JPH02156179A - 光ファイバ磁界センサ - Google Patents
光ファイバ磁界センサInfo
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- JPH02156179A JPH02156179A JP31072288A JP31072288A JPH02156179A JP H02156179 A JPH02156179 A JP H02156179A JP 31072288 A JP31072288 A JP 31072288A JP 31072288 A JP31072288 A JP 31072288A JP H02156179 A JPH02156179 A JP H02156179A
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Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野」
本発明は、磁歪効果により光ファイバに歪を与える磁界
センサ部の磁歪体を改良した光ファイバ磁界センサに関
するらのである。
センサ部の磁歪体を改良した光ファイバ磁界センサに関
するらのである。
「従来の技術」
従来より、磁界、磁気等の測定機器としては、マツハツ
エンダ干渉型の光ファイバ磁界センサ等が一般に広く知
られている。従来の光ファイバ磁界センサは、■レーザ
光を出射する光源部、■出射されたレーザ光を参照光と
測定光に分波し、それぞれ参照用光ファイバおよび測定
用光ファイバに導く分波器、■測定用光ファイバ上に設
けられ、磁歪体と光ファイバからなり、磁界により測定
光に位相差を与える磁界センサ部、■磁界センサ部から
の位相変化された測定光と、上記参照光を合波する合波
器、0合波器にて発生する干渉波を検出する検出部、■
検出部からの電気信号を増幅するアンプ部、■その他伝
送用の光ファイバ等、などにより構成されるものである
。
エンダ干渉型の光ファイバ磁界センサ等が一般に広く知
られている。従来の光ファイバ磁界センサは、■レーザ
光を出射する光源部、■出射されたレーザ光を参照光と
測定光に分波し、それぞれ参照用光ファイバおよび測定
用光ファイバに導く分波器、■測定用光ファイバ上に設
けられ、磁歪体と光ファイバからなり、磁界により測定
光に位相差を与える磁界センサ部、■磁界センサ部から
の位相変化された測定光と、上記参照光を合波する合波
器、0合波器にて発生する干渉波を検出する検出部、■
検出部からの電気信号を増幅するアンプ部、■その他伝
送用の光ファイバ等、などにより構成されるものである
。
この内、■の磁界を検知する磁界センサ部について、第
6図を用いて説明する。
6図を用いて説明する。
この磁界センサ部lは、磁性材料をコイル状に巻回、積
層した磁歪体2の外面上にセンサ用光ファイバ3が数回
巻き付けてなる乙のである。この磁性材料としては通常
メタリックガラステープが用いられ、このメタリックガ
ラステープは鉄、ニッケル、コバルトなどの強磁性金属
を溶融状態から惣激に冷却することによりアモルファス
状態とし、このアモルファス金属をテープ状に形成され
たものである。
層した磁歪体2の外面上にセンサ用光ファイバ3が数回
巻き付けてなる乙のである。この磁性材料としては通常
メタリックガラステープが用いられ、このメタリックガ
ラステープは鉄、ニッケル、コバルトなどの強磁性金属
を溶融状態から惣激に冷却することによりアモルファス
状態とし、このアモルファス金属をテープ状に形成され
たものである。
「発明が解決しようとする課題」
ところが、この磁界センサ部1の磁歪体2は巻回して積
層したものであるので、磁歪材料に可撓性がない場合は
作製できない問題がある。また、磁歪体2が巻回体であ
ることにより、形状が制限されてしまい、例えば設置場
所が極めて薄い場合などには、対応できないという問題
を起こす。
層したものであるので、磁歪材料に可撓性がない場合は
作製できない問題がある。また、磁歪体2が巻回体であ
ることにより、形状が制限されてしまい、例えば設置場
所が極めて薄い場合などには、対応できないという問題
を起こす。
「課題を解決するための手段」
本発明は、磁歪材料を積層してなる磁歪体を設けたこと
を、解決するための手段とした。
を、解決するための手段とした。
「作用 」
磁歪体が積層物であることにより、可撓性の無い磁歪材
料でら磁界センサ部の磁歪体として用いることができる
。また、積層物であるので形状の自由度が大きい。
料でら磁界センサ部の磁歪体として用いることができる
。また、積層物であるので形状の自由度が大きい。
以下、本発明の光ファイバ磁界センサについて、第1図
を用いて詳しく説明する。
を用いて詳しく説明する。
第1図は、本発明の実施例を示すもので、図中符号4は
、光源部を示す。この光源部4はこの光源部4から出射
した光を伝送するための伝送用光ファイバ5により、フ
ァイバ形偏光子6を介して分波器7と結合されている。
、光源部を示す。この光源部4はこの光源部4から出射
した光を伝送するための伝送用光ファイバ5により、フ
ァイバ形偏光子6を介して分波器7と結合されている。
この伝送用光ファイバ5は、分波器7により参照用光フ
ァイバ8と、測定用光ファイバ9とに分割されている。
ァイバ8と、測定用光ファイバ9とに分割されている。
測定用光ファイバ9には、磁界センサ部1が設けられて
いる。上記測定用光ファイバ9は、この磁界センサ部l
を経て、合波器10にて再び参照用光ファイバ8と接合
し、−本の伝送用光ファイバ5となる。この伝送用光フ
ァイバ5は検出部11と結合し、この検出部11はアン
プ部12と結合している。
いる。上記測定用光ファイバ9は、この磁界センサ部l
を経て、合波器10にて再び参照用光ファイバ8と接合
し、−本の伝送用光ファイバ5となる。この伝送用光フ
ァイバ5は検出部11と結合し、この検出部11はアン
プ部12と結合している。
本発明の光ファイバ磁界センサの特徴は、上記磁界セン
サ部lの磁歪体2が積層体であるところにある。この−
例を第2図に示す。
サ部lの磁歪体2が積層体であるところにある。この−
例を第2図に示す。
図中符号13は、磁歪材料を示す。この磁歪材料13を
積層することにより角柱状の磁歪体2が形成される。こ
の磁歪体2の表面にセンサ用光ファイバ3を接着するこ
とにより、磁界センサ部1となる。上記磁歪材料13は
、鉄、ニッケル、コバルトなどの強磁性金属を溶融状態
から急激に冷却することによってアモルファス金属とし
、これを板状、テープ状等にしたものなどが好適に用い
られる。
積層することにより角柱状の磁歪体2が形成される。こ
の磁歪体2の表面にセンサ用光ファイバ3を接着するこ
とにより、磁界センサ部1となる。上記磁歪材料13は
、鉄、ニッケル、コバルトなどの強磁性金属を溶融状態
から急激に冷却することによってアモルファス金属とし
、これを板状、テープ状等にしたものなどが好適に用い
られる。
また、この積層体よりなる磁歪体2の他の例を第3図に
示す。
示す。
幅の異なる磁歪材料13を積層することにより、円柱状
の磁歪体2が形成される。この磁歪体2の外面−Lにセ
ンサ用光ファイバ3を多数回巻き付けることにより磁界
センサ部1となる。
の磁歪体2が形成される。この磁歪体2の外面−Lにセ
ンサ用光ファイバ3を多数回巻き付けることにより磁界
センサ部1となる。
上記光源部4には、レーザダイオードが用いられ、好適
には干渉性の高いDI?13(分布帰還形)レーザが用
いられる。
には干渉性の高いDI?13(分布帰還形)レーザが用
いられる。
また伝送用光ファイバ5、参照用光ファイバ8、測定用
光ファイバ9に用いられる光ファイバは、通常用いられ
る石英系の単一モード光ファイバで乙良いが、好適には
偏波安定性を向−トさせた偏波面保持光ファイバ(複屈
折光ファイバ)が用いられろ。この偏波面保持光ファイ
バとしては、応力付与型のものが好適であるが、楕円コ
ア型、楕円ブラッド型、矩形コア型等でもよい。これら
伝送用光ファイバ5等には、光ファイバ裸線に熱硬化ノ
リコン樹脂、UV硬化樹脂等により一次被覆された光フ
ァイバ素線、もしくはこれにナイロン樹脂等により二次
被覆された光ファイバ心線等が好適に用いられる。
光ファイバ9に用いられる光ファイバは、通常用いられ
る石英系の単一モード光ファイバで乙良いが、好適には
偏波安定性を向−トさせた偏波面保持光ファイバ(複屈
折光ファイバ)が用いられろ。この偏波面保持光ファイ
バとしては、応力付与型のものが好適であるが、楕円コ
ア型、楕円ブラッド型、矩形コア型等でもよい。これら
伝送用光ファイバ5等には、光ファイバ裸線に熱硬化ノ
リコン樹脂、UV硬化樹脂等により一次被覆された光フ
ァイバ素線、もしくはこれにナイロン樹脂等により二次
被覆された光ファイバ心線等が好適に用いられる。
また、磁歪体2に接着されるセンサ用光ファイバ3とし
ては、伝送用光ファイバ5などに用いられるものと同一
のものでよいが、磁界センサ部1をより高感度にするた
めには、被覆のされていない光ファイバ裸線を使用する
ことが好ましく、また、温度特性の向上を意図するなら
ば、金属液1を施したメタルファイバを用いることも可
能である。
ては、伝送用光ファイバ5などに用いられるものと同一
のものでよいが、磁界センサ部1をより高感度にするた
めには、被覆のされていない光ファイバ裸線を使用する
ことが好ましく、また、温度特性の向上を意図するなら
ば、金属液1を施したメタルファイバを用いることも可
能である。
ファイバ形偏光子6には、応ノJ付与型偏波面保持光フ
ァイバをコイル状に巻いたコイル形ファイバ偏光子等が
好適に用いられる。また、分波器7および合波器IOに
は、偏波面保持光カブラ等が好適に用いられる 検出部11には、フォトダイオード等が用いられ、アン
プ部12には、ロックインアンプなどが用いられる。
ァイバをコイル状に巻いたコイル形ファイバ偏光子等が
好適に用いられる。また、分波器7および合波器IOに
は、偏波面保持光カブラ等が好適に用いられる 検出部11には、フォトダイオード等が用いられ、アン
プ部12には、ロックインアンプなどが用いられる。
次に、この光ファイバ磁界センサの磁界検出機構につい
て説明する。
て説明する。
まず、光源部4より出射したレーザ光は、ファイバ形偏
光子6にて、その偏波面を伝送用光ファイバ5に用いら
れる偏波面保持光ファイバの偏波面に一致させられる。
光子6にて、その偏波面を伝送用光ファイバ5に用いら
れる偏波面保持光ファイバの偏波面に一致させられる。
このファイバ形偏光子6を通過したレーザ光は、偏波面
保持光カブラからなる分波器7により参照光と測定光に
分波され、それぞれ参照用光ファイバ8、測定用光ファ
イバ9へ導かれる。測定用光ファイバ9に導かれた測定
光は、磁界センサ部1に入射する。ここで、周囲に磁界
か存在した場合、この磁界センサ部1において、収束さ
れた磁界により磁歪体2がひずみ、その結果センサ用光
ファイバ3にも歪が加わることにより、測定光に位相変
化を与える。この位相変化された測定光と、参照用光フ
ァイバ8に導かれた参照光とが、偏波面保持光カプラか
らなる合波器10により合波されると干渉光が発生し、
この干渉光をフォトダイオード等からなる検出部11に
て受光し電気変換を行い、さらにロックインアンプ等か
らなるアンプ部12にて増幅し出力され磁界が検出され
る。
保持光カブラからなる分波器7により参照光と測定光に
分波され、それぞれ参照用光ファイバ8、測定用光ファ
イバ9へ導かれる。測定用光ファイバ9に導かれた測定
光は、磁界センサ部1に入射する。ここで、周囲に磁界
か存在した場合、この磁界センサ部1において、収束さ
れた磁界により磁歪体2がひずみ、その結果センサ用光
ファイバ3にも歪が加わることにより、測定光に位相変
化を与える。この位相変化された測定光と、参照用光フ
ァイバ8に導かれた参照光とが、偏波面保持光カプラか
らなる合波器10により合波されると干渉光が発生し、
この干渉光をフォトダイオード等からなる検出部11に
て受光し電気変換を行い、さらにロックインアンプ等か
らなるアンプ部12にて増幅し出力され磁界が検出され
る。
ここで磁歪体2を積層体とすることにより、磁歪材料1
3が可撓性の無い物でも使用可能となる。
3が可撓性の無い物でも使用可能となる。
また、磁歪材料13の積層枚数、形状などを変化さける
ことにより、磁歪体2の形状、すなわち磁界センサ部1
の形状が自由に選択できる。よって、例えば極めて狭い
空間の磁界を測定可能とする1等の効果を有する。また
、上記磁歪体2を第3図に示す円柱状にした場合、磁歪
体2外面上のセンサ用光ファイバ3の巻き数を増やすこ
とにより、センサ用光ファイバ3の長尺化ができる。セ
ンサ用光ファイバ3を長くすることは、光ファイバ磁界
センサの感度を向上させるものである。
ことにより、磁歪体2の形状、すなわち磁界センサ部1
の形状が自由に選択できる。よって、例えば極めて狭い
空間の磁界を測定可能とする1等の効果を有する。また
、上記磁歪体2を第3図に示す円柱状にした場合、磁歪
体2外面上のセンサ用光ファイバ3の巻き数を増やすこ
とにより、センサ用光ファイバ3の長尺化ができる。セ
ンサ用光ファイバ3を長くすることは、光ファイバ磁界
センサの感度を向上させるものである。
また、上記磁歪体2の磁気的共振周波数を、検知する磁
界の周波数と一致させるため、この磁歪体2の長さを、 (ただし、Qは磁歪体2の長さ、foは検知する磁界の
周波数、ρおよびEは磁歪体2の密度およびヤング率、
nは零を含む整数)にて規定される値とすることらでき
る。磁歪体2の長さを上記式にて規定することにより、
検知する磁界の周波数と磁歪体2の共振周波数とが一致
し、本発明の光ファイバ磁界センサの感度を向上させる
。
界の周波数と一致させるため、この磁歪体2の長さを、 (ただし、Qは磁歪体2の長さ、foは検知する磁界の
周波数、ρおよびEは磁歪体2の密度およびヤング率、
nは零を含む整数)にて規定される値とすることらでき
る。磁歪体2の長さを上記式にて規定することにより、
検知する磁界の周波数と磁歪体2の共振周波数とが一致
し、本発明の光ファイバ磁界センサの感度を向上させる
。
「実施例」
(実施例1)
光源部4として、波長1.3μmのDFBレーザダイオ
ードを使用し、光の出力が−4,5dBmの偏光波を出
射させた。この偏波光は、消光比38dr3のファイバ
杉偏光千6によりシングルモード11E:、の偏波光と
された。この際、ファイバ形偏光子6としては、応力付
与型の偏波面保持光ファイバを直径50m+oのコイル
上に巻いて製作したものを使用した。分波′57、合波
器10として、偏波面保持光カブラを用いて参照光と測
定光に分波もしくは合波をした。
ードを使用し、光の出力が−4,5dBmの偏光波を出
射させた。この偏波光は、消光比38dr3のファイバ
杉偏光千6によりシングルモード11E:、の偏波光と
された。この際、ファイバ形偏光子6としては、応力付
与型の偏波面保持光ファイバを直径50m+oのコイル
上に巻いて製作したものを使用した。分波′57、合波
器10として、偏波面保持光カブラを用いて参照光と測
定光に分波もしくは合波をした。
伝送用光ファイバ5、参照用光ファイバ8、測定用光フ
ァイバ9には、応力付与型光ファイバを用い、クラツド
径125μm1被覆材料は紫外線硬化樹脂、彼覆径40
0μmのものを用いた。
ァイバ9には、応力付与型光ファイバを用い、クラツド
径125μm1被覆材料は紫外線硬化樹脂、彼覆径40
0μmのものを用いた。
磁界センサ部Iには、幅25m+e、長さ50mm。
肉厚25μmのメタリックガラステープを約350収積
層し、厚みを10mmとした磁歪体を用いた。
層し、厚みを10mmとした磁歪体を用いた。
この際使用したメタリックガラステープは、米国アライ
ド社製、2605COを用いた。これは、鉄、コバルト
、はう素、けい素を溶融状態から急冷して得られたアモ
ルファス状のメタリックガラステープである。この磁歪
体の端面に上記光ファイバを2m接着して磁界センサ部
Iとした検出部11としては、フォトダイオードを用い
、アンプ部12としては、ロックインアンプを用いた。
ド社製、2605COを用いた。これは、鉄、コバルト
、はう素、けい素を溶融状態から急冷して得られたアモ
ルファス状のメタリックガラステープである。この磁歪
体の端面に上記光ファイバを2m接着して磁界センサ部
Iとした検出部11としては、フォトダイオードを用い
、アンプ部12としては、ロックインアンプを用いた。
この光ファイバ磁界センサの最小磁界検出感度は、第4
図に示すようにl(I’Oeであった。
図に示すようにl(I’Oeであった。
(実施例2)
また、磁界センサ部1として幅25mm、長さIoof
film、肉厚25μmの上記メタリックガラステープ
を約350収積層し、厚みを10mmとした磁歪体を用
い、他の構成は同一としたしのを実施例2とした。
film、肉厚25μmの上記メタリックガラステープ
を約350収積層し、厚みを10mmとした磁歪体を用
い、他の構成は同一としたしのを実施例2とした。
ここで、上記(1)式より、実施例1および実施例2の
磁歪体2の磁気的共振周波数を計算にて求めた結果、実
施例Iにおいては43kHz、実施例2は22kl−(
zであった。また、実施例1および実施例2の磁界セン
サ部1に、それぞれ長さ方向に磁界をかIす、その周波
数特性を求めた結果を第5図のAおよびBに示す。Aは
実施例1を示し、そのピーク値は40に+−1z付近で
あり、Bは実施例2を示し、そのピーク値は20kHz
付近である。以上、計算値と実測値が良く一致すること
から(1)式より検知する磁界の周波数に合わせて磁歪
体2の長さを決定することにより、光ファイバ磁界セン
サの感度が良好となる。
磁歪体2の磁気的共振周波数を計算にて求めた結果、実
施例Iにおいては43kHz、実施例2は22kl−(
zであった。また、実施例1および実施例2の磁界セン
サ部1に、それぞれ長さ方向に磁界をかIす、その周波
数特性を求めた結果を第5図のAおよびBに示す。Aは
実施例1を示し、そのピーク値は40に+−1z付近で
あり、Bは実施例2を示し、そのピーク値は20kHz
付近である。以上、計算値と実測値が良く一致すること
から(1)式より検知する磁界の周波数に合わせて磁歪
体2の長さを決定することにより、光ファイバ磁界セン
サの感度が良好となる。
「発明の効果」
本発明は、磁歪材料を積層してなるぽ歪体と光ファイバ
とからなる磁界センサ部を何することを特徴とする光フ
ァイバ磁界センサであるので、可撓性の無い磁歪材料で
も磁界センサ部の磁歪体として用いることかできる。ま
た、磁歪体の形状の自由度が大きい。従って、本発明の
光ファイバ磁界センサは、磁歪材料の選択範囲が広く、
さらにいかなる場所においても磁界を測定できるという
効果を存するものである。
とからなる磁界センサ部を何することを特徴とする光フ
ァイバ磁界センサであるので、可撓性の無い磁歪材料で
も磁界センサ部の磁歪体として用いることかできる。ま
た、磁歪体の形状の自由度が大きい。従って、本発明の
光ファイバ磁界センサは、磁歪材料の選択範囲が広く、
さらにいかなる場所においても磁界を測定できるという
効果を存するものである。
第1図は本発明の光ファイバ磁界センサの実泡例を示す
概略説明図、第2図および第3図はその磁界センサ部を
示す概略斜視図、第4図は実施例の磁界測定感度を示す
グラフ、第5図は実施例の周波数特性を示すグラフ、第
6図は、従来の光ファイバ磁界センサの磁界センサ部を
示す概略斜視図である。 l ・・・・・・磁界センサ部、2 ・・・・・・磁歪
体、3 ・・・・・・センサ用光ファイバ。
概略説明図、第2図および第3図はその磁界センサ部を
示す概略斜視図、第4図は実施例の磁界測定感度を示す
グラフ、第5図は実施例の周波数特性を示すグラフ、第
6図は、従来の光ファイバ磁界センサの磁界センサ部を
示す概略斜視図である。 l ・・・・・・磁界センサ部、2 ・・・・・・磁歪
体、3 ・・・・・・センサ用光ファイバ。
Claims (2)
- (1)磁歪材料を積層してなる磁歪体と光ファイバとか
らなる磁界センサ部を有することを特徴とする光ファイ
バ磁界センサ。 - (2)磁歪体の共振周波数を、検知する磁界の周波数と
一致させたことを特徴とする請求項1記載の光ファイバ
磁界センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31072288A JPH02156179A (ja) | 1988-12-08 | 1988-12-08 | 光ファイバ磁界センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31072288A JPH02156179A (ja) | 1988-12-08 | 1988-12-08 | 光ファイバ磁界センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02156179A true JPH02156179A (ja) | 1990-06-15 |
Family
ID=18008691
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31072288A Pending JPH02156179A (ja) | 1988-12-08 | 1988-12-08 | 光ファイバ磁界センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02156179A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999057571A1 (fr) * | 1998-04-30 | 1999-11-11 | Hitachi Cable, Ltd. | Capteur magnetique employant une fibre optique |
-
1988
- 1988-12-08 JP JP31072288A patent/JPH02156179A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999057571A1 (fr) * | 1998-04-30 | 1999-11-11 | Hitachi Cable, Ltd. | Capteur magnetique employant une fibre optique |
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