JP3317354B2 - Manufacturing method of color filter - Google Patents

Manufacturing method of color filter

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JP3317354B2
JP3317354B2 JP8425391A JP8425391A JP3317354B2 JP 3317354 B2 JP3317354 B2 JP 3317354B2 JP 8425391 A JP8425391 A JP 8425391A JP 8425391 A JP8425391 A JP 8425391A JP 3317354 B2 JP3317354 B2 JP 3317354B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はカラーフィルタの製造方
法に係り、特に、例えば液晶ディスプレイ等のフラット
ディスプレイ、CCD等のイメージャー、あるいはカラ
ーセンサ等に用いられるカラーフィルタを高精度で、か
つ効率よく得ることのできるカラーフィルタの製造方法
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a color filter, and more particularly, to a method for manufacturing a color filter used for a flat display such as a liquid crystal display, an imager such as a CCD, or a color sensor with high accuracy and efficiency. The present invention relates to a method of manufacturing a color filter which can be easily obtained.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、カラービデオカメラの撮像管に
は、複数色の微細なストライプが透明基板上に形成され
たカラーフィルタが装着されている。また、液晶ディス
プレイ(LCD)においても、近年のカラー化の要請に
対応するために、アクティブマトリックス方式および単
純マトリックス方式のいずれの方式においてもカラーフ
ィルタが用いられている。例えば、薄膜トランジスタ
(TFT)を用いたアクティブマトリックス方式の液晶
ディスプレイでは、カラーフィルタは赤(R)、緑
(G)、青(B)の3原色が用いられ、R,G,Bのそ
れぞれの画素に対応する電極をオン、オフさせることで
液晶がシャッタとして作動しR,G,Bのそれぞれの画
素を光が透過してカラー表示が行われる。そして、色混
合は2色以上の画素に対応する液晶シャッタを開き混色
して別の色に見せる加色混合の原理により網膜上で視覚
的に行われる。
2. Description of the Related Art For example, a color filter in which fine stripes of a plurality of colors are formed on a transparent substrate is mounted on an image pickup tube of a color video camera. In a liquid crystal display (LCD), a color filter is used in both the active matrix system and the simple matrix system in order to respond to the recent demand for colorization. For example, in an active matrix type liquid crystal display using a thin film transistor (TFT), three primary colors of red (R), green (G), and blue (B) are used as color filters, and each pixel of R, G, and B is used. The liquid crystal operates as a shutter by turning on and off the electrodes corresponding to the above, and light is transmitted through each of the R, G, and B pixels to perform color display. The color mixing is visually performed on the retina by the principle of additive color mixing in which liquid crystal shutters corresponding to pixels of two or more colors are opened and mixed to show different colors.

【0003】上述のようにして用いられるカラーフィル
タは、従来、染色法、顔料分散法、印刷法、電着法等の
手段を用いて製造されていた。ここで、染色法によるカ
ラーフィルタの製造は、ゼラチン、カゼイン、ポリビニ
ルアルコール等の親水性樹脂に重クロム酸塩等の感光剤
を添加した塗布液を、スピンコート塗布法等により透明
ガラス基板上に塗布し、次いで、所定パターンのマスク
を用いて露光・現像を行い、その後、染料により染色し
て第一着色層を形成する。その後、この第一着色層上に
二度染め防止のために防染層を設けてから第二着色層お
よび第三着色層をそれぞれ第一着色層の形成と同様にし
て形成する。これにより、透明ガラス基板上にR,G,
Bの各着色層を備えたカラーフィルタを得ることができ
る。
[0003] The color filters used as described above have conventionally been manufactured by means such as a dyeing method, a pigment dispersion method, a printing method, and an electrodeposition method. Here, the production of a color filter by a dyeing method is performed by coating a coating solution obtained by adding a photosensitive agent such as dichromate to a hydrophilic resin such as gelatin, casein, or polyvinyl alcohol on a transparent glass substrate by a spin coating method or the like. It is applied, then exposed and developed using a mask having a predetermined pattern, and then dyed with a dye to form a first colored layer. Thereafter, an anti-dye layer is provided on the first colored layer to prevent double dyeing, and then a second colored layer and a third colored layer are formed in the same manner as the formation of the first colored layer. As a result, R, G,
A color filter including each of the colored layers B can be obtained.

【0004】また、顔料分散法を用いたカラーフィルタ
の製造は、透明感光性樹脂に有機顔料、無機顔料等の着
色剤を分散した感光液を透明ガラス基板上に塗布して感
光性樹脂層を形成する。次に、この感光性樹脂層上に所
定形状の開口パターンを有するマスクを載置し、露光・
現像を行い第一着色層を形成する。同様にして第二着色
層、第三着色層を形成してR,G,Bの各着色層を備え
たカラーフィルタを得ることができる。
In the production of a color filter using a pigment dispersion method, a photosensitive liquid in which a coloring agent such as an organic pigment or an inorganic pigment is dispersed in a transparent photosensitive resin is applied on a transparent glass substrate to form a photosensitive resin layer. Form. Next, a mask having an opening pattern of a predetermined shape is placed on the photosensitive resin layer,
Develop to form a first colored layer. Similarly, a second color layer and a third color layer are formed to obtain a color filter having R, G, and B color layers.

【0005】また、印刷法を用いたカラーフィルタの製
造は、平版オフセット印刷、凹版オフセット印刷等のオ
フセット方式、スクリーン印刷方式、フレキソ印刷方式
等の印刷工程のみで着色層を形成するものである。さら
に、電着法を用いたカラーフィルタの製造は、基板に予
め酸化インジウムスズ(ITO)膜をフォトリソグラフ
ィーで形成しておき、電着槽中で電気泳動法により所定
の領域に着色層を形成するものである。
In the production of a color filter using a printing method, a colored layer is formed only by a printing process such as an offset method such as lithographic offset printing or intaglio offset printing, a screen printing method or a flexographic printing method. Further, in the production of a color filter using an electrodeposition method, an indium tin oxide (ITO) film is formed on a substrate in advance by photolithography, and a colored layer is formed in a predetermined region by an electrophoresis method in an electrodeposition tank. Is what you do.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、染色法
においては、色調が豊富で解像性に優れるカラーフィル
タが得られる反面、染色の際に既に着色された部分が二
度染めされないように防染対策を施す必要がある等の点
から工程が煩雑であり製造コストが高くなるという問題
があった。また、被染体に水溶性高分子材料を用いてい
るため耐熱性、耐薬品性、耐光性等が劣るという問題も
あった。
However, in the dyeing method, a color filter having a rich color tone and excellent resolution is obtained, but on the other hand, the dyeing is carried out so that the already colored portion is not dyed twice during the dyeing. There is a problem in that the steps are complicated and the manufacturing cost is increased because it is necessary to take measures. In addition, there is a problem that heat resistance, chemical resistance, light resistance and the like are inferior because a water-soluble polymer material is used for the object to be dyed.

【0007】また、顔料分散法においては、微細なパタ
ーンを形成することが可能である反面、色変えの度にフ
ォトリソグラフィー工程の処理を行う必要があり工程が
煩雑であるとともに、15インチ以上の大型パネルを製
造する場合の設備費がかかり、製造コスト低減が困難で
あるという問題があった。また、印刷法は、低コスト化
と量産化を同時に可能にするとともに、大画面化も可能
なカラーフィルタの製造方法であるが、寸法精度は±1
0μm程度と低く、またピンホール、色ムラが発生し易
くパターン品質が不充分であるという問題があった。
In the pigment dispersion method, it is possible to form a fine pattern, but on the other hand, it is necessary to perform a photolithography process every time the color is changed. There is a problem that equipment cost is required for manufacturing a large panel, and it is difficult to reduce the manufacturing cost. In addition, the printing method is a method of manufacturing a color filter capable of simultaneously realizing low cost and mass production and capable of increasing the screen size.
There is a problem that the pattern quality is insufficient because it is as low as about 0 μm, and pinholes and color unevenness easily occur.

【0008】さらに、電着法は、寸法精度、パターン品
質とも顔料分散法と同レベルにあり、工程数も減少する
が、高価なCrパターンブラックマトリックス形成工程
およびITOパターン形成工程を含み、製造コストが高
くなるという問題があった。また、15インチ以上の大
型パネルを製造する場合、設備費の増大という問題もあ
った。
Further, the electrodeposition method has the same level of dimensional accuracy and pattern quality as the pigment dispersion method, and the number of steps is reduced. However, the electrodeposition method includes an expensive Cr pattern black matrix forming step and an ITO pattern forming step. There was a problem that becomes high. In addition, when manufacturing a large panel of 15 inches or more, there is also a problem that the equipment cost increases.

【0009】本発明は上述のような事情に鑑みてなされ
たものであり、液晶ディスプレイ等のフラットディスプ
レイ、CCD等のイメージャー、あるいはカラーセンサ
等に用いられるカラーフィルタを高精度で、かつ効率よ
く得ることのできるカラーフィルタの製造方法を提供す
ることを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and is intended to efficiently and efficiently use a color filter used in a flat display such as a liquid crystal display, an imager such as a CCD, or a color sensor. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a color filter that can be obtained.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は複数色の着色パターンからなる着色
層を備えるカラーフィルタの製造方法において、まず、
母型と電離放射線硬化樹脂との剥離性を向上させるため
の剥離性処理を行い、次いで、底部に対して開口部の面
積が広い所定の着色パターン用の溝部が形成された母型
の該溝部に着色顔料を含有する粘度が500cps以下
電離放射線硬化樹脂を充填し、その後、透明基板と前
記溝部内の電離放射線硬化樹脂とを密着させ、前記透明
基板側および前記母型側の少なくとも一方から電離放射
線として電子線を照射して前記溝部内の電離放射線硬化
樹脂を硬化させるとともに前記透明基板に接着させて前
記透明基板上に着色パターンを形成する工程、を必要色
数分繰り返して前記透明基板上に着色層を形成するよう
な構成とした。
In order to achieve the above object, the present invention provides a method for manufacturing a color filter having a colored layer comprising a plurality of colored patterns.
The groove portion of the matrix in which a release process for improving the releasability between the matrix and the ionizing radiation-curable resin is performed, and then a groove portion for a predetermined coloring pattern in which the area of the opening is large with respect to the bottom portion is formed. Contains a color pigment and has a viscosity of 500 cps or less
Filling the ionizing radiation-curable resin, thereafter, the transparent substrate and the ionizing radiation-curable resin in the groove portion are brought into close contact with each other, and irradiating an electron beam as ionizing radiation from at least one of the transparent substrate side and the matrix side. A step of curing the ionizing radiation-curable resin in the groove and adhering to the transparent substrate to form a colored pattern on the transparent substrate, repeating the required number of colors to form a colored layer on the transparent substrate. And

【0011】[0011]

【作用】着色顔料を含有する電離放射線硬化樹脂は、母
型に形成された所定の着色パターン用の溝部に充填され
透明基板と密着された状態で透明基板側および母型側の
少なくとも一方から電離放射線が照射されて硬化される
と同時に透明基板に接着して着色パターンを形成し、こ
れを繰り返すことにより必要とする複数色の着色パター
ンからなる着色層を備えるカラーフィルタが得られる。
これにより、耐熱性、耐光性等を有しパターン寸法精度
が良好なカラーフィルタの製造が可能になるとともに、
カラーフィルタの工程の簡略化がなされて製造コストの
低減が可能である。
The ionizing radiation-curable resin containing the coloring pigment is charged in at least one of the transparent substrate side and the matrix side in a state of being filled in a predetermined coloring pattern groove formed in the matrix and in close contact with the transparent substrate. At the same time as being irradiated and cured, it is adhered to a transparent substrate to form a colored pattern, and by repeating this, a color filter having a colored layer composed of a plurality of required colored patterns is obtained.
This makes it possible to manufacture a color filter having heat resistance, light resistance, etc. and good pattern dimensional accuracy,
The process of the color filter can be simplified, and the manufacturing cost can be reduced.

【0012】[0012]

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図1は、本発明により製造されたカラーフ
ィルタを用いたアクティブマトリックス方式による液晶
ディスプレイ(LCD)の一例を示す斜視図であり、図
2は同じく概略断面図である。図1および図2におい
て、LCD1はカラーフィルタ10と透明ガラス基板2
0とをシール材30を介して対向させ、その間に捩れネ
マティック(TN)液晶からなる厚さ約5〜10μm程
度の液晶層40を形成し、さらに、カラーフィルタ10
と透明ガラス基板20の外側に偏光板50,51が配設
されて構成されている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing an example of an active matrix type liquid crystal display (LCD) using a color filter manufactured according to the present invention, and FIG. 2 is a schematic sectional view of the same. 1 and 2, an LCD 1 includes a color filter 10 and a transparent glass substrate 2.
And a liquid crystal layer 40 formed of a twisted nematic (TN) liquid crystal and having a thickness of about 5 to 10 [mu] m.
The polarizing plates 50 and 51 are disposed outside the transparent glass substrate 20.

【0013】図3はカラーフィルタ10の拡大部分断面
図であり、カラーフィルタ10は透明基板12と、この
透明基板12上に形成された着色層14およびブラック
マトリックス16と、この着色層14およびブラックマ
トリックス16とを覆うように設けられた保護層18と
透明共通電極19とを備えている。このカラーフィルタ
10は透明共通電極19が液晶層40側に位置するよう
に配設されている。そして、着色層14は赤色パターン
14R、緑色パターン14G、青色パターン14Bから
なり、各着色パターンの配列は図1に示されるようにモ
ザイク配列となっている。尚、着色パターンの配列はこ
れに限定されるものではなく、三角配列、ストライプ配
列等としてもよい。
FIG. 3 is an enlarged partial sectional view of the color filter 10. The color filter 10 includes a transparent substrate 12, a colored layer 14 and a black matrix 16 formed on the transparent substrate 12, a colored layer 14 and a black matrix 16. It has a protective layer 18 and a transparent common electrode 19 provided so as to cover the matrix 16. The color filter 10 is disposed such that the transparent common electrode 19 is located on the liquid crystal layer 40 side. The coloring layer 14 is composed of a red pattern 14R, a green pattern 14G, and a blue pattern 14B, and the arrangement of the coloring patterns is a mosaic arrangement as shown in FIG. Note that the arrangement of the colored patterns is not limited to this, and may be a triangular arrangement, a stripe arrangement, or the like.

【0014】また、透明ガラス基板20上には表示電極
22が各着色パターン16R、16G、16Bに対応す
るように設けられ、各表示電極22は薄膜トランジスタ
(TFT)24を有している。また、各表示電極22間
にはブラックマトリックス13に対応するように走査線
(ゲート電極母線)26aとデータ線26bが配設され
ている。
Further, display electrodes 22 are provided on the transparent glass substrate 20 so as to correspond to the respective colored patterns 16R, 16G, 16B. Each display electrode 22 has a thin film transistor (TFT) 24. A scanning line (gate electrode bus) 26a and a data line 26b are provided between the display electrodes 22 so as to correspond to the black matrix 13.

【0015】このようなLCD1では、各着色パターン
14R、14G、14Bが画素を構成し、偏光板51側
から照明光を照射した状態で各画素に対応する表示電極
をオン、オフさせることで液晶層40がシャッタとして
作動し、着色パターン14R、14G、14Bのそれぞ
れの画素を光が透過してカラー表示が行われる。ここ
で、本発明によるカラーフィルタ製造の一例を図4を参
照して説明する。先ず、母型4Rの赤色パターン用の溝
部6Rが形成された面に、赤色顔料を含有する電離放射
線硬化樹脂を滴下し、ドクターにて余分な電離放射線硬
化樹脂を除去して溝部6Rにのみ電離放射線硬化樹脂8
Rを充填する(図4(A))。次に、透明基板12を母
型4R上に重ねて溝部6Rに充填されている電離放射線
硬化樹脂8Rと密着させ、この状態で透明基板12側か
ら電離放射線を照射する(図4(B))。これにより、
電離放射線硬化樹脂8Rは硬化するとともに、透明基板
12に接着され、母型4Rと透明基板12とを分離する
ことにより赤色パターン14Rが形成された透明基板1
2が得られる(図4(C))。次に、緑色パターン用の
溝部6Gが形成された母型4Gに、緑色顔料を含有する
電離放射線硬化樹脂を滴下し、ドクターにて余分な電離
放射線硬化樹脂を除去して溝部6Gにのみ電離放射線硬
化樹脂8Gを充填する(図4(D))。そして、溝部6
Gに充填された電離放射線硬化樹脂8Gが透明基板12
上の赤色パターン14Rが形成されていない所定領域と
密着するように透明基板12と母型4Gとを重ね、透明
基板12側から電離放射線を照射した後、母型4Gと透
明基板12とを分離することにより緑色パターン14G
が形成された透明基板12が得られる(図4(E))。
同様に、青色パターン用の溝部が形成された母型を用
い、この溝部に充填された青色顔料を含有する電離放射
線硬化樹脂と透明基板12上の赤色パターン14Rおよ
び緑色パターン14Gが形成されていない所定領域とを
密着するように透明基板12と母型とを重ねる。そし
て、透明基板12側から電離放射線を照射した後、母型
と透明基板12とを分離することにより青色パターン1
4Bが形成された透明基板12が得られる(図4
(F))。このようにして、透明基板12上には赤色パ
ターン14R、緑色パターン14Gおよび青色パターン
14Bからなる着色層14が形成される。この着色層1
4の各着色パターン間には所定の間隙が残されており、
次に、この間隙部分にブラックマトリックスが形成され
る。すなわち、ブラックマトリックス用の溝部が形成さ
れた母型を用い、光非透過性物質を含有する電離放射線
硬化樹脂をこの溝部に充填し、次に、溝部に充填された
電離放射線硬化樹脂が透明基板12上の各着色パターン
が形成されていない所定領域と密着するように透明基板
12と母型とを重ねる。そして、透明基板12側から電
離放射線を照射した後、母型と透明基板12とを分離す
ることにより透明基板12上にブラックマトリックス1
6が形成される(図4(G))。
In such an LCD 1, each of the colored patterns 14R, 14G, and 14B constitutes a pixel, and a display electrode corresponding to each pixel is turned on and off in a state where illumination light is emitted from the polarizing plate 51 side. The layer 40 operates as a shutter, and light is transmitted through each pixel of the coloring patterns 14R, 14G, and 14B to perform color display. Here, an example of manufacturing a color filter according to the present invention will be described with reference to FIG. First, an ionizing radiation-curable resin containing a red pigment is dropped on the surface of the matrix 4R on which the red pattern groove 6R is formed, and an excess ionizing radiation-curable resin is removed by a doctor to ionize only the groove 6R. Radiation curable resin 8
R is filled (FIG. 4A). Next, the transparent substrate 12 is overlaid on the matrix 4R and brought into close contact with the ionizing radiation curing resin 8R filled in the groove 6R, and in this state, ionizing radiation is irradiated from the transparent substrate 12 side (FIG. 4B). . This allows
The ionizing radiation curable resin 8R is cured and adhered to the transparent substrate 12, and the transparent substrate 1 on which the red pattern 14R is formed by separating the matrix 4R and the transparent substrate 12 from each other.
2 is obtained (FIG. 4C). Next, an ionizing radiation-curable resin containing a green pigment is dropped onto the matrix 4G in which the groove 6G for the green pattern is formed, and the excess ionizing radiation-curable resin is removed by a doctor, and ionizing radiation is applied only to the groove 6G. The cured resin 8G is filled (FIG. 4D). And the groove 6
The ionizing radiation-curable resin 8G filled in the G
The transparent substrate 12 and the matrix 4G are overlapped with each other so as to be in close contact with a predetermined region where the upper red pattern 14R is not formed, and after irradiating ionizing radiation from the transparent substrate 12 side, the matrix 4G and the transparent substrate 12 are separated. Green pattern 14G
Is obtained (FIG. 4E).
Similarly, using a matrix in which a groove for a blue pattern is formed, an ionizing radiation curable resin containing a blue pigment filled in the groove and the red pattern 14R and the green pattern 14G on the transparent substrate 12 are not formed. The transparent substrate 12 and the matrix are overlapped so that the predetermined region is in close contact with the matrix. Then, after irradiating ionizing radiation from the transparent substrate 12 side, the blue pattern 1 is separated by separating the matrix and the transparent substrate 12.
4B is obtained on which the transparent substrate 12 is formed.
(F)). Thus, the colored layer 14 including the red pattern 14R, the green pattern 14G, and the blue pattern 14B is formed on the transparent substrate 12. This colored layer 1
A predetermined gap is left between each colored pattern of No. 4,
Next, a black matrix is formed in the gap. That is, using a matrix in which a groove for a black matrix is formed, filling the groove with an ionizing radiation-curable resin containing a light-impermeable material, and then filling the groove with the ionizing radiation-cured resin filled in the transparent substrate The transparent substrate 12 and the matrix are overlapped with each other so as to be in close contact with a predetermined region on each of the substrates 12 where the respective colored patterns are not formed. After irradiating the transparent matrix 12 with ionizing radiation from the transparent substrate 12 side, the matrix and the transparent substrate 12 are separated to form a black matrix 1 on the transparent substrate 12.
6 is formed (FIG. 4G).

【0016】上述の例では着色層14の各着色パターン
間に残された間隙部分にブラックマトリックス16が形
成されるが、間隙を残すことなく着色層14を形成し、
ブラックマトリックス16を各着色パターンの境界上に
形成するようにしてもよい。また、ブラックマトリック
ス形成工程を削除することにより、ブラックマトリック
スのないカラーフィルタを製造することができる。
In the above-described example, the black matrix 16 is formed in the gaps left between the respective color patterns of the color layers 14, but the color layers 14 are formed without leaving any gaps.
The black matrix 16 may be formed on the boundary between the colored patterns. Further, by eliminating the black matrix forming step, a color filter without a black matrix can be manufactured.

【0017】また、母型の溝部への電離放射線硬化樹脂
の充填は、上述のようにドクターにより余分の電離放射
線硬化樹脂を除去する1回の操作で行ってもよく、ま
た、このようにして一度充填を行った後、電離放射線を
照射して硬化させ、その後、再度充填操作を行って溝部
への充填率を向上させてもよい。本発明にて使用するこ
とのできる母型の大きさ、溝部形状は、目的とするカラ
ーフィルタに対応して適宜決定される。例えばスーパー
ツイストネマティック(STN)単純マトリックス方式
用のカラーフィルタに対応する場合、着色パターン用母
型は幅110μm、深さ3μm、長さ200mm程度の
溝が390μmピッチで480本並んだものとすること
ができる。また、ブラックマトリックス用母型は幅20
μm、深さ3μm、長さ200mm程度の溝が130μ
mピッチで1441本並んだものとすることができる。
そして、着色パターン用母型を用いて図4に示されるよ
うに透明基板上に幅110μmの赤色パターン14R、
緑色パターン14Gおよび青色パターン14B(計14
40本)を20μm間隔で順に形成し、ブラックマトリ
ックス用母型を用いて各着色パターン間にブラックマト
リックスを形成することができる。
The filling of the groove of the matrix with the ionizing radiation-curable resin may be performed by a single operation of removing excess ionizing radiation-curable resin by the doctor as described above. After filling once, ionizing radiation may be applied to cure the resin, and then the filling operation may be performed again to improve the filling rate of the groove. The size of the matrix and the shape of the groove that can be used in the present invention are appropriately determined according to the target color filter. For example, in the case of a color filter for a super twist nematic (STN) simple matrix system, the coloring pattern matrix should have 480 grooves with a width of 110 μm, a depth of 3 μm, and a length of about 200 mm arranged at a pitch of 390 μm. Can be. The matrix for black matrix has a width of 20
μm, depth 3μm, length of about 200mm groove 130μ
1441 lines can be arranged at m pitches.
Then, as shown in FIG. 4, a red pattern 14R having a width of 110 μm was formed on the transparent substrate using the coloring pattern master.
Green pattern 14G and blue pattern 14B (total 14
40) are sequentially formed at intervals of 20 μm, and a black matrix can be formed between the respective colored patterns using a black matrix matrix.

【0018】また、母型の溝部の断面形状は、図5
(A)に示されるように底部に対して側面が垂直である
ような矩形状、図5(B)に示されるように底部に対し
て側面がテーパーθを有する形状、図5(C)に示され
るように側面が階段状であるもの等とすることができ
る。特に、溝部の断面形状を図5(B),(C)に示さ
れる断面形状とすることにより、母型と電離放射線硬化
樹脂との剥離性が向上する。この場合、テーパーθは9
0°〜10°、好ましくは60°〜40°程度である。
また、溝部の底部の平面性および溝部の深さの精度は、
それぞれ±10μm以内であることが好ましい。母型の
材料は、寸法安定性、低熱膨張率、耐面内変形性に優
れ、電離放射線に対する耐性および電離放射線硬化樹脂
に対する耐性を有するとともに、余分な電離放射線硬化
樹脂をドクター等により除去する際の耐摩耗性を有する
ことが要求される。このような材料としては、無アルカ
リガラス、アルカリガラス、表面研磨ガラス、低熱膨張
ガラス等のガラス、セラミックス;アルミニウム、クロ
ム、銅、ニッケル等の金属あるいは金属化合物;塩化ビ
ニル酢酸ビニル共重合体、ポリエステル系樹脂、ポリオ
レフィン系樹脂、ポリウレタン系樹脂、エポキシ系樹
脂、アクリル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、シリコーン
系樹脂、フッ素系樹脂等の樹脂あるいはフィラー含有樹
脂等;あるいは上記の複合体等を用いることができる。
また、母型と電離放射線硬化樹脂との剥離性を向上させ
るための剥離性処理としては、シリコーンオイル散布、
金属表面のクロマイト処理等の表面処理、樹脂中への離
型成分の導入、離型剤の添加等を挙げることができる
The sectional shape of the groove of the matrix is shown in FIG.
FIG. 5 (A) shows a rectangular shape having a side surface perpendicular to the bottom, FIG. 5 (B) shows a shape having a side surface tapered θ as shown in FIG. 5 (B), and FIG. As shown, the sides may be stepped. In particular, by setting the cross-sectional shape of the groove to the cross-sectional shape shown in FIGS. 5B and 5C, the releasability between the matrix and the ionizing radiation-curable resin is improved. In this case, the taper θ is 9
It is about 0 ° to 10 °, preferably about 60 ° to 40 °.
In addition, the flatness of the bottom of the groove and the accuracy of the depth of the groove are:
It is preferable that each is within ± 10 μm. The material of the matrix has excellent dimensional stability, low coefficient of thermal expansion, and in-plane deformation resistance, and has resistance to ionizing radiation and ionizing radiation-curable resin. Is required to have abrasion resistance. Examples of such materials include glasses such as non-alkali glass, alkali glass, surface-polished glass, and low thermal expansion glass, ceramics; metals or metal compounds such as aluminum, chromium, copper, and nickel; vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, polyester Resin, polyolefin resin, polyurethane resin, epoxy resin, acrylic resin, polystyrene resin, silicone resin, resin such as fluorine resin, or filler-containing resin; or the above-mentioned composite, etc. .
In addition, as a release treatment for improving the release property between the matrix and the ionizing radiation-curable resin, silicone oil spraying,
Surface treatment such as chromite treatment of the metal surface, introduction of a release component into a resin, addition of a release agent and the like can be mentioned .

【0019】上述のような材料を用いた母型形成は、機
械切削、ウエットエッチング、ドライエッチング、放射
線加工(レーザー、電子ビーム等)、薄膜形成、メッキ
等の一般的加工方法に従って行うことができる。また、
母型は図6(A)に示されるように溝部6を画定する凸
部4aと基部4bとが同一材料で一体的に形成されたも
の、あるいは図6(B)に示されるように溝部6を画定
する凸部4aと基部4bとを別の材料で形成されたもの
であってよい。さらに、図6(C)に示されるように溝
部6を画定する凸部4aと基部4bとを同一材料で一体
的に形成し、凸部4a上に金属層4cを形成して耐磨耗
性を向上したもの、図6(D)に示されるように溝部6
を画定する凸部4aと基部4bとを別の材料で形成し、
凸部4a上に金属層4cを形成して耐磨耗性を向上した
もの等とすることができる。
The matrix using the above-mentioned materials can be formed by a general processing method such as mechanical cutting, wet etching, dry etching, radiation processing (laser, electron beam, etc.), thin film formation, plating and the like. . Also,
The matrix has a convex portion 4a and a base portion 4b which define the groove portion 6 integrally formed of the same material as shown in FIG. 6 (A), or the groove portion 6 as shown in FIG. 6 (B). May be formed of different materials for the projection 4a and the base 4b. Further, as shown in FIG. 6 (C), the projection 4a and the base 4b defining the groove 6 are integrally formed of the same material, and the metal layer 4c is formed on the projection 4a to thereby provide wear resistance. The groove 6 as shown in FIG.
Are formed of different materials, and the convex portion 4a and the base portion 4b that define
The metal layer 4c may be formed on the protrusion 4a to improve the wear resistance.

【0020】また、母型は上述のような平板形状である
ことに限定されるものではなく、ロール形状であっても
よい。すなわち、図7に示されるようにシリンダー状の
母型材料62の周面に溝部64を形成した母型60とす
ることができる。この場合、母型60の溝部64に電離
放射線硬化樹脂68を充填し、透明基板12を母型60
の下方を通過させて電離放射線硬化樹脂68と接着させ
るとともに、透明基板12側から電離放射線を照射して
電離放射線硬化樹脂68を硬化して透明基板12に接着
させて着色パターンを形成することができる。また、柔
軟性を有する母型材料を用いて形成した平板形状の母型
を、シリンダーに巻き付けてロール形状の母型としたも
の等を使用することができる。
Further, the matrix is not limited to the flat plate shape as described above, but may be a roll shape. That is, as shown in FIG. 7, a matrix 60 in which grooves 64 are formed on the peripheral surface of a cylindrical matrix material 62 can be obtained. In this case, the groove 64 of the matrix 60 is filled with the ionizing radiation curing resin 68, and the transparent substrate 12 is
To form a colored pattern by adhering to the ionizing radiation-curable resin 68 and adhering ionizing radiation from the transparent substrate 12 side to cure the ionizing radiation-curable resin 68 and adhering to the transparent substrate 12. it can. Further, a plate-shaped matrix formed using a flexible matrix material may be wound around a cylinder to form a roll-shaped matrix.

【0021】カラーフィルタ10の透明基板12として
は、石英ガラス、パイレックスガラス、合成石英板等の
柔軟性のないリジット材、あるいは透明樹脂フィルム、
光学用樹脂板等の柔軟性を有するフレキシブル材等を用
いることができる。このなかで、特にコーニング社製7
059ガラスは、熱膨脹率の小さい素材であり寸法安定
性および高温加熱処理における作業性に優れ、また、ガ
ラス中にアルカリ成分を含まない無アルカリガラスであ
るため、アクティブマトリックス方式によるLCD用の
カラーフィルタに適している。
The transparent substrate 12 of the color filter 10 may be a rigid material such as quartz glass, Pyrex glass, or synthetic quartz plate, or a transparent resin film.
A flexible material having flexibility, such as an optical resin plate, can be used. Among them, especially Corning 7
059 glass is a material having a low coefficient of thermal expansion, excellent in dimensional stability and workability in high-temperature heat treatment, and is an alkali-free glass containing no alkali component in the glass. Suitable for.

【0022】そして、本発明では上記の母型および透明
基板の少なくとも一方は柔軟性を有することが好まし
い。このように、柔軟性を有する母型および/または透
明基板を使用することにより、母型の溝部に充填されて
いる電離放射線硬化樹脂と透明基板との密着性を向上さ
せることができる。また、母型側から電離放射線を照射
する場合は、母型の材料を透明なものとする必要があ
る。
In the present invention, it is preferable that at least one of the matrix and the transparent substrate has flexibility. As described above, by using the flexible matrix and / or the transparent substrate, the adhesion between the ionizing radiation-curable resin filled in the groove of the matrix and the transparent substrate can be improved. Further, when ionizing radiation is applied from the matrix side, the material of the matrix must be transparent.

【0023】電離放射線硬化樹脂は公知のものを用いる
ことができ、例えば、エポキシアクリレート、ウレタン
アクリレート、ポリエステルアクリレート、ポリエーテ
ルアクリレート、シリコンアクリレート、メラミンアク
リレート、不飽和ポリエステル、ポリエン/チオール等
の光重合性オリゴマー、単官能アクリレート、多官能ア
クリレート等の光重合性モノマー、ベンゾイン系、アセ
トフェノン系、チオキサントン系、パーオキシド系等の
光重合開始剤、アミン系、キノン系等の光重合開始助剤
等からなるものを用いることができる。また、電離放射
線硬化樹脂には充填材、接着付与剤、可塑剤、非反応性
ポリマー、およびユリア樹脂、アミド樹脂、フェノール
/ホルマリン樹脂等の樹脂を添加してもよい。特に、こ
のような電離放射線硬化樹脂は後述するような着色顔料
を含有するため、照射された電離放射線が深く浸透する
ようにアセトフェノン構造の光重合開始剤に比べて感応
波長が長いチオキサントン構造の光重合開始剤を用いる
ことが好ましい。また、アリレートと混合した場合に、
長波長増感硬化のあるα−アミノアセトフェノン等の光
重合開始剤の使用が好ましい。また、電離放射線硬化樹
脂は電離放射線照射により硬化した際の収縮率が小さい
ものが好ましい。
Known ionizing radiation-curable resins can be used, for example, photopolymerizable resins such as epoxy acrylate, urethane acrylate, polyester acrylate, polyether acrylate, silicon acrylate, melamine acrylate, unsaturated polyester, and polyene / thiol. Oligomers, monofunctional acrylates, polyfunctional acrylates and other photopolymerizable monomers, benzoin-based, acetophenone-based, thioxanthone-based, peroxide-based photopolymerization initiators, amine-based, quinone-based photopolymerization initiators, etc. Can be used. Further, a filler, an adhesion-imparting agent, a plasticizer, a non-reactive polymer, and a resin such as a urea resin, an amide resin, and a phenol / formalin resin may be added to the ionizing radiation-curable resin. In particular, since such an ionizing radiation-curable resin contains a color pigment as described below, the photosensitive wavelength of the thioxanthone structure is longer than the photopolymerization initiator of the acetophenone structure so that the irradiated ionizing radiation penetrates deeply. It is preferable to use a polymerization initiator. Also, when mixed with Alilate,
It is preferable to use a photopolymerization initiator such as α-aminoacetophenone having long wavelength sensitization curing. Further, the ionizing radiation-curable resin preferably has a small shrinkage when cured by irradiation with ionizing radiation.

【0024】このような電離放射線硬化樹脂に含有され
る着色顔料は、有機顔料、無機顔料いずれでもよく、要
求される分光特性に応じて種々選定することができる。
有機顔料としては、アゾレーキ顔料、不溶性アゾ顔料、
縮合アゾ顔料、銅フタロシアニン顔料、無金属フタロシ
アニン顔料、アントラキノン系顔料、ペリレン、ペノリ
ン、ジオキサジン等の縮合多環顔料、および酸性または
塩基性染料のレーキ、あるいはこれらの混合物等を用い
ることができる。また、無機顔料としては、チタン白等
の白色顔料、炭酸カルシウム等の体質顔料、カーボンブ
ラック等の黒色顔料、カドミウムレッド等の赤色顔料、
チタンイエロー等の黄色顔料、チタンコベルトグリーン
等の緑色顔料、コバルトブルー等の青色顔料、マンガン
バイオレット等の紫色顔料等を用いることができる。特
に、変色温度が150℃以上、好ましくは250℃以上
であるような耐熱性の高い顔料が好ましい。また、ブラ
ックマトリックス用の光不透過物質としては、カーボン
ブラック、グラファイト、黒色酸化鉄、鉄黒、銅酸化
物、マンガン酸化物などの金属酸化物等を用いることが
できる。このような顔料の平均粒子径は数μm以下が好
ましく、特に5μm以上の粒子を含まない顔料が好まし
い。
The coloring pigment contained in such an ionizing radiation-curable resin may be either an organic pigment or an inorganic pigment, and can be variously selected according to the required spectral characteristics.
As organic pigments, azo lake pigments, insoluble azo pigments,
Condensed azo pigments, copper phthalocyanine pigments, metal-free phthalocyanine pigments, anthraquinone pigments, condensed polycyclic pigments such as perylene, penoline, dioxazine, and lakes of acidic or basic dyes, and mixtures thereof can be used. As the inorganic pigment, white pigments such as titanium white, extender pigments such as calcium carbonate, black pigments such as carbon black, red pigments such as cadmium red,
Yellow pigments such as titanium yellow, green pigments such as titanium covert green, blue pigments such as cobalt blue, and purple pigments such as manganese violet can be used. In particular, a pigment having a high heat resistance such that the discoloration temperature is 150 ° C. or higher, preferably 250 ° C. or higher is preferable. Further, as the light-impermeable material for the black matrix, metal oxides such as carbon black, graphite, black iron oxide, iron black, copper oxide, and manganese oxide can be used. The average particle diameter of such a pigment is preferably several μm or less, and particularly preferably a pigment containing no particles of 5 μm or more.

【0025】上記の顔料に対して表面処理を行うことに
より耐熱性等を向上させることができる。表面処理とし
ては、ロジン変性処理、アミン・カチオン活性剤処理、
脂肪酸・アニオン活性剤処理、ノニオン活性剤処理、ポ
リマー樹脂処理、顔料誘導体による処理、部分酸化等の
トポケミカルな方法による処理、溶剤処理等、あるいは
これらの併用が可能である。また、耐熱性を向上させる
ために、顔料結晶にわずかに異なった構造の誘導体を組
み込むことも好適であり、例えば銅フタロシアニン顔料
に部分塩素化銅フタロシアニンやフタルイミドメチル銅
フタロシアニン等を少量併用することで変色温度の上昇
がみられる。さらに、顔料成分にカルバモイル基(−C
ONH2 )、カルボキシル基(−COOH)を導入する
ことによっても変色温度の上昇がみられる。
By subjecting the pigment to a surface treatment, heat resistance and the like can be improved. As the surface treatment, rosin modification treatment, amine / cationic activator treatment,
Fatty acid / anion activator treatment, nonionic activator treatment, polymer resin treatment, treatment with a pigment derivative, treatment by a topochemical method such as partial oxidation, solvent treatment, etc., or a combination thereof can be used. Further, in order to improve heat resistance, it is also preferable to incorporate a derivative having a slightly different structure into the pigment crystal, for example, by using a small amount of partially chlorinated copper phthalocyanine or phthalimidomethyl copper phthalocyanine in the copper phthalocyanine pigment. The discoloration temperature rises. Further, a carbamoyl group (-C
ONH 2 ) and the introduction of a carboxyl group (—COOH) also increase the discoloration temperature.

【0026】尚、無機顔料は有機顔料に比べて紫外線を
透過し難いため、無機顔料を使用する場合は光重合開始
剤の含有率を5〜20重量%に高めるか、あるいは顔料
の表面処理を行う必要がある。但し、電離放射線として
電子線を用いる場合は、このような対応をとる必要はな
い。着色顔料を含有した電離放射線硬化樹脂の粘度は、
10000cps以下が好ましく、特に、表面平坦性お
よび気泡混入防止に点から500cps以下が好まし
い。
Since inorganic pigments are more difficult to transmit ultraviolet light than organic pigments, when using inorganic pigments, the content of the photopolymerization initiator is increased to 5 to 20% by weight, or the surface treatment of the pigments is carried out. There is a need to do. However, when an electron beam is used as ionizing radiation, it is not necessary to take such a measure. The viscosity of the ionizing radiation-curable resin containing the coloring pigment is
It is preferably 10,000 cps or less, and particularly preferably 500 cps or less from the viewpoint of surface flatness and prevention of air bubble mixing.

【0027】電離放射線の照射源としては、低圧水銀ラ
ンプ、高圧水銀ランプ、超高圧水銀ランプ、メタルハラ
イドランプ、パルスキセノンランプ、無電極放電ランプ
等の紫外線照射装置を用いることができ、照射量は10
〜500W/cm程度が好ましい。また、コールドミラ
ーを用いて赤外光を取り除き、被照射物の昇温を防止す
るようにしてもよい。尚、平板状の母型を用いる場合、
透明基板と母型とで電離放射線硬化樹脂を挟んだ際に電
離放射線硬化樹脂のうち酸素に触れる部分の硬化不良が
発生し易いため、窒素雰囲気中で硬化を行うことが好ま
しい。また、電離放射線の照射源として線状フィラメン
ト型、走査型等の電子線発生装置を用いることもでき
る。この場合、照射エネルギーは100〜500kVで
1〜10Mrad程度が好ましい。
As the irradiation source of ionizing radiation, an ultraviolet irradiation device such as a low-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp, a metal halide lamp, a pulse xenon lamp, and an electrodeless discharge lamp can be used.
About 500 W / cm is preferable. Alternatively, infrared light may be removed using a cold mirror to prevent the temperature of the irradiation target from rising. When using a flat matrix,
When the ionizing radiation-curable resin is sandwiched between the transparent substrate and the matrix, curing failure is likely to occur in a portion of the ionizing radiation-curable resin that is exposed to oxygen. Therefore, it is preferable to perform the curing in a nitrogen atmosphere. In addition, an electron beam generator of a linear filament type, a scanning type, or the like can be used as an ionizing radiation irradiation source. In this case, the irradiation energy is preferably about 100 to 500 kV and about 1 to 10 Mrad.

【0028】カラーフィルタ10の着色層16を覆うよ
うに設けられる保護層18は、カラーフィルタ10の表
面平滑化、信頼性の向上、および液晶層40への汚染防
止等を目的とするものであり、アクリル系樹脂、エポキ
シ系樹脂、ポリイミド系樹脂等の透明樹脂、あるいは二
酸化ケイ素(SiO2 )等の透明無機化合物等を用いて
形成することができる。保護層の厚さは0.5〜50μ
m程度が好ましい。
The protective layer 18 provided so as to cover the colored layer 16 of the color filter 10 is for the purpose of smoothing the surface of the color filter 10, improving reliability, preventing contamination of the liquid crystal layer 40, and the like. And a transparent resin such as an acrylic resin, an epoxy resin, or a polyimide resin, or a transparent inorganic compound such as silicon dioxide (SiO 2 ). The thickness of the protective layer is 0.5-50μ
m is preferable.

【0029】透明共通電極19としては、酸化インジウ
ムスズ(ITO)膜を用いることができる。ITO膜は
蒸着法、スパッタ法等の公知の方法により形成すること
ができ、厚さは200〜2000Å程度が好ましい。次
に、実験例を示して本発明を更に詳細に説明する。 (実験例1)表面研磨した無アルカリガラス(厚さ2m
m)を4枚準備し、スパッタリング法により各ガラスの
表面に厚さ30000Åのクロム(Cr)膜を形成し、
このCr膜上にフォトレジストを厚さ2μmで塗布し
た。次に、幅110μm、長さ200mmの開口部分が
390μmピッチで480本並んだストライプ状のフォ
トマスク(ネガタイプ)No.1〜3と、幅20μm、
長さ200mmの開口部分が130μmピッチで144
0本並んだストライプ状のフォトマスク(ネガタイプ)
No.4とを準備した。そして、これらのフォトマスク
を用いて上記の各ガラスのCr膜側から露光・現像エッ
チングを行った。これにより、フォトマスクNo.1〜
3を用いたガラスは、それぞれ幅110μm、深さ3μ
m、長さ200mmの溝が390μmピッチで480本
並んだ母型No.1〜3とされ、また、フォトマスクN
o.4を用いたガラスは、幅20μm、深さ3μm、長
さ200mmの溝が130μmピッチで1441本並ん
だブラックマトリックス用の母型No.4とされた。
As the transparent common electrode 19, an indium tin oxide (ITO) film can be used. The ITO film can be formed by a known method such as an evaporation method and a sputtering method, and the thickness is preferably about 200 to 2000 °. Next, the present invention will be described in more detail with reference to experimental examples. (Experimental Example 1) Alkali-free glass whose surface was polished (thickness 2 m)
m) were prepared, and a chromium (Cr) film having a thickness of 30,000 ° was formed on the surface of each glass by a sputtering method.
A photoresist was applied to a thickness of 2 μm on the Cr film. Next, a striped photomask (negative type) No. No. 480 having openings of 110 μm in width and 200 mm in length arranged at a pitch of 390 μm was used. 1-3 and width 20 μm,
The opening part of 200 mm length is 144 at a pitch of 130 μm.
Zero striped photomask (negative type)
No. 4 was prepared. Then, exposure and development etching were performed from the Cr film side of each of the above glasses using these photomasks. Thereby, the photomask No. 1 to
3 is 110 μm in width and 3 μm in depth.
m, a matrix No. having 480 grooves having a length of 200 mm arranged at a pitch of 390 μm. 1 to 3 and the photomask N
o. The glass using No. 4 has a matrix No. 1 for a black matrix in which 1441 grooves having a width of 20 μm, a depth of 3 μm, and a length of 200 mm are arranged at a pitch of 130 μm. It was four.

【0030】次に、下記の青色顔料、緑色顔料、赤色顔
料および紫外線硬化樹脂を準備し、各着色顔料をシラン
カップリング処理した後、紫外線硬化樹脂100重量部
に対して青色顔料は12重量部、緑色顔料は20重量
部、赤色顔料は20重量部を、それぞれ混合分散して青
色、緑色、赤色の各着色紫外線硬化樹脂とした。 (青色顔料) ・リオノールブルーES 東洋インキ製造(株)製 C.I.Pigment Blue15.6 …9重量部 ・リオノゲンバイオレットRL 東洋インキ製造(株)製 C.I.Pigment Violet23 …3重量部 (緑色顔料) ・リオノールグリーン2YS 東洋インキ製造(株)製 C.I.Pigment Green36 …15重量部 ・セイカファーストイエロー2700 大日精化工業(株)製 C.I.Pigment Yellow83 …4重量部 (赤色顔料) ・リオトゲンレッドGD 東洋インキ製造(株)製 C.I.Pigment Red168 …23重量部 ・リオノーゲンレッドRL 東洋インキ製造(株)製 C.I.Pigment Orenge36 …8重量部 (紫外線硬化樹脂) ・オリゴエステルアクリレート (M−7100,東亜合成(株)製) …50重量部 ・ノニルフェノキシポリエチレングリコールアクリレート (M−111,東亜合成(株)製) …20重量部 ・N−ビニル−2−ピロリドン(粘度2cps) …20重量部 ・光重合開始剤 1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン (日本チバガイギー製イルガキュア184) …3重量部 さらに、カーボンブラック5重量部を上記の紫外線硬化
樹脂100重量部に混合分散して、ブラックマトリック
ス用の黒色紫外線硬化樹脂とした。
Next, the following blue pigment, green pigment, red pigment, and ultraviolet curable resin were prepared, and after each of the color pigments was subjected to silane coupling treatment, 12 parts by weight of the blue pigment was added to 100 parts by weight of the ultraviolet curable resin. 20 parts by weight of the green pigment and 20 parts by weight of the red pigment were mixed and dispersed to obtain blue, green, and red colored ultraviolet curable resins. (Blue pigment) ・ Lionol Blue ES Toyo Ink Mfg. Co., Ltd. C.I. I. Pigment Blue 15.6 9 parts by weight Lionion Violet RL Toyo Ink Mfg. Co., Ltd. I. Pigment Violet 23 ... 3 parts by weight (green pigment)-Lionol Green 2YS Toyo Ink Mfg. Co., Ltd. I. Pigment Green 36 ... 15 parts by weight ・ Seika First Yellow 2700 C.I. I. Pigment Yellow 83 ... 4 parts by weight (red pigment) Riotogen Red GD Toyo Ink Mfg. Co., Ltd. I. Pigment Red 168 ... 23 parts by weight-Lionogen Red RL manufactured by Toyo Ink Mfg. Co., Ltd. I. Pigment Orange 36 ... 8 parts by weight (ultraviolet curable resin)-Oligoester acrylate (M-7100, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.) ... 50 parts by weight-Nonylphenoxy polyethylene glycol acrylate (M-111, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.) ... 20 parts by weight N-vinyl-2-pyrrolidone (viscosity 2 cps) 20 parts by weight Photopolymerization initiator 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone (Irgacure 184 manufactured by Nippon Ciba Geigy) 3 parts by weight Further, 5 parts by weight of carbon black is used as described above. Was mixed and dispersed in 100 parts by weight of the ultraviolet curable resin of Example 1 to obtain a black ultraviolet curable resin for a black matrix.

【0031】つぎに、母型No.1の全面に青色紫外線
硬化樹脂を流し、母型No.1上にドクターを摺動させ
ることにより余分な青色紫外線硬化樹脂を除去して母型
No.1の溝部にのみ青色紫外線硬化樹脂を充填した。
同様にして、母型No.2の溝部に緑色紫外線硬化樹脂
を充填し、母型No.3の溝部に赤色紫外線硬化樹脂を
充填し、母型No.4の溝部にブラックマトリックス用
の黒色紫外線硬化樹脂を充填した。そして、表面研磨し
シランカップリング処理した無アルカリガラス(コーニ
ング7059、厚さ1.1mm)を透明基板とし、母型
No.1上に重ねて青色紫外線硬化樹脂と密着させた状
態で透明基板側から紫外線を照射した。照射量は200
mJ/cm2 とした。この紫外線照射により、青色紫外線
硬化樹脂は硬化するとともに透明基板に接着し、その
後、母型No.1から透明基板を剥離したところ透明基
板上に青色パターンが形成されていた。
Next, the master mold No. A blue ultraviolet curable resin was poured over the entire surface of the master mold No. 1. The excess blue ultraviolet curable resin is removed by sliding the doctor on the master mold No. 1. Only one groove portion was filled with a blue ultraviolet curable resin.
Similarly, the master mold No. 2 was filled with a green ultraviolet curable resin. No. 3 was filled with a red ultraviolet curable resin. The groove of No. 4 was filled with a black ultraviolet curing resin for a black matrix. Then, a non-alkali glass (Corning 7059, thickness 1.1 mm), whose surface was polished and subjected to silane coupling treatment, was used as a transparent substrate. Ultraviolet rays were irradiated from the transparent substrate side in a state of being superimposed on 1 and in close contact with the blue ultraviolet curing resin. The irradiation dose is 200
mJ / cm 2 . By this ultraviolet irradiation, the blue ultraviolet curable resin is cured and adheres to the transparent substrate. When the transparent substrate was peeled off from No. 1, a blue pattern was formed on the transparent substrate.

【0032】次に、透明基板の青色パターンが形成され
ていない領域のうち青色パターンから20μm離れた位
置に緑色紫外線硬化樹脂が密着するように透明基板を母
型No.2上に重ね、透明基板側から紫外線を照射する
ことにより透明基板上に緑色パターンを形成した。さら
に、透明基板の青色パターンおよび緑色パターンの形成
領域の挟まれた位置に赤色紫外線硬化樹脂が密着するよ
うに透明基板を母型No.3上に重ね、透明基板側から
紫外線を照射することにより透明基板上に赤色パターン
を形成した。これにより、赤(R)、緑(G)、青
(B)の着色パターンを有する着色層が形成された。
Next, the transparent substrate was placed in a master mold No. so that the green ultraviolet curable resin adhered to a position 20 μm away from the blue pattern in a region where the blue pattern was not formed on the transparent substrate. 2, and a green pattern was formed on the transparent substrate by irradiating ultraviolet rays from the transparent substrate side. Further, the transparent substrate was placed in the master mold No. so that the red ultraviolet curable resin was in close contact with the transparent substrate at a position between the blue pattern and green pattern forming regions. 3 and a red pattern was formed on the transparent substrate by irradiating ultraviolet rays from the transparent substrate side. Thereby, a colored layer having a colored pattern of red (R), green (G), and blue (B) was formed.

【0033】次に、赤(R)、緑(G)、青(B)の各
着色パターンの境界部分(幅20μm)に黒色紫外線硬
化樹脂が密着するように透明基板を母型No.4上に重
ね、透明基板側から紫外線を照射することにより透明基
板上にブラックマトリックスを形成した。次に、このよ
うな着色層を覆うように保護層を形成した。この保護層
は日本合成ゴム社製オプトマーSSを用いてスピンコー
ト法により形成され、厚さは約2μmであった。さら
に、この保護層上にスパッタリング法により厚さ約22
0Åの透明共通電極(ITO膜)を形成してカラーフィ
ルタを得た。
Next, the transparent substrate was placed on the master mold No. 1 such that the black ultraviolet curable resin was in close contact with the boundary (width 20 μm) of each of the red (R), green (G), and blue (B) colored patterns. 4 and a black matrix was formed on the transparent substrate by irradiating ultraviolet rays from the transparent substrate side. Next, a protective layer was formed so as to cover such a colored layer. This protective layer was formed by a spin coating method using Optmer SS manufactured by Japan Synthetic Rubber Co., Ltd., and had a thickness of about 2 μm. Further, a thickness of about 22 nm is formed on the protective layer by a sputtering method.
A 0 ° transparent common electrode (ITO film) was formed to obtain a color filter.

【0034】このようなカラーフィルタの寸法精度は±
2μmであった。 (実験例2)紫外線硬化樹脂の替りに下記の電子線硬化
樹脂を用い、また透明基板として厚さ100μmのポリ
エチレンテルフタレート(PET)樹脂を用い、電子線
照射(照射量10Mrad)により硬化させた他は実験
例1と同様にしてカラーフィルタを得た。
The dimensional accuracy of such a color filter is ±
It was 2 μm. (Experimental Example 2) The following electron beam-curable resin was used instead of the ultraviolet-curable resin, and a 100 μm-thick polyethylene terephthalate (PET) resin was used as a transparent substrate, and cured by electron beam irradiation (irradiation amount: 10 Mrad). Otherwise, a color filter was obtained in the same manner as in Experimental Example 1.

【0035】このようなカラーフィルタの寸法精度は±
5μmであり、またPET樹脂基板の大きな変形はみら
れなかった。 (電子線硬化樹脂) ・ウレタンアクリレート(C−9501 サートマー製) …50重量部 ・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート (M−東亜合成製) …15重量部 ・テトラヒドロフルフリルメタクリレート(粘度2.5cps)…30重量部
The dimensional accuracy of such a color filter is ±
5 μm, and no significant deformation of the PET resin substrate was observed. (Electron beam curable resin) Urethane acrylate (manufactured by C-9501 Sartomer) ... 50 parts by weight Dipentaerythritol hexaacrylate (manufactured by M-Toa Gosei) ... 15 parts by weight Tetrahydrofurfuryl methacrylate (viscosity 2.5 cps) ... 30 Parts by weight

【0036】[0036]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば着
色顔料を含有する電離放射線硬化樹脂は、母型に形成さ
れた所定の着色パターン用の溝部に充填され透明基板と
密着された状態で透明基板側および母型側の少なくとも
一方から電離放射線が照射されて硬化されると同時に透
明基板に接着して着色パターンを形成し、これを繰り返
すことにより必要とする複数色の着色パターンからなる
着色層を備えるカラーフィルタが得られ、これにより、
耐熱性、耐光性等を有しパターン寸法精度が良好なカラ
ーフィルタの製造が可能になるとともに、カラーフィル
タの工程の簡略化がなされて製造コストの低減が可能と
なる。
As described above in detail, according to the present invention, the ionizing radiation-curable resin containing a color pigment is filled in a groove for a predetermined colored pattern formed on a matrix and is brought into close contact with a transparent substrate. In the state, ionizing radiation is irradiated from at least one of the transparent substrate side and the matrix side and cured, and at the same time, adheres to the transparent substrate to form a colored pattern. A color filter having a colored layer is obtained, whereby
It is possible to manufacture a color filter having heat resistance, light resistance and the like and good pattern dimensional accuracy, and to simplify the process of the color filter to reduce the manufacturing cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明により製造されたカラーフィルタを用い
たアクティブマトリックス方式による液晶ディスプレイ
の一例を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an example of an active matrix type liquid crystal display using a color filter manufactured according to the present invention.

【図2】図1に示される液晶ディスプレイの概略断面図
である。
FIG. 2 is a schematic sectional view of the liquid crystal display shown in FIG.

【図3】図1に示される液晶ディスプレイに用いられて
いるカラーフィルタの拡大部分断面図である。
FIG. 3 is an enlarged partial cross-sectional view of a color filter used in the liquid crystal display shown in FIG.

【図4】本発明によるカラーフィルタの製造方法を説明
するための工程図である。
FIG. 4 is a process chart for explaining a method of manufacturing a color filter according to the present invention.

【図5】母型の断面形状を示す断面図である。FIG. 5 is a sectional view showing a sectional shape of a matrix.

【図6】母型の構成例を示す概略構成図である。FIG. 6 is a schematic configuration diagram showing a configuration example of a matrix.

【図7】ロール形状の母型の構成例を示す断面図であ
る。
FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a configuration example of a roll-shaped matrix.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

4,60…母型 6,64…溝部 10…カラーフィルタ 12…透明基板 14…着色層 14R,14G,14B…着色パターン 16…ブラックマトリックス 4, 60: matrix 6, 64: groove 10: color filter 12: transparent substrate 14: colored layer 14R, 14G, 14B: colored pattern 16: black matrix

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 5/20 B41M 1/10 Continuation of the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G02B 5/20 B41M 1/10

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 複数色の着色パターンからなる着色層を
備えるカラーフィルタの製造方法において、 まず、母型と電離放射線硬化樹脂との剥離性を向上させ
るための剥離性処理を行い、次いで、底部に対して開口
部の面積が広い所定の着色パターン用の溝部が形成され
た母型の該溝部に着色顔料を含有する粘度が500cp
s以下の電離放射線硬化樹脂を充填し、その後、透明基
板と前記溝部内の電離放射線硬化樹脂とを密着させ、前
記透明基板側および前記母型側の少なくとも一方から電
離放射線として電子線を照射して前記溝部内の電離放射
線硬化樹脂を硬化させるとともに前記透明基板に接着さ
せて前記透明基板上に着色パターンを形成する工程、を
必要色数分繰り返して前記透明基板上に着色層を形成す
ることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
1. A method of manufacturing a color filter having a colored layer composed of a plurality of colored patterns, comprising: first performing a peeling treatment for improving the peelability between a matrix and an ionizing radiation-curable resin; In contrast, the viscosity of the matrix containing the color pigment in the groove of the matrix in which the groove for the predetermined coloring pattern having a large opening area is formed is 500 cp.
s or less of the ionizing radiation-curable resin, thereafter, the transparent substrate and the ionizing radiation-curable resin in the groove are brought into close contact with each other, and an electron beam is irradiated as ionizing radiation from at least one of the transparent substrate side and the matrix side. Forming a colored layer on the transparent substrate by repeating the step of curing the ionizing radiation-curable resin in the groove and adhering to the transparent substrate to form a colored pattern on the transparent substrate by the required number of colors. A method for producing a color filter, characterized in that:
【請求項2】 着色層を形成した後、ブラックマトリッ
クス用の溝部が形成された母型の該溝部に光不透過物質
を含有する電離放射線硬化樹脂を充填し、その後、前記
透明基板の着色層形成側と前記溝部内の電離放射線硬化
樹脂とを密着させ、前記透明基板側および前記母型側の
少なくとも一方から電離放射線を照射して前記溝部内の
電離放射線硬化樹脂を硬化させるとともに前記透明基板
に接着させて前記透明基板上にブラックマトリックスを
形成することを特徴とする請求項1記載のカラーフィル
タの製造方法。
2. After forming a colored layer, the groove portion of the matrix in which a groove portion for a black matrix is formed is filled with an ionizing radiation-curable resin containing a light-opaque substance, and then the colored layer of the transparent substrate is formed. The forming side and the ionizing radiation-curable resin in the groove are brought into close contact with each other, and ionizing radiation is irradiated from at least one of the transparent substrate side and the matrix side to cure the ionizing radiation-curable resin in the groove and the transparent substrate. 2. The method for manufacturing a color filter according to claim 1, wherein a black matrix is formed on the transparent substrate by bonding to a transparent substrate.
【請求項3】 ブラックマトリックス用の溝部が形成さ
れた母型の該溝部に光不透過物質を含有する電離放射線
硬化樹脂を充填し、その後、透明基板と前記溝部内の電
離放射線硬化樹脂とを密着させ、前記透明基板側および
前記母型側の少なくとも一方から電離放射線を照射して
前記溝部内の電離放射線硬化樹脂を硬化させるとともに
前記透明基板に接着させてブラックマトリックスを予め
形成した透明基板を用いることを特徴とする請求項1記
載のカラーフィルタの製造方法。
3. A groove having a groove for a black matrix formed therein is filled with an ionizing radiation-curable resin containing a light-impermeable material, and then the transparent substrate and the ionizing radiation-curable resin in the groove are filled. A transparent substrate in which a black matrix is formed in advance by adhering and curing the ionizing radiation-curable resin in the groove by irradiating ionizing radiation from at least one of the transparent substrate side and the matrix side and adhering to the transparent substrate. The method for manufacturing a color filter according to claim 1, wherein the method is used.
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