JPH0217833U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の実施例を示す概略構成図、
第２図は、実施例における波形図、第３図は、本
考案の押え位置検出装置により向きの調整された
ウエハを電極に押えつけた状態を示す平面図、第
４図は、従来例においてウエハを電極に押えつけ
た状態を示す平面図、第５図は、同側面図である
。 １……ウエハ押え部材、２……電極、３……モ
ータ、４……ウエハ載置台、５……光源、６……
光検出器、７……モータ制御装置、Ｌ_１……光ビ
ーム、Ｌ_２……反射光、Ｗ……ウエハ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 ドライエツチング装置の電極上にウエハ押え部
   材によりウエハを押えつける際に、予め、ウエハ
   上の前記ウエハ押え部材を圧接させる押え位置を
   検出するとともに、該検出した押え位置に応じて
   ウエハの向きを調整する押え位置検出装置であつ
   て、 モータにより回転するウエハ載置台と、 該ウエハ載置台上のウエハに光ビームを照射す
   る光源と、 該光ビームのウエハからの反射光の強度を検出
   する光検出器と、 該光検出器の検出信号を受け、前記反射光の強
   度と前記モータの回転角との関係を検出して該モ
   ータの回転角を制御するモータ制御装置とより構
   成されたことを特徴とするウエハの押え位置検出
   装置。