Errors associated with measurement can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の支持駆動機構の一部を示す概略断面図
。 第2図は本発明の他の例に係る支持駆動機構の一部を示
す概略断面図。 1 ・ ・ ・ 2 ・ ・ ・ 3 ・ 1 4 ・ 1 5 ・ ・ ・ 拳 検  出  系 ・環 境 装 0検 知 系 Φ被 測 定 ・環境装置壁 置 物 6 ・ 1 7 ・ ・ ・ 8 ・ 1 9 ・ ・ ・ 10 ・ ・ 11 ・ ・ 18 ・ ・ 19 ・ ・ 20 ・ ・ 22 ・ ・ 発  明 者
FIG. 1 is a schematic sectional view showing a part of the support drive mechanism of the present invention. FIG. 2 is a schematic sectional view showing a part of a support drive mechanism according to another example of the present invention. 1 ・ ・ ・ 2 ・ ・ ・ 3 ・ 1 4 ・ 1 5 ・ ・ ・ Fist detection system/environment equipment 0 detection system Φ measurement/environment equipment wall ornament 6 ・ 1 7 ・ ・ ・ 8 ・ 1 9・ ・ ・ 10 ・ ・ 11 ・ ・ 18 ・ ・ 19 ・ ・ 20 ・ ・ 22 ・ ・ Inventor

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 被測定物の測定点に対応する複数個の検出器からなる検
出系と、検出系を動作させるのに必要な環境を実現し維
持する環境装置と、検出系を内蔵する環境装置を支持し
被測定物の各測定点と対応する検出器が予め定めた位置
関係となるように調整する支持駆動機構と、位置検出機
構と、検出器が被測定物と予め定めた位置関係になった
事を検知する検知器のアレイを測定点に対応させて配置
した検知系と、演算処理装置と、からなり、各測定点で
の測定に先立ってあるいは測定後に被測定物の各測定点
と対応する検出器が予め定めた位置関係になるように調
整して被測定物の形状を測定し、これをもとに測定点と
検出器が予め定めた位置関係にないために生ずる誤差を
補正する事を特徴とする検出系支持駆動機構。
A detection system consisting of multiple detectors that correspond to the measurement points of the object to be measured, an environmental device that realizes and maintains the environment necessary to operate the detection system, and an environmental device that supports and supports the environment device that houses the detection system. A support drive mechanism that adjusts each measurement point of the object to be measured and the corresponding detector to have a predetermined positional relationship; a position detection mechanism; It consists of a detection system in which an array of detectors for detection is arranged corresponding to the measurement points, and a processing unit, and the detection system corresponds to each measurement point of the object to be measured before or after measurement at each measurement point. Adjust the instrument so that it has a predetermined positional relationship, measure the shape of the object, and use this to correct errors that occur because the measuring point and detector are not in the predetermined positional relationship. Features a detection system support drive mechanism.
JP2542289A 1989-02-03 1989-02-03 Detecting-system supporting and driving mechanism Pending JPH02205719A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2542289A JPH02205719A (en) 1989-02-03 1989-02-03 Detecting-system supporting and driving mechanism

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2542289A JPH02205719A (en) 1989-02-03 1989-02-03 Detecting-system supporting and driving mechanism

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH02205719A true JPH02205719A (en) 1990-08-15

Family

ID=12165521

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2542289A Pending JPH02205719A (en) 1989-02-03 1989-02-03 Detecting-system supporting and driving mechanism

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH02205719A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0160999B1 (en) Position measuring device
US4714339A (en) Three and five axis laser tracking systems
CN104335067B (en) coordinate measuring system and method
US5575754A (en) Endoscopic apparatus for three dimensional instrumentation
WO2012141810A1 (en) Target apparatus and method
CN104215181B (en) Large-length laser interferometer measurement system for eliminating Abbe error
JP2007504459A (en) Self-compensating laser tracker
US4894551A (en) Sectional form measuring apparatus
CA2427500A1 (en) A flexible instrument with optical sensors
US10107650B2 (en) Systems and methods for measuring angular position of a laser beam emitter
EP1895266A2 (en) Method for measuring length by laser interference tracking and apparatus therefore
US6396233B1 (en) Ball joint gimbal system
CA2488474C (en) Variable test object and holder for variable test objects
US5506675A (en) Laser target designator tester for measuring static and dynamic error
US9025165B2 (en) Normal vector tracing ultra-precision shape measurement method
JPH02205719A (en) Detecting-system supporting and driving mechanism
CA2202042C (en) Interferometer
US5933223A (en) Optical device for measuring small dimensions in vivo
US5402239A (en) Method of measuring orientation flat width of single crystal ingot
JP2008203015A (en) Optical-axis deflection type laser interferometer
JPH02205718A (en) Detecting-system supporting and driving mechanism
JPH02205706A (en) Detecting-system supporting and driving mechanism
JP2000055617A (en) Optical length measuring machine
US5739907A (en) Laser interference displacement measuring system capable of automatic laser path alignment
JPH02205720A (en) Detecting-system supporting and driving mechanism