JPH0220324U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0220324U JPH0220324U JP9827788U JP9827788U JPH0220324U JP H0220324 U JPH0220324 U JP H0220324U JP 9827788 U JP9827788 U JP 9827788U JP 9827788 U JP9827788 U JP 9827788U JP H0220324 U JPH0220324 U JP H0220324U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- heating chamber
- forming apparatus
- film forming
- reflecting plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例による加熱室の一部
断面側面図、第２図は前記加熱室の一部断面正面
図、第３図は赤外線ランプヒータへ電力供給する
ための回路図、第４図は本考案の一実施例による
加熱室を備えたインライン式成膜装置の概略全体
構成図、第５図は本考案の効果を説明するための
図である。 １……入口加熱室、７……赤外線ランプヒータ
、８……ランプヒータユニツト、９……熱反射板
、１２……搬送機構、１３……基板カート、１４
……基板、２５……連結部材、２６……昇降ロツ
ド。
断面側面図、第２図は前記加熱室の一部断面正面
図、第３図は赤外線ランプヒータへ電力供給する
ための回路図、第４図は本考案の一実施例による
加熱室を備えたインライン式成膜装置の概略全体
構成図、第５図は本考案の効果を説明するための
図である。 １……入口加熱室、７……赤外線ランプヒータ
、８……ランプヒータユニツト、９……熱反射板
、１２……搬送機構、１３……基板カート、１４
……基板、２５……連結部材、２６……昇降ロツ
ド。
Claims (1)
- インライン式成膜装置の入口側に設けられ、基
板を所定の温度に加熱するための加熱室において
、搬送されてくる基板を加熱するための複数のラ
ンプヒータと、前記基板を挾んで前記ランプヒー
タと対向する側に設けられた熱反射板と、この熱
反射板を前記基板に対して接近、離反させるため
の移動機構とを備えたことを特徴とするインライ
ン式成膜装置の加熱室。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9827788U JPH0220324U (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9827788U JPH0220324U (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0220324U true JPH0220324U (ja) | 1990-02-09 |
Family
ID=31324398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9827788U Pending JPH0220324U (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0220324U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010196116A (ja) * | 2009-02-25 | 2010-09-09 | Shimadzu Corp | インライン成膜処理装置 |
-
1988
- 1988-07-25 JP JP9827788U patent/JPH0220324U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010196116A (ja) * | 2009-02-25 | 2010-09-09 | Shimadzu Corp | インライン成膜処理装置 |