JPH0219974U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0219974U JPH0219974U JP9296388U JP9296388U JPH0219974U JP H0219974 U JPH0219974 U JP H0219974U JP 9296388 U JP9296388 U JP 9296388U JP 9296388 U JP9296388 U JP 9296388U JP H0219974 U JPH0219974 U JP H0219974U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrapure water
- valve body
- opening
- valve
- closing
- Prior art date
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- Pending
Links
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 claims description 13
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Lift Valve (AREA)
Description
第1図は本考案の実施例を示す超純水用バルブ
の断面図、第2図は従来の超純水供給用バルブ系
を示す図、第3図は従来の超純水用バルブの構成
図である。 31……バルブ本体、32……超純水入口、3
3……超純水出口、34……弁開口、35……開
閉用弁体、37……バルブステム、38……エア
ピストン、39……シリンダ、42,43……駆
動用エア接続口、44……流出バイパス。
の断面図、第2図は従来の超純水供給用バルブ系
を示す図、第3図は従来の超純水用バルブの構成
図である。 31……バルブ本体、32……超純水入口、3
3……超純水出口、34……弁開口、35……開
閉用弁体、37……バルブステム、38……エア
ピストン、39……シリンダ、42,43……駆
動用エア接続口、44……流出バイパス。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 超純水洗浄のための処理槽に超純水を供給
する系内に配設される超純水用バルブにおいて、 バルブ本体内の超純水流路に該超純水流路を開
閉する開閉用弁体を設けると共に該開閉用弁体に
はバルブ閉鎖時においても超純水を微少量流れさ
せるための流出バイパスを形成したことを特徴と
する超純水用バルブ。 (2) 前記開閉用弁体はバルブ本体に対して取替
自在としたことを特徴とする請求項1記載の超純
水用バルブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9296388U JPH0219974U (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9296388U JPH0219974U (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0219974U true JPH0219974U (ja) | 1990-02-09 |
Family
ID=31317411
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9296388U Pending JPH0219974U (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0219974U (ja) |
-
1988
- 1988-07-15 JP JP9296388U patent/JPH0219974U/ja active Pending