JPH02205706A - Detecting-system supporting and driving mechanism - Google Patents

Detecting-system supporting and driving mechanism

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JPH02205706A
JPH02205706A JP2542089A JP2542089A JPH02205706A JP H02205706 A JPH02205706 A JP H02205706A JP 2542089 A JP2542089 A JP 2542089A JP 2542089 A JP2542089 A JP 2542089A JP H02205706 A JPH02205706 A JP H02205706A
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JP
Japan
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measured
detector
detection system
measurement
environmental device
Prior art date
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Pending
Application number
JP2542089A
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Japanese (ja)
Inventor
Michitomo Iiyama
飯山 道朝
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Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
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Publication date
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Publication of JPH02205706A publication Critical patent/JPH02205706A/en
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Abstract

PURPOSE:To make positioning quickly in a detecting system, to shorten a required measuring time and to improve measuring accuracy by providing a plurality of detectors corresponding to the measuring points of a material to be measured. CONSTITUTION:An environment device 2 housing a detector 11 is driven in order to compensate for the wall surface of the environment device which is commonly used and the solid-state difference in a material to be measured 4. The detector 11 and the material to be measured 4 are set in the predetermined positional relationship. At the normal time, an upper cover 7 has a free shape based on its own rigidity and compressed air 8. When the environment device 2 is driven, the material to be measured 4 comes to contact with the upper cover 7. When pressure is applied, and upper cover 7 is deflected, and a minute loop 10 of an optical fiber 9 undergoes microbending. This phenomenon causes the change in amount of light passing the optical fiber. Therefore, the achievement of positioning can be found. After the environment device 2 is moved with a driving device and the achievement of the positioning is confirmed with a detecting device 3, measurement is performed with the detector 11.

Description

【発明の詳細な説明】 (ア)技術分野 この発明は、複数個の検出器と、これを動作させる環境
を実現し、維持するのに必要な環境装置とからなり、被
測定物の複数個の点の情報を検出する装置に関する。
Detailed Description of the Invention (A) Technical field This invention consists of a plurality of detectors and an environmental device necessary to realize and maintain an environment in which they operate, and The present invention relates to a device for detecting point information.

ここで検出器というのは、低温にしたり、高圧にしたり
、或いは、高温、低圧に維持したり、なんらかの特別な
環境を必要とする検出器である。
Here, a detector is a detector that requires some kind of special environment, such as being kept at low temperature, high pressure, or maintained at high temperature and low pressure.

例えば、超電導状態を必要とする量子干渉素子(SQU
ID ’)などである。これは、例えば液体ヘリウムで
冷却しなければならない。検出器素材として、高21酸
化物超電動体を使うことができれば、液体窒素で冷却す
ることができる。
For example, a quantum interference device (SQU) that requires a superconducting state
ID'), etc. This must be cooled, for example with liquid helium. If a high-21 oxide superelectric material can be used as the detector material, it can be cooled with liquid nitrogen.

このように、特別な環境を実現し、維持するための装置
が、ここで環境装置といっているものである。
A device for realizing and maintaining a special environment in this way is referred to as an environmental device here.

被測定物が生体などであって、この環境内に入れること
ができないものとする。従って、被測定物は、環境装置
の外にあ党。検出器のみが、環境装置のなかにある。
Assume that the object to be measured is a living body or the like and cannot be placed in this environment. Therefore, the object to be measured is outside the environmental device. Only the detector is in the environmental equipment.

さらに、被測定物の表面に複数の測定点があって、複数
の検出器を同時に用いて、全ての測定点の情報を一時に
得たい。これが本願発明の装置の目的である。
Furthermore, there are multiple measurement points on the surface of the object to be measured, and it is desired to use multiple detectors at the same time to obtain information on all of the measurement points at once. This is the purpose of the device of the present invention.

(イ)従来技術 検出器が環境装置の中に有り、被測定物が環境装置の外
にあるような場合の測定装置は、従来次のようなものが
あった。
(a) Prior Art The following conventional measuring devices have been used when a detector is located within an environmental device and an object to be measured is located outside the environmental device.

従来装置I (a)検出器は、1個であるか、または、複数個を1箇
所にまとめている。実質的には1個であった。
Conventional device I (a) The number of detectors is one, or a plurality of detectors are arranged in one place. There was actually one piece.

(b)環境装置が検出器の周囲を覆っている。(b) An environmental device surrounds the detector.

(C)検出器を内蔵する環境装置は、移動テーブルか、
自在継手に取り付けられている。被測定物戴置台が、移
動テーブルに取り付けられている場合もある。
(C) The environmental device containing the detector is a moving table or
Attached to a universal joint. In some cases, the object-to-be-measured mounting table is attached to a moving table.

(d)測定に先立って、環境装置を移動し、被測定物と
環境装置との相対位置関係を調整し、被測定物の各測定
点に対し検出器を、一定の間隔、方向で対向させる。
(d) Prior to measurement, move the environmental device, adjust the relative positional relationship between the object to be measured and the environmental device, and make the detector face each measurement point of the object at a fixed distance and direction. .

(e)測定を実施する。(e) Perform measurements.

別の測定点で、(d)を行い次の測定を実施する。At another measurement point, perform (d) and perform the next measurement.

このような装置は、実用装置として、既に作られており
、広く適用されている。
Such a device has already been produced as a practical device and is widely applied.

従来装置II (a)被測定物の測定点に対応する数の検出器を用意し
、測定する位置に所定の方向で配置する。複数の検出器
は全て独立である。独立に動かすことができるし、独立
に固定できる。
Conventional Apparatus II (a) A number of detectors corresponding to the measurement points of the object to be measured are prepared and arranged in a predetermined direction at the position to be measured. All the multiple detectors are independent. They can be moved independently and fixed independently.

(b)検出系全体を環境装置で覆う。(b) Cover the entire detection system with an environmental device.

(C)検出系を内蔵する環境装置を被測定物に接近させ
、所定位置である事を確認後、測定を実施する。
(C) Bring the environmental device containing the detection system close to the object to be measured, and after confirming that it is in the specified position, perform the measurement.

この装置は未だ提案段階であり、実用には至っていない
。環境装置の中にある多くの検出器を独立に動かし、独
立に固定するのが、難しいからである。
This device is still in the proposal stage and has not yet been put into practical use. This is because it is difficult to independently move and independently fix the many detectors in an environmental device.

(つ)発明が解決しようとする問題点 環境装置の中に検出器がある。検出器のヘッドと被測定
物とは、少なくとも、環境装置の厚さの分だけ隔てられ
ている。
(1) Problems to be Solved by the Invention An environmental device includes a detector. The head of the detector and the object to be measured are separated by at least the thickness of the environmental device.

被測定物上の測定点について、正確な測定値を得るため
には、環境装置の外壁を被測定物にできるだけ接近・さ
せることが望ましい。
In order to obtain accurate measured values at measurement points on the object to be measured, it is desirable to bring the outer wall of the environmental device as close as possible to the object to be measured.

従来装置Iは、被測定物の測定点と検出器の最適の位置
関係を実現できる。ところかつぎの欠点がある。
Conventional device I can realize the optimal positional relationship between the measurement point of the object to be measured and the detector. There are some shortcomings here and there.

ひとつは、最適位置関係の実現のために、複雑な駆動機
構と、長い調整時間が必要となる、ということである。
One is that a complex drive mechanism and long adjustment time are required to achieve the optimal positional relationship.

もうひとつは、環境装置に、固有の環境を実現あるいは
維持できない方向が存在するということである。このた
め被測定物に、死角が出来て、測定不可能な点が生ずる
Another problem is that there are directions in which the environmental device cannot realize or maintain a unique environment. For this reason, blind spots are created in the object to be measured, resulting in points that cannot be measured.

駆動機構が単純で、調整時間は短いほうが良いのはもち
ろんである。また、死角があってはならない。
Of course, the simpler the drive mechanism and the shorter the adjustment time, the better. Also, there should be no blind spots.

従来装置11は、独立の検出器を持つので、位置関係の
設定が容易である。死角をなくす事もできる。しかし、
反面、次の難点がある。
Since the conventional device 11 has an independent detector, it is easy to set the positional relationship. You can also eliminate blind spots. but,
On the other hand, there are the following difficulties.

被測定物の形状と環境装置の形状が対応しなければなら
ない。このため、被測定物が、任意の形状、寸法を存す
る場合、被測定物ごとに環境装置が必要となる。多くの
形状、寸法の環境装置が要るということである。
The shape of the object to be measured and the shape of the environmental device must correspond. Therefore, if the object to be measured has an arbitrary shape and size, an environmental device is required for each object to be measured. This means that environmental devices of many shapes and sizes are required.

あるいは、実現できる環境を制限し、しかも環境装置の
壁面を可変にする必要がある。しかし壁面を可変にする
のは容易でない。
Alternatively, it is necessary to limit the environment that can be realized and to make the wall surface of the environmental device variable. However, it is not easy to make the wall surface variable.

または、最大公約数的な共通の環境装置をひとつ用いる
ことにする事も出来ないことではない。
Alternatively, it is not impossible to use one common environmental device that is the greatest common divisor.

しかし、こうすると1個々の検出器と、測定点が必ずし
も正確に対応しなくなるので、測定値が、不正確になる
However, in this case, individual detectors and measurement points do not necessarily correspond accurately, resulting in inaccurate measurement values.

(1)  構  成 本発明の機構は、検出器を複数にする。複数の測定点に
複数の検出器を対応させるために、支持駆動機構を設け
る。さらに、圧力を利用した検知器のアレイを設ける。
(1) Configuration The mechanism of the present invention includes a plurality of detectors. A support drive mechanism is provided to make the plurality of detectors correspond to the plurality of measurement points. Additionally, an array of pressure-based detectors is provided.

検知系により、複数の被測物に、複数の検出器が対応し
たことを検知し、この後、測定を行う。
The detection system detects that a plurality of detectors correspond to a plurality of objects to be measured, and then measurements are performed.

検知器は、被測定物に擾乱を殆ど与えないようなものが
良い。
The detector should preferably be one that causes almost no disturbance to the object to be measured.

本発明の検出系支持駆動機構の構成を列挙すると以下の
とおりである。
The configuration of the detection system support and drive mechanism of the present invention is listed below.

被測定物の測定点に対応する複数の検出器からなる検知
系と、 検出系を動作させるのに必要な環境を実現し維持する環
境装置と、 検出系を内蔵する環境装置を支持し被測定物の各測定点
と、対応する検出器が予め定めた位置関係になるように
調整する支持駆動機構と、検出器が被測定物と予め定め
た位置関係になったことを検知し、かつ被測定物に対す
る擾乱が少ない圧力を利用した検知器のアレイを測定点
に対応させて配置した検知系と、 からなり、各測定点での測定に先立って、被測定物の各
測定点と対応する検出器が予め定めた位置関係になるよ
うに調整しつつ測定するようにしている。
A detection system consisting of multiple detectors corresponding to the measurement points of the object to be measured, an environmental device that realizes and maintains the environment necessary to operate the detection system, and an environment device that supports the environment device that houses the detection system and supports the object to be measured. A support drive mechanism that adjusts each measuring point of an object and a corresponding detector to have a predetermined positional relationship; a detection system in which an array of detectors using pressure that causes little disturbance to the object to be measured is arranged in correspondence with the measurement points; Measurement is performed while adjusting the detectors to have a predetermined positional relationship.

図面によって説明する。This will be explained using drawings.

第1図はひとつの測定点の近傍の概略断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of the vicinity of one measurement point.

被測定物には、多くの測定点をもち、これに応じて、検
出系が多くの検出器を持つ。全ての検出器を支持駆動す
るのが支持駆動機構であるが、ここでは、ひとつの検出
器の近傍だけを示すので、支持駆動機構は図に現れてい
ない。
The object to be measured has many measurement points, and the detection system accordingly has many detectors. The support and drive mechanism supports and drives all the detectors, but since only the vicinity of one detector is shown here, the support and drive mechanism is not shown in the figure.

検出系1は複数の検出器11を持つ。検出器は支持駆動
機構によって支持され、駆動できるようになっている。
The detection system 1 has a plurality of detectors 11. The detector is supported and driven by a support drive mechanism.

全ての検出器の回りを環境装置2が覆っている。An environmental device 2 surrounds all the detectors.

環境装置2は、環境装置壁5で囲まれた空間に、例えば
、冷媒6が充填されたものである。これは検出器が機能
できる環境を用意するものであるり、低温、あるいは高
温、または、真空、さらには高圧などの環境であっても
良い。環境装置壁5によって仕切られているので、任意
の環境を与えつる。
The environmental device 2 has a space surrounded by an environmental device wall 5 filled with, for example, a refrigerant 6. This may be to prepare an environment in which the detector can function, or may be an environment at low temperature, high temperature, vacuum, or even high pressure. Since it is partitioned by the environmental device wall 5, any environment can be provided.

被測定物4は、たとえば人体の一部である。The object to be measured 4 is, for example, a part of the human body.

環境装置2は、個々の被測定物4の形状に応じた形状で
はなく、任意の大きさと形状を存する被測定物に対応で
きるものとなっている。
The environmental device 2 does not have a shape that corresponds to the shape of each object 4 to be measured, but can be adapted to objects of arbitrary size and shape.

検知系3は環境装置壁5の外側に設けられる。The detection system 3 is provided outside the environmental device wall 5.

検知系3は、上部被覆7と、光ファイバ9と、圧縮空気
8等よりなる。
The detection system 3 includes an upper cover 7, an optical fiber 9, compressed air 8, and the like.

上部被覆7は、ある程度の剛性と、柔軟性を持った材料
である。環境装置壁5との間に一定幅の空間を作り、こ
こに、圧縮空気8と、・光ファイバ9を入れている。
The upper covering 7 is made of a material with a certain degree of rigidity and flexibility. A space of a certain width is created between the environmental device wall 5, and compressed air 8 and an optical fiber 9 are placed in this space.

光ファイバ9は、検出器11の前方で、微少ループ10
を有する。微少ループはマイクロベンディングロス変化
を起こさせることによって、上部被覆7に加わる圧力を
検知するものである。
The optical fiber 9 is connected to a minute loop 10 in front of the detector 11.
has. The micro loop detects the pressure applied to the upper coating 7 by causing a micro bending loss change.

光ファイバの一端には、発光ダイオードまたはレーザダ
イオードなどの光源からの光を通す。
One end of the optical fiber passes light from a light source such as a light emitting diode or a laser diode.

他端には、受光素子を設け、光ファイバを通った光量を
検出する。
A light receiving element is provided at the other end to detect the amount of light passing through the optical fiber.

もしも、上部被覆7に圧力が加わると、光ファイバの微
少ループ10が撓む。すると、マイクロベンディングロ
ス変化により、透過光量が変化する。これにより、圧力
が加わったということが分かる。微少ループと検出器1
1とが同一地点にあるので、此のとき、検出器11と被
測定物4とが、重なったということになる。
If pressure is applied to the upper coating 7, the minute loop 10 of the optical fiber will bend. Then, the amount of transmitted light changes due to the change in microbending loss. This indicates that pressure has been applied. Micro loop and detector 1
1 are located at the same point, it means that the detector 11 and the object to be measured 4 overlap at this time.

これが、検知系3である。This is the detection system 3.

(オ) 作 用 検出系1においては、検出器11のヘット力、環境装置
壁5に対し、所定の方向をなすよう取り付けらでい看J 環境装置2は、すでに述べたように、検出器11を内蔵
する。環境装置は、共通に用いられる環境装置壁面と、
被測定物の個体差を補償するために駆動される。
(E) In the action detection system 1, it is easy to install the head force of the detector 11 so that it is oriented in a predetermined direction with respect to the environmental device wall 5. Built-in 11. The environmental device includes a commonly used environmental device wall,
It is driven to compensate for individual differences in the object to be measured.

駆動されることによって、被測定物の個体差が補償され
、検出器11が、被測定物4と予め定めた位置関係にな
る。こうなったということは、各測定点に対応して設置
された圧力変化を利用した検知器によって検知できる。
By being driven, individual differences among the objects to be measured are compensated for, and the detector 11 assumes a predetermined positional relationship with the object to be measured 4. This can be detected using pressure change detectors installed at each measurement point.

これにより、駆動が停止される。As a result, driving is stopped.

駆動装置は、位置合わせのためにある。The drive is for alignment.

圧力変化を利用した検知器というのは、微少ループ10
を有する光ファイバ8のことである。
A detector that uses pressure changes is a micro loop 10.
This refers to the optical fiber 8 having the following characteristics.

通常は、自らの剛性と圧縮空気8によって、上部被覆7
は自由な形状をとっている。
Normally, the upper covering 7 is
has a free shape.

環境装置を駆動することにより、被測定物4が上部被覆
7に接触し圧力を及ぼすと、上部被覆7が撓み、光ファ
イバの微少ループ10がマイクロベンディングを起こす
。これが、光ファイバを通る光量変化を引き起こすので
、位置ぎめできたことが分かる。
When the object to be measured 4 comes into contact with the upper coating 7 and applies pressure by driving the environmental device, the upper coating 7 is bent and the minute loop 10 of the optical fiber causes microbending. This causes a change in the amount of light passing through the optical fiber, so it can be seen that the position has been successfully determined.

駆動装置によって環境装置が移動し、検知系により、位
置ぎめのなされたことが確認された後、検出器11によ
って、測定がなされる。
After the environmental device is moved by the driving device and the detection system confirms that the environmental device has been positioned, the detector 11 takes measurements.

検知系による位置ぎめが迅速になされ、駆動量が少なく
て済むため、測定にようする時間を短縮できる。また、
測定精度が向上する。
Positioning by the detection system can be done quickly and the amount of drive required is small, so the time required for measurement can be shortened. Also,
Measurement accuracy is improved.

(力)  実  施  例 一例について述べる。(Power) Example of implementation An example will be described.

検出器としては、量子干渉素子(SQUID)を、測定
対象としては、生体、特に脳磁を想定する。被測定物は
脳である。
A quantum interference device (SQUID) is assumed as a detector, and a living body, particularly a magnetic brain, is assumed as a measurement target. The object to be measured is the brain.

診断、観測の目的で、頭の100以上の点で、脳磁を測
定する。
Magnetoencephalography is measured at over 100 points on the head for diagnostic and observation purposes.

環境装置は、 (a)超電導状態を維持するため極低温を保てること、 (b)雑音を減少するため、磁化しにくい材料であるこ
と、 等の要求を溝たす必要がある。
Environmental equipment needs to meet the following requirements: (a) It must be able to maintain extremely low temperatures to maintain superconducting state, and (b) It must be made of materials that are difficult to magnetize to reduce noise.

そこで、環境装置は、通常、ファイバ強化プラスチック
(FPC)製の、真空断熱、二重構造などの工夫を施し
たデユワ−構造をとる。環境装置の厚さは、通常、数c
mある。環境装置の内部に、冷媒として、液体または、
気体のHe  が入っている従って、液体の場合は、環
境装置を上に向けることができない。
Therefore, the environmental device usually has a dewar structure made of fiber-reinforced plastic (FPC) with vacuum insulation, double structure, etc. The thickness of the environmental device is typically several centimeters
There are m. Inside the environmental equipment, as a refrigerant, liquid or
If it contains gaseous He and therefore liquid, the environmental device cannot be turned upwards.

また、剛性の高いFPCのため、環境装置の壁面を変形
させることが難しい。
Furthermore, since the FPC has high rigidity, it is difficult to deform the wall surface of the environmental device.

環境装置は、頭を覆うヘルメットの形をしており、多様
な形状、大きさの頭を収容できる形状になっている。
The environmental device is in the form of a helmet that covers the head, and is shaped to accommodate heads of various shapes and sizes.

検出器である5QUIDの検出コイルは、この環境装置
の壁面に対して、所定の角度で取り付けられている。
The detection coil of the 5QUID, which is a detector, is attached at a predetermined angle to the wall of this environmental device.

ヘルメット状の環境装置、あるいは、その一部に冷媒で
ある液体あるいは気体のHe等が満たされているので、
5QUID本体を含めた検出系が、超電導状態に保たれ
る。
Since the helmet-shaped environmental device or a part of it is filled with a refrigerant such as liquid or gaseous He,
The detection system including the 5QUID body is maintained in a superconducting state.

ヘルメット状の環境装置は、本発明の主要な要素である
支持駆動機構に取り付けられている。支持駆動機構は、
頭の測定点と、ヘルメット壁面が一定の位置関係になる
ように環境装置を駆動し、位置ぎめする。
The helmet-like environmental device is attached to a support drive mechanism which is a key element of the invention. The support drive mechanism is
The environmental device is driven and positioned so that the measurement point on the head and the wall surface of the helmet have a certain positional relationship.

ここで、被測定物の個体差が補償され、検出器が、被測
定物と予め定めた位置関係になったということは、光フ
ァイバを利用した圧力センサで知ることができる。
Here, it can be determined by a pressure sensor using an optical fiber that the individual differences in the object to be measured have been compensated for and the detector has reached a predetermined positional relationship with the object to be measured.

これは第1図に示した通りである。光ファイバは、検出
器に対応して微少ループを持っている。
This is as shown in FIG. The optical fiber has a minute loop corresponding to the detector.

環境装置が、被測定物に接近すると、光ファイバは変形
し、マイクロベンディングロスが増加するこの結果、光
ファイバを伝搬する光量が大きく変化する。光量変化に
よって、位置ぎめがなされたことを検知できる。
When the environmental device approaches the object to be measured, the optical fiber is deformed and microbending loss increases, resulting in a large change in the amount of light propagating through the optical fiber. It is possible to detect that the position has been determined by the change in the amount of light.

ただし、圧力センサは、光ファイバを利用したものとは
限らない。いろいろな圧力センサが可能である。
However, pressure sensors do not necessarily use optical fibers. Various pressure sensors are possible.

例えば、圧力により偏光面が変化する光学結晶素子に利
用も可能である。さらに、エアパック等の流体を利用し
たものも使用できる。
For example, it can also be used in an optical crystal element whose polarization plane changes with pressure. Furthermore, a device using fluid such as an air pack can also be used.

位置ぎめの確認のために、圧力センサを用いれば、 (a)被測定物である生体磁場との干渉が少ない。If you use a pressure sensor to confirm the position, (a) There is little interference with the biomagnetic field of the object to be measured.

(b)測定点に対応して100個以上配置してもスペー
スをとらない。
(b) Even if 100 or more are arranged corresponding to the measurement points, it does not take up much space.

(C)人体に与える害が少ない。(C) Less harm to the human body.

などの利点がある。There are advantages such as

(キ) 効 果 本発明の支持駆動機構は、 被測定物の複数の測定点に対応する複数個の検出器から
なる検出系と、 検出系を収容し、これを動作させる環境を実現し維持す
る環境装置と、 被測定物に対応して、環境装置を駆動できる支持駆動機
構と、 検出器が被測定物と予め定めた位置関係にあることを検
知する圧力センサと、 から成り立っているためつぎの効果がある。
(g) Effects The support drive mechanism of the present invention realizes and maintains a detection system consisting of a plurality of detectors corresponding to a plurality of measurement points of an object to be measured, and an environment in which the detection system is housed and operated. A support drive mechanism that can drive the environmental device according to the object to be measured, and a pressure sensor that detects that the detector is in a predetermined positional relationship with the object to be measured. It has the following effects.

(1)任意の大きさ、形状の被測定物に対応できる。(1) Can handle objects of any size and shape.

(2)測定点と検出器ヘッドの最適配置を実現できる。(2) Optimal placement of measurement points and detector heads can be realized.

(3)環境装置の支持駆動機構を簡略化できる。(3) The support and drive mechanism of the environmental device can be simplified.

(4)測定に要する時間を短縮できる。(4) The time required for measurement can be shortened.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の支持駆動機構の一部を示す概略断面図
。 1 ・ Φ ・ 拳 検  出  系 2 拳 ・ ・ e環  境  装  置発 明 者
FIG. 1 is a schematic sectional view showing a part of the support drive mechanism of the present invention. 1. Fist detection system 2. Fist e-environment device inventor

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 被測定物の測定点に対応する複数個の検出器からなる検
出系と、検出系を動作させるのに必要な環境を実現し維
持する環境装置と、検出系を内蔵する環境装置を支持し
被測定物の各測定点と対応する検出器が予め定めた位置
関係となるように調整する支持駆動機構と、検出器が被
測定物と予め定めた位置関係になった事を検知しかつ被
測定物に対する擾乱が少ない圧力を利用した検知器のア
レイを測定点に対応させて配置した検知系とからなり、
各測定点での測定に先立って被測定物の各測定点と対応
する検出器が予め定めた位置関係になるように調整しつ
つ測定する事を特徴とする検出系支持駆動機構。
A detection system consisting of multiple detectors that correspond to the measurement points of the object to be measured, an environmental device that realizes and maintains the environment necessary to operate the detection system, and an environmental device that supports and supports the environment device that houses the detection system. A support drive mechanism that adjusts each measurement point of the object to be measured and the corresponding detector to have a predetermined positional relationship, and a support drive mechanism that detects when the detector has reached the predetermined positional relationship with the object to be measured and It consists of a detection system in which an array of detectors that utilize pressure that causes little disturbance to objects are arranged in correspondence with measurement points.
A detection system support drive mechanism characterized in that, prior to measurement at each measurement point, measurement is performed while adjusting each measurement point of the object to be measured and the corresponding detector so that they have a predetermined positional relationship.
JP2542089A 1989-02-03 1989-02-03 Detecting-system supporting and driving mechanism Pending JPH02205706A (en)

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