JPH0220339U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例を示すウエハアライメ
ント装置の構成図、第２図は第１図のアライメン
トアームの駆動部の構成図、第３図は同アライメ
ントアームの動作説明図、第４図は従来のウエハ
アライメント装置の斜視図、第５図は同アライメ
ント装置のウエハ把持部の平面図である。 １０……ウエハ、１１……ベルト、１２……セ
ンサ、１３，３０……テフロンピン、１４……ア
ライメントガイド、１５……アライメントアーム
、１６……シリンダ、１７……下段ベース、１８
……ガイドレール、１９，２６……ガイドベース
、２０……ピン、２１……回転アーム、２２，２
７……引つ張りバネ、２３，２８……ベアリング
、２４……回転シヤフト、２５……上段ベース、
２９……ストツパ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) アライメントエリアにおいてウエハの外周
   を挾み込む機構を有するウエハアライメント装置
   において、 (a) ウエハを搬送する搬送手段と、 (b) ウエハがアライメントエリアに来たこと
   を検出してウエハ搬送手段を停止させる非接触セ
   ンサと、 (c) ウエハ搬送方向に移動可能であつてウエ
   ハ把持位置と逃げ位置とを取り、かつ引つ張りバ
   ネによつてウエハ把持位置側に付勢されるアライ
   メントガイドと、 (d) ウエハアライメントエリア近傍において
   揺動自在に軸支され、ウエハ把持位置と逃げ位置
   とを取り、逃げ位置において、アライメントガイ
   ドを上記引つ張りバネに抗して押圧し、アライメ
   ントガイドを逃げ位置に置くための押圧端を備え
   たアライメントアームと、 (e) 該アライメントアームに対して回転シヤ
   フトを介して固定され、回転シヤフトを軸として
   回転動作する回転アームと、 (f) ウエハ搬送方向に対して直線運動すると
   ともに、該運動に伴つて、アライメントアームが
   ウエハ把持位置に近くなるにしたがつて回転アー
   ムの軸から遠くなるように回転アームの側縁を摺
   動するピンを備えたガイドベースと、 (g) 上記回転アームとピンとを当接する方向
   に付勢するとともに、上記アライメントアームを
   をウエハ把持位置側に付勢するため、回転アーム
   とガイドベースとの間に配設された引つ張りバネ
   と、 (h) 上記ガイドベースを一定速度で直線運動
   させ、上記回転アームを回転させてアライメント
   ガイド及びアライメントアームをウエハ把持位置
   方向に移動させるためのガイドベース駆動手段と
   を備えたことを特徴とするウエハアライメント装
   置。 (2) 上記回転アームの側縁は、軸から遠くなる
   にしたがつてピン方向に迫り出す円弧状になつて
   いることを特徴とする請求項１記載のウエハアラ
   イメント装置。