JPH02191901A - Color filter - Google Patents

Color filter

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JPH02191901A
JPH02191901A JP63257570A JP25757088A JPH02191901A JP H02191901 A JPH02191901 A JP H02191901A JP 63257570 A JP63257570 A JP 63257570A JP 25757088 A JP25757088 A JP 25757088A JP H02191901 A JPH02191901 A JP H02191901A
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JP
Japan
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photosensitive resin
pigment
black matrix
photoresist
transparent
Prior art date
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Pending
Application number
JP63257570A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shinichi Aso
阿曽 伸一
Takashi Inami
敬 井波
Hirozo Takegawa
武川 博三
Ryutaro Akutagawa
竜太郎 芥川
Tokihiko Shimizu
清水 時彦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To obtain the color filters having high reliability by providing red, green and blue picture elements consisting of photosetting colorable photoresists and black matrix and providing a layer consisting of a photosetting transparent photoresist of only the photosensitive resin thereon. CONSTITUTION:The red, blue and green picture elements 2, 3, 4 consisting of the photosetting photoresist formed by dispersing pigments into the photosensitive resin and the black matrix film 5 are provided on a transparent substrate 1 consisting of glass, etc. Further, the photosetting transparent photoresist layer 6 consisting of only the photosensitive resin is provided thereon. The picture elements 2, 3, 4 and the black matrix film 5 are coated with this photoresist layer 6, by which the projections by the picture elements 2, 3, 4 and the black matrix film 5 are leveled and absorbed and the surface smoothness is improved. In addition, the above-mentioned photoresist layer is of the same photosensitive resin as the photosensitive resin of the underlying picture element films and, therefore, the characteristics, such as thermal expansion, are uniformed and the color filter which is free from peeling, etc., is obtd.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、カラーテレビ、カラーカメラ及びカラー表示
デバイス、カラー撮像デバイス等に使用されるカラーフ
ィルタに関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention relates to a color filter used in color televisions, color cameras, color display devices, color imaging devices, and the like.

従来の技術 一般に、カラー液晶テレビ等に使用されるカラーフィル
タは、染色法、印刷法等により赤、緑、青等の画素およ
び、ブラックマトリックスヲ定められたピッチでガラス
基板上に形成したものが使用されている。特に、高精細
度の画像のものには、染色法で作成されたカラーフィル
タが主として用いられている。
Conventional technology In general, color filters used in color LCD televisions, etc. are made by forming red, green, blue, etc. pixels and a black matrix at a predetermined pitch on a glass substrate by dyeing, printing, etc. It is used. In particular, for high-definition images, color filters created by dyeing methods are mainly used.

染色法によるカラーフィルタは、染色基材であるゼラチ
ン等の天然感光性樹脂やアミン変性ポリビニルアルコー
ル等の感光性合成樹脂を′フォトリソグラフィーにより
パターニングし硬化し、これを酸性染料等の染料で染色
して作成するが、耐光性、耐熱性、耐湿性などの信頼性
に問題があり、また染色時に染めむらが生じやすく製造
安定性に問題がある。
Color filters made using the dyeing method are made by patterning and curing the dyeing base material, which is a natural photosensitive resin such as gelatin or a photosensitive synthetic resin such as amine-modified polyvinyl alcohol, using photolithography, and then dyeing this with a dye such as an acid dye. However, there are problems with reliability such as light resistance, heat resistance, and moisture resistance, and there are also problems with manufacturing stability as uneven dyeing tends to occur during dyeing.

このため、耐光性等の前記の信頼性に優れた顔料を感光
性樹脂に分散させてフォトリソグラフィーによりバター
ニングする着色フォトレジスト法によるカラーフィルタ
が提案されている。
For this reason, a color filter has been proposed using a colored photoresist method in which a pigment with excellent light resistance and other reliability is dispersed in a photosensitive resin and patterned by photolithography.

発明が解決しようとする課題 しかし、前記の着色フォトレジスト法では、分散される
顔料粒子の大きさが0. 1〜0.5μmであり、画素
およびブラックマトリックスの膜表面に前記粒子が表出
し、この上に透明導電膜(例えばITO)の電極をつけ
た場合、表面が平滑でないので接着が悪<ITOが剥が
れて対抗シe−ト等の原因となる欠陥を生じていた。ま
た、フォトリソグラフィー法によりバタ一二ソグするの
で、アライメント誤差により画素膜とブラックマトリッ
クス膜が重なり突起となり、前記と同様の欠陥を生じて
いた。
Problems to be Solved by the Invention However, in the above colored photoresist method, the size of the dispersed pigment particles is 0. 1 to 0.5 μm, and the particles are exposed on the surface of the pixel and black matrix films, and when an electrode of a transparent conductive film (for example, ITO) is attached thereon, the surface is not smooth, resulting in poor adhesion. It peeled off, causing defects such as counter-sheets. Further, since the photolithography method is used to perform back-to-back alignment, the pixel film and the black matrix film overlap to form protrusions due to alignment errors, resulting in defects similar to those described above.

本発明はかかる点に鑑み、欠陥のない、信頼性に優れた
カラーフィルタを提供することを目的とする。
In view of the above, an object of the present invention is to provide a color filter that is free from defects and has excellent reliability.

課題を解決するための手段 上記課題を解決するため、本発明は透明基板上に感光性
樹脂と顔料を分散させた光硬化性着色フォトレジストよ
りなる赤、緑、青の画素とブラックマトリックスを設け
、更に、この上に前記感光性樹脂のみの光硬化性透明フ
ォトレジストよりなる層を設けたことを特徴とし、望ま
しくは感光性樹脂として多官能アクリレートモノマー 
有機重合体統合剤及びトリハロメチル−8−)リアジン
系化合物からなる光重合開始剤を用いると好適である。
Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, the present invention provides red, green, and blue pixels and a black matrix made of a photocurable colored photoresist in which a photosensitive resin and a pigment are dispersed on a transparent substrate. , further comprising a layer made of a photocurable transparent photoresist consisting only of the photosensitive resin, preferably a polyfunctional acrylate monomer as the photosensitive resin.
It is preferable to use a photopolymerization initiator consisting of an organic polymer integrator and a trihalomethyl-8-)riazine compound.

作用 本発明によれば光硬化性透明フォトレジストでもって光
硬化性着色フォトレジストよりなる画素およびブラック
マトリックス膜を被覆形成することができるので、レベ
リングにより前記突起を吸収して表面平滑性が良好にな
り、かつ下地の画素膜と同じ感光性樹脂であるので熱膨
張等の特性が揃い、剥がれ等のない信頼性の優れたカラ
ーフィルタが得られる。
Effect According to the present invention, pixels and black matrix film made of a photocurable colored photoresist can be coated with a photocurable transparent photoresist, so that the protrusions are absorbed by leveling and the surface smoothness is improved. Moreover, since it is made of the same photosensitive resin as the underlying pixel film, it has uniform properties such as thermal expansion, and a highly reliable color filter without peeling etc. can be obtained.

実施例 第1図に本発明のカラーフィルタの断面図を示す。Example FIG. 1 shows a cross-sectional view of the color filter of the present invention.

1は、透明基板(例えばガラス)、2.3.4は基板1
の上に形成された感光性樹脂に顔料を分散させた光硬化
性フォトレジストよりなる赤、青、緑、青の画素、5は
ブラックマトリックス、θは前記着色フォトレジスト及
びブラックマトリックス上に前記感光性樹脂のみよりな
る光硬化性透明フォトレジスト層である。
1 is a transparent substrate (e.g. glass), 2.3.4 is a substrate 1
Red, blue, green, and blue pixels are made of a photocurable photoresist in which a pigment is dispersed in a photosensitive resin formed on the photoresist, 5 is a black matrix, and θ is the photosensitive resin formed on the colored photoresist and the black matrix. This is a photocurable transparent photoresist layer made only of a transparent resin.

ここで本発明で用いられるカラーフィルタの材料の1例
を示す。感光性樹脂としては、たとえばエチレングリコ
ールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレ
ート、トリエチレングリコールジアクリレート、t、e
−ヘキサンジオールジアクリレート、ペンタエリスリト
ールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリ
レート、等の中から選択された多官能アクリレートモノ
マーと耐熱性、耐薬品性等の化学的特性及び表面硬度、
体積収縮度等の機械的特性などを付与するための有機重
合体結合剤及びトリハロメチル−5−)リアジン化合物
からなる光重合開始剤の基本組成からなるものを用いる
。有機重合体結合剤としては、アクリレートモノマーと
相溶性のあるアクリル酸、メタクリル酸などの不飽和有
機酸化合物とメチルアクリレート、エチルメタクリレー
ト、ベンジルメタクリレート等のビニール基を宵する有
機酸エステルをモノマーとした共重合物が挙げられる。
Here, one example of the material of the color filter used in the present invention will be shown. Examples of the photosensitive resin include ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, t, e
- A polyfunctional acrylate monomer selected from hexanediol diacrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol triacrylate, etc., and chemical properties such as heat resistance and chemical resistance, and surface hardness;
The basic composition of the photopolymerization initiator is an organic polymer binder for imparting mechanical properties such as volume shrinkage and a trihalomethyl-5-)riazine compound. As the organic polymer binder, monomers are unsaturated organic acid compounds such as acrylic acid and methacrylic acid that are compatible with acrylate monomers, and organic acid esters containing vinyl groups such as methyl acrylate, ethyl methacrylate, and benzyl methacrylate. Examples include copolymers.

カルボキシル基等の酸性基を持つと水溶性現像を可能と
し有機溶剤現像と比較して経済性、安全性の面で有効で
ある。トリハロメチル−3−トリアジン系化合物の光重
合開始剤としては、2−フェニール−4,B−ビス(ト
リクロロメチル)−s−)リアジン、2−(p−クロロ
フェニル)−4,トビス(トリクロロメチル)−s−)
リアジン、2−(p−)リール)−4,6−ビス−(ト
リクロロメチル)−8−トリアジン、2−(p−メトキ
シフェニール)−4,17−ビス−(トリクロロメチル
)−s−トリアジン、2−(2ゝ、4t−ジクロロフェ
ニル)−4,8−ビス−(トリクロロメチル)−S−)
リアジン、等が挙げられる。
Having an acidic group such as a carboxyl group enables water-soluble development, which is more economical and safer than organic solvent development. As photopolymerization initiators for trihalomethyl-3-triazine compounds, 2-phenyl-4,B-bis(trichloromethyl)-s-)riazine, 2-(p-chlorophenyl)-4,tobis(trichloromethyl) -s-)
riazine, 2-(p-lyl)-4,6-bis-(trichloromethyl)-8-triazine, 2-(p-methoxyphenyl)-4,17-bis-(trichloromethyl)-s-triazine, 2-(2ゝ,4t-dichlorophenyl)-4,8-bis-(trichloromethyl)-S-)
Examples include riazine and the like.

赤の顔料としては、アントラキノン系顔料、ペリレン系
顔料それぞれ単独か、その混合物さらには、ジスアゾ系
黄色顔料またはイソインドリン系黄色顔料との混合した
ものが用いられる。例えばアントラキノン系顔料として
は、C,1,ビグメントレ。
As the red pigment, an anthraquinone pigment or a perylene pigment may be used alone, or a mixture thereof, or a mixture thereof with a disazo yellow pigment or an isoindoline yellow pigment may be used. For example, as an anthraquinone pigment, C, 1, pigment.

ド177、ペリレン系顔料としては、 C,1,ビグメ
ントレッド155が挙げられる。このうち色再現性の点
でC,1,ピグメントイエロウ−83またはC11、ピ
グメントイエロウ−139との混合したものが望ましい
。緑の顔料としては、ハロゲン化フタロシニン系顔料単
独又は、ジスアゾ系黄色顔料またはイソインドリン系黄
色顔料との混合が用いられ例えばC,1,ビグメントゲ
リンフ、3El、37とC11,ピグメントイエロー8
3またはC,I 、ピグメントイエロウ−139との混
合したものが望ましい。
Examples of perylene pigments include C,1, Pigment Red 155. Among these, from the viewpoint of color reproducibility, a mixture of C,1, Pigment Yellow-83 or C11, Pigment Yellow-139 is preferable. As the green pigment, a halogenated phthalocinine pigment alone or a mixture with a disazo yellow pigment or an isoindoline yellow pigment is used, such as C, 1, Pigment Gerinph, 3El, 37 and C11, Pigment Yellow 8.
3 or C,I, and a mixture with Pigment Yellow-139 is preferable.

青の顔料としては、フタロシアニン系顔料単独又は、ジ
オキサジン系紫色顔料との混合が用いられ例えばC,l
 、ピグメントブルー15:3とC,1,ピグメントバ
イオレット23との混合したものが望ましい。更に上記
の顔料をアクリル系樹脂、マレイン酸系樹脂、塩ビー酢
ピコポリマー及びエチルセルロース樹脂のいずれかに微
分散させた粉末杖加工顔料を用いることにより分散性及
び分散安定性の良好な顔料含有感光樹脂が得られる。特
にアクリル系樹脂及びエチルセルロース樹脂を用いた加
工顔料が透明性、分散安定性の点で最適する。又、顔料
の粒子系が可視光波長(400nmから7θOnm)よ
り小さい平均粒子径でさらに望ましくは、l/2の方が
光透過性において良好である。
As the blue pigment, a phthalocyanine pigment alone or a mixture with a dioxazine purple pigment is used, for example, C, l.
, Pigment Blue 15:3 and C,1, Pigment Violet 23 are preferably mixed. Furthermore, by using a powdered cane-processed pigment in which the above-mentioned pigment is finely dispersed in any one of acrylic resin, maleic acid resin, vinyl chloride vinegar picopolymer, and ethyl cellulose resin, pigment-containing photosensitizers with good dispersibility and dispersion stability can be obtained. Resin is obtained. In particular, processed pigments using acrylic resins and ethyl cellulose resins are optimal in terms of transparency and dispersion stability. Further, the average particle diameter of the pigment particle system is smaller than the wavelength of visible light (400 nm to 7θ Onm), more preferably 1/2, which has better light transmittance.

次に本発明のカラーフィルタの製造法を説明する。Next, a method for manufacturing the color filter of the present invention will be explained.

感光性樹脂(透明フォトレジスト)、および感光性樹脂
に顔料を分散させた着色フォトレジストとして前記示し
た材料の1例として下記のものを用いた。
The following materials were used as an example of the materials shown above as a photosensitive resin (transparent photoresist) and a colored photoresist in which a pigment was dispersed in the photosensitive resin.

黒色フォトレジスト 商品名;カラーモザイクK (CK) (富士ハントエレクトロテクノロジ製)赤色フォトレジ
スト 商品名;カラーモザイクR(CR) (富士ハントエレクトロテクノロジ製)緑色フォトレジ
スト 商品名;カラーモザイクG(CG) (富士ハントエレクトロテクノロジ製)青色フォトレジ
スト 商品名;カラーモザイクB(CB) (富士ハントエレクトロテクノロジ製)透明フォトレジ
スト 商品名;カラーモザイクT (CT) (富士ハントエレクトロチ°クノロジ製)先ず、透明基
板に黒色フォトレジストを第1表にしめず条件でスピン
ナーで塗布し、ホットプレートで100℃、1分のプリ
ベークを行い次いで、ポリビニールアルコールを同じく
スピンナーで塗布、100℃で1分のプリベータの後、
所定のパターンが描かれたマスクを介して、Uv露光機
で第1表に示した強度(波長366 nm)で露光後、
ホットプレートで100℃、1分加熱し、1重量%の炭
酸ソーダ水溶液に1分浸漬し現像を行い、200°C1
15分加熱し黒色パターンを形成した。
Black photoresist Product name: Color Mosaic K (CK) (Fuji Hunt Electro Technology) Red photoresist Product name: Color Mosaic R (CR) (Fuji Hunt Electro Technology) Green photoresist Product name: Color Mosaic G (CG) (Manufactured by Fuji Hunt Electro Technology) Blue photoresist Product name: Color Mosaic B (CB) (Manufactured by Fuji Hunt Electro Technology) Transparent photoresist Product name: Color Mosaic T (CT) (Manufactured by Fuji Hunt Electro Technology) First, the transparent Apply black photoresist to the substrate using a spinner under the conditions shown in Table 1, pre-baking at 100°C for 1 minute on a hot plate, then applying polyvinyl alcohol using the same spinner and pre-baking at 100°C for 1 minute. rear,
After exposure through a mask with a predetermined pattern drawn on it using a UV exposure machine at the intensity shown in Table 1 (wavelength 366 nm),
Heated at 100°C for 1 minute on a hot plate, immersed in a 1% by weight sodium carbonate aqueous solution for 1 minute, and developed at 200°C.
A black pattern was formed by heating for 15 minutes.

赤、緑、青色画素についても、前記と同様の工程で、第
1表の条件で形成した。
Red, green, and blue pixels were also formed in the same process as described above under the conditions shown in Table 1.

(以下余白) 第1表 このようにして形成した各画素の上に、第1表の条件で
透明フォトレジストを前記とほぼ同様の工程で塗布し、
マスクなしで全面露光し、現像なしで加熱して平坦な透
明層を形成してカラーフィルタを作成した。
(Margins below) Table 1: On each pixel formed in this way, a transparent photoresist was applied under the conditions shown in Table 1 in almost the same process as above,
A color filter was created by exposing the entire surface to light without a mask and heating without development to form a flat transparent layer.

次に、本実施例の構成における作用を説明する。Next, the operation of the configuration of this embodiment will be explained.

赤、緑、青の画素はアライメント誤差による白抜けを防
ぐためにブラックマトリックスにかぶせて形成されてお
り、かぶさりの突起高さはレジストのレベリング作用で
小さくなっているが約0゜4μm程度であり、又、顔料
粒子径は0.1〜0゜5μmで画素表面に約0.1μm
程度の顔料が析出している。この上に透明フォトレジス
トを0゜5μmつけると上記の突起は、透明フォトレジ
ストのレベリング作用に助けられて吸収されこの上に通
常0.05〜0.1μmのITO膜をつけても表面が平
滑なので、剥離、断線することはない。
The red, green, and blue pixels are formed by covering the black matrix to prevent white spots due to alignment errors, and the height of the overlapping protrusion is reduced by the leveling effect of the resist, but is approximately 0°4 μm. In addition, the pigment particle diameter is 0.1 to 0.5 μm, and approximately 0.1 μm is distributed on the pixel surface.
A certain amount of pigment is precipitated. When a transparent photoresist with a thickness of 0.5 μm is applied on top of this, the above protrusions are absorbed with the help of the leveling effect of the transparent photoresist, and even if an ITO film of 0.05 to 0.1 μm is applied on top of this, the surface remains smooth. Therefore, there will be no peeling or disconnection.

透明フォトレジスト膜の厚みは、アライメント誤差によ
るかぶり部の保証がなく、顔料粒子に対する保証のみで
あれば、0.1μm程度に薄くすることが可能である。
The thickness of the transparent photoresist film can be reduced to about 0.1 μm if there is no guarantee of fogging due to alignment errors and only guarantees for pigment particles.

また、画素と平坦化に用いた透明フォトレジスト膜は同
一感光性樹脂よりなるので、界面の変性がなく、かつ後
で実施される例えば液晶パネル組立時の加熱に対しても
、熱膨張率が同じであるので界面からの割れおよび剥離
はない。
Furthermore, since the transparent photoresist film used for pixel and planarization is made of the same photosensitive resin, there is no deterioration of the interface, and the coefficient of thermal expansion remains stable even when heated later, for example, when assembling a liquid crystal panel. Since they are the same, there is no cracking or peeling from the interface.

発明の効果 本発明によれば、その製造がきわめて簡単で表面平滑で
、かつ各画素とブラックマトリックスとの重なり1部の
突起の存在による弊害を実質的に無くした信頼性の高い
カラーフィルタを提供できる。
Effects of the Invention According to the present invention, there is provided a highly reliable color filter that is extremely easy to manufacture, has a smooth surface, and substantially eliminates the problem caused by the presence of a protrusion in a portion of the overlap between each pixel and the black matrix. can.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例のカラーフィルタの断面図で
ある。 1・・・・透明基板、2.3.4・・・・画素、5・・
・・ブラックマトリックス、6・・・・透明フォトレジ
スト層。
FIG. 1 is a sectional view of a color filter according to an embodiment of the present invention. 1...Transparent substrate, 2.3.4...Pixel, 5...
...Black matrix, 6...Transparent photoresist layer.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)透明基板上に感光性樹脂と顔料を分散させた光硬
化性着色フォトレジストよりなる赤、緑、青の画素とブ
ラックマトリックスを設け、更に、この上に前記感光性
樹脂のみの光硬化性透明フォトレジストよりなる層を設
けたことを特徴とするカラーフィルタ。
(1) Red, green, and blue pixels and a black matrix made of a photocurable colored photoresist in which a photosensitive resin and a pigment are dispersed are provided on a transparent substrate, and furthermore, only the photosensitive resin is photocured on top of this. A color filter characterized by having a layer made of transparent photoresist.
(2)感光性樹脂は、多官能アクリレートモノマー、有
機重合体結合剤及びトリハロメチル−s−トリアジン系
化合物からなる光重合開始剤を組成とすることを特徴と
する請求項1記載のカラーフィルタ。
(2) The color filter according to claim 1, wherein the photosensitive resin comprises a photopolymerization initiator consisting of a polyfunctional acrylate monomer, an organic polymer binder, and a trihalomethyl-s-triazine compound.
JP63257570A 1988-10-13 1988-10-13 Color filter Pending JPH02191901A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04163552A (en) * 1990-10-29 1992-06-09 Toyo Gosei Kogyo Kk Photosensitive coloring resin composition

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