JPH0215780B2 - - Google Patents
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- JPH0215780B2 JPH0215780B2 JP60107161A JP10716185A JPH0215780B2 JP H0215780 B2 JPH0215780 B2 JP H0215780B2 JP 60107161 A JP60107161 A JP 60107161A JP 10716185 A JP10716185 A JP 10716185A JP H0215780 B2 JPH0215780 B2 JP H0215780B2
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Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、空気中の海塩粒子等を除去する空気
清浄装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION "Field of Industrial Application" The present invention relates to an air cleaning device that removes sea salt particles and the like from the air.
「従来の技術」
例えば、LSI等の半導体を製造する工場では、
空気中の海塩粒子として存在するナトリウムイオ
ンが、シリコンウエハの内部に拡散したり、ある
いはシリコンウエハの表面に付着したりして、製
造品の歩留りを悪くする原因となることがある。"Conventional technology" For example, in a factory that manufactures semiconductors such as LSI,
Sodium ions, which exist as sea salt particles in the air, can diffuse into the silicon wafer or adhere to the surface of the silicon wafer, causing a decrease in the yield of manufactured products.
従来、前記海塩粒子を空気中から除去するため
の手段としては、例えばいわゆるエアワツシヤ等
を備えた除塵器等の適用が考えられている。すな
わち、除塵器内に取り入れた空気に水を噴霧する
ことにより、水溶性である海塩粒子を水に溶かし
て、かなりの効率で除去することができるもので
ある。 Conventionally, as a means for removing the sea salt particles from the air, it has been considered to use, for example, a dust remover equipped with a so-called air washer. That is, by spraying water into the air taken into the dust remover, water-soluble sea salt particles can be dissolved in the water and removed with considerable efficiency.
「発明が解決しようとする問題点」
しかしながら、このような除塵器を適用した場
合、常時、多量の水が必要であるという難点があ
る。つまり、空気中に存在する海塩粒子の濃度は
極めて変動が激しいから、海から吹く風がない時
のように海塩粒子の濃度がほとんど問題とならな
い程度に低くなる場合があり、このような場合に
も多量の水を使用する装置は設備として冗長とな
る。"Problems to be Solved by the Invention" However, when such a dust remover is applied, there is a problem in that a large amount of water is always required. In other words, the concentration of sea salt particles in the air is highly variable, so when there is no wind blowing from the sea, the concentration of sea salt particles may be so low that it is hardly a problem. In some cases, equipment that uses a large amount of water becomes redundant as equipment.
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、省エネルギー、節水型
であり、かつ、空気中の海塩粒子を効率良く除去
できる空気清浄装置を提供することにある。 The present invention was made in view of the above circumstances, and
The purpose is to provide an air cleaning device that is energy-saving, water-saving, and capable of efficiently removing sea salt particles from the air.
「問題点を解決するための手段」
かかる目的を達成するために本発明の空気清浄
装置は、空気を通過させるケーシングの内部に水
を噴霧するスプレー機構を備え、しかも、空気中
の海塩粒子の濃度を検出する検出手段と、この検
出手段の検出データに基づいてスプレー機構の動
作制御を行う制御手段とを備えたものである。"Means for Solving the Problems" In order to achieve the above object, the air purifying device of the present invention is equipped with a spray mechanism that sprays water inside a casing through which air passes, and furthermore, the air purifying device of the present invention is equipped with a spray mechanism that sprays water inside a casing that allows air to pass through. and a control means that controls the operation of the spray mechanism based on the detection data of the detection means.
「作用」
本発明では、検出手段が直接あるいは間接的に
空気中の海塩粒子の濃度を検出し、その濃度が一
定値以上であれば、制御手段がスプレー機構を
ONにして水を噴霧させ、また、一定値以下であ
ればスプレー機構をOFFにして噴霧を停止させ
る。"Operation" In the present invention, the detection means directly or indirectly detects the concentration of sea salt particles in the air, and if the concentration is above a certain value, the control means activates the spray mechanism.
Turn it on to spray water, and if it is below a certain value, turn off the spray mechanism and stop spraying.
「実施例」
以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて説
明する。"Embodiments" The present invention will be described below based on embodiments shown in the drawings.
第１図は本発明の第１実施例を概略的に示すも
ので、図中符号１はケーシングである。このケー
シング１は、ほぼ筒状に形成されており、その前
端には吸気ガラリ２が、また、後端には送風機３
が配設され、この送風機３により前端から空気を
ケーシング１内に吸い込み、内部を通過させて後
端から吹き出すようになつている。また、送風機
３には分岐部４を有する接続ダクト５が連結され
ている。 FIG. 1 schematically shows a first embodiment of the present invention, and reference numeral 1 in the figure indicates a casing. This casing 1 is formed into a substantially cylindrical shape, and has an intake louver 2 at its front end and a blower 3 at its rear end.
is provided, and the blower 3 sucks air into the casing 1 from the front end, allows it to pass through the inside, and blows it out from the rear end. Further, a connecting duct 5 having a branch portion 4 is connected to the blower 3 .
前記ケーシング１内には、吸気ガラリ２を通過
した空気流に対向するように前方に向いたスプレ
ーノズル６が配設され、このスプレーノズル６の
下流側にエリミネータ７が、また、このエリミネ
ータ７と送風機３と間にミスト除去フイルタ８が
配設されている。そして、スプレーノズル６には
スプレー用ポンプ９を介してケーシング１外に設
置された給水タンク１０が連結され、この給水タ
ンク１０内の水をスプレーノズル６に供給するよ
うになつている。すなわち、これらスプレーノズ
ル６、スプレー用ポンプ９および給水タンク１０
によつてケーシング１内に水を噴霧するスプレー
機構１１が形成されている。また、ケーシング１
内の床には排水口１２が開口し、この排水口１２
には排水管１３が連結されてケーシング１外に引
き出されている。なお、前記接続ダクト５内には
分岐部４との接続箇所の手前に吹出ダンパ１４
が、かつ、分岐部４内にバイパスダンパ１５が設
けられている。 A spray nozzle 6 facing forward is disposed in the casing 1 so as to face the airflow that has passed through the intake louver 2, and an eliminator 7 is disposed downstream of the spray nozzle 6. A mist removal filter 8 is disposed between the blower 3 and the air blower 3. A water supply tank 10 installed outside the casing 1 is connected to the spray nozzle 6 via a spray pump 9, and water in this water supply tank 10 is supplied to the spray nozzle 6. That is, these spray nozzle 6, spray pump 9, and water supply tank 10
A spray mechanism 11 for spraying water into the casing 1 is formed by this. Also, casing 1
A drain port 12 is opened in the floor inside, and this drain port 12
A drain pipe 13 is connected to and drawn out of the casing 1. In addition, a blowout damper 14 is installed in the connection duct 5 before the connection point with the branch part 4.
However, a bypass damper 15 is provided within the branch portion 4.
一方、ケーシング１外には、前記給水タンク１
０等の他に、空気中の海塩粒子の濃度を検出する
検出手段１６が設置されている。この検出手段１
６は、例えば、ケーシング１内に取り入れるべき
大気中の海塩粒子濃度を直接検出するナトリウム
センサ１７、あるいは、屋外の風向きおよび風速
を測定し、この測定値に基づいて海塩粒子濃度を
間接的に類推する風向風速センサ１８、あるい
は、ケーシング１の後端から吹き出される吹出空
気中の海塩粒子濃度を検出する補助センサ１９等
である。そして、これら各センサ１７，１８，１
９（検出手段１６）は、同じくケーシング１外の
制御手段２０に接続され、この制御手段２０は、
前記スプレー用ポンプ９、送風機３、吹出ダンパ
１４、バイパスダンパ１５等に接続されている。
つまり、制御手段２０は、例えば電気的制御回路
であつて、前記検出手段１６の検出データ（出力
信号）に基づきスプレー機構１１および送風機３
をON、OFFし、かつ、両ダンパ１４，１５を開
閉するようになつている。なお、第２図は大気中
の海塩粒子濃度との関係の一例を示すグラフであ
る。 On the other hand, outside the casing 1, the water supply tank 1
0 etc., a detection means 16 for detecting the concentration of sea salt particles in the air is installed. This detection means 1
6 is, for example, a sodium sensor 17 that directly detects the sea salt particle concentration in the atmosphere to be taken into the casing 1, or measures the outdoor wind direction and wind speed and indirectly detects the sea salt particle concentration based on the measured values. A wind speed and direction sensor 18 analogous to the above, or an auxiliary sensor 19 that detects the concentration of sea salt particles in the air blown out from the rear end of the casing 1, etc. And each of these sensors 17, 18, 1
9 (detection means 16) is also connected to a control means 20 outside the casing 1, and this control means 20
It is connected to the spray pump 9, blower 3, blowout damper 14, bypass damper 15, and the like.
That is, the control means 20 is, for example, an electrical control circuit, and based on the detection data (output signal) of the detection means 16, the control means 20 controls the spray mechanism 11 and the blower 3.
is turned on and off, and both dampers 14 and 15 are opened and closed. Note that FIG. 2 is a graph showing an example of the relationship with the sea salt particle concentration in the atmosphere.
次いで、このように構成された空気清浄装置を
一般的なクリーンルームに適用する場合の使用方
法および動作について説明する。 Next, how to use and operate the air cleaning device configured as described above when applied to a general clean room will be described.
まず、第１図の如く、クリーンルームに既設さ
れた外気用空気調和器２１に前記接続ダクト５の
後端を連結し、ケーシング１の前端および分岐部
４の開放端を外気に開放した状態とする。そし
て、検出手段１６および制御手段２０を作動させ
る。すると、検出手段１６が外気中の海塩粒子濃
度を検出して、その出力信号を制御手段２０に送
る。制御手段２０は前記出力信号を受けて、海塩
粒子濃度が一定値以上であればバイパスダンパ１
５を閉状態に、かつ、吹出ダンパ１４を開状態に
し、さらにスプレー機構１１と送風機３をONに
する。このとき、ケーシング１内に吸い込まれる
外気中の海塩粒子の大半（例えば全体の約84パー
セント）およびその他の塵埃の一部（粒径0.3μｍ
以上の塵埃において、約80パーセント）は、スプ
レーノズル６から噴霧される水（霧状の水滴）に
溶けてケーシング１の床に沈降し、沈降しない水
もエリミネータ７およびミスト除去フイルタ８で
除去され、排水口１２から排水管を通つてケーシ
ング１外に排出される。そして、海塩粒子を除去
された空気は接続ダクト５を通つて外気用空気調
和器２１に導入され、この内部のエアフイルタ
（図示略）によつて、残りの海塩粒子およびその
他の塵埃のほとんど全てを除去されてクリーンル
ーム内に吹き出される。 First, as shown in FIG. 1, the rear end of the connecting duct 5 is connected to the outside air air conditioner 21 already installed in the clean room, and the front end of the casing 1 and the open end of the branch part 4 are opened to the outside air. . Then, the detection means 16 and the control means 20 are activated. Then, the detection means 16 detects the concentration of sea salt particles in the outside air and sends the output signal to the control means 20. Upon receiving the output signal, the control means 20 controls the bypass damper 1 if the sea salt particle concentration is above a certain value.
5 is closed, the blow-off damper 14 is opened, and the spray mechanism 11 and blower 3 are turned on. At this time, most of the sea salt particles in the outside air that are sucked into the casing 1 (e.g., about 84% of the total) and some of the other dust (particle size: 0.3 μm)
Approximately 80% of the above dust dissolves in the water (atomized water droplets) sprayed from the spray nozzle 6 and settles on the floor of the casing 1, and the water that does not settle is also removed by the eliminator 7 and the mist removal filter 8. , are discharged from the drain port 12 to the outside of the casing 1 through a drain pipe. The air from which the sea salt particles have been removed is then introduced into the outdoor air conditioner 21 through the connection duct 5, and an air filter (not shown) inside this air filter removes most of the remaining sea salt particles and other dust. Everything is removed and blown into the clean room.
また、外気中の海塩粒子濃度が変動すると、検
出手段１６がこれを検出し、濃度が一定値以下と
なると制御手段２０がスプレー機構１１をOFF
にして水の噴霧を停止させる。そして、この一定
値以下の状態が長く続く場合には、制御手段２０
が、さらに送風機３をOFFにし、かつ、バイパ
スダンパ１３を開状態に、吹出ダンパ１２を閉状
態にして空気清浄装置全体の機能を停止させる。
この場合、外気用空気調和器２１には接続ダクト
５の分岐部４を通つて外気が直接導入されること
になる。 Furthermore, when the concentration of sea salt particles in the outside air fluctuates, the detection means 16 detects this, and when the concentration falls below a certain value, the control means 20 turns off the spray mechanism 11.
to stop water spraying. If the condition below this constant value continues for a long time, the control means 20
However, the blower 3 is further turned off, the bypass damper 13 is opened, and the blowout damper 12 is closed, thereby stopping the function of the entire air purifying device.
In this case, outside air is directly introduced into the outside air conditioner 21 through the branch portion 4 of the connecting duct 5.
一方、第３図は本発明の第２実施例を示してい
る。この図において排水管１３の還水タンク２２
が設けられ、この還水タンク２２が還水ポンプ２
３を介して給水タンク１０に連結されている。ま
た、還水タンク２２にはその内部に溜られる水の
中の海塩粒子濃度を検出する濃度センサ２４、お
よび排水弁２５が設けられ、濃度センサ２４は制
御手段２０に接続されている。さらに、給水タン
ク１０にはその内部の水位を検出する水位センサ
２６、および給水弁２７が設けられ、水位センサ
２６は給水弁２７に接続されている。そして制御
手段２０は、還水ポンプ２３、排水弁２５、給水
弁２７等に接続されている。つまり、この第２実
施例の装置においては、排水管１３からの水が還
水タンク２２に溜られた後、還水ポンプ２３によ
り給水タンク１０に戻されて再使用される。そし
て、還水タンク２２の水の海塩粒子濃度が高くな
り、ケーシング１内へ噴霧する水として不適当に
なると、濃度センサ２４がこれを検出して制御手
段２０に伝え、制御手段２０が排水弁２５を開い
て還水タンク２２内の水を廃棄する。なお、この
とき還水ポンプ２３は停止するが、制御手段２０
が給水弁２７を開いて給水タンク１０に水を補給
する。 On the other hand, FIG. 3 shows a second embodiment of the present invention. In this figure, the return water tank 22 of the drain pipe 13
is provided, and this return water tank 22 is connected to the return water pump 2.
It is connected to the water supply tank 10 via 3. Further, the return water tank 22 is provided with a concentration sensor 24 for detecting the concentration of sea salt particles in the water stored therein, and a drain valve 25, and the concentration sensor 24 is connected to the control means 20. Furthermore, the water supply tank 10 is provided with a water level sensor 26 for detecting the water level inside the tank 10 and a water supply valve 27 , and the water level sensor 26 is connected to the water supply valve 27 . The control means 20 is connected to a return water pump 23, a drain valve 25, a water supply valve 27, and the like. That is, in the device of the second embodiment, water from the drain pipe 13 is stored in the water return tank 22 and then returned to the water supply tank 10 by the water return pump 23 for reuse. When the concentration of sea salt particles in the water in the return water tank 22 becomes high and becomes unsuitable as water to be sprayed into the casing 1, the concentration sensor 24 detects this and informs the control means 20, and the control means 20 The valve 25 is opened to discard the water in the return water tank 22. Note that at this time, the return water pump 23 is stopped, but the control means 20
opens the water supply valve 27 and supplies water to the water supply tank 10.
また、第４図は本発明の第３実施例を示してい
る。この装置は上記第２実施例の装置と同様、排
水管１３からの水を再使用する装置であるが、第
２実施例と異なる点は、給水タンク２８が還水タ
ンクを兼ねており、かつ、還水ポンプが不要で装
置の構造を単純かつ小型化できる点である。この
ような装置において給水タンク２８の水を交換る
場合は、スプレー機構１１動作中に水位センサ２
６を利用して排水と同時に排水量と同量の水を給
水するか、またはスプレー機構１１の停止中に排
水および給水を行うように制御する。 Further, FIG. 4 shows a third embodiment of the present invention. This device is similar to the device of the second embodiment described above, and is a device that reuses water from the drain pipe 13, but the difference from the second embodiment is that the water supply tank 28 also serves as a return water tank, and , there is no need for a return water pump, and the structure of the device can be made simple and compact. When replacing the water in the water tank 28 in such a device, the water level sensor 2
6 is used to drain the water and simultaneously supply the same amount of water as the amount of water drained, or to control the water draining and water supply while the spray mechanism 11 is stopped.
なお、上記実施例において、ケーシング１内の
ミスト除去フイルタ８の下流側に、エアフイルタ
を配設し、この空気清浄装置を通した空気を直接
クリーンルーム内り吹き出すことができるように
してもよい。 In the above embodiment, an air filter may be disposed downstream of the mist removal filter 8 in the casing 1 so that the air that has passed through the air purifying device can be directly blown out into the clean room.
「発明の効果」
以上説明したように、本発明の空気清浄装置
は、空気を通過させるケーシングの内部に水を噴
霧するスプレー機構を備え、しかも、空気中の海
塩粒子の濃度を検出する検出手段と、この検出手
段の検出データに基づいてスプレー機構の動作制
御を行う制御手段とを備えたので次のような優れ
た効果を奏する。"Effects of the Invention" As explained above, the air purifying device of the present invention is equipped with a spray mechanism that sprays water inside a casing that allows air to pass through, and also has a detection system that detects the concentration of sea salt particles in the air. Since the present invention includes the means and the control means for controlling the operation of the spray mechanism based on the detection data of the detection means, the following excellent effects can be achieved.
空気中の海塩粒子濃度が高いときにスプレー
機構を作動させ、低い時に停止させることによ
り、装置の運転費および水を節約して、省エネ
ルギー化を図ることができる。 By activating the spray mechanism when the concentration of sea salt particles in the air is high and stopping it when it is low, the operating cost and water of the device can be saved, resulting in energy savings.
空気中の海塩粒子を効率良く除去することが
できる。したがつて、生産設備用のクリーンル
ーム等に適用すれば、製品の品質を向上させ、
夫留まりを高めることができる。 Sea salt particles in the air can be efficiently removed. Therefore, if applied to clean rooms for production equipment, it will improve product quality and
It can increase husband retention.
海塩粒子以外の水溶性汚染物質、例えば塩化
水素等をも空気中から除去して、生産設備用ク
リーンルーム内の仕上げ材料等の腐食を防止す
ることができる。 Water-soluble contaminants other than sea salt particles, such as hydrogen chloride, can also be removed from the air to prevent corrosion of finishing materials in production equipment clean rooms.
大気中に含まれている海塩粒子以外の塵埃を
海塩粒子と同時に除去できるから、外気用空気
調和器の負荷を軽くすることができる。 Since dust other than sea salt particles contained in the atmosphere can be removed at the same time as sea salt particles, the load on the outside air conditioner can be reduced.
第１図は本発明の第１実施例を示す概略図、第
２図は大気中の海塩粒子濃度と風速との関係の一
例を示すグラフ、第３図は本発明の第２実施例を
示す概略図、第４図は本発明の第３実施例を示す
概略図である。
１……ケーシング、３……送風機、６……スプ
レーノズル、７……エリミネータ、８……ミスト
除去フイルタ、９……スプレー用ポンプ、１０，
２８……給水タンク、１１……スプレー機構、１
３……排水管、１４……吹出ダンパ、１５……バ
イパスダンパ、１６……検出手段、１７……ナト
リウムセンサ、１８……風向風速センサ、１９…
…補助センサ、２０……制御手段、２１……外気
用空気調和器、２２……還水タンク、２３……還
水ポンプ、２４……濃度センサ、２５……排水
弁、２６……水位センサ、２７……給水弁。
Fig. 1 is a schematic diagram showing a first embodiment of the present invention, Fig. 2 is a graph showing an example of the relationship between sea salt particle concentration in the atmosphere and wind speed, and Fig. 3 is a schematic diagram showing a second embodiment of the present invention. FIG. 4 is a schematic diagram showing a third embodiment of the present invention. 1...Casing, 3...Blower, 6...Spray nozzle, 7...Eliminator, 8...Mist removal filter, 9...Spray pump, 10,
28...Water tank, 11...Spray mechanism, 1
3...Drain pipe, 14...Blowout damper, 15...Bypass damper, 16...Detection means, 17...Sodium sensor, 18...Wind direction and wind speed sensor, 19...
... Auxiliary sensor, 20 ... Control means, 21 ... Air conditioner for outside air, 22 ... Return water tank, 23 ... Return water pump, 24 ... Concentration sensor, 25 ... Drain valve, 26 ... Water level sensor , 27... Water supply valve.
Claims (1)
ケーシングの内部に水を噴霧するスプレー機構
と、空気中の海塩粒子の濃度を検出する検出手段
と、この検出手段の検出データに基づいて前記ス
プレー機構の動作制御を行う制御手段とを備えた
ことを特徴とする空気清浄装置。1. A casing that allows air to pass through, a spray mechanism that sprays water into the casing, a detection device that detects the concentration of sea salt particles in the air, and a detection device that detects the concentration of sea salt particles in the air based on the detection data of the detection device. An air purifying device comprising: a control means for controlling the operation of the air purifier.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60107161A JPS61265432A (en) | 1985-05-20 | 1985-05-20 | Air-purifying device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP60107161A JPS61265432A (en) | 1985-05-20 | 1985-05-20 | Air-purifying device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61265432A JPS61265432A (en) | 1986-11-25 |
| JPH0215780B2 true JPH0215780B2 (en) | 1990-04-13 |
Family
ID=14452037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60107161A Granted JPS61265432A (en) | 1985-05-20 | 1985-05-20 | Air-purifying device |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JPS61265432A (en) |
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1985
- 1985-05-20 JP JP60107161A patent/JPS61265432A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| JPS61265432A (en) | 1986-11-25 |
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