JPH02163605A - Disk medium projection inspecting signal processing circuit - Google Patents

Disk medium projection inspecting signal processing circuit

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JPH02163605A
JPH02163605A JP32020288A JP32020288A JPH02163605A JP H02163605 A JPH02163605 A JP H02163605A JP 32020288 A JP32020288 A JP 32020288A JP 32020288 A JP32020288 A JP 32020288A JP H02163605 A JPH02163605 A JP H02163605A
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JP
Japan
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frequency
signal
oscillator
head slider
disk medium
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Application number
JP32020288A
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Japanese (ja)
Inventor
Kenji Mochizuki
望月 研二
Toshitake Sato
勇武 佐藤
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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  • Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

PURPOSE:To use an oscillator of a fixed frequency as an oscillator in a frequency converting means for bringing an inspecting signal to frequency conversion by providing a floating type head slider, an elastic resonance frequency signal generating circuit, a first and a second frequency mixers and a band pass filter. CONSTITUTION:An elastic resonance frequency signal generating circuit 40 generates a signal of almost the same frequency as an elastic resonance fre quency of a floating type head slider 7. An oscillator 50 outputs a signal of almost the same frequency as the center frequency of a band pass filter 33. A first frequency mixer 60 mixes an output signal of the oscillator 50 and an output signal of the circuit 40. A second frequency mixer 31 mixes a disk medium projection inspecting signal outputted from a piezoelectric element 10 provided on a slider 7 and an output signal of the circuit 40. In this regard, a filter 33 has band width of about 0.1-fold - 10-fold of band width of a peak in a frequency spectrum spectrum of an inspecting signal induced in an element 10. According to this constitution, an oscillator of a fixed frequency can be used as an oscillator for outputting a prescribed frequency signal.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、磁気記録装置に用いられる浮動形ヘッドスラ
イダに圧電素子等の弾性波検出素子を搭載し、この弾性
波検出素子が出力するディスク媒体突起検査信号を処理
する回路に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention provides a floating head slider used in a magnetic recording device equipped with an elastic wave detection element such as a piezoelectric element, and a disk output by this elastic wave detection element. The present invention relates to a circuit for processing a medium protrusion inspection signal.

[従来の技術] 磁気記録装置に用いられる浮動形ヘッドスライダは、磁
気ディスク媒体上を高速(数m/s〜数十m/S)で走
行するとともに、サブミクロンオーダの微少隙間で浮上
走行する。したがって、磁気ディスク媒体上の微細な突
起または固着した塵埃等と上記浮動形ヘッドスライダが
接触すると、上記浮動形へ7ドスライダとディスク媒体
とが損傷し、情報が破壊され、記録再生機能が消失する
[Prior Art] A floating head slider used in a magnetic recording device travels above a magnetic disk medium at high speed (several m/s to several tens of m/s) and flies in a minute gap on the order of submicrons. . Therefore, if the floating head slider comes into contact with minute protrusions or fixed dust on the magnetic disk medium, the floating head slider and the disk medium will be damaged, information will be destroyed, and the recording/reproducing function will be lost. .

そこで、磁気ディスク装置を製造するときに、磁気ディ
スク媒体表面の微少な突起を除去することが必須であり
、この突起を除去するには、スライダ走行面に特殊なテ
ーパーを設けたバニッシュスライダをディスク媒体上で
低浮上させながら走行する。このようにして突起を除去
した後に、ディスク媒体表面の突起の有無を検査する場
合、突起とヘッドとが接触したときにヘッドに発生する
弾性波を、検出素子で機械・電気変換する検査方式が一
般に用いられている。
Therefore, when manufacturing magnetic disk drives, it is essential to remove minute protrusions on the surface of the magnetic disk medium. To remove these protrusions, a vanish slider with a special taper on the slider running surface is used to Travels while flying low above the medium. After removing the protrusions in this way, when inspecting the surface of the disk medium for the presence or absence of protrusions, an inspection method that uses a detection element to mechanically and electrically convert the elastic waves generated in the head when the protrusions and the head come into contact is used. Generally used.

しかし、近年、ヘッドの浮上量を少なくする傾向にあり
、この場合、上記機械・電気変換された検査信号のSN
比が低下するので、高精度で高感度な媒体突起検査方式
が望まれている。
However, in recent years, there has been a trend to reduce the flying height of the head, and in this case, the SN of the mechanically-electrically converted test signal
Since the ratio decreases, a highly accurate and sensitive medium protrusion inspection method is desired.

第4図は、突起検査を行なう従来例の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a conventional example of protrusion inspection.

この従来例は、AE(アコースティックエミッション)
センサと呼ばれ、約数子KHz〜数MHzの少なくとも
一点に共振周波数を持つ大型の振動センサlを、浮動形
ヘッドスライダ7から離れたアーム2上に取付けて突起
検査を行なうものである。
This conventional example uses AE (acoustic emission)
A large vibration sensor 1, called a sensor, having a resonant frequency at at least one point in the range of a few kHz to several MHz is mounted on an arm 2 remote from the floating head slider 7 to perform protrusion inspection.

そして、浮動形ヘッドスライダ7を支えるジンバル3が
設けられ、磁気ディスク媒体4の回転につれて空気流5
が流入し、この場合、ディスク媒体4上には微細突起6
が固着し、塵埃8が付着しているとする。そして、突起
6または塵埃8が浮動形ヘッドスライダ7と接触すると
、浮動形ヘッドスライダ7が弾性振動し、その弾性波は
、ジンバル3、アーム2と伝搬し、AEセンサ1に到達
する。
A gimbal 3 is provided to support the floating head slider 7, and as the magnetic disk medium 4 rotates, an air flow 5 is provided.
In this case, fine protrusions 6 are formed on the disk medium 4.
Suppose that it is stuck and dust 8 is attached. When the protrusion 6 or the dust 8 comes into contact with the floating head slider 7, the floating head slider 7 vibrates elastically, and the elastic wave propagates through the gimbal 3 and the arm 2, and reaches the AE sensor 1.

この従来例においては、センサ1自体の感度は高いが、
浮動形ヘッドスライダ7で発生した弾性波をAEセンサ
lに導くために特殊な加工をしたジンバル3とアーム2
との伝搬路が必要である。
In this conventional example, although the sensitivity of the sensor 1 itself is high,
The gimbal 3 and arm 2 are specially processed to guide the elastic waves generated by the floating head slider 7 to the AE sensor l.
A propagation path is required.

したがって、ジンバル3とアーム2とを含む長い伝送路
を経由することによって、波形歪・時間遅れ等が発生す
るので、浮動形ヘッドスライダ7に作用する衝撃力を正
確に把握することができないという問題がある。さらに
、大型のAEセンサlをアーム2上に取付けるので、ヘ
ッドシーク時に機械的雑音を拾いやすく、衝撃力と雑音
との弁別をつけにくいという問題がある。
Therefore, the problem is that it is not possible to accurately grasp the impact force acting on the floating head slider 7 because waveform distortion, time delay, etc. occur due to the long transmission path including the gimbal 3 and the arm 2. There is. Furthermore, since the large AE sensor 1 is mounted on the arm 2, mechanical noise is easily picked up during head seeking, making it difficult to distinguish between impact force and noise.

第5図は、浮動形ヘッドスライダに小型の圧電素子を直
接貼付けた従来例の説明図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram of a conventional example in which a small piezoelectric element is directly attached to a floating head slider.

この従来例は、浮動形ヘッドスライダの挙動を正確に把
握できる接触検出方法・媒体突起検査方法として米国特
許(U、S、 PAT 4532802. Aug、 
8゜1985)等に発表されている。しかし、この従来
例においては、浮動形ヘッドスライダ7の挙動を検出回
路9で正確に把握できるが、浮動形ヘッドスライダ7の
小型化に応じて圧電素子10を小型にすると、出力信号
が小さくなり、SN比が低下するという問題がある。
This conventional example is a contact detection method/medium protrusion inspection method that can accurately grasp the behavior of a floating head slider, and is patented in the United States (U.S., PAT 4532802. Aug.
8゜1985), etc. However, in this conventional example, although the behavior of the floating head slider 7 can be accurately grasped by the detection circuit 9, when the piezoelectric element 10 is made smaller in accordance with the miniaturization of the floating head slider 7, the output signal becomes smaller. , there is a problem that the signal-to-noise ratio decreases.

第6図は、バンドパスフィルタを狭帯域化することによ
ってSN比を改善する従来例の回路図である。
FIG. 6 is a circuit diagram of a conventional example in which the SN ratio is improved by narrowing the band of a bandpass filter.

この従来例においては、圧電素子10に誘起される電圧
の主共振周波数は、浮動形ヘッドスライダ7の材質、寸
法、浮動形ヘッドスライダ7とディスク媒体4との接触
め頻度、温度変化等によって異なり、したがって、上記
主共振周波数は、バラツキ、変動する。
In this conventional example, the main resonance frequency of the voltage induced in the piezoelectric element 10 varies depending on the material and dimensions of the floating head slider 7, the frequency of contact between the floating head slider 7 and the disk medium 4, temperature changes, etc. , Therefore, the main resonance frequency varies and fluctuates.

ところで、バンドパスフィルタ21は、通常。By the way, the bandpass filter 21 is normally used.

低域をカットするバイパスフィルタと高域をカットする
ローパスフィルタとで構成され、バンドパスフィルタ2
1の中心周波数は、上記2つのフィルタのカットオフ周
波数の中心になる。そして、その中心周波数を連続可変
にするには、2つのフィルタのカットオフ周波数をそれ
ぞれ変化可能にする必要がある。
Bandpass filter 2 consists of a bypass filter that cuts low frequencies and a low-pass filter that cuts high frequencies.
The center frequency of 1 is the center of the cutoff frequencies of the two filters. In order to make the center frequency continuously variable, it is necessary to make the cutoff frequencies of the two filters variable.

したがって、バンドパスフィルタの中心周波数を変える
には、精度の高いフィルタを多数設け。
Therefore, in order to change the center frequency of a bandpass filter, a large number of highly accurate filters must be installed.

それらを切換えて使用することになり、あまり現実的で
はなく、また、時間的な変動に対してバンドパスフィル
タ21の中心周波数を追従させることが困難である。そ
こで、この圧電素子10に誘起する主共振周波数のバラ
ツキ、変動に対応するために、バンド幅を大きめに設定
しているのが現状であり、これによってSN比の向上が
阻止されている。
Since they have to be switched and used, it is not very practical, and it is also difficult to make the center frequency of the bandpass filter 21 follow temporal fluctuations. Therefore, in order to cope with the dispersion and fluctuation of the main resonance frequency induced in the piezoelectric element 10, the current situation is to set the bandwidth to be relatively large, which prevents the improvement of the S/N ratio.

なお、第6図において、圧電素子lOに誘起される電圧
(ディスク媒体突起検査信号)に基づいて、突起6との
接触回数を計数する回路が設けられ、この回路としては
、増幅器20.22、バンドパスフィルタ21、検波回
路23、基準電圧源25で発生する閾値電圧と比較する
コンパレータ24、閾値電圧を越えた波の数をカウント
するカウンタ26、記録装置27が設けられている。
In addition, in FIG. 6, a circuit is provided that counts the number of times of contact with the protrusion 6 based on the voltage induced in the piezoelectric element IO (disk medium protrusion inspection signal), and this circuit includes an amplifier 20, 22, A bandpass filter 21, a detection circuit 23, a comparator 24 for comparing with a threshold voltage generated by a reference voltage source 25, a counter 26 for counting the number of waves exceeding the threshold voltage, and a recording device 27 are provided.

ところで、この従来例においては、外来ノイズ等のノイ
ズによって、突起6との接触回数を誤って累積すること
が頻繁に発生するという問題がある。
However, in this conventional example, there is a problem in that the number of times of contact with the protrusion 6 is erroneously accumulated frequently due to noise such as external noise.

第7図は、圧電素子からのディスク媒体突起検査信号を
周波数変換し、狭帯域のバンドパスフィルタを通過させ
ることによって、SN比を向上する従来例の回路図であ
る。
FIG. 7 is a circuit diagram of a conventional example in which the signal-to-noise ratio is improved by converting the frequency of a disk medium protrusion test signal from a piezoelectric element and passing it through a narrow band pass filter.

この従来例は、特願昭61−257,016号に示され
ているように、周波数混合器31によって、圧電素子1
0に誘起された主共振周波数の信号(ディスク媒体突起
検査信号)とローカル発振器30の出力信号とを混合し
、上記ディスク媒体突起検査信号の周波数とローカル発
振器30の出力の周波数との和または差の周波数の信号
を出力する。そして、この出力信号が、狭帯域のバンド
パスフィルタ33を経由し、検波回路23でエンベロー
プを作り、コンパレータ24で閾値電圧と比較され、閾
値電圧を越えた波の数をカウンタ26でカウントし、突
起6との接触回数を計数するものである。なお、ローカ
ル発振器30は、周波数可変の発振器である。
In this conventional example, as shown in Japanese Patent Application No. 61-257,016, the piezoelectric element 1 is
The signal of the main resonance frequency induced at zero (disk medium protrusion test signal) and the output signal of the local oscillator 30 are mixed, and the sum or difference between the frequency of the disk medium protrusion test signal and the frequency of the output of the local oscillator 30 is calculated. Outputs a signal with a frequency of Then, this output signal passes through a narrowband bandpass filter 33, creates an envelope in a detection circuit 23, is compared with a threshold voltage in a comparator 24, and counts the number of waves exceeding the threshold voltage in a counter 26. The number of times of contact with the protrusion 6 is counted. Note that the local oscillator 30 is a frequency variable oscillator.

これによって、圧電素子lOに誘起された電圧に含まれ
るノイズ、増幅器等で発生するノイズがバンドパスフィ
ルタ33で阻止され、SN比がよい接触信号波形を得る
ことができる。また、浮動形ヘッドスライダ7の材質、
寸法、接触状態等によって主共振周波数が変動したとき
には、バンドパスフィルタ33に入る中間周波数が常に
一定になるように、ローカル発振器30の周波数を自動
的に追従させることも比較的容易である。
As a result, noise contained in the voltage induced in the piezoelectric element IO and noise generated by the amplifier etc. are blocked by the bandpass filter 33, and a contact signal waveform with a good S/N ratio can be obtained. In addition, the material of the floating head slider 7,
When the main resonant frequency changes due to dimensions, contact conditions, etc., it is relatively easy to automatically follow the frequency of the local oscillator 30 so that the intermediate frequency entering the bandpass filter 33 is always constant.

第8図は、磁気ディスク媒体と浮動形ヘッドスライダと
の相対速度と、圧電素子lOに誘起される主共振周波数
の出力(ディスク媒体突起検査信号)の実効電圧値との
関係を示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing the relationship between the relative velocity between the magnetic disk medium and the floating head slider and the effective voltage value of the main resonance frequency output (disk medium protrusion inspection signal) induced in the piezoelectric element IO. .

この第8図において、相対速度が増加すると、ある速度
で実効電圧が急激に低下する。これは、参考文献(Ki
ta、 Kogure、 Mitsuya、 Naka
nishi。
In FIG. 8, as the relative speed increases, the effective voltage drops rapidly at a certain speed. This is the reference (Ki
ta, Kogure, Mitsuya, Naka
Nishi.

IEEE、 Vol WAG−18,No−5,198
0,873)等に示されているように、上記相対速度の
増加に従って、空気膜潤滑作用によって、浮動形ヘッド
スライダ7が、磁気ディスク媒体4上で、連続接触状態
から間欠接触状態を経て浮上走行状態に移るためである
IEEE, Vol WAG-18, No-5, 198
0,873), as the relative speed increases, the floating head slider 7 floats above the magnetic disk medium 4 from a continuous contact state to an intermittent contact state due to the air film lubrication effect. This is to move to a running state.

ここで、第6図に示す回路では、浮上走行状態において
も実効値電圧は完全に零にはならない。
Here, in the circuit shown in FIG. 6, the effective value voltage does not become completely zero even in the flying state.

これは、圧電素子10に誘起される出力や増幅器に含ま
れるノイズが検波され、直流成分として残るためである
。一方、第7図に示すように、ディスク媒体突起検査信
号を周波数変換し、狭帯域のバンドパスフィルタを通過
させる場合では、上記ノイズが除去され、浮上走行状態
においても実効値電圧はほぼ零になる。
This is because the output induced in the piezoelectric element 10 and the noise contained in the amplifier are detected and remain as DC components. On the other hand, as shown in Fig. 7, when the disk medium protrusion inspection signal is frequency-converted and passed through a narrow band pass filter, the above noise is removed and the effective value voltage becomes almost zero even in the flying state. Become.

第8図に示す実測例では、SN比の改善度は約16dB
程度である。したがって、第7図に示すようにディスク
媒体突起検査信号を周波数変換し狭帯域のバンドパスフ
ィルタを使用することによって、接触摺動状態と浮上走
行状態とを明確に区別でき、突起検査の精度を高くする
ことができる。
In the actual measurement example shown in Figure 8, the degree of improvement in the S/N ratio is approximately 16 dB.
That's about it. Therefore, as shown in FIG. 7, by converting the frequency of the disk medium protrusion inspection signal and using a narrow band pass filter, it is possible to clearly distinguish between the contact sliding state and the flying running state, thereby improving the accuracy of the protrusion inspection. It can be made higher.

第9図(a)、(b)は、部分的に突起を設けた磁気デ
ィスク媒体4と浮動形ヘッドスライダ7とを用いたとき
に、圧電素子lOに誘起される主共振周波数の出力波形
(ディスク媒体突起検査信号)について、第6図に示す
回路の場合と第7図に示す回路の場合とを示す図である
FIGS. 9(a) and 9(b) show the output waveform of the main resonance frequency ( 7 is a diagram showing the case of the circuit shown in FIG. 6 and the case of the circuit shown in FIG. 7 regarding the disc medium protrusion test signal). FIG.

第6図に示す回路においては、ディスク媒体突起検査信
号のエンベロープはSN比が悪く、突起検出部分が不鮮
明であるのみならず、多くのスパイク状ノイズが認めら
れる。しかし、第7図に示すようにディスク媒体突起検
査信号を周波数変換 O し狭帯域のバンドパスフィルタを通過させた場合には、
SN比の優れた検出波形を得られ、スパイク状のノイズ
がほとんど発生せず、したがって、ノイズによる誤った
ディスク媒体突起検査信号の出力を除去できる。
In the circuit shown in FIG. 6, the envelope of the disk medium protrusion test signal has a poor SN ratio, and not only the protrusion detection portion is unclear, but also many spike-like noises are observed. However, when the disk medium protrusion test signal is frequency-converted and passed through a narrow band pass filter as shown in FIG.
A detection waveform with an excellent signal-to-noise ratio can be obtained, almost no spike-like noise is generated, and therefore erroneous output of a disk medium protrusion test signal due to noise can be removed.

[発明が解決しようとする課N] しかし、上記のようにディスク媒体突起検査信号を周波
数変換し狭帯域のバンドパスフィルタを通過させた場合
には、まず、浮動形ヘッドスライダ7の共振周波数とロ
ーカル発振器30の周波数との和または差の周波数をバ
ンドパスフィルタ33の中心周波数に合わせることがで
きるようにする必要があり、浮動形へ7ドスライダ7の
共振周波数にバラツキ、変動があることを考えると、周
波数を変化できるローカル発振器30が必要になり、可
変周波数のローカル発振器30は高価であるという問題
がある。
[Problem N to be solved by the invention] However, when the disk medium protrusion inspection signal is frequency-converted and passed through a narrow band pass filter as described above, first, the resonant frequency of the floating head slider 7 and It is necessary to be able to match the sum or difference frequency with the frequency of the local oscillator 30 to the center frequency of the bandpass filter 33, and consider that there are variations in the resonant frequency of the floating type slider 7. Therefore, a local oscillator 30 that can change the frequency is required, and there is a problem that the variable frequency local oscillator 30 is expensive.

また、周波数変換に必要なローカル発振器30の周波数
を浮動形ヘッドスライダ7の共振周波数に合わせるチュ
ーニング操作が必要であり、その操作が煩雑であるとい
う問題がある。
Further, a tuning operation is required to match the frequency of the local oscillator 30 necessary for frequency conversion to the resonance frequency of the floating head slider 7, and there is a problem that the operation is complicated.

本発明は、浮動形ヘッドスライダに発生するディスク媒
体突起検査信号(弾性波信号)を周波数変換する周波数
変換手段における発振器として、固定周波数の発振器を
使用することができるディスク媒体突起検査信号処理回
路を提供することを目的とするものである。
The present invention provides a disk medium protrusion inspection signal processing circuit that can use a fixed frequency oscillator as an oscillator in a frequency conversion means for frequency converting a disk medium protrusion inspection signal (acoustic wave signal) generated in a floating head slider. The purpose is to provide

[課題を解決する手段] 本発明は、所定周波数信号を出力する発振器を設け、浮
動形ヘッドスライダまたは疑似ヘッドスライダによって
その弾性共振周波数とほぼ同じ周波数の信号を発生させ
、上記所定周波数信号と上記弾性共振周波数の信号とを
混合し、この混合した信号と上記弾性波検出素子が出力
するディスク媒体突起検査信号とを混合し、この2回目
に混合した信号を狭帯域のバンドパスフィルタに送るも
のである。
[Means for Solving the Problems] The present invention provides an oscillator that outputs a predetermined frequency signal, generates a signal with a frequency substantially the same as the elastic resonance frequency of the floating head slider or a pseudo head slider, and combines the predetermined frequency signal with the above-mentioned one. A device that mixes a signal at an elastic resonance frequency, mixes this mixed signal with a disk medium protrusion inspection signal output from the above-mentioned elastic wave detection element, and sends this second mixed signal to a narrow band bandpass filter. It is.

[作用] 本発明は、所定周波数信号を出力する発振器を設け、浮
動形ヘントスライダまたは疑似ヘッドスライダによって
その弾性共振周波数とほぼ同じ周波数の信号を発生させ
、上記所定周波数信号と上記弾性共振周波数の信号とを
混合し、この混合した信号と上記弾性波検出素子が出力
するディスク媒体突起検査信号とを混合し、この2回目
に混合した信号を狭帯域のバンドパスフィルタに送るの
で、上記所定周波数信号を出力する発振器として固定周
波数の発振器を使用することができる。
[Function] The present invention provides an oscillator that outputs a predetermined frequency signal, and generates a signal with approximately the same frequency as the elastic resonance frequency of the floating Hent slider or pseudo head slider, and makes the difference between the predetermined frequency signal and the elastic resonance frequency. This mixed signal is mixed with the disk medium protrusion inspection signal output from the elastic wave detection element, and this second mixed signal is sent to the narrowband bandpass filter, so that the predetermined frequency is A fixed frequency oscillator can be used as the oscillator for outputting the signal.

[実施例] 第1図は、本発明の第1実施例を示す図である。[Example] FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of the present invention.

なお、上記従来例に示した部νと同一の部材については
同一の符号を付しである。以下の実施例についても同様
である。
Note that the same members as the part ν shown in the above conventional example are given the same reference numerals. The same applies to the following examples.

この第1実施例は、第7図に示す従来例と比較すると、
発振周波数が可変であるローカル発振器30の代りに、
弾性共振周波数信号発生回路40と、発振周波数が固定
である発振器50と、第1周波数理合器60とが設けら
れている点が異なる。
When compared with the conventional example shown in FIG. 7, this first embodiment has the following:
Instead of the local oscillator 30 whose oscillation frequency is variable,
The difference is that an elastic resonance frequency signal generation circuit 40, an oscillator 50 with a fixed oscillation frequency, and a first frequency rationalizer 60 are provided.

弾性共振周波数信号発生回路40は、浮動形ヘッドスラ
イダ7の弾性共振周波数とほぼ同じ周波数の信号を発生
する弾性共振周波数信号発生手段の一例であって、ホワ
イトノイズ信号源41と、浮動形ヘッドスライダ7と同
一材質・寸法・形状の疑似ヘッドスライダ47と、この
疑似へ7ドスライダ47の入力端、出力端にそれぞれ設
けられた圧電素子42.43と、増幅器44とを有する
。疑似ヘッドスライダ47は、浮動形ヘッドスライダ7
の近傍に設けられている。
The elastic resonance frequency signal generation circuit 40 is an example of an elastic resonance frequency signal generation means that generates a signal having approximately the same frequency as the elastic resonance frequency of the floating head slider 7, and includes a white noise signal source 41 and the floating head slider 7. The head slider 47 has a pseudo head slider 47 made of the same material, size, and shape as the head slider 47, piezoelectric elements 42 and 43 provided at the input end and output end of the pseudo head slider 47, respectively, and an amplifier 44. The pseudo head slider 47 is a floating head slider 7.
It is located near the.

発振器50は、バンドパスフィルタ33の中心周波数と
ほぼ同じ周波数の信号を出力する発振器である。
The oscillator 50 is an oscillator that outputs a signal having approximately the same frequency as the center frequency of the bandpass filter 33.

第1周波数理合器60は、発振器50の出力信号と弾性
共振周波数信号発生回路40の出力信号とを混合する回
路である。
The first frequency rationalizer 60 is a circuit that mixes the output signal of the oscillator 50 and the output signal of the elastic resonance frequency signal generation circuit 40.

第2周波数理合器31は、浮動形へ7ドスライダ7に設
けた圧電素子10が出力するディスク媒体突起検査信号
と第1周波数理合回路60の出力信号とを混合する回路
である。
The second frequency rationalizer 31 is a circuit that mixes the disk medium protrusion test signal output from the piezoelectric element 10 provided on the floating slider 7 and the output signal of the first frequency rational circuit 60 .

なお、バンドパスフィルタ33は、狭帯域のlくンドパ
スフィルタであり、圧電素子lOに誘起される出力信号
(ディスク媒体突起検査信号)の周波数スペクトラムに
おけるピークの帯域幅の0.1倍〜10倍程度の帯域幅
を有するものである。
The band pass filter 33 is a narrow band pass filter, and has a width of 0.1 to 10 times the peak bandwidth in the frequency spectrum of the output signal (disk medium protrusion inspection signal) induced in the piezoelectric element IO. It has about twice the bandwidth.

次に、第1実施例の動作について説明する。Next, the operation of the first embodiment will be explained.

ホワイトノイズ信号源41からのホワイトノイズ信号が
圧電素子42に加えられると、疑似へ7ドスライダ47
が加振され、このときに、圧電素子43に、疑似ヘッド
スライダ47の共振周波数(浮動形ヘッドスライダ7の
共振周波数と同じであり、Fl、F2、F3、F4・・
・・・・・・・)にピークを有する信号を出力する。こ
の出力信号を増幅器44が増幅し、第1周波数理合器6
0に送る。
When a white noise signal from a white noise signal source 41 is applied to a piezoelectric element 42, a pseudo slider 47
is excited, and at this time, the resonance frequency of the pseudo head slider 47 (same as the resonance frequency of the floating head slider 7, Fl, F2, F3, F4, etc.) is applied to the piezoelectric element 43.
. . .) outputs a signal having a peak at . The amplifier 44 amplifies this output signal, and the first frequency rationalizer 6
Send to 0.

一方、バンドパスフィルタ33の中心周波数(F sp
)と同一の周波数の信号を発振器50が発生し、第1周
波数理合器60に供給する。したがって、第1周波数理
合器60は、Fl±Fep、F2±Fep、F3上FB
P、F4上F8P、・・・・・・・・・にピークを有す
る信号を出力し、この信号が第2周波穀温合器31に供
給される。第2周波穀温合器31は、増幅器20を介し
て、圧電素子10から浮動形ヘッドスライダ7の共振周
波数(Fl、F2、F3、F4・・・)にピークを有す
る信号(ディスク媒体突起検査信号)を入力する。
On the other hand, the center frequency (F sp
) is generated by the oscillator 50 and supplied to the first frequency rationalizer 60 . Therefore, the first frequency rationalizer 60 selects Fl±Fep, F2±Fep, F3 upper FB
A signal having a peak at P, F4 above F8P, . . . is output, and this signal is supplied to the second frequency grain warming device 31. The second frequency grain temperature mixer 31 receives a signal (disk medium protrusion test signal).

したがって、第2周波穀温合器31は、Fl±FBpf
F1、F2±Fep+F2、F3±FBP±F3、F4
±Fep±F4、・・・・・・・・・にピークを有する
信号を出力する。これらのうち、Fl±(±Fl)、F
2上(±F2)、F3上(±F3)、F4上(±F4)
、・・・・・・・・・の部分が互いにキャンセルされ、
バンドパスフィルタ33の中心周波数Fepの成分のみ
が狭帯域のバンドパスフィルタ33を通過する。このと
きに、ノイズ成分は、バンドパスフィルタ33の通過を
阻止される。
Therefore, the second frequency grain temperature mixer 31 is Fl±FBpf
F1, F2±Fep+F2, F3±FBP±F3, F4
A signal having a peak at ±Fep±F4, . . . is output. Among these, Fl±(±Fl), F
2 above (±F2), F3 above (±F3), F4 above (±F4)
,...... parts cancel each other out,
Only the component of the center frequency Fep of the band pass filter 33 passes through the narrow band band pass filter 33. At this time, the noise component is prevented from passing through the bandpass filter 33.

そして、バンドパスフィルタ33を通過した信号が検波
器23で直流検波され、コンパレータ24で閾値電圧を
越えた信号が取り出され、カランタ26でカウントされ
、このカウント値が、浮動形ヘッドスライダ7が突起6
に衝突した回数を示し、その衝突回数等のデータが記録
装置27に記録される。
Then, the signal that has passed through the band pass filter 33 is DC-detected by the wave detector 23, the signal exceeding the threshold voltage is extracted by the comparator 24, and counted by the counter 26. 6
The number of collisions is shown, and data such as the number of collisions is recorded in the recording device 27.

上記第1実施例においては、浮動形ヘッドスライダ7が
衝突したときに圧電素子lOに誘起されるディスク媒体
突起検査信号の周波数が、第2周波穀温合器31によっ
て低周波に変換され、しかも、その低周波信号が狭帯域
のバンドパスフィルタ33を通過するので、浮動形ヘッ
ドスライダ7を含めそこから第2周波穀温合器31に至
るまでのノイズ(特に外来ノイズ)がバンドパスフィル
タ33で確実に除去される。
In the first embodiment, the frequency of the disk medium protrusion test signal induced in the piezoelectric element IO when the floating head slider 7 collides is converted to a low frequency by the second frequency grain temperature mixer 31, and Since the low frequency signal passes through the narrow band band pass filter 33, the noise (especially external noise) from the floating head slider 7 to the second frequency grain temperature mixer 31 is filtered through the band pass filter 33. will definitely be removed.

さらに、弾性共振周波数信号発生回路40からの信号と
発振器50からの信号とを混合した信号を第2周波穀温
合器31に送るようにしているので、発振W50の発振
周波数を可変にする必要がなく、固定にすることができ
、その発振器50のコストを低くすることができる。
Furthermore, since a signal that is a mixture of the signal from the elastic resonance frequency signal generation circuit 40 and the signal from the oscillator 50 is sent to the second frequency grain warming device 31, it is necessary to make the oscillation frequency of the oscillation W50 variable. The oscillator 50 can be made at a fixed cost, and the cost of the oscillator 50 can be reduced.

また、浮動形ヘッドスライダ7の弾性共振周波数がバラ
ライでも、また温度等によって変動しても、発振器50
の発振周波数を調整する必要がない。つまり、浮動形ヘ
ッドスライダの弾性共振周波数が温度によって変動した
としても、浮動形ヘッドスライダ7と疑似へ一2トスラ
イダ47とを接近して設けであるので、弾性共振周波数
信号発生回路40からの出力信号の周波数もそれに応じ
て変化するために、その変動分がキャナルされ、発振器
50の発振周波数を調整する必要がなく固定にすること
ができる。
Furthermore, even if the elastic resonance frequency of the floating head slider 7 is uneven or fluctuates due to temperature or the like, the oscillator 50
There is no need to adjust the oscillation frequency. In other words, even if the elastic resonance frequency of the floating head slider fluctuates due to temperature, since the floating head slider 7 and the pseudo slider 47 are provided close to each other, the output from the elastic resonance frequency signal generation circuit 40 Since the frequency of the signal also changes accordingly, the fluctuation is canaled, and the oscillation frequency of the oscillator 50 can be fixed without having to be adjusted.

第2図は、本発明の第2実施例を示す回路図である。FIG. 2 is a circuit diagram showing a second embodiment of the present invention.

この第2実施例は、弾性共振周波数信号発生回路40の
代りに、弾性共振周波数信号発生回路70を設けたもの
である。
In this second embodiment, an elastic resonance frequency signal generation circuit 70 is provided in place of the elastic resonance frequency signal generation circuit 40.

弾性共振周波数信号発生回路70は、浮動形へ一2トス
ライダの弾性共振周波数とほぼ同じ周波数の信号を発生
する弾性共振周波数信号発生手段の例であり、疑似ヘッ
ドスライダ47と、圧電素子42.43と、増幅器44
と、この増幅器44と圧電素子42との間に設けられた
移相器71と、増幅器44の出力信号を減衰するアッテ
ネータ72とを有する。
The elastic resonance frequency signal generation circuit 70 is an example of an elastic resonance frequency signal generation means that generates a signal having approximately the same frequency as the elastic resonance frequency of the floating type slider, and includes the pseudo head slider 47 and the piezoelectric elements 42 and 43. and amplifier 44
, a phase shifter 71 provided between the amplifier 44 and the piezoelectric element 42 , and an attenuator 72 that attenuates the output signal of the amplifier 44 .

つまり、圧電素子43と増幅器44と移相器71と圧電
素子42と疑似ヘッドスライダ47とによってフィード
バックループを形成し、しかも正帰還フィードバックル
ープがかかるように移相器71を調整しである。したが
って、そのフィードバックループ回路は、疑似ヘッドス
ライダ47の弾性振動で定まる主共振周波数で発振する
ものである。
That is, a feedback loop is formed by the piezoelectric element 43, the amplifier 44, the phase shifter 71, the piezoelectric element 42, and the pseudo head slider 47, and the phase shifter 71 is adjusted so that a positive feedback loop is applied. Therefore, the feedback loop circuit oscillates at the main resonance frequency determined by the elastic vibration of the pseudo head slider 47.

次に、第2実施例の動作について説明する。Next, the operation of the second embodiment will be explained.

弾性共振周波数信号発生回路70は、圧電素子43、増
幅器44、移相器71、圧電素子42、疑似ヘッドスラ
イダ47をフィードバックループとする正帰還を行ない
、増幅器44の出力信号がアッテネータ72で適当なレ
ベルに調整され、そのアッテネータ72の出力信号が第
1周波数理合器60に加えられる。そして、第1周波数
理合器60は、発振器50からの固定周波数信号と混合
である。
The elastic resonance frequency signal generation circuit 70 performs positive feedback using a piezoelectric element 43, an amplifier 44, a phase shifter 71, a piezoelectric element 42, and a pseudo head slider 47 as a feedback loop. The output signal of the attenuator 72 is applied to the first frequency rationalizer 60. The first frequency rationalizer 60 is then mixed with the fixed frequency signal from the oscillator 50.

この第2実施例においても、浮動形ヘッドスライダ7を
含めそこから第2周波穀温合器31に至るまでのノイズ
(特に外来ノイズ)がバンドパスフィルタ33で確実に
除去される。さらに、発振器50の発振周波数を可変に
する必要がなく、固定にすることができ、その発振器5
0のコストを低くすることができる。また、浮動形ヘッ
ドスライダ7の弾性共振周波数がバラライても、また変
動しても、発振器50の発振周波数を調整する必要がな
い。
In this second embodiment as well, the bandpass filter 33 reliably removes noise (particularly external noise) from the floating head slider 7 to the second frequency grain warming device 31. Furthermore, the oscillation frequency of the oscillator 50 does not need to be made variable, but can be fixed;
0 cost can be lowered. Further, even if the elastic resonance frequency of the floating head slider 7 varies or fluctuates, there is no need to adjust the oscillation frequency of the oscillator 50.

第3図は、本発明の第3実施例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a third embodiment of the present invention.

この第3実施例は、第1実施例における弾性共振周波数
信号発生回路40の代りに、弾性共振周波数信号発生回
路80を設けたものである。
In this third embodiment, an elastic resonance frequency signal generation circuit 80 is provided in place of the elastic resonance frequency signal generation circuit 40 in the first embodiment.

弾性共振周波数信号発生回路80は、浮動形ヘントスラ
イダの弾性共振周波数とほぼ同じ周波数の信号を発生す
る弾性共振周波数信号発生手段の例であり、ホワイトノ
イズ信号源81と、スイッチ82と、浮動形ヘッドスラ
イダ7の上に搭載された圧電素子83と、浮動形ヘッド
スライダ7と、圧電素子10と、圧電素子10の出力信
号をA端子とB端子とに切換えるスイッチ84と、増幅
器85と、増幅器85からの出力信号の周波数を分析す
る周波数分析器86と、互いに異なる周波数の信号を出
力する発振器87a、87b、87cとを有する。
The elastic resonance frequency signal generation circuit 80 is an example of an elastic resonance frequency signal generation means that generates a signal having approximately the same frequency as the elastic resonance frequency of the floating Hent slider, and includes a white noise signal source 81, a switch 82, and a floating type Hent slider. A piezoelectric element 83 mounted on the head slider 7, a floating head slider 7, a piezoelectric element 10, a switch 84 for switching the output signal of the piezoelectric element 10 between an A terminal and a B terminal, an amplifier 85, and an amplifier. 85, and oscillators 87a, 87b, and 87c that output signals of different frequencies.

なお、周波数分析器86は1発振器87a、87b、8
7cのうち駆動すべき発振器を指令し、つまり駆動発振
器の組合わせを変えることによって、増幅器85からの
信号の周波数と、上記組合わされて合成された信号の周
波数とを同じにするものである。
Note that the frequency analyzer 86 includes one oscillator 87a, 87b, 8
By commanding the oscillators to be driven among the oscillators 7c, that is, by changing the combination of drive oscillators, the frequency of the signal from the amplifier 85 and the frequency of the combined and synthesized signal are made the same.

さらに、スイッチ84のA端子は増幅器85に接続され
、そのB端子は増幅器20に接続されている。また、ス
イッチ82と84とは連動して切換えられ、一方のスイ
ッチがA端子に接続されているときには他方のスイッチ
もA端子に接続されるようになっている。
Furthermore, the A terminal of switch 84 is connected to amplifier 85 and the B terminal thereof is connected to amplifier 20. Further, the switches 82 and 84 are switched in conjunction with each other, so that when one switch is connected to the A terminal, the other switch is also connected to the A terminal.

次に、第3実施例の動作について説明する。Next, the operation of the third embodiment will be explained.

ディスク媒体4上の突起6の数を検査する前に、その準
備段階として、第3図に示すように、スイッチ82.8
4をA端子に切換え、ホワイトノイズ信号源81からの
ホワイトノイズ信号を圧電素子83に供給する。これに
よって、浮動形ヘッドスライダ7が加振され、共振し、
圧電素子10が出力する弾性共振周波数信号のピーク周
波数を周波数分析器86が分析し、そのピーク周波数を
記憶する。
Before checking the number of protrusions 6 on the disk medium 4, as a preparatory step, as shown in FIG.
4 to the A terminal, and the white noise signal from the white noise signal source 81 is supplied to the piezoelectric element 83. As a result, the floating head slider 7 is excited and resonates.
A frequency analyzer 86 analyzes the peak frequency of the elastic resonance frequency signal output by the piezoelectric element 10, and stores the peak frequency.

そして、突起6の数を検査するときには、スイッチ82
を開き、スイッチ84をB端子に切換える。このときに
周波数分析器86は、そこに記憶された周波数と同じ周
波数の信号が第1混合器60に供給されるように1発振
器87a〜87cの駆動組合わせを制御する。そして、
第1周波数理合器60は1発振器50からの信号と、弾
性共振周波数信号発生回路80からの信号とを混合し、
その混合した信号を第2周波穀温合器31に供給する。
When inspecting the number of protrusions 6, the switch 82
, and switch 84 to the B terminal. At this time, the frequency analyzer 86 controls the driving combination of the first oscillators 87a to 87c so that a signal having the same frequency as the frequency stored therein is supplied to the first mixer 60. and,
The first frequency rationalizer 60 mixes the signal from the first oscillator 50 and the signal from the elastic resonance frequency signal generation circuit 80,
The mixed signal is supplied to the second frequency grain warming device 31.

第2周波数混合器31の他の入力端子には、圧電素子1
0からのF4スh奴体突起検査信号が供給される。この
後の動作は、第1実施例の場合と同様である。
The other input terminal of the second frequency mixer 31 has a piezoelectric element 1
The F4 body protrusion test signal from 0 is supplied. The subsequent operation is similar to that of the first embodiment.

この第3実施例においても、浮動形へ7ドスライダ7を
含めそこから第2周波数理合器31に至るまでのノイズ
(特に外来ノイズ)がl螢/トノでスフィルタ33で確
実に除去される。さらに1発振器50の発振周波数を可
変にする必要がなく、固定にすることができ、その発振
器50のコストを低くすることができる。また、浮動形
ヘッドスライダ7の弾性共振周波数がハラライでも、ま
た変動しても、発振器50の発振周波数を調整する必要
がない。
In this third embodiment as well, the noise (especially external noise) from the floating slider 7 to the second frequency rationalizer 31 is reliably removed by the light filter 33. Furthermore, there is no need to make the oscillation frequency of one oscillator 50 variable; it can be fixed, and the cost of the oscillator 50 can be reduced. Further, even if the elastic resonance frequency of the floating head slider 7 is constant or fluctuates, there is no need to adjust the oscillation frequency of the oscillator 50.

さらに、第3実施例によれば、疑似ヘッドスライダ47
を使用することなく、第1実施例、第2実施例と同様の
効果を得ることができる。なお、発振器87a、87b
、87Cは例示的に示したものであって、その発振器の
数は、3以外の数であってもよい。
Furthermore, according to the third embodiment, the pseudo head slider 47
The same effects as in the first and second embodiments can be obtained without using. Note that the oscillators 87a and 87b
, 87C are shown as examples, and the number of oscillators may be other than three.

また、上記圧電素子の代りに、磁気的または静電容量的
な変化に基づいて弾性波を検出する等の他の弾性波検出
素子を使用してもよい。
Further, instead of the piezoelectric element, other elastic wave detection elements may be used, such as those that detect elastic waves based on magnetic or capacitance changes.

[発明、の効果] 本発明によれば、浮動形ヘッドスライダに発生する弾性
波信号を周波数変換する周波数変換手段における発振器
として、発振周波数可変の発振器を使用する必要が無い
ので、装置全体が安価になるとともに、浮動形ヘッドス
ライダの弾性共振周波数がバラライてもまた変動しても
、発振器の発振周波数を調整する必要がなく、装置全体
の操作が容易であるという効果を奏する。
[Effects of the Invention] According to the present invention, there is no need to use an oscillator with a variable oscillation frequency as an oscillator in the frequency conversion means for converting the frequency of the elastic wave signal generated in the floating head slider, so the entire device is inexpensive. In addition, even if the elastic resonance frequency of the floating head slider varies or fluctuates, there is no need to adjust the oscillation frequency of the oscillator, and the entire device can be easily operated.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明の第1実施例を示す図である。 第2図は、本発明の第2実施例を示す図である。 第3図は、本発明の第3実施例を示す図である。 第4図は、突起検査を行なう従来例の説明図である。 第5図は、浮動形ヘー、トスライダに小型の圧電素子を
直接貼付けた従来例の説明図である。 第6図は、バンドパスフィルタを狭帯域化することによ
ってSN比を改善する従来例の回路図である。 第7図は、圧電素子からのディスク媒体突起検査信号を
周波数変換し、狭帯域のバンドパスフィルタを通過させ
ることによって、SN比を向上する従来例の回路図であ
る。 第8図は、磁気ディスク媒体と浮動形へ7ドスライダと
の相対速度と、圧電素子10に誘起される主共振周波数
の出力の実効電圧値との関係を示す図である。 第9図(a)、(b)は、部分的に突起を設けた磁気デ
ィスク媒体4と浮動形ヘッドスライダ7とを用いたとき
に、圧電素子10に誘起される主共振周波数の出力波形
について、第6図に示す回路の場合と第7図に示す回路
の場合とを示す図である。 7・・・浮動形へ7ドスライダ、 10.42.43.83・・・圧電素子、31・・・第
2周波数混合器、 33・・・狭帯域バンドパスフィルタ、40.70.8
0・・・弾性共振周波数信号発生回路、 47・・・疑似へ7ドスライダ、 50・・・固定周波数発振器。 60・・・第1周波数変換器。 特許出願人  日本電信電話株式会社 同代理人 用久保 新 甚憚転部 昧
FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a diagram showing a second embodiment of the present invention. FIG. 3 is a diagram showing a third embodiment of the present invention. FIG. 4 is an explanatory diagram of a conventional example of protrusion inspection. FIG. 5 is an explanatory diagram of a conventional example in which a small piezoelectric element is directly attached to a floating slider. FIG. 6 is a circuit diagram of a conventional example in which the SN ratio is improved by narrowing the bandpass filter. FIG. 7 is a circuit diagram of a conventional example in which the signal-to-noise ratio is improved by converting the frequency of a disk medium protrusion test signal from a piezoelectric element and passing it through a narrow band pass filter. FIG. 8 is a diagram showing the relationship between the relative speed between the magnetic disk medium and the floating slider and the effective voltage value of the output of the main resonance frequency induced in the piezoelectric element 10. FIGS. 9(a) and 9(b) show the output waveform of the main resonance frequency induced in the piezoelectric element 10 when a magnetic disk medium 4 partially provided with protrusions and a floating head slider 7 are used. , is a diagram showing the case of the circuit shown in FIG. 6 and the case of the circuit shown in FIG. 7. 7...7 slider to floating type, 10.42.43.83... Piezoelectric element, 31... Second frequency mixer, 33... Narrowband band pass filter, 40.70.8
0...Elastic resonance frequency signal generation circuit, 47...Pseudo slider, 50...Fixed frequency oscillator. 60...first frequency converter. Patent Applicant Nippon Telegraph and Telephone Co., Ltd. Agent: Arata Kubo

Claims (1)

【特許請求の範囲】 弾性波検出素子を搭載し、ディスク媒体の突起を検出す
る浮動形ヘッドスライダと; 所定周波数の信号を出力する発振器と; 上記浮動形ヘッドスライダの弾性共振周波数とほぼ同じ
周波数の信号を発生する弾性共振周波数信号発生手段と
; 上記発振器の出力信号と上記弾性共振周波数信号発生手
段の出力信号とを混合する第1周波数混合手段と; 上記弾性波検出素子が出力するディスク媒体突起検査信
号と上記第1周波数混合手段の出力信号とを混合する第
2周波数混合手段と; この第2周波数混合手段の出力信号を入力し、中心周波
数が上記発振器の出力信号の周波数とほぼ同じであるバ
ンドパスフィルタと; を有することを特徴とするディスク媒体突起検査信号処
理回路。
[Claims] A floating head slider equipped with an elastic wave detection element to detect protrusions on a disk medium; An oscillator that outputs a signal at a predetermined frequency; A frequency substantially the same as the elastic resonance frequency of the floating head slider. elastic resonance frequency signal generation means for generating a signal; first frequency mixing means for mixing the output signal of the oscillator and the output signal of the elastic resonance frequency signal generation means; a disk medium output by the elastic wave detection element; a second frequency mixing means for mixing the protrusion inspection signal and the output signal of the first frequency mixing means; inputting the output signal of the second frequency mixing means, the center frequency of which is approximately the same as the frequency of the output signal of the oscillator; A disk medium protrusion inspection signal processing circuit comprising: a bandpass filter; and a bandpass filter.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05141949A (en) * 1991-11-22 1993-06-08 Hitachi Electron Eng Co Ltd Projection detecting circuit for magnetic disk
JPH0916953A (en) * 1995-06-28 1997-01-17 Nec Corp Method and device for measuring grind height
US8797671B2 (en) 2012-05-17 2014-08-05 HGST Netherlands B.V. Excitation of airbearing oscillation with tar nearfield device for touchdown detection

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