JPH02166631A - Out-of-focus detector - Google Patents

Out-of-focus detector

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Publication number
JPH02166631A
JPH02166631A JP63325037A JP32503788A JPH02166631A JP H02166631 A JPH02166631 A JP H02166631A JP 63325037 A JP63325037 A JP 63325037A JP 32503788 A JP32503788 A JP 32503788A JP H02166631 A JPH02166631 A JP H02166631A
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JP
Japan
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light
beam splitter
photodetector
focus
incident
Prior art date
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Pending
Application number
JP63325037A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tomoyuki Ishii
智之 石井
Toshihiro Suzuki
敏弘 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH02166631A publication Critical patent/JPH02166631A/en
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Abstract

PURPOSE:To easily detect out-of-focus with high accuracy by comprising a detector of a beam splitter whose transmission factor or reflectance is provided with incident angle dependency against specific incident light, and a split photodetector. CONSTITUTION:An out-of-focus detector is comprised of the beam splitter 1 whose transmission factor or reflectance is provided with the incident angle dependency against the specific incident light, and a two-piece photodetector 2 or 21 and 22. At such a case, no output difference occurs in the two-piece photodetectors 2, 21, and 22 if no incident angle dependency exists in the reflectance or the transmission factor of the beam splitter 1 even when the incident light is divergent light or convergent light. However, when a certain degree of incident angle dependency exists, the output difference occurs in the two-piece photodetectors 2, 21, and 22, and (deviation) from parallel incident light i.e. an out-of-focus signal can be obtained. In such a way, it is possible to easily perform optical axis alignment, position alignment, and angle alignment with simple constitution, and to detect the out-of-focus with high accuracy and high sensitivity.

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 焦点位置ずれ検出器に関し、 収束または発散してくる光を受けて、高精度でかつ容易
に、焦点位置ずれを検出することを目的とし、 特定の入射光に対して、透過率あるいは反射率が入射角
依存性を有するビームスプリッタと、分割フォトディテ
クタとから焦点位置ずれ検出器を〔産業上の利用分野〕 本発明は焦点位置ずれ検出器の改良に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Summary] The purpose of the present invention is to detect focal position deviation with high accuracy and ease by receiving converging or diverging light, and to detect a focal position deviation detector with specific incident light. In contrast, the present invention relates to an improvement in a focal position deviation detector using a beam splitter whose transmittance or reflectance is incident angle dependent and a split photodetector.[Industrial Application Field] The present invention relates to an improvement in a focal position deviation detector.

近年、レーザ光を用いて情報の記録・再生・消去を行う
光デイスク装置およびその記録媒体である光ディスクの
発達は目覚ましく、民生用のコンパクトディスク(CD
)を始めとし、パソコン用のROM媒体としてCD−R
OMが広く普及してきた。
In recent years, the development of optical disk devices that record, reproduce, and erase information using laser light and their recording media, optical disks, has been remarkable.
), and CD-R as a ROM medium for personal computers.
OM has become widespread.

さらに、OA機器その他の情報関連機器用の大容量記憶
装置として、光デイスク装置への期待がますます高まっ
ている。とくに書換え可能な光磁気ディスク装置は、フ
ァイルメモリとして現在量も多(使用されている磁気デ
ィスク装置のさらに大容量領域をカバーする本命として
開発が進められている。
Furthermore, expectations are increasing for optical disk devices as large-capacity storage devices for office automation equipment and other information-related equipment. In particular, rewritable magneto-optical disk devices are being developed as file memories that are expected to cover a larger capacity area than the currently used magnetic disk devices.

光磁気ディスクへの書込み・読出し・消去などは、全て
半導体レーザをlam以下の微小スポットに絞って高速
回転で行われるので、そのためのデバイスである光ヘッ
ドには高機能、かつ小型・軽量であることが求められて
いる。
Writing, reading, erasing, etc. on a magneto-optical disk are all performed using a semiconductor laser focused on a minute spot smaller than lam and rotating at high speed, so the optical head that is the device for this purpose must be highly functional, compact, and lightweight. That is what is required.

そのような機能の一例として、たとえば光磁気ディスク
面上ヘレーザ光の焦点を正しく結ばせることが是非必要
であり、そのためには光ヘッドに焦点位置ずれ検出機能
と、フィードバック機能を持たせて、常に焦点がディス
ク面に合った、すなわち合焦状態を維持することが要望
されている。
As an example of such a function, for example, it is absolutely necessary to correctly focus the laser beam on the surface of a magneto-optical disk, and for this purpose, the optical head must be equipped with a focal position shift detection function and a feedback function, so that the optical head is always It is desired that the focus be on the disk surface, that is, that the in-focus state be maintained.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

光デイスク装置の焦点位置ずれ検出法としては、従来か
ら非点収差法、ナイフェツジ法、臨界角法などが知られ
ている。
Conventionally, the astigmatism method, the Naifezi method, the critical angle method, and the like have been known as methods for detecting focal position deviations in optical disk devices.

最も代表的なものはナイフェツジ法で、第6図はナイフ
ェツジ法による焦点位置ずれ検出器を用いた光ヘッドの
従来例を示したものである。
The most typical one is the Naifezi method, and FIG. 6 shows a conventional example of an optical head using a focal position shift detector based on the Naifezi method.

半導体レーザダイオード4から出た光は、コリメータ用
のレンズ5.ビーム整形プリズム8.ビームスプリンタ
9を通って対物レンズ3に入射し、集光されて光磁気デ
ィスクlOの面上で焦点を結び、カー回転を受けて、す
なわち記録情報を載せて反射され、再びビームスプリッ
タ9を経過し、偏光ビームスプリッタ11で透過光と反
射光とに分離する。
The light emitted from the semiconductor laser diode 4 is passed through a collimator lens 5. Beam shaping prism 8. The light passes through the beam splinter 9, enters the objective lens 3, is condensed, focuses on the surface of the magneto-optical disk 10, undergoes Kerr rotation, that is, is reflected with recorded information on it, and passes through the beam splitter 9 again. Then, the polarizing beam splitter 11 separates the light into transmitted light and reflected light.

反射光経路に沿って信号検出系が配置されており、17
2波長板12を回転させることにより、信号光の偏光方
向を回転させ信号振幅が最大になるようにセットする。
A signal detection system is arranged along the reflected light path, and 17
By rotating the two-wavelength plate 12, the polarization direction of the signal light is rotated and set so that the signal amplitude is maximized.

2個のフォトディテクタ14および15で検出される信
号は、偏光ビームスプリッタ11°での反射と透過の関
係、すなわちS波とP波の関係にあるので逆相の信号に
なっており、差動検出により同相のノイズを除去してS
/Nを大きくできるようにしている。
The signals detected by the two photodetectors 14 and 15 are in the relationship of reflection and transmission at the polarization beam splitter 11°, that is, the relationship between S waves and P waves, so they are signals with opposite phases, and differential detection is performed. Remove in-phase noise by S
/N can be increased.

なお、この場合に使用される偏光ビームスプリッタ11
.11”は、光学系に組み込んだ際の位置ずれの影響を
受けないように、入射光の入射角変動による反射率ある
いは透過率の変動を極力なくした、実質的に入射角依存
性のない偏光ビームスプリッタが用いられる。
Note that the polarizing beam splitter 11 used in this case
.. 11" is polarized light that is virtually independent of the angle of incidence, minimizing variations in reflectance or transmittance due to variations in the angle of incidence of the incident light, so as not to be affected by positional deviation when incorporated into an optical system. A beam splitter is used.

一方、透過光経路に沿って、レンズ16.ナイフェツジ
17.2分割フォトディテクタ2までが、こ\で注目し
ている焦点位置ずれ検出系である。
Meanwhile, along the transmitted light path, lens 16. The components up to the knife 17.2-split photodetector 2 are the focal position shift detection system that we are focusing on here.

以下図面で詳細説明すると、第7図はナイフェツジ法に
よる焦点位置ずれ検出系を説明する図で、図の左側の実
線■は光磁気ディスクの表面に焦点が合っている場合、
すなわち光磁気ディスクが合焦位置にある場合を示し、
また破線■は光磁気ディスクが合焦位置より近づいた場
合、すなわち合焦位置の手前にある場合を示している。
A detailed explanation will be given below with reference to the drawings. Fig. 7 is a diagram illustrating a focal position shift detection system using the Naifetsu method, and the solid line ■ on the left side of the figure indicates when the surface of the magneto-optical disk is in focus.
In other words, it shows the case where the magneto-optical disk is in the focused position,
Furthermore, the broken line ■ indicates a case where the magneto-optical disk is closer than the in-focus position, that is, in front of the in-focus position.

それに対応して光路もそれぞれ実線および破線で示した
Correspondingly, the optical paths are also shown by solid lines and broken lines, respectively.

図の右側に示した■および■の明暗の表示は、入射光側
から2分割フォトディテクタ2を見た場合で、■は合焦
位置にあるので2分割フォトディテクタ2の上下とも光
が入らず暗となり、2分割フォトディテクタ2に出力差
は生じない。
The bright/dark display of ■ and ■ shown on the right side of the figure is when looking at the two-segment photodetector 2 from the incident light side. Since ■ is at the in-focus position, no light enters the top and bottom of the two-segment photodetector 2, making it dark. , no output difference occurs between the two-split photodetector 2.

これに対して、■の光磁気ディスク10が合焦位置の手
前にある場合は、破線の如き光路をとるので、上半分は
ナイフェツジ17でカットされるが、下半分では光は2
分割フォトディテクタ2に達して、図示した如く光スポ
ットは半円形の明部となるので、2分割フォトディテク
タ2の出力差をとることによって、焦点位置ずれ信号が
得られることになる。
On the other hand, when the magneto-optical disk 10 in (3) is located in front of the focusing position, the optical path is as shown by the broken line, so the upper half is cut by the knife 17, but the lower half is cut by the optical knife 17.
When the light reaches the divided photodetector 2, the light spot becomes a semicircular bright part as shown in the figure, so by taking the difference in the outputs of the two divided photodetectors 2, a focal position shift signal can be obtained.

なお、破線で示した枠内が光磁気ディスク用光ヘッドの
光学系である。
Note that the area within the frame indicated by the broken line is the optical system of the optical head for the magneto-optical disk.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

しかし、従来の非点収差法およびナイフェツジ法ではレ
ンズをもちいるため、光軸調整や受光素子の位置設定に
高い精度が必要となり、また臨界角法では角度変化に敏
感であるので、光軸と入射角の調整や熱膨張に対する設
計上の細かい配慮を要するなどの問題があり、それらの
解決が強く求められていた。
However, since the conventional astigmatism method and Naifezi method use lenses, high precision is required for adjusting the optical axis and positioning the photodetector, and the critical angle method is sensitive to angular changes, so the optical axis There were problems such as the need to adjust the angle of incidence and careful design consideration for thermal expansion, and solutions to these problems were strongly sought after.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

第1図は本発明の焦点位置ずれ検出器の基本構成因であ
る。
FIG. 1 shows the basic components of the focal position shift detector of the present invention.

図中、1はビームスプリッタ、2,21および22は分
割、とくに、2分割フォトディテクタ(2D−PD)で
ある。
In the figure, 1 is a beam splitter, and 2, 21, and 22 are split, especially two-split photodetectors (2D-PD).

同図(イ)は2分割フォトディテクタが1個の場合(I
X2D−PDタイプ)で、同図(ロ)は2個の場合(2
X2D−PDタイプ)である。
Figure (A) shows the case where there is one two-part photodetector (I
(X2D-PD type), and the figure (b) shows the case of two (2
X2D-PD type).

(a)は入射光の上半分の領域を、(b)は入射光の下
半分の領域をそれぞれ示す。θ1およびθ2は入射光の
最上部および最下部の光線のビームスプリッタ機能層へ
の入射角である。
(a) shows the upper half region of the incident light, and (b) shows the lower half region of the incident light. θ1 and θ2 are the angles of incidence of the top and bottom rays of the incident light onto the beam splitter functional layer.

AおよびBは2分割フォトディテクタ2または21の左
右のフォトディテクタ領域で、ビームスプリッタ1の反
射光を受光し、一方、CおよびDは2分割フォトディテ
クタ22の上下のフォトディテクタ領域で、ビームスプ
リッタlの透過光を受光するように配置されている。
A and B are the left and right photodetector areas of the two-split photodetector 2 or 21, which receive the reflected light from the beam splitter 1, while C and D are the upper and lower photodetector areas of the two-split photodetector 22, which receive the transmitted light from the beam splitter l. is arranged to receive light.

いま、ビームスプリッタ1の反射率あるいは透過率に入
射角依存性がなければ、入射光が発散光であっても、収
束光であっても2分割フォトディテクタに出力差は生じ
ない。
Now, if the reflectance or transmittance of the beam splitter 1 has no dependence on the angle of incidence, no difference in output will occur between the two-split photodetectors whether the incident light is diverging light or convergent light.

しかし、もしビームスブリックlの反射率あるいは透過
率に何らかの入射角依存性があれば、入射光が発散光で
あっても、収束光であっても2分割フォトディテクタに
出力差が生じて、平行入射光からの“′ずれ”、すなわ
ち焦点位置ずれ信号が得られる。
However, if the reflectance or transmittance of the beam subric l has some kind of dependence on the angle of incidence, there will be a difference in the output of the two-split photodetector regardless of whether the incident light is diverging light or convergent light. A "'deviation" from the light, that is, a focal position deviation signal is obtained.

すなわち、上記の課題は特定の入射光に対して、透過率
あるいは反射率が入射角依存性を有するビームスプリッ
タ1と、2分割フォトディテクタ2とから焦点位置ずれ
検出器を構成することにより解決することができる。
That is, the above problem can be solved by configuring a focal position shift detector from a beam splitter 1 whose transmittance or reflectance is incident angle dependent for a specific incident light, and a two-split photodetector 2. Can be done.

〔作用〕[Effect]

一般に、ビームスプリッタ機能層は、よく知られた誘電
体多層膜で構成されており、光がそこに入射すると各層
での多重反射と干渉を繰り返し行って、ある一定の反射
率で反射してくる。もし、入射角が変わると各層での光
路長が変わり、位相差条件に変化が生じて反射率、すな
わち透過率も変わってくることになる。したがって、使
用する光波長によって誘電体多層膜の種類、allみ合
わせ。
Generally, the beam splitter functional layer is composed of a well-known dielectric multilayer film, and when light enters there, it undergoes multiple reflections and interference in each layer repeatedly, and is reflected at a certain reflectance. . If the incident angle changes, the optical path length in each layer will change, the phase difference condition will change, and the reflectance, or transmittance, will also change. Therefore, the type of dielectric multilayer film depends on the wavelength of light used.

厚さ2層数などを選ぶことにより、最適のビームスプリ
ッタを構成することができる。
By selecting the thickness, number of layers, etc., an optimal beam splitter can be configured.

第2図は本発明におけるビームスプリッタの透過率の入
射角依存性を示す図で、2個の2等辺直角プリズムの間
にビームスプリッタ機能層を挟んだ、最も一般的な構成
のビームスプリッタの場合である。
Figure 2 is a diagram showing the incident angle dependence of the transmittance of the beam splitter according to the present invention, in the case of a beam splitter with the most general configuration in which a beam splitter functional layer is sandwiched between two isosceles right angle prisms. It is.

プリズム面に垂直入射、すなわちビームスプリッタ機能
層に45°入射の場合に透過率が50%で、入射角(θ
)が45″以上の場合に透過光が減少し、入射角(θ)
が45°以下の場合に透過光が増大する線型特性を有す
る本発明の代表的な例である。
When the incidence is perpendicular to the prism surface, that is, when the incidence is 45° to the beam splitter functional layer, the transmittance is 50%, and the incident angle (θ
) is 45″ or more, the transmitted light decreases and the incident angle (θ)
This is a typical example of the present invention having a linear characteristic in which transmitted light increases when the angle is 45° or less.

第3図は本発明の動作原理を説明する図で、第1図の(
ロ)と同じ構成のもので、かつビームスプリッタの特性
は上記第2図に示した場合について説明する。
FIG. 3 is a diagram explaining the operating principle of the present invention, and is a diagram for explaining the operating principle of the present invention.
A case will be described in which the beam splitter has the same configuration as (b) and the characteristics of the beam splitter are shown in FIG. 2 above.

図中、対物レンズ3の左側の■、■、■は光ディスクの
表面の位置を示しており、■が半導体レーザ光がディス
ク面上に焦点を結んでいる場合、すなわち合焦位置にあ
る場合で、■はディスク面が合焦位置より遠ざかった場
合、■はディスク面が合焦位置より近づいたた場合であ
る。
In the figure, ■, ■, ■ on the left side of the objective lens 3 indicate the position of the surface of the optical disk, and ■ is when the semiconductor laser beam is focused on the disk surface, that is, at the in-focus position. , ■ is when the disk surface moves away from the in-focus position, and ■ is when the disk surface is closer to the in-focus position.

2分割フォトディテクタ21の下の明暗の表示■、■お
よび■はビームスプリッタlからの反射光が、2分割フ
ォトディテクタ21の左右のフォトディテクタ領域Aお
よびBへの入射光量による明暗を示している。また2分
割フォトディテクタ22の右側の明暗表示■、■、■は
同様に透過光が、2分割フォトディテクタ22の2つの
フォトディテクタ領域CおよびDへの入射光量による明
暗を示している。
The bright/dark displays (2), (2), and (2) below the two-split photodetector 21 indicate the brightness and darkness of the reflected light from the beam splitter I depending on the amount of light incident on the left and right photodetector areas A and B of the two-segment photodetector 21. Similarly, the bright/dark displays (2), (2), and (2) on the right side of the two-part photodetector 22 indicate the brightness and darkness of the transmitted light depending on the amount of light incident on the two photodetector regions C and D of the two-part photodetector 22.

いま、2分割フォトディテクタ21.22とも2つのフ
ォトディテクタ領域AとB1およびCとDが同じ特性で
あれば、合焦位置の■の場合に、ビームスプリッタ1へ
の入射光は平行光となって、透過光と反射光はそれぞれ
50%で、かつ−様な光量分布となるので2つのフォト
ディテクタ領域は、ともに入射光の25%の光量となり
、明となって2分割フォトディテクタに出力差は生じな
い。
Now, if the characteristics of the two photodetector areas A and B1 and C and D of both the two-split photodetector 21 and 22 are the same, then in the case of the focus position (■), the incident light to the beam splitter 1 becomes parallel light, Since the transmitted light and the reflected light are each 50% and have a --like light intensity distribution, the two photodetector areas both have a light intensity of 25% of the incident light, and are bright, so there is no output difference between the two photodetectors.

一方、■のディスクが合焦位置より遠ざかった場合、デ
ィスクからの反射光は対物レンズ3を通過後収束光とな
るので、第2図に示したビームスプリッタ1の透過率特
性からCおよびB部分は、入射光の25%以下の光量と
なって暗に、DおよびA部分は入射光の25%以上の光
量となって明となり、2つの2分割フォトディテクタ2
1および22はともに出力差を生じることになる。
On the other hand, when the disk (■) moves away from the in-focus position, the reflected light from the disk becomes a convergent light after passing through the objective lens 3, so from the transmittance characteristics of the beam splitter 1 shown in FIG. The light intensity is less than 25% of the incident light and becomes dark, and the light intensity of D and A is more than 25% of the incident light and becomes bright, and the two 2-split photodetectors 2
1 and 22 will both produce an output difference.

同様に、■のディスクが合焦位置より近づいた場合、デ
ィスクからの反射光は対物レンズ3を透過後発散光とな
るので、■の場合とは逆にCおよびB部分は明、Dおよ
びA部分は暗となって、2つの2分割フォトディテクタ
21.22はともに出力差を生じることになる。
Similarly, when the disc (■) approaches the in-focus position, the reflected light from the disc becomes divergent light after passing through the objective lens 3, so contrary to the case (■), the C and B portions are bright, and the D and A portions are bright. becomes dark, and the two two-part photodetectors 21 and 22 both produce a difference in output.

すなわち、2分割フォトディテクタ21および22の各
領域A、B、CおよびDの出力をそれぞれp、、pb、
P、、P、とすると、焦点位置ずれ情報は、2つの2分
割フォトディテクタの出力差Fとして次式によって求め
ることができる。
That is, the outputs of the areas A, B, C, and D of the two-part photodetectors 21 and 22 are respectively p, pb,
Assuming that P, , P, the focal position shift information can be obtained as the output difference F between the two two-split photodetectors using the following equation.

F = (P 、 + P a )   (P b+ 
P c ) −−−−−=(1)たりし、ビームスプリ
ッタ1の透過光と反射光は、入射光に対しそれぞれ50
%の光量となる。
F = (P, +P a ) (P b+
P c ) ------= (1), and the transmitted light and reflected light of beam splitter 1 are each 50% of the incident light.
% light amount.

〔実施例〕〔Example〕

第2図に示したような透過率特性のビームスプリッタを
使用し、第1図(イ)の構成または(ロ)の構成によっ
て、容易に焦点位置ずれ検出器を形成することができた
。とくに第1図(ロ)の場合には、2つの2分割フォト
ディテクタを使用しているので、約2倍の感度を得るこ
とができた。
Using a beam splitter with transmittance characteristics as shown in FIG. 2, it was possible to easily form a focal position shift detector using the configuration shown in FIG. 1 (a) or (b). In particular, in the case of FIG. 1(b), since two two-part photodetectors are used, the sensitivity can be approximately doubled.

なお、ビームスプリッタ膜としてはSiO□、 TiO
□。
Note that the beam splitter film is SiO□, TiO
□.

MgF、At2Q、などの誘電体多層膜を公知の方法に
より、所望の特性が出るように形成した。
A dielectric multilayer film of MgF, At2Q, etc. was formed by a known method so as to exhibit desired characteristics.

第4図は本発明の他の実施例を説明する図で、同図(イ
)は光学系の構成を示した。図中1′は偏光依存性ビー
ムスプリフタ、2は2分割フォトディテクタである。
FIG. 4 is a diagram illustrating another embodiment of the present invention, and FIG. 4 (A) shows the configuration of the optical system. In the figure, 1' is a polarization-dependent beam splitter, and 2 is a two-split photodetector.

同図(ロ)は上記の偏光依存性ビームスプリッタ1°の
反射率特性で、S波は100%反射し、P波のみ線形の
入射角依存性を持つように作製した。ビームスプリッタ
膜としてはSiO□、 TiO□。
The figure (b) shows the reflectance characteristics of the above polarization-dependent beam splitter of 1°, which was fabricated so that 100% of the S wave was reflected and only the P wave had a linear incidence angle dependence. The beam splitter film is SiO□, TiO□.

MgF、 AIzO,などの誘電体多層膜を前記実施例
と同様の方法によって形成した。
A dielectric multilayer film of MgF, AIzO, etc. was formed by the same method as in the previous example.

いま、入射光がP波、S波の混合波とするとS波は全て
反射し、P波の50% が透過して2分割フォトディテ
クタ2で受光されることになる。
Now, if the incident light is a mixed wave of P waves and S waves, all of the S waves will be reflected, and 50% of the P waves will be transmitted and received by the two-split photodetector 2.

もし、この構成を光磁気ディスク用光ヘッドに応用すれ
ば、入射するS波に記録情報を載せておき反射光経路を
記録信号検出系として、一方、透過光経路を焦点位置ず
れ検出系として使用することができる。
If this configuration were applied to an optical head for a magneto-optical disk, recording information would be loaded onto the incident S wave, and the reflected light path would be used as a recording signal detection system, while the transmitted light path would be used as a focal position shift detection system. can do.

この場合の焦点位置ずれ情報は、2分割フォトディテク
タ2のCD両領域の出力差Fとして次式によって求めら
れる。
The focal position shift information in this case is obtained as the output difference F between the two CD regions of the two-segment photodetector 2 using the following equation.

F=(PC−P、)−−−−−−−−−−−−−−(2
)第5図は本発明の焦点位置ずれ検出器を使用した光磁
気ディスク用光ヘッドで、同図(イ)は2つの2分割フ
ォトディテクタを用いた2X2D−PDタイプの焦点位
置ずれ検出器を、第6図に示したナイフェツジ法による
焦点位置ずれ検出器に代えて適用した実施例である。図
から分かるようにレンズ16が不用となっており、光軸
調整などが極めて容易になった。
F=(PC−P,)−−−−−−−−−−−−−(2
) Figure 5 shows an optical head for a magneto-optical disk using the focal position deviation detector of the present invention, and Figure (a) shows a 2X2D-PD type focal position deviation detector using two two-part photodetectors. This is an embodiment applied in place of the focal position shift detector using the Knifezi method shown in FIG. As can be seen from the figure, the lens 16 is no longer needed, making optical axis adjustment extremely easy.

一方、第5図(ロ)は偏光依存性ビームスプリッタ1°
と1つの2分割フォトディテクタを用いたlX2D−P
Dタイプの焦点位置ずれ検出器を、第6図に示したナイ
フェツジ法による焦点位置ずれ検出器と、偏光ビームス
プリッタ11に代えて適用した実施例である。この例で
は光学部品が2個、・すなわち偏光ビームスプリッタ1
1とレンズ16が不用となり、光ヘッドの小型・軽量化
と調整作業の簡易化が可能となった。
On the other hand, Figure 5 (b) shows a polarization-dependent beam splitter of 1°.
lX2D-P using one two-part photodetector and
This is an embodiment in which a D-type focal position deviation detector is applied in place of the focal position deviation detector based on the Knifezi method shown in FIG. 6 and the polarizing beam splitter 11. In this example, there are two optical components: 1 polarizing beam splitter
1 and lens 16 are no longer necessary, making it possible to make the optical head smaller and lighter and to simplify adjustment work.

本実施例の光ヘッドの機能動作は、第6図の従来例と基
本的には同様なので、重複説明は省略する。
The functional operation of the optical head of this embodiment is basically the same as that of the conventional example shown in FIG. 6, and therefore, redundant explanation will be omitted.

なお、破線に囲まれた枠内が光ヘッドの光学系である。Note that the area within the frame surrounded by broken lines is the optical system of the optical head.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように、本発明による焦点位置ずれ検出器
は、簡単な構成で、光軸合わせ2位置合わせ、角度合わ
せが容易であり、かつ高精度、高感度であるので、各種
光応用デバイス、と(に光磁気ディスク用光ヘッドの小
型・軽量化ならびに高機能化に寄与するところが大きい
As explained above, the focal position shift detector according to the present invention has a simple configuration, facilitates optical axis alignment, two-position alignment, and angle alignment, and is highly accurate and sensitive, so that it can be used in various optical application devices. It greatly contributes to making optical heads for magneto-optical disks smaller, lighter, and more highly functional.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の焦点位置ずれ検出器の基本構成図、 第2図は本発明におけるビームスプリッタの透過率の入
射角依存性を示す図、 第3図は本発明の動作原理を説明する図、第4図は本発
明の他の実施例を説明する図、第5図は本発明の焦点位
置ずれ検出器を使用した光磁気ディスク用光ヘッドの実
施例、第6図はナイフェツジ法による焦点位置ずれ検出
器を使用した光ヘッドの従来例、 第7図はナイフェツジ法による焦点位置ずれ検出系を説
明する図である。 図において、 lはビームスプリンタ、 1”は偏光依存性ビームスプリッタ、 2.21.22は2分割フォトディテクタ、3は対物レ
ンズ、4はレーザダイオード、5.6,7.16はレン
ズ、 8はビーム整形プリズム、 9はビームスプリンタ、10は光磁気ディスク、11.
11’ は偏光ビームスプリッタ、12は1/2波長板
、13はミラー 14.15はフォトディテクタ、 17はナイフェツジである。 人身4角イ衣有性を示す図 第 2 図 本葵μ場の垂つイ乍原工里を言兇明する図第3図 (イ)A5営系の#+ガ苅 0口)4.光ヌダ4+主ビームスプワツタ(1つの反射
十特小生本光明の化の欠旋什12説明する図 め 図
Figure 1 is a basic configuration diagram of the focal position shift detector of the present invention. Figure 2 is a diagram showing the dependence of the transmittance of the beam splitter on the angle of incidence in the present invention. Figure 3 explains the operating principle of the present invention. 4 is a diagram explaining another embodiment of the present invention, FIG. 5 is an embodiment of an optical head for a magneto-optical disk using the focal position shift detector of the present invention, and FIG. 6 is a diagram using the Knifezi method. A conventional example of an optical head using a focal position deviation detector. FIG. 7 is a diagram illustrating a focal position deviation detection system using the Knifezi method. In the figure, l is a beam splinter, 1" is a polarization-dependent beam splitter, 2.21.22 is a two-split photodetector, 3 is an objective lens, 4 is a laser diode, 5.6 and 7.16 are lenses, and 8 is a beam. a shaping prism; 9 a beam splinter; 10 a magneto-optical disk; 11.
11' is a polarizing beam splitter, 12 is a half-wave plate, 13 is a mirror 14, 15 is a photodetector, and 17 is a knife. Diagram 2 showing the nature of the human body's four angles. Diagram 3 illustrating the meaning of the hanging Aoihara kuri of the Aoi μ field. 4 + main beam scatterer (1 reflection)

Claims (1)

【特許請求の範囲】 特定の入射光に対して、透過率あるいは反射率が、入射
角依存性を有するビームスプリッタ(1)と、 分割フォトディテクタ(2)とからなることを特徴とす
る焦点位置ずれ検出器。
[Claims] A focal position shift comprising: a beam splitter (1) whose transmittance or reflectance is incident angle dependent for specific incident light; and a split photodetector (2). Detector.
JP63325037A 1988-12-20 1988-12-20 Out-of-focus detector Pending JPH02166631A (en)

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