JPH02173954A - Inspecting device for optical information storage medium - Google Patents

Inspecting device for optical information storage medium

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JPH02173954A
JPH02173954A JP32789288A JP32789288A JPH02173954A JP H02173954 A JPH02173954 A JP H02173954A JP 32789288 A JP32789288 A JP 32789288A JP 32789288 A JP32789288 A JP 32789288A JP H02173954 A JPH02173954 A JP H02173954A
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information storage
storage medium
optical information
optical
turntable
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Kouichi Tabe
多部 光一
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Abstract

PURPOSE:To easily prevent the medium from warpage to accurately inspect optical information storage mediums different in classification or size by separatably connecting a driving shaft body and a supporting body and attracting the optical information storage medium by vacuum through aperture parts of flow passages formed in the peripheral edge part on the upper face side of the supporting body. CONSTITUTION:Aperture parts of flow passages 11 and 16 of air or the like through which the optical information storage medium is attracted by vacuum are formed in the peripheral edge part on the upper face side of a supporting body 15, on which the optical information storage medium is placed, to attract the optical information storage medium closely to the supporting body 15, thereby preventing this medium from warpage. Since a driving shaft body 4 and the supporting body 15 can be separated from each other, only the supporting body 15 is replaced in accordance with the classification or the size of the optical information storage medium, and the optical information storage medium is prevented from being deformed and is surely attracted and is accurately inspected.

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は、光学的情報記憶媒体の物理的特性を光学的に
計測する光学的情報記憶媒体検査装置に係り、特にこの
光学的情報記憶媒体を保持して回転させる回転手段の構
造に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to an optical information storage medium inspection device that optically measures the physical characteristics of an optical information storage medium, and particularly relates to an optical information storage medium inspection device that optically measures the physical characteristics of an optical information storage medium. The present invention relates to the structure of a rotating means for holding and rotating an optical information storage medium.

(従来の技術) 近年、画像情報記憶検索装置や音響や映像を再生する再
生装置あるいは画像情報等に対する情報処理を行なう画
像情報記憶検索装置等の情報記憶媒体の一つとして光デ
ィスクが広く用いられるようになっている。この光ディ
スクは情報の記憶される記憶面にレーザ光を照射して情
報の記憶や再生を行なうもので、単位面積当りの情報記
憶量が多く、情報記憶媒体として最も大容量のものであ
る。
(Prior Art) In recent years, optical disks have been widely used as one of the information storage media for image information storage and retrieval devices, playback devices for reproducing audio and video, and image information storage and retrieval devices for processing image information. It has become. This optical disk stores and reproduces information by irradiating a laser beam onto a storage surface on which information is stored, and has a large amount of information storage per unit area, making it the largest capacity information storage medium.

一方、この光ディスクは製造工程のR終段階で規格に沿
って各種の品質検査、例えば面振れや反り等の物理的特
性に係る検査が行なわれるが、この品質検査を行なう検
査装置は概ね第7図に示すように構成されている。図に
おいて、被検査体の光学的情報記憶媒体である光ディス
ク1は所定の大きさ、例えば直径130vnの円板状で
あり、基盤2上に固定されたスピンドルモータ3の回転
軸であるスピンドル軸4の上端に、支持板であるターン
デープル部5を介して載置されている。また、基盤2上
に案内部6を介して水平方向に移動可能に設けられた移
動台7上には光学ヘッド8が取り付けられている。この
光学ヘッド8は光ディスク1の記憶面との距離を一定に
保つように制御するフォーカスサーボ制御と、当該記憶
面に形成されるトラックの偏心に対して追従動作するよ
うに制御するトラッキングサーボ制御を行なうように構
成される。そして、この光学ヘッド8からのフォーカス
サーボ制御信号とトラックサーボ制御信号を取り出し、
光ディスク1の物理的特性を検査するようになっている
On the other hand, at the final stage of the manufacturing process, this optical disc undergoes various quality inspections in accordance with standards, such as inspections for physical characteristics such as surface runout and warpage. It is configured as shown in the figure. In the figure, an optical disk 1, which is an optical information storage medium of an object to be inspected, has a predetermined size, for example, a disc shape with a diameter of 130vn, and a spindle shaft 4, which is the rotation axis of a spindle motor 3 fixed on a base 2. It is placed on the upper end of the turntable 5 via a turntable portion 5 which is a support plate. Further, an optical head 8 is mounted on a movable table 7 which is provided on the base 2 so as to be movable in the horizontal direction via a guide section 6. This optical head 8 performs focus servo control to maintain a constant distance from the storage surface of the optical disk 1, and tracking servo control to control the operation to follow the eccentricity of the track formed on the storage surface. configured to do so. Then, the focus servo control signal and track servo control signal from this optical head 8 are taken out,
The physical characteristics of the optical disc 1 are inspected.

また、上記のスピンドル軸4及Uターンテーブル部5は
、従来は第8図及び第9図に示すように構成されていた
。すなわち、スピンドル軸4の上端には有底円筒状のタ
ーンテーブル部5が、複数個のネジ9により同心状に固
定されており、スピンドル軸4の上端には同心状に中心
軸10が一体に形成されていて、前記ターンテーブル部
5内に突出している。
Further, the above spindle shaft 4 and U-turntable section 5 have conventionally been constructed as shown in FIGS. 8 and 9. That is, a bottomed cylindrical turntable part 5 is concentrically fixed to the upper end of the spindle shaft 4 by a plurality of screws 9, and a central shaft 10 is concentrically fixed to the upper end of the spindle shaft 4. It is formed and protrudes into the turntable section 5.

また、スピンドル軸4の中心には軸方向に平行に空気通
路11が形成されており、この空気通路1′1の下端は
図示しない真空ポンプに接続されている。この空気通路
11の上端は複数個、例えば4個に分岐され、前記ター
ンテーブル部5の底部の前記中心軸10の周囲に形成さ
れた開口部12に接続されている。そしてターンテーブ
ル部5上に載置され中心軸10によって位置決めされた
光ディスク1は、空気通路11を介してターンテーブル
部5の凹部5a内の空気を排気して真空とすることによ
りターンテーブル部5に真空吸着されて、ターンテーブ
ル部5上に固定される。
Further, an air passage 11 is formed in the center of the spindle shaft 4 in parallel to the axial direction, and the lower end of this air passage 1'1 is connected to a vacuum pump (not shown). The upper end of this air passage 11 is branched into a plurality of parts, for example four parts, and is connected to an opening 12 formed around the central axis 10 at the bottom of the turntable part 5. The optical disc 1 placed on the turntable section 5 and positioned by the central axis 10 is moved to the turntable section 5 by evacuating the air in the recess 5a of the turntable section 5 through the air passage 11 to create a vacuum. is vacuum-adsorbed and fixed onto the turntable section 5.

(発明が解決しようとする課題) 上述したように構成された従来の光学的情報記t!!媒
体検査装置によると、この光学的情報記憶媒体である光
ディスク1が第10図に示すようにターンテーブル5の
径の大きさが適当で、かつ2枚の光ディスクを背中合わ
せにしてサンドインチ構造にした貼合わせ板13である
場合は、光ディスクに剛性があるので真空吸着時のそり
の発生を比較的少なくすることができる。しかしながら
第11図に示すように光ディスクが1枚のみからなる単
板14である場合には、光ディスクの剛性が小さいため
中心部が吸引されることにより大きなそりが発生し、正
しい検査が行なえないという問題があった。また光ディ
スク1の大きさが大きい程そりの発生も大きくなる傾向
もあった。
(Problems to be Solved by the Invention) The conventional optical information recorder configured as described above! ! According to the medium inspection device, the optical disc 1, which is an optical information storage medium, has a turntable 5 with an appropriate diameter as shown in FIG. 10, and has a sandwich-inch structure in which two optical discs are placed back to back. In the case of the laminated plate 13, since the optical disk has rigidity, the occurrence of warping during vacuum suction can be relatively reduced. However, when the optical disk is a single plate 14 consisting of only one piece as shown in FIG. 11, the rigidity of the optical disk is low, and the central part is attracted, causing a large warpage, which makes it impossible to perform correct inspection. There was a problem. There was also a tendency that the larger the size of the optical disc 1, the more warping occurred.

この従来の課題を解決するために、従来は光ディスク1
の種類や大きさが異なる場合には、ターンテーブル部5
と一体となったスピンドル軸4や、これらを取り付ける
固定治具を交換するようにしていた。このため交換の都
度、これらの位置調整を行なわなければならず、手間が
かかるという不都合があった。
In order to solve this conventional problem, conventionally the optical disc 1
If the type or size of the turntable section 5 is different,
The spindle shaft 4, which is integrated with the main body, and the fixing jig for attaching these parts have to be replaced. For this reason, these positions must be adjusted each time they are replaced, which is inconvenient and time-consuming.

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、光学的
情報記憶媒体の種類や大きさが異なっても、容易にそり
の発生を防いで正確な検査をなし得るようにする光学的
情報記憶媒体検査[1を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides an optical information storage medium that easily prevents warpage and allows accurate inspection even if the types and sizes of optical information storage media are different. Aims to provide media inspection [1].

[発明の構成] (課題を解決するための手段) 本発明は上記目的を達成するめに、被検体としての光学
的情報記憶媒体を載置すると共に、当該光学的情報記憶
媒体を真空吸着するための流路の開口を上面側周縁部に
設けた支持体と、着脱自在に固定される前記支持体を回
転駆動すると共に、当該支持体の流路と導通自在に接続
される流路を有してなる駆動軸体と、この駆動軸体と前
記支持体の流路内を真空にして前記光学的情報記憶媒体
を真空吸着する真空源とを有したことを特徴とする。
[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, the present invention provides a method for placing an optical information storage medium as an object to be examined and vacuum adsorbing the optical information storage medium. a support body having an opening for a flow passage provided on the upper surface side peripheral edge; and a flow passage that is removably fixed to the support body and is rotatably driven and connected to the flow passage of the support body in a freely conductive manner. The optical information storage medium is characterized by comprising a drive shaft body made of a metal material, and a vacuum source that evacuates the inside of the flow path of the drive shaft body and the support body to vacuum adsorb the optical information storage medium.

(作用) 本発明における光学的情報記憶媒体検査装置においては
、光学的情報記憶媒体が載置される支持体の上面側周縁
部に、この光学的情報記憶媒体を真空吸着するための空
気等の流路の開口部を形成することにより、当該光学的
情報記憶媒体が前記支持体に密着して吸着され、そりの
発生を防止し得る。また駆動軸体と支持体とを分割可能
とすることにより、前記光学的情報記憶媒体の種類や大
きさに合わせて支持体のみを交換して、当該光学的情報
記憶媒体を変形の発生を防止して確実に吸着し、正確な
検査をし得るようにするものである。
(Function) In the optical information storage medium inspection apparatus of the present invention, air or the like is applied to the upper peripheral edge of the support on which the optical information storage medium is placed to vacuum adsorb the optical information storage medium. By forming the opening of the flow path, the optical information storage medium is closely adsorbed to the support, and warping can be prevented. Furthermore, by making the drive shaft body and the support body separable, only the support body can be replaced according to the type and size of the optical information storage medium, thereby preventing the occurrence of deformation of the optical information storage medium. This allows for reliable adsorption and accurate inspection.

(実施例) 以下、本発明に係る光学的情報記憶媒体検査装置の一実
施例を図面を参照して説明する。
(Embodiment) Hereinafter, one embodiment of the optical information storage medium inspection apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図乃至第3図に本発明の一実施例を示す。An embodiment of the present invention is shown in FIGS. 1 to 3.

また、図において、第8図及び第9因に示す従来例と同
一または同等部分には同一符号を付して詳細な説明を省
略する。図示しないスピンドルモータの回転軸であるス
ピンドル軸4の上端には、中心軸10が同心状に突出し
て一体に形成されている。またこのスピンドル軸4の中
心には軸方向に平行に空気通路11が形成されており、
この空気通路11の下端は図示しない真空ポンプに接続
されている。この空気通路11の上端は複数個、例えば
4個に分岐され、それぞれ前記スピンドル軸4の上端面
の前記中心軸10の周囲に開口している。以上の構成は
前記従来例と同様である。
In addition, in the figures, the same or equivalent parts as in the conventional example shown in FIGS. 8 and 9 are denoted by the same reference numerals, and detailed explanations thereof will be omitted. A central shaft 10 is formed concentrically and integrally protruding from the upper end of a spindle shaft 4 that is a rotation shaft of a spindle motor (not shown). Further, an air passage 11 is formed in the center of this spindle shaft 4 in parallel to the axial direction.
The lower end of this air passage 11 is connected to a vacuum pump (not shown). The upper end of this air passage 11 is branched into a plurality of, for example four, branches, each of which opens around the central axis 10 on the upper end surface of the spindle shaft 4. The above configuration is the same as that of the conventional example.

一方、光学的情報記憶媒体である光ディスクを鳩 載置固定する支持←であるターンテーブル15はほぼ有
底円筒状に形成されており、このターンテーブル15の
底部15aの中心には孔部15bが形成されており、こ
の孔部15bに前記スピンドル@4の上端に形成された
中心軸10が嵌合されるようになっている。この嵌合は
精密な公差のハメアイになっており、ターンテーブル部
15はスピンドル軸4に対して正確に位置決めされる。
On the other hand, the turntable 15, which serves as a support for mounting and fixing an optical disk as an optical information storage medium, is formed into a substantially cylindrical shape with a bottom, and a hole 15b is formed in the center of the bottom 15a of the turntable 15. The central shaft 10 formed at the upper end of the spindle @4 is fitted into this hole 15b. This fitting is a fit with precise tolerances, and the turntable portion 15 is accurately positioned with respect to the spindle shaft 4.

このようにしてスピンドル軸4の上端面に取り付けられ
たターンテーブル部15は、複数個、例えば4個のネジ
9により着脱可能に固定される。また、ターンテーブル
部15の底部15aの下面側には、前記スピンドル軸4
の上端面に形成された空気通路11の4個の開口部に整
合する位置に、ターンテーブル部15の底部15a及び
側壁15c内に形成された4個の空気通路16の下端が
開口している。ざらにこれらの4個の空気通路16の上
端はターンテーブル部15の側壁15cの上端面(光デ
ィスクの載置面)15dに開口しており、これらの開口
部は当該載置面15dに円形状に形成された溝部17に
連通している。
The turntable section 15 attached to the upper end surface of the spindle shaft 4 in this manner is removably fixed by a plurality of screws 9, for example, four screws. Further, the spindle shaft 4 is provided on the lower surface side of the bottom portion 15a of the turntable portion 15.
The lower ends of four air passages 16 formed in the bottom 15a and side wall 15c of the turntable section 15 are opened at positions that align with the four openings of the air passage 11 formed in the upper end surface. . Roughly speaking, the upper ends of these four air passages 16 open to the upper end surface (optical disc mounting surface) 15d of the side wall 15c of the turntable section 15, and these openings have circular shapes on the mounting surface 15d. It communicates with a groove 17 formed in.

次に本実施例の作用を説明する。Next, the operation of this embodiment will be explained.

第4図は中心にハブ18aを有する直径130mmの光
ディスク18をターンテーブル部15上に固定する場合
を示す。光ディスク18をターンテーブル部15上に載
置するとき、光ディスク18はハブ18aの中心孔にス
ピンドル軸4の中心軸10が嵌合されて位置決めされる
。従って光ディスク18の中心位置決め精度は中心軸1
0の外径とハブ18aの中心孔の内径との、それぞれの
公差によるハメアイ精度によって決まる。またハブ18
aはターンテーブル部15の内径内に嵌合され、光ディ
スク18は載置面15d上に載置される。次に図示しな
いパルプを開いて同じく図示しない真空ポンプにより空
気通路11.16内の空気を排気してほぼ真空とする。
FIG. 4 shows a case where an optical disc 18 having a diameter of 130 mm and having a hub 18a at the center is fixed on the turntable section 15. When the optical disc 18 is placed on the turntable section 15, the optical disc 18 is positioned by fitting the central shaft 10 of the spindle shaft 4 into the central hole of the hub 18a. Therefore, the center positioning accuracy of the optical disc 18 is
It is determined by the fitting accuracy due to the respective tolerances between the outer diameter of the hub 18a and the inner diameter of the center hole of the hub 18a. Also hub 18
a is fitted into the inner diameter of the turntable portion 15, and the optical disc 18 is placed on the placement surface 15d. Next, the pulp (not shown) is opened and the air in the air passages 11, 16 is evacuated by a vacuum pump (also not shown) to create a substantially vacuum.

この結果li!置面15d上に載置された光ディスク1
8は溝部17の位置において真空吸着され、ターンテー
ブル部15に確実に固定される。従って光ディスク18
が単板であるために剛性が小さい場合でも、載置面15
d1.:密着して吸着固定されるのでそりが発生するこ
とはない。また光ディスク18が貼合わせ板であって剛
性が大きい場合でも、更にそりなどの変形の発生を少く
することができる。なお、光fイスク18のターンデー
プル部15に対する着脱は、真空ポンプの配管中に設け
られたバルブを開閉することにより容易に行なうことが
できる。
This result li! Optical disc 1 placed on placement surface 15d
8 is vacuum-adsorbed at the position of the groove portion 17 and is securely fixed to the turntable portion 15. Therefore, the optical disc 18
Even if the rigidity is small because it is a single plate, the mounting surface 15
d1. : Since it is tightly attached and fixed by suction, no warping occurs. Furthermore, even if the optical disc 18 is made of a laminated plate and has high rigidity, the occurrence of deformation such as warping can be further reduced. Note that the optical f-isk 18 can be easily attached to and detached from the turn dimple portion 15 by opening and closing a valve provided in the piping of the vacuum pump.

第5図は中心にハブ19aを有する直径86制洞の光デ
ィスク19を固定する場合を示す。この場合はスピンド
ル軸4に取り付けるターンテーブル部を外径の小さいタ
ーンテーブル部20に交換して、効率よく光ディスク1
9をターンテーブル部20に吸着固定することができる
FIG. 5 shows a case where an optical disk 19 having a diameter of 86 mm and having a hub 19a at the center is fixed. In this case, the turntable section attached to the spindle shaft 4 can be replaced with a turntable section 20 having a smaller outer diameter, and the optical disc can be efficiently
9 can be fixed to the turntable section 20 by suction.

第6図は中心にハブのない直径13oIlllの光ディ
スク21を固定する場合を示す。この場合はスピンドル
軸4に取り付けるターンテーブル部を外径の大きいター
ンテーブル部22に交換し、このターンテーブル部22
の中心に設けられた中心軸23の外径を光ディスク21
の中心孔の内径に等しくして、それぞれの公差によるハ
メアイ精度によって位置決めするようにしている。
FIG. 6 shows a case where an optical disk 21 having a diameter of 13 oIlll without a hub in the center is fixed. In this case, the turntable section attached to the spindle shaft 4 is replaced with a turntable section 22 having a larger outer diameter, and this turntable section 22
The outer diameter of the central axis 23 provided at the center of the optical disc 21
The inner diameter of the center hole is set equal to the inner diameter of the center hole, and the positioning is performed based on the fit accuracy based on the respective tolerances.

前記第5図及び第6図にそれぞれ示すターンテーブル部
20.22は、第4図に示すターンテーブル部15と構
造としては同様であり、スピンドル軸4に対して着脱交
換可能となっている。またこれらのターンテーブル部2
0.22上にそれぞれ載冒される光ディスク19.21
は、単板であっても貼合わせ板であっても、そりの発生
を防止して確実に吸着固定することができる。
The turntable sections 20 and 22 shown in FIGS. 5 and 6 are similar in structure to the turntable section 15 shown in FIG. 4, and are detachable and replaceable with respect to the spindle shaft 4. In addition, these turntable parts 2
Optical disks 19.21 each mounted on 0.22
Whether it is a single plate or a laminated plate, it is possible to prevent the occurrence of warpage and securely fix the plate by suction.

本実施例によれば、光ディスクの種類や大きさに応じて
ターンテーブル部のみを交換してスピンドル軸4に取り
付け、ターンテーブル部の載置面に光ディスクを真空吸
着することにより、光ディスクをそりなどの発生を防止
して確実にターンテーブル部に固定することができる。
According to this embodiment, depending on the type and size of the optical disc, only the turntable part is replaced and attached to the spindle shaft 4, and the optical disc is vacuum-adsorbed to the mounting surface of the turntable part, thereby preventing the optical disc from warping. It is possible to prevent this from occurring and ensure secure fixation to the turntable section.

そして光ディスクに対する正しい検査を行なうことがで
きる。
Then, the optical disc can be inspected correctly.

尚、上記実施例ではスピンドル軸4及Uターンテーブル
部13,18.20にそれぞれ分岐形成された空気通路
が4個であり、両者を固定するネジ9が4である場合に
ついて説明したが、これらが4個に限定されないことは
言うまでもない。また光ディスクの外径は130mn+
及び861I1mに限定されない。さらに、ターンテー
ブル部のIff面に形成された溝部17は省略してもよ
い。
In the above embodiment, the spindle shaft 4 and the U-turntable parts 13, 18, 20 each have four air passages branched from each other, and the number of screws 9 for fixing them is four. Needless to say, the number is not limited to four. Also, the outer diameter of the optical disc is 130mm+
and 861I1m. Furthermore, the groove portion 17 formed on the If surface of the turntable portion may be omitted.

[発明の効果] 以上説明したように本発明によれば、光学的情報記憶媒
体検査装置に設けられた駆動軸体と支持体とを分離可能
に接続し、かつ光学的情報記憶媒体を支持体の上面側周
縁部に形成された流路の開口部を介して真空吸着するよ
うにしたので、光学的情報記憶媒体の種類や大きさが異
なっても支持体のみを交換するだけで確実に吸着固定す
ることができ、正しい検査を行なうことができる。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention, the drive shaft and the support provided in the optical information storage medium inspection device are separably connected, and the optical information storage medium is connected to the support. Vacuum suction is performed through the opening of the flow path formed on the upper periphery, so even if the type or size of the optical information storage medium is different, it can be reliably suctioned by simply replacing the support. It can be fixed and correct inspection can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明に係る光学的情報記憶媒体検査装置の一
実施例による回転手段を示す縦断面図、第2図は第1図
の平面図、第3図は第1図の分解縦断面図、第4図、第
5図及び第6図はそれぞれ本実施例による異なる光学的
情報記憶媒体の回転手段への取付例を示す正面図、第7
図は光学的情報記憶媒体検査装置の概略構成図、第8図
は従来の回転手段を示す縦断面図、第9図は第8図の平
面図、第10図及び第11図はそれぞれ従来の光学的情
報記憶媒体の回転手段への取付例を示す縦断面図である
。 1.13.14,18.19.21・・・光ディスク、 4・・・スピンドル軸、 5.15,20.22・・・ターンテーブル部、11.
16・・・空気通路、 17・・・溝部。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a rotating means according to an embodiment of the optical information storage medium inspection apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a plan view of FIG. 1, and FIG. 3 is an exploded longitudinal sectional view of FIG. 1. 4, 5 and 6 are front views and 7th views respectively showing examples of attaching different optical information storage media to rotating means according to the present embodiment.
8 is a longitudinal sectional view showing a conventional rotating means, FIG. 9 is a plan view of FIG. 8, and FIGS. 10 and 11 are respectively conventional FIG. 3 is a longitudinal cross-sectional view showing an example of how an optical information storage medium is attached to a rotating means. 1.13.14, 18.19.21... Optical disk, 4... Spindle shaft, 5.15, 20.22... Turntable section, 11.
16... Air passage, 17... Groove.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 被検体としての光学的情報記憶媒体を載置すると共に、
当該光学的情報記憶媒体を真空吸着するための流路の開
口を上面側周縁部に設けた支持体と、 着脱自在に固定される前記支持体を回転駆動すると共に
、当該支持体の流路と導通自在に接続される流路を有し
てなる駆動軸体と、 この駆動軸体と前記支持体の流路内を真空にして前記光
学的情報記憶媒体を真空吸着する真空源と を有することを特徴とする光学的情報記憶媒体検査装置
[Claims] In addition to placing an optical information storage medium as a subject,
A support body having an opening of a flow path for vacuum adsorbing the optical information storage medium on its upper surface side peripheral edge; and a support body which is detachably fixed and is rotatably driven, and the flow path of the support body is The drive shaft body has a flow path that is electrically connected to the drive shaft body, and a vacuum source that vacuums the flow path of the drive shaft body and the support body and sucks the optical information storage medium under vacuum. An optical information storage medium inspection device characterized by:
JP32789288A 1988-12-27 1988-12-27 Optical information storage medium inspection device Expired - Lifetime JP2664751B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32789288A JP2664751B2 (en) 1988-12-27 1988-12-27 Optical information storage medium inspection device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32789288A JP2664751B2 (en) 1988-12-27 1988-12-27 Optical information storage medium inspection device

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Publication Number Publication Date
JPH02173954A true JPH02173954A (en) 1990-07-05
JP2664751B2 JP2664751B2 (en) 1997-10-22

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0478504U (en) * 1990-11-20 1992-07-08

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