JPH02204904A - Conductor paste and ceramics substate - Google Patents

Conductor paste and ceramics substate

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JPH02204904A
JPH02204904A JP2393489A JP2393489A JPH02204904A JP H02204904 A JPH02204904 A JP H02204904A JP 2393489 A JP2393489 A JP 2393489A JP 2393489 A JP2393489 A JP 2393489A JP H02204904 A JPH02204904 A JP H02204904A
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JP
Japan
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conductor
conductor paste
ceramic substrate
alumina
percent
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JP2393489A
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Japanese (ja)
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Kazuo Sunahara
一夫 砂原
Yumiko Aoki
由美子 青木
Tsuneo Ichimatsu
恒生 一松
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AGC Inc
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Asahi Glass Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To improve the adhesive property of a gold conductor paste to a ceramics substrate containing alumina or lead by adding metal oxides comprising Ta2O6, Nb2O5, Fe2O3, CoO, ZnO, CuO, Cu2O and the like to the gold conductor paste. CONSTITUTION:A conductor paste for use in a ceramics substrate containing lead or alumina contains, as solid components, 92 to 99.99 percent by weight of gold powder, 0 to 5 percent by weight of glass frit, and 0.01 to 3 percent by weight of at least one kind among Ta2O6, Nb2O5, Fe2O3, CoO, ZnO, CuO, and Cu2O. When addition of adhesion improving metal oxides is less than 0.01 percent, its effect is small, whereas when it is more than 3 parts then cracking and peeling of the conductor may be caused or the wet property of soldering is deteriorated so it is not preferable.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は導体ペーストに関する。[Detailed description of the invention] [Industrial application field] The present invention relates to a conductive paste.

[従来の技術] 従来実用化されているセラミックス基板用金導体ペース
トは、予め焼成されたアルミナ(Alton )等の基
板を対象としているため、グリーンシート上に印刷し、
同時に焼成すると導体にクラック、剥離を発生したり、
はなはだしい場合にはセラミックス基板に変形、反りな
どが発生すると・いう欠点がある。
[Prior art] The gold conductor paste for ceramic substrates that has been put into practical use so far is intended for substrates made of pre-sintered alumina (Alton), etc., so it is printed on a green sheet.
If fired at the same time, the conductor may crack or peel.
In severe cases, the ceramic substrate may become deformed or warped, which is a drawback.

更には、導体のセラミックス基板への接着性が低下する
という欠点を有している。
Furthermore, it has the disadvantage that the adhesion of the conductor to the ceramic substrate is reduced.

[発明の解決しようとする課題] 本発明の目的は、従来技術が有していた前述の欠点を解
消しようとするものであり、従来知られていなかった導
体ペースト等を新規に提供することを目的とするもので
ある。
[Problems to be Solved by the Invention] The purpose of the present invention is to solve the above-mentioned drawbacks of the prior art, and to provide a new conductive paste etc. that has not been previously known. This is the purpose.

[課題を解決するための手段] 本発明は、前述の課題を解決すべくなされたものであり
、鉛又はアルミナを含有したセラミックス基板に使用さ
れる導体ペーストにおいて、固形分が重量%表示で実質
的に 金粉末          92〜99.99%ガラス
フリット      0〜5% Ta*Os+ Nb2Oi、 Fears、 Coo、
 ZnO,Cub、 Cu2Oの内掛なくとも1種  
0.旧〜3% からなることを特徴とする導体ペースト等を提供するも
のである。
[Means for Solving the Problems] The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and is directed to a conductor paste used for ceramic substrates containing lead or alumina, in which the solid content is substantially reduced in weight percent. Gold powder 92-99.99% Glass frit 0-5% Ta*Os+ Nb2Oi, Fears, Coo,
At least one type of ZnO, Cub, Cu2O
0. The present invention provides a conductor paste, etc., characterized in that it consists of ~3%

本発明は金導体ペーストにTatOs、Nb10g。In the present invention, 10 g of TatOs and Nb are added to the gold conductor paste.

Fears、CoO,ZnO,CuO,CuaO等の金
属酸化物(以下、接着力向上金属酸化物という。)を添
加することによってアルミナ又は鉛を含有するセラミッ
クス基板との接着性等を改善しようとするものである。
Products that attempt to improve adhesion to ceramic substrates containing alumina or lead by adding metal oxides such as Fears, CoO, ZnO, CuO, and CuaO (hereinafter referred to as adhesion-improving metal oxides). It is.

以下、本発明の詳細な説明する。The present invention will be explained in detail below.

本発明にかかる導体ペーストの固形分の成分を以下に述
べる。尚、%は特に記載しない限り重量%を意味する。
The solid components of the conductive paste according to the present invention will be described below. Note that % means weight % unless otherwise specified.

金粉末           92〜99.99%ガラ
スフリット       O〜5%接着力向上金属酸化
物   0.O1〜3%順次、これらについて説明する
Gold powder 92-99.99% Glass frit O-5% Adhesion improving metal oxide 0. These will be explained in order from O1 to 3%.

本発明にかかる金粉末は導体を構成する成分であり、必
須の成分であって、本発明の導体ペースト中の金粉末の
割合が92%より少ないとシート抵抗値が増大するので
好ましくなく、そして、金粉末の割合が99.99%よ
り多いと、相対的に接着力向上金属酸化物やガラスフリ
ットの添加量が少なくなり、以下に述べる欠点が生じる
ので好ましくない。
The gold powder according to the present invention is a component constituting the conductor and is an essential component, and if the proportion of gold powder in the conductor paste of the present invention is less than 92%, the sheet resistance value increases, which is undesirable. If the proportion of gold powder is more than 99.99%, the amount of adhesion-improving metal oxide or glass frit added becomes relatively small, which is not preferable because the following disadvantages occur.

ガラスフリットは、本発明においては、必須の成分では
ないが、導体の基板への接着力を、多少向上させる作用
があるため、本発明の導体ペーストの総量に対して0〜
5%添加することが好ましい。5%より多いと、導体の
シート抵抗が大きくなると共に半田濡れ性が低下するの
で好ましくない、望ましくは0.1〜3%であり、特に
望ましくは0,25〜0.75%である。
Glass frit is not an essential component in the present invention, but it has the effect of somewhat improving the adhesive strength of the conductor to the substrate, so it is added in a proportion of 0 to 100% relative to the total amount of the conductive paste of the present invention.
It is preferable to add 5%. If it is more than 5%, the sheet resistance of the conductor increases and the solder wettability decreases, which is undesirable.The content is preferably 0.1 to 3%, and particularly preferably 0.25 to 0.75%.

接着力向上金属酸化物は、TazOi、NbaOs。The adhesive strength improving metal oxides are TazOi and NbaOs.

Fezes、 Cod、 ZnO,Cub、 CuzO
等から選ばれた少な(とも1つであり、本発明の導体ペ
ーストの固形分の総量に対して0.01〜3%添加され
ることにより、導体のセラミックス基板への接着強度を
向上させ、かつ、導体のクラック、剥離等の欠陥を防止
する効果を有する。上記接着力向上金属酸化物の添加量
が0.01%未満ではその効果は少なく、3%より多い
と、導体にクラック、剥離が発生したり、半田濡れ性が
低下するので好ましくない、望ましい範囲は0.1−1
%であり、特に望ましくは0.25〜0.75%である
Fezes, Cod, ZnO, Cub, CuzO
By adding 0.01 to 3% of the total solid content of the conductor paste of the present invention, the adhesion strength of the conductor to the ceramic substrate is improved. It also has the effect of preventing defects such as cracks and peeling of the conductor.If the amount of the adhesion-improving metal oxide added is less than 0.01%, the effect will be small, and if it is more than 3%, it will cause cracks and peeling of the conductor. This is undesirable as it may cause the occurrence of smudges or reduce solder wettability, but the desirable range is 0.1-1.
%, particularly desirably 0.25 to 0.75%.

本発明に係る接着力向上金属酸化物は、導体のセラミッ
クス基板との接着力を向上させる効果を有し、金属と酸
素の酸化化合物であれば、特には限定されないが、Ta
2Os+NbtOs、FeJs。
The adhesive strength improving metal oxide according to the present invention has the effect of improving the adhesive strength between a conductor and a ceramic substrate, and is not particularly limited as long as it is an oxidized compound of a metal and oxygen.
2Os+NbtOs, FeJs.

Cod、 ZnO,Cub、 CuaO等から選ばれた
少な(とも1つであることが望ましい。
At least one (preferably one) selected from Cod, ZnO, Cub, CuaO, etc.

本発明において多層のセラミックス基板は次のようにし
て製造される。アルミナ粉末、ガラスフリット等のセラ
ミックスの原料粉にブチラール樹脂2アクリル樹脂等の
有機バインダー フタル酸ジブチル、フタル酸ジオクチ
ル、フタル酸ブチル−ベンジル等の可塑剤、トルエン、
アルコール等の溶剤を添加し混練してスラリーを作製す
る。そして、該スラリーをシート状に成形し、いわゆる
グリーンシートが作成される。該グリーンシートにヴイ
アホール用等の穴を開け、表面に本発明の導体ペースト
を所定の回路に印刷する。
In the present invention, a multilayer ceramic substrate is manufactured as follows. Ceramic raw material powder such as alumina powder and glass frit, organic binder such as butyral resin 2 acrylic resin, plasticizer such as dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, butyl-benzyl phthalate, toluene,
A solvent such as alcohol is added and kneaded to prepare a slurry. Then, the slurry is formed into a sheet shape to create a so-called green sheet. Holes such as via holes are made in the green sheet, and the conductive paste of the present invention is printed on the surface in a predetermined circuit.

ヴイアホールには本発明の導体ペーストが満たされる0
次にこれらの印刷されたグリーンシートを所定の枚数重
ね合わせ、熱圧着により積層化し、空気中等の酸化性雰
囲気内で1000℃以下の温度にて焼成して多層のセラ
ミックス基板となる。このようにして製造された多層の
セラミックス基板は回路が絶縁基板を介して多層に積層
されたものとなる。尚、本発明の金ペーストは、単層の
セラミックス基板の表面にも使用できる。
The via hole is filled with the conductive paste of the present invention.
Next, a predetermined number of these printed green sheets are superimposed, laminated by thermocompression bonding, and fired at a temperature of 1000° C. or lower in an oxidizing atmosphere such as air to obtain a multilayer ceramic substrate. The multilayer ceramic substrate manufactured in this manner has circuits laminated in multiple layers with an insulating substrate interposed therebetween. Incidentally, the gold paste of the present invention can also be used on the surface of a single-layer ceramic substrate.

例えば、単層のグリーンシートの表面に印刷等の方法に
よって形成され、当該グリーンシートと同時に焼成でき
る。また焼成後の固化したアルミナやガラスセラミック
ス等の基板上に印刷等の方法によって本発明の導体ペー
ストを形成した後、焼成してもよい。
For example, it can be formed on the surface of a single-layer green sheet by a method such as printing, and fired at the same time as the green sheet. Alternatively, the conductive paste of the present invention may be formed on a substrate made of alumina, glass ceramics, or the like that has been solidified after firing by a method such as printing, and then fired.

なお、本発明の導体ペーストはMg、 Ca、 Sr。Note that the conductive paste of the present invention includes Mg, Ca, and Sr.

Ba、Na、に、Fe、Cu、Zn、Ni、Zr、Ti
、Sn、Sb、Al、St、Ga。
Ba, Na, Fe, Cu, Zn, Ni, Zr, Ti
, Sn, Sb, Al, St, Ga.

Ce等を少な(とも1つ酸化物換算で0゜2%程度含有
していてもよい。
It may contain a small amount of Ce, etc. (approximately 0.2% in terms of oxide).

また前記セラミックス基板に含有されている鉛は、酸化
鉛に換算してセラミックス基板の無機成分に対して0.
5〜60%含有されていれば本発明にかかる接着力が発
生する。
Further, the lead contained in the ceramic substrate is 0.0% in terms of lead oxide relative to the inorganic components of the ceramic substrate.
If the content is 5 to 60%, the adhesive force according to the present invention is generated.

更に前記セラミックス基板に含有されているアルミナは
、セラミックス基板の無機成分に対して10〜100%
含有されていれば本発明にかかる接着力が発生する。
Furthermore, the alumina contained in the ceramic substrate is 10 to 100% of the inorganic components of the ceramic substrate.
If it is contained, the adhesive force according to the present invention will be generated.

[作用] 本発明にかかる接着力向上金属酸化物の作用は必ずしも
明確ではないが、TaaOs、NbxOsの場合はグリ
ーンシート中又は焼成後の固化したセラミックス基板中
の鉛と反応してPbTaxOa。
[Function] The function of the adhesion-improving metal oxide according to the present invention is not necessarily clear, but in the case of TaaOs and NbxOs, it reacts with lead in the green sheet or in the ceramic substrate solidified after firing to form PbTaxOa.

pbNbzoa等の反応物を生成し、Fears、 C
oo、 ZnO。
generating reactants such as pbNbzoa, Fears, C
oo, ZnO.

Cub、 Cu、0の場合はグリーンシート中又は焼成
後の固化したセラミックス基板中のアルミナと反応して
 (Fe−Al)20m、3C00・A110..3Z
nO−A120!等の反応物を生成して導体とセラミッ
クス基板中に拡散し、導体とセラミックス基板との界面
に強固な反応中間物を生成するため、導体のセラミック
ス基板との接着強度が向上する効果を生ずるものと考え
られる。
In the case of Cub, Cu, 0, it reacts with the alumina in the green sheet or the solidified ceramic substrate after firing (Fe-Al) 20m, 3C00/A110. .. 3Z
nO-A120! This product generates reactants such as, diffuses into the conductor and ceramic substrate, and generates strong reaction intermediates at the interface between the conductor and the ceramic substrate, which has the effect of improving the adhesive strength between the conductor and the ceramic substrate. it is conceivable that.

[実施例1 1)、グリーンシート アルミナ粉末60%と、アルミナ7%、 Pb040%
、 5iOa 45 %、 Ba0n 5%、 MgO
+CaO+SrO+BaO3%からなるガラスフリット
 40%との混合物に有機バインダー、可塑剤、溶剤等
を添加し混練してスラリーを作成した。
[Example 1 1) Green sheet alumina powder 60%, alumina 7%, Pb0 40%
, 5iOa 45%, Ba0n 5%, MgO
An organic binder, a plasticizer, a solvent, etc. were added to a mixture with 40% glass frit consisting of +CaO+SrO+3% BaO and kneaded to prepare a slurry.

次いでこのスラリーをシートに成形し、乾燥することに
よりグリーンシートを作成した。
Next, this slurry was formed into a sheet and dried to create a green sheet.

ii)、導体ペースト 金粉末とアルミナlO%、 PbO20%、 5iOz
 35%、 B、0.15%、 Ca020%からなる
ガラスフリットを[表−1]に示した割合で調合した。
ii), Conductor paste gold powder and alumina lO%, PbO20%, 5iOz
A glass frit consisting of 35%, B, 0.15%, and 20% Ca was prepared in the proportions shown in [Table 1].

これに印刷性を付与するためにエチルセルロース樹脂、
ブチルカルピトールからなる有機ビヒクルを添加し、ア
ルミナ磁性乳鉢中で1時間混合した後、三本ロールにて
、分散し、導体ペーストを作製した。
Ethyl cellulose resin is used to give printability to this.
An organic vehicle consisting of butyl calpitol was added, mixed for 1 hour in an alumina magnetic mortar, and then dispersed using three rolls to prepare a conductive paste.

Lit)、試料の作製 グリーンシート上に[表−1]に示した組成の導体ペー
ストをスクリーン印刷し、20%m厚のペースト層を形
成した。
(Lit), Sample Preparation A conductor paste having the composition shown in [Table 1] was screen printed on a green sheet to form a paste layer with a thickness of 20% m.

次いでこれを乾燥後、空気雰囲気中で100’C/hr
の速度で昇温し、900℃で20分間焼成しセラミック
ス基板上に導体層を形成した。
Next, after drying this, it was heated at 100'C/hr in an air atmosphere.
The temperature was raised at a rate of 200° C. and fired at 900° C. for 20 minutes to form a conductor layer on the ceramic substrate.

このセラミックス基板について、導体の半田濡れ性、導
体のセラミックス基板への接着強度を示すビール強度、
導体のシート抵抗、導体の剥離、クラック、変形の有無
について評価し[表−1]の下段に示した。尚、[表−
1]の組成の単位は重量%である。
Regarding this ceramic substrate, the solder wettability of the conductor, the beer strength, which indicates the adhesive strength of the conductor to the ceramic substrate,
The sheet resistance of the conductor and the presence or absence of peeling, cracking, and deformation of the conductor were evaluated and shown in the lower row of [Table 1]. Furthermore, [Table-
The composition unit of 1] is weight %.

[表−1]より明らかな如く、本発明の導体ペーストは
、半田濡れ性、ビール強度に優れ、シート抵抗も低く、
導体のクラック、剥離、変形等の欠陥のない優れた導体
ペーストである。
As is clear from [Table 1], the conductor paste of the present invention has excellent solder wettability and beer strength, and has low sheet resistance.
This is an excellent conductor paste with no defects such as cracks, peeling, or deformation of the conductor.

なお、各特性の評価方法は次の通りである。The evaluation method for each characteristic is as follows.

[特性評価法] l)、剥離、クラック、変形等の欠陥 目視による外観検査 ii)、半田1需れ性 Sn 70%、 Pb 1g%、 In 12%半田。[Characteristic evaluation method] l) Defects such as peeling, cracks, deformation, etc. Visual appearance inspection ii), Demand for solder 1 Sn 70%, Pb 1g%, In 12% solder.

210℃±5℃、5秒間デイツプ後、半田の濡れた面積
割合を評価した。
After dipping at 210°C±5°C for 5 seconds, the wetted area ratio of the solder was evaluated.

1ii)、ビール強度試験 0.8Φすずメツキ軟銅線を金導体に半田付し、その銅
線を垂直折り曲げ後、引っ張り試験により評価した。
1ii) Beer Strength Test A 0.8Φ tin-plated annealed copper wire was soldered to a gold conductor, and the copper wire was bent vertically and evaluated by a tensile test.

iv)、高温放置後、ビール強度試験 0.8Φすずメツキ銅線を導体に半田付し、150℃、
 tooo時間放置後、引っ張り試験にて評価した。
iv) After leaving it at high temperature, solder the beer strength test 0.8Φ tin-plated copper wire to the conductor and heat it at 150℃.
After being left for too long, it was evaluated by a tensile test.

■)、シート抵抗 Y、)1.P 1+7デジタルマルチメーターにより測
定評価した。
■), sheet resistance Y,)1. Measurement and evaluation were performed using a P1+7 digital multimeter.

[発明の効果] 本発明の導体ペーストは、セラミック基板上に剥離、ク
ラック、変形等の欠陥のない導体を形成出来るだけでな
く、導体とセラミックス基板との接着力が向上し、さら
には、高温放置後においても接着力が低下しにくいとい
う信頼性に優れた効果を有し、特に多層のセラミックス
基板用導体ペーストとして機能を発揮し、その工業的価
値は多大である。
[Effects of the Invention] The conductor paste of the present invention not only can form a conductor free from defects such as peeling, cracks, and deformation on a ceramic substrate, but also improves the adhesive strength between the conductor and the ceramic substrate, and can withstand high temperatures. It has a highly reliable effect in that the adhesive strength does not easily decrease even after being left standing, and it particularly functions as a conductor paste for multilayer ceramic substrates, and its industrial value is great.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)鉛又はアルミナを含有したセラミックス基板に使
用される導体ペーストにおいて、固形分が重量%表示で
実質的に 金粉末 92〜99.99% ガラスフリット 0〜5% Ta_2O_5,Nb_2O_5,Fe_2O_3,C
oO,ZnO,CuO,Cu_2Oの内少なくとも1種
 0.01〜3%からなることを特徴とする導体ペース
ト。
(1) In the conductor paste used for ceramic substrates containing lead or alumina, the solid content in weight percent is substantially gold powder 92 to 99.99% Glass frit 0 to 5% Ta_2O_5, Nb_2O_5, Fe_2O_3, C
A conductive paste comprising 0.01 to 3% of at least one of oO, ZnO, CuO, and Cu_2O.
(2)第1項記載の導体ペーストを使用して焼成された
セラミックス基板。
(2) A ceramic substrate fired using the conductor paste described in item 1.
(3)鉛又はアルミナを含有したセラミックス基板に使
用される導体ペーストにおいて、固形分が重量%表示で
実質的に 金粉末 92〜99.99% ガラスフリット 0.1〜3% Ta_2O_5,Nb_2O_5,Fe_2O_3,C
oO,ZnO,CuO,Cu_2Oの内少なくとも1種
 0.01〜3% からなることを特徴とする導体ペースト。
(3) In the conductor paste used for ceramic substrates containing lead or alumina, the solid content in weight percent is substantially gold powder 92 to 99.99% Glass frit 0.1 to 3% Ta_2O_5, Nb_2O_5, Fe_2O_3 ,C
A conductive paste comprising 0.01 to 3% of at least one of oO, ZnO, CuO, and Cu_2O.
(4)第3項記載の導体ペーストを使用して焼成された
セラミックス基板。
(4) A ceramic substrate fired using the conductor paste described in item 3.
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