JPH02163902A - Thermal head - Google Patents

Thermal head

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JPH02163902A
JPH02163902A JP63319018A JP31901888A JPH02163902A JP H02163902 A JPH02163902 A JP H02163902A JP 63319018 A JP63319018 A JP 63319018A JP 31901888 A JP31901888 A JP 31901888A JP H02163902 A JPH02163902 A JP H02163902A
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resistor
resistor layer
layer
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thermal head
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昭彦 吉田
Atsushi Nishino
敦 西野
Nobuyuki Yoshiike
信幸 吉池
Yoshihiro Watanabe
善博 渡辺
Yasuhiro Takeuchi
康弘 竹内
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Abstract

PURPOSE:To manufacture the title thermal head provided with a resistor layer in even resistor value as well as the records in excellent quality by a method wherein the resistor layer is composed of a glass matrix, metal and/or oxide of resistor component element creeping in the gaps in the atomic coupling of the matrix while the resistor component element is specified to be ruthenium. CONSTITUTION:Within the title thermal head provided with at least a pair of electrodes 3, 4, a resistor layer 2 in contact with both electrodes 3, 4 and a substrate 1 with at least an insulating surface holding the electrodes 3, 4 and the resistor 2 while the resistor layer 2 is composed of a glass matrix, metal and/or oxide of resistor element creeping in the gaps in the atomic coupling of the matrix, the resistor component element is ruthenium while the ruthenium content of the resistor layer 2 is specified to be 1-10% in weight ratio. For example, the resistor layer 2 is formed by heat treatment after forming the paste film containing the thermal cracking organic compound of the resistor component as well as the thermal cracking organic compound of the element forming the glass matrix.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はファクシミリ、プリンタなどの記録装置に用い
るサーマルヘッドに関するものであり、さらに詳しくは
、サーマルヘッドの主構成要素の1つである抵抗体層の
改良に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention relates to a thermal head used in a recording device such as a facsimile or a printer, and more specifically relates to a thermal head used in a recording device such as a facsimile or a printer. Regarding improvements.

従来の技術 サーマルヘッドは、少なくとも一対の電極、前記両電極
と接している抵抗体層、少なくとも表面が絶縁性であっ
て、その表面に前記!極と抵抗体層を支持している基板
及び抵抗体層の上に形成された耐摩耗層から基本的に構
成されている。そして作り方によって薄膜型とJvM型
とがある。薄膜型は電価、抵抗体暦、耐摩耗層を真空中
でのヌパッタリング、蒸着などにより形成したものであ
る。
A conventional thermal head includes at least one pair of electrodes, a resistor layer in contact with both electrodes, at least the surface of which is insulating, and the surface of which is insulated. It basically consists of a substrate supporting the poles and the resistor layer, and a wear-resistant layer formed on the resistor layer. There are two types, a thin film type and a JvM type, depending on how they are made. The thin film type is one in which the electric charge, resistance layer, and wear-resistant layer are formed by puttering, vapor deposition, etc. in a vacuum.

また、厚膜型は例えば金の熱分解性有機化合物のベース
) 、 RuO2とガラスフリットを含むペースト及び
ホウケイ酸ガラスフリットのペーストをそれぞれ印刷、
焼成することによシ金電極、RLI02を分散している
ガラス層よりなる抵抗体層、ガラス層よりなる耐摩耗層
を得るもので、薄膜型より低コストで高性能サーマルヘ
ッドを得ることができる。
In addition, for the thick film type, for example, a paste containing a pyrolyzable organic compound of gold), a paste containing RuO2 and glass frit, and a paste of borosilicate glass frit are printed, respectively.
By firing, a gold electrode, a resistor layer made of a glass layer in which RLI02 is dispersed, and a wear-resistant layer made of a glass layer are obtained, and a high-performance thermal head can be obtained at a lower cost than a thin film type. .

サーマルヘッドは、一対の電極間に電流を通じることに
より、両電極に接している抵抗体層の特定領域を発熱さ
せ、これによって記録部材、例えば感熱記録紙の特定領
域を加熱して1ドツト分の記録を与えるものである。従
って、サーマルヘッドに要求される重要な特性は、抵抗
体層の発熱が効率よく記録紙側へ伝達されることと、通
常ライン状に配列された個々のKM対間の抵抗体層の発
熱が−様であることである。これら抵抗体層の抵抗が不
均一であると、それぞれの発熱量が−様でないので、記
録紙に記録される個碌の記録ドツトの濃度が不均一とな
り、記録に濃淡のヌジが生じ記録品質が悪くなる。とく
に階調記録の要求されるフルカラープリンタ用のサーマ
ルヘッドとしては、この特性が重視される。
A thermal head generates heat in a specific area of a resistor layer that is in contact with a pair of electrodes by passing an electric current between the pair of electrodes, thereby heating a specific area of a recording member, such as thermal recording paper, to produce one dot. It provides a record of. Therefore, the important characteristics required of a thermal head are that the heat generated in the resistor layer is efficiently transmitted to the recording paper side, and that the heat generated in the resistor layer between the individual KM pairs normally arranged in a line is transmitted efficiently. - be kind. If the resistance of these resistor layers is non-uniform, the amount of heat generated by each of them will be different, so the density of individual recording dots recorded on the recording paper will be non-uniform, resulting in uneven shading in the recording. Quality deteriorates. This characteristic is particularly important for thermal heads for full-color printers that require gradation recording.

このような記録濃度ムラの原因としては、個々の抵抗体
ドツトの抵抗値のばらつきが挙げられる。
One of the causes of such recording density unevenness is variation in the resistance values of individual resistor dots.

このような個々の抵抗体ドツトの抵抗値ばらつきを小さ
くするために、厚膜型では、トリミング工程が採用され
ている。この工程は、抵抗体層の個々のドツトに過負荷
パルスを印加するもので、これにより抵抗値を目標の±
0.5チ以内にまですることが可能である。一方、薄膜
型のものでは、抵抗体を得るだめの蒸着やスパッタリン
グの条件を制御することにより、個々の抵抗体ドツトの
抵抗値を±2.6チ以内にすることができる。しかし薄
膜方式のヘッドでは、現在の抵抗値のばらつきをさらに
改善するのは困難であり、厚膜方式のヘッドでは、以下
に述べるように現行方式に問題点がある。
In order to reduce such variations in resistance values of individual resistor dots, a trimming process is adopted in the thick film type. This process involves applying overload pulses to individual dots in the resistor layer, which causes the resistance to rise within the target range.
It is possible to reduce the distance to within 0.5 inch. On the other hand, in the case of a thin film type, the resistance value of each resistor dot can be made within ±2.6 inches by controlling the conditions for vapor deposition and sputtering to obtain the resistor. However, with a thin film head, it is difficult to further improve the current variation in resistance value, and with a thick film head, the current system has problems as described below.

現在の厚膜型のサーマルヘッドの抵抗体層は、抵抗体成
分のRu O2とガラスフリフトと有機バインダとから
なるペーストをスクリーン印刷し、これを焼成すること
により形成される。ところが、出発ペーストがRuO2
粉末とガラス粉末との混合物であるため、生成する抵抗
体層も両者の混合物となる。そして、Ru O2粉末と
して粒径の小さ込ものを用いても、凝集したり、ガラス
マトリクスへの分散が悪く、得られる抵抗体層中ではか
なり大きな粒径となる。その結果、電流は相互に接触し
ているRuO2粉末を通じて流れることとなる。
The resistor layer of current thick-film thermal heads is formed by screen printing a paste consisting of resistor components RuO2, glass lift, and an organic binder, and then firing the paste. However, the starting paste was RuO2
Since it is a mixture of powder and glass powder, the resulting resistor layer will also be a mixture of the two. Even if a Ru O2 powder with a small particle size is used, it may aggregate or have poor dispersion into the glass matrix, resulting in a considerably large particle size in the resulting resistor layer. As a result, current will flow through the RuO2 powders that are in contact with each other.

従って、−様な抵抗値を有する抵抗体を得るためには、
相当量のRu O2粉末が必要になる。一方、トリミン
グによりドツト抵抗値を一定にしても、一つの抵抗体ド
ツトのなかの特にトリミングされやすい部分で抵抗値の
優先的変化が起きるので、ド、)抵抗値が目標値に達し
た場合でも、実際の記録では一つのドツトの一部分に発
熱が集中することになり、正常なドツト形状が得られな
くなる。
Therefore, in order to obtain a resistor with a -like resistance value,
A considerable amount of Ru O2 powder is required. On the other hand, even if the dot resistance value is kept constant through trimming, the resistance value will preferentially change in the part of one resistor dot that is particularly prone to trimming, so even if the resistance value reaches the target value, In actual recording, heat is concentrated in a portion of one dot, making it impossible to obtain a normal dot shape.

このような一つの抵抗体ドツトの中での電流パスの偏り
は、抵抗値の不均一分布、即ち、抵抗体層中のRuO2
のような導電性要素の不均一分布に起因する。
Such a bias in the current path within one resistor dot is caused by non-uniform distribution of resistance values, that is, due to the RuO2 in the resistor layer.
due to non-uniform distribution of conductive elements such as

発明が解決しようとする課題 前記のように、RuO2とガラス粉末との混合物からな
る従来の抵抗体層では、抵抗値の−様な抵抗体層を得る
のは困難であった。
Problems to be Solved by the Invention As mentioned above, it is difficult to obtain a resistor layer with a resistance value of - with the conventional resistor layer made of a mixture of RuO2 and glass powder.

本発明は、以上のような従来の不都合を解消し、均一な
抵抗値の抵抗体層を有し、品質の優れた記録を与えるサ
ーマルヘッドを提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a thermal head which eliminates the above-mentioned conventional disadvantages, has a resistor layer having a uniform resistance value, and provides recording of excellent quality.

課題を解決するための手段 本発明のサーマルヘッドは、少なくとも一対の電極、前
記両電極と接している抵抗体層、少なくとも表面が絶縁
性であって、その表面に前記型(至)と抵抗体層とを支
持している基板とを有するサーマルヘッドにおいて、前
記抵抗体層が、ガラスのマトリクスと、前記マトリクス
の原子結合の間隙に入り込んだ抵抗体成分元素の金属及
び/又は酸化物とから構成され、前記抵抗体成分元素が
ルテニウム又はルテニウムとロジウムであシ、抵抗体層
のルテニウム含量が1〜1o重量%である。
Means for Solving the Problems The thermal head of the present invention includes at least one pair of electrodes, a resistor layer in contact with both electrodes, at least the surface of which is insulating, and the mold and the resistor layer are disposed on the surface. In the thermal head, the resistor layer is composed of a glass matrix and a metal and/or oxide of a resistor component element that has entered the atomic bond gaps of the matrix. The resistor component elements are ruthenium or ruthenium and rhodium, and the ruthenium content of the resistor layer is 1 to 10% by weight.

作  用 本発明のサーマルヘッドの抵抗体層を得る好ましい方法
は、抵抗体成分元素の熱分解性有機化合物、及びガラス
のマトリクスを形成する元素の熱分解性有機化合物を含
むペーストの被膜を印刷、スピンコード、描画法などに
より形成する工程、加熱処理により前記ペースト中の前
記有機化合物を熱分解してガラスマトリクスと、前記マ
トリクス中に分散した抵抗体成分元素の金属及び/又は
酸化物とからなる抵抗体層を生成させる工程とからなる
A preferred method for obtaining the resistor layer of the thermal head of the present invention is to print a paste film containing a pyrolyzable organic compound as a resistor component element and a pyrolyzable organic compound as an element forming a glass matrix. The organic compound in the paste is thermally decomposed by a process of forming by a spin code, drawing method, etc., and a glass matrix is formed by thermally decomposing the organic compound in the paste, and the metal and/or oxide of the resistor component element dispersed in the matrix. It consists of a step of generating a resistor layer.

前記のペーストは、前記有機化合物、及びこれら有機化
合物を溶解する溶媒、前記溶媒に可溶の有機バインダか
ら構成されるものが好ましい。このペースト中では、抵
抗体成分元素の有機化合物と、ガラスのマトリクスを形
成する元素の有機化合物とが分子Vべlしで混じり合っ
ておシ、これらを熱分解することによりガラスのマトリ
クスを形成する元素の酸化物、抵抗体成分元素の金属及
び/又は酸化物が生成し、そして前記の酸化物の融合に
よす生じるガラスのマトリクス中に後者の金属及び/又
は酸化物がとり込まれて抵抗体層が形成される。このよ
うにして生成する抵抗体層中では、抵抗体成分元素の金
属及び/又は酸化物は、原子又は分子レベルでガラスの
マトリクスの原子結合の間隙に入り込んだ状態にある。
The paste is preferably composed of the organic compound, a solvent that dissolves the organic compound, and an organic binder that is soluble in the solvent. In this paste, the organic compound of the resistor component element and the organic compound of the element forming the glass matrix are mixed in molecular V ratio, and by thermally decomposing them, a glass matrix is formed. oxides of the elements, metals and/or oxides of the resistor component elements are formed, and the latter metals and/or oxides are incorporated into the glass matrix formed by the fusion of the oxides. A resistor layer is formed. In the resistor layer produced in this way, the metal and/or oxide of the resistor component element is in a state of entering into the gaps between the atomic bonds of the glass matrix at the atomic or molecular level.

従って、抵抗体層は非常に均一な組成となり、抵抗体成
分元素の量が従来より少量でよい。
Therefore, the resistor layer has a very uniform composition, and the amount of resistor component elements may be smaller than conventional ones.

第1図は、ガラスマトリクスとそのマトリクス中に分散
している主としてルテニウムの酸化物とからなる抵抗体
層のルテニウム元素含有率と抵抗体層の抵抗値のばらつ
きとの関係を示したものである。なお、抵抗値に関連す
る縦軸には、100×σ/Rの値を表した。Rは抵抗値
の平均値、σは標準偏差値である。
Figure 1 shows the relationship between the ruthenium element content of a resistor layer consisting of a glass matrix and mainly ruthenium oxides dispersed in the matrix and the variation in the resistance value of the resistor layer. . Note that the vertical axis related to the resistance value represents the value of 100×σ/R. R is the average resistance value, and σ is the standard deviation value.

第1図で、Aは本発明の抵抗体層の特性、Bは従来の抵
抗体層の特性を表す。Aの場合は、ルテニウム又はその
酸化物は原子又は分子が数個単位の相としてガラスマト
リクス中に分散しているが、Bの場合は径が5μm以上
の粒子として分散している。従って、Bの場合は、Ru
元素含有量が10重量%より少ないと、急拠抵抗値のば
らつきが大きくなる。一方、Aの場合は、Ru元素含有
量が少なくても抵抗値のばらつきは非常に低い。
In FIG. 1, A represents the characteristics of the resistor layer of the present invention, and B represents the characteristics of the conventional resistor layer. In case A, ruthenium or its oxide is dispersed in the glass matrix as a phase of several atoms or molecules, but in case B, it is dispersed as particles with a diameter of 5 μm or more. Therefore, in the case of B, Ru
When the element content is less than 10% by weight, the variation in the resistance value becomes large. On the other hand, in the case of A, the variation in resistance value is very low even if the Ru element content is low.

ルテニウムを用いた抵抗体層は、抵抗値の温度依存性が
第2図のとのように非常に大きい。これを改良するには
ロジウムを併用するのがよい。ロジウムの併用により、
抵抗値の温度依存性は、第2図のbのように改善される
。また、ロジウムの添加により、抵抗体層の成膜性も改
善される。ルテニウムとロジウムを併用する場合、重量
比は0(Rh/Ru(6が適当である。
In the resistor layer using ruthenium, the temperature dependence of the resistance value is very large as shown in FIG. To improve this, it is better to use rhodium together. With the combination of rhodium,
The temperature dependence of the resistance value is improved as shown in FIG. 2b. Furthermore, the addition of rhodium also improves the film formability of the resistor layer. When using ruthenium and rhodium together, the weight ratio is 0 (Rh/Ru (6) is suitable.

次に、ガラスのマトリクスを形成する元素としては、は
うけい酸ガラスを構成するほう素、珪素。
Next, the elements that form the glass matrix are boron and silicon, which make up silicate glass.

その他はうけい酸鉛ガラスを構成する鉛、ランタン系ガ
ラスを構成するランタン、その他ビスマス等が挙げられ
る。
Others include lead, which constitutes lead silicate glass, lanthanum, which constitutes lanthanum-based glass, and bismuth.

また、上記の他、必要に応じて他の白金族元素。In addition to the above, other platinum group elements as necessary.

金、m、ニッケル、クロム、ジルコニウム、チタン、バ
ナジウム、アルミニウム、タンタルなどを抵抗値可変成
分もしくは抵抗体の耐パルス信頼性向上のための添加元
素として加えることもできる。
Gold, metal, nickel, chromium, zirconium, titanium, vanadium, aluminum, tantalum, etc. can also be added as resistance variable components or additive elements for improving the pulse resistance reliability of the resistor.

上記の元素の熱分解性有機化合物としては、エチルアル
コキシド、イソプロポキシドなどのアルゴラート、ヘキ
サン酸エステルで代表される脂肪酸エステル、メントー
ルアルコラードやエステルなどの多環有機化合物、アビ
エチン酸塩などのロジン化合物、シロキサン類、ホウ酸
有機化合物などがある。
Thermal decomposable organic compounds of the above elements include algorates such as ethyl alkoxide and isopropoxide, fatty acid esters such as hexanoic acid esters, polycyclic organic compounds such as menthol alcoholade and esters, and rosins such as abietates. compounds, siloxanes, boric acid organic compounds, etc.

これらの有機化合物を含むペーストを加熱して所望の金
属や酸化物を生成させる温度は用いる化合物によって異
なるが、通常500〜800Cであり、酸素を含む雰囲
気下が好ましい。
The temperature at which a paste containing these organic compounds is heated to produce a desired metal or oxide varies depending on the compound used, but is usually 500 to 800 C, preferably in an atmosphere containing oxygen.

本発明による抵抗体層は、実用的には0.3〜1μm程
度の均一な膜厚のものとして得ることができる。このよ
うに、厚さが薄く、かつ気泡などの欠陥が殆どないので
、記録時の熱効率も良好である。
The resistor layer according to the present invention can practically be obtained with a uniform thickness of about 0.3 to 1 μm. As described above, since the thickness is thin and there are almost no defects such as bubbles, the thermal efficiency during recording is also good.

本発明による抵抗体層について、6木/Hの解1φ度の
ものでドツト抵抗値とルテニウム含量との関係を調べる
と、膜厚0.3μmの場合、ルテニウム含量1〜10重
量%で100〜10にΩとなり、ルテニウム含量がこの
範囲を外れると、抵抗値が非常に高くなるか、低くなる
ため実用的でない。
Regarding the resistor layer according to the present invention, when the relationship between the dot resistance value and the ruthenium content was investigated using a 6mm/H solution of 1φ degree, it was found that when the film thickness was 0.3 μm, the ruthenium content was 100 to 100% by weight. 10Ω, and if the ruthenium content is outside this range, the resistance value will become very high or low, making it impractical.

実施例 第3図は゛本発明によるサーマルヘッドの構成例を示す
要部の縦断面図である。
Embodiment FIG. 3 is a longitudinal cross-sectional view of essential parts showing an example of the structure of a thermal head according to the present invention.

1は少なくとも表面が絶縁性である基板である。1 is a substrate having at least an insulating surface.

表面にホーロ被覆を施した鋼板、表面にグレーズ層を有
するアルミナ基板などが用いられる。2はその表面に形
成した抵抗体層である。3.4は抵抗体層2の上に形成
した電極である。通常、一方の電極は共通電極、他方は
個別電極であり、このような電極対がライン状に多数配
列される。5はこれら電極3.4及び抵抗体層20表面
を覆う耐摩耗層であシ、記録紙と接触してこf′LK抵
抗体層の発熱を伝達するとともに、′tIt、極や抵抗
体層が摩耗するのを防止する。
A steel plate with a hollow coating on the surface, an alumina substrate with a glaze layer on the surface, etc. are used. 2 is a resistor layer formed on the surface thereof. 3.4 is an electrode formed on the resistor layer 2. Usually, one electrode is a common electrode and the other is an individual electrode, and a large number of such electrode pairs are arranged in a line. Reference numeral 5 denotes a wear-resistant layer covering the surfaces of these electrodes 3.4 and the resistor layer 20, which contacts the recording paper and transmits the heat generated by the resistor layer f'LK. Prevent wear.

第4図はサーマルヘッドの他の構成例を示す。FIG. 4 shows another example of the structure of the thermal head.

11は基板であり、その上に電極13.14を形成し、
その後抵抗体812と耐摩耗層15を形成したものであ
る。
11 is a substrate, on which electrodes 13 and 14 are formed;
After that, a resistor 812 and a wear-resistant layer 15 were formed.

以下、本発明の具体的実施例を説明する。Hereinafter, specific examples of the present invention will be described.

実施例1 グレーズ層を表面に有するアルミナ基板の上に、金から
なる一対の電極層を形成する。この電極層の間に両電極
に接して360μm幅の抵抗体層を抵抗ペーストの印刷
、焼成により形成する。抵抗体ペーストとしてRu、R
h、St、B、Biそれぞれのエチルヘキサン酸塩ト、
エチルセルロース及びテルピネオールの混合物(粘度5
0000 cp)ヲ用いた。乾燥後800’Cで焼成し
抵抗体層とした。
Example 1 A pair of electrode layers made of gold are formed on an alumina substrate having a glaze layer on its surface. Between these electrode layers and in contact with both electrodes, a resistor layer having a width of 360 μm is formed by printing and baking a resistor paste. Ru, R as resistor paste
h, St, B, Bi ethylhexanoates,
A mixture of ethylcellulose and terpineol (viscosity 5
0000 cp) was used. After drying, it was fired at 800'C to form a resistor layer.

抵抗体層の上に硼珪酸ガラスフリットのペーストの印刷
、焼成により耐摩耗層を形成する。
A wear-resistant layer is formed on the resistor layer by printing and baking a borosilicate glass frit paste.

実施例2 厚さ100μmのホーロ層を有するホーロ基板の上に、
実施例1の抵抗ペーストにさらにテルピネオールを加え
て粘度を1000 cpにしたペーストの膜をスピンナ
を用いて形成する。スピンナの回転数は200 Orp
mとした。800’Cで焼成後、ホトリソエツチング法
により抵抗体を所定のパターンに形成する。ただし、エ
ツチング液として硫酸と硼酸アンモニウムとの混合液を
用いた。
Example 2 On a hollow substrate having a hollow layer with a thickness of 100 μm,
Terpineol was further added to the resistance paste of Example 1 to form a paste film with a viscosity of 1000 cp using a spinner. Spinner rotation speed is 200 Orp.
It was set as m. After firing at 800'C, a resistor is formed into a predetermined pattern by photolithography. However, a mixed solution of sulfuric acid and ammonium borate was used as the etching solution.

次に金の有機金属化合物ペーストの印刷焼成により金層
を抵抗体層の上に形成し、引き続きホトリソエツチング
法によシミ極層を所定のパターンに形成する。この上に
SL、B、Pbそれぞれのエチルアルコキシトド、エチ
ルセルロース及びテルピネオールから構成されるペース
トの印刷、焼成により耐摩耗層を形成する。
Next, a gold layer is formed on the resistor layer by printing and baking a gold organometallic compound paste, and subsequently a stain electrode layer is formed in a predetermined pattern by photolithography. On top of this, a wear-resistant layer is formed by printing and baking a paste composed of ethyl alkoxytide of SL, B, and Pb, ethyl cellulose, and terpineol.

実施例3 グレーズ層を表面に有するアルミナ基板の上に一対の電
極層を形成する。この′H,極層の間に350μm幅の
抵抗体層を抵抗ペーストの印刷、焼成により形成する。
Example 3 A pair of electrode layers is formed on an alumina substrate having a glaze layer on its surface. A resistor layer having a width of 350 μm is formed between the 'H and pole layers by printing and baking a resistor paste.

抵抗体ペーストとしてRu、Si。Ru, Si as resistor paste.

B、Biそれぞれのエチルヘキサン酸塩ト、エチルセル
ロース及びテルピネオールの混合物(粘度60000c
p)を用いた。乾燥後8oo℃で焼成し抵抗体層とした
。抵抗体層の上に硼珪酸ガラスフリットのペーストの印
刷、焼成によシ耐摩耗層を形成する。
B, Bi ethylhexanoate, ethyl cellulose and terpineol mixture (viscosity 60000c)
p) was used. After drying, it was fired at 80°C to form a resistor layer. A wear-resistant layer is formed on the resistor layer by printing and firing a borosilicate glass frit paste.

以上の実施例で得られたサーマルヘッドの特性を表に示
す。比較のだめK、従来構成のサーマルへ、ドの特性も
並記した。比較例1は厚膜型ヘッド、比較例2は薄膜型
ヘッドである。
The characteristics of the thermal head obtained in the above examples are shown in the table. For comparison, the characteristics of K, conventional thermal configuration, and C are also listed. Comparative Example 1 is a thick film head, and Comparative Example 2 is a thin film head.

発明の効果 以上のように、本発明によれば、優れた記録品質を与え
るサーマルヘッドが得られる。
Effects of the Invention As described above, according to the present invention, a thermal head that provides excellent recording quality can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は抵抗体層中のRu含有量と抵抗値のばらつきと
の関係を示す図、第2図は抵抗体層の抵抗値の温度依存
性を示す図、第3図及び第4図は本発明のサーマルヘッ
ドの構成例を示す要部縦断面図である。 1.11・・・・・・基板、2.12・・・・・抵抗体
層、3゜4.13.14・・・・・・電極、5.16・
・・・・・耐摩耗層。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか1名図 〜100 1口 漫 (C) Ru杏遺量 (%2
Figure 1 is a diagram showing the relationship between the Ru content in the resistor layer and the variation in resistance value, Figure 2 is a diagram showing the temperature dependence of the resistance value of the resistor layer, and Figures 3 and 4 are 1 is a longitudinal cross-sectional view of a main part showing a configuration example of a thermal head of the present invention. 1.11... Substrate, 2.12... Resistor layer, 3°4.13.14... Electrode, 5.16...
...Wear-resistant layer. Name of agent: Patent attorney Shigetaka Awano and 1 other figure ~ 100 1 comment (C) Ru An's estate (%2)

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)少なくとも一対の電極、前記両電極と接している
抵抗体層、及び少なくとも表面が絶縁性であって、その
表面に前記電極と抵抗体層とを支持している基板を備え
、前記抵抗体層が、ガラスのマトリクスと、前記マトリ
クスの原子結合の間隙に入り込んだ抵抗体成分元素の金
属及び/または酸化物とから構成されているサーマルヘ
ッドにおいて、前記抵抗体成分元素がルテニウムであり
、抵抗体層のルテニウム含量が重量比で1〜10%であ
ることを特徴とするサーマルヘッド。
(1) comprising at least one pair of electrodes, a resistor layer in contact with both electrodes, and a substrate having at least an insulating surface and supporting the electrodes and the resistor layer on the surface; In a thermal head in which the body layer is composed of a glass matrix and a metal and/or oxide of a resistor component element that has entered the atomic bond gaps of the matrix, the resistor component element is ruthenium, A thermal head characterized in that the ruthenium content of the resistor layer is 1 to 10% by weight.
(2)少なくとも一対の電極、前記両電極と接している
抵抗体層、及び少なくとも表面が絶縁性であって、その
表面に前記電極と抵抗体層とを支持している基板を備え
、前記抵抗体層が、ガラスのマトリクスと、前記マトリ
クスの原子結合の間隙に入り込んだ抵抗体成分元素の金
属及び/または酸化物とから構成されているサーマルヘ
ッドにおいて、前記抵抗体成分元素がルテニウムとロジ
ウムであり、抵抗体層のルテニウム含量が重量比で1〜
10%であることを特徴とするサーマルヘッド。
(2) comprising at least one pair of electrodes, a resistor layer in contact with both electrodes, and a substrate having at least an insulating surface and supporting the electrodes and the resistor layer on the surface; In a thermal head in which the body layer is composed of a glass matrix and a metal and/or oxide of a resistor component element inserted into the atomic bond gaps of the matrix, the resistor component element is ruthenium and rhodium. Yes, the ruthenium content of the resistor layer is 1 to 1 by weight.
A thermal head characterized by 10%.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS5030094A (en) * 1972-07-08 1975-03-26
JPS6246501A (en) * 1985-08-23 1987-02-28 田中マツセイ株式会社 Resistance composition for thermal printer head

Patent Citations (2)

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