JPH0215389Y2 - - Google Patents
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- JPH0215389Y2 JPH0215389Y2 JP1982074947U JP7494782U JPH0215389Y2 JP H0215389 Y2 JPH0215389 Y2 JP H0215389Y2 JP 1982074947 U JP1982074947 U JP 1982074947U JP 7494782 U JP7494782 U JP 7494782U JP H0215389 Y2 JPH0215389 Y2 JP H0215389Y2
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Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の技術分野〕
本考案は高次横モードスプリアスを軽減させた
弾性表面波共振器に関する。
〔考案の技術的背景とその問題点〕
一般に、弾性表面波共振器は第１図に示すよう
な構成をとることが多い。
すなわち圧電基板１の一方の主面上に配置され
所定の間隔３０１で平行に配列されたたとえばア
ルミニウムからなるストリツプ３０２列を挾み対
向して、このストリツプ３０２列を電気的に短絡
するブスバー３０３より表面波反射器３が構成さ
れている。この表面波反射器３と表面波反射器３
との間に配置された櫛形電極４が相互に差し込ま
れ形成されて電気−機械変換器、即ち放射電極２
を構成している。また表面波反射器３は放射電極
２からの弾性表面波伝播路上に配置されている。
符号５は表面波の伝播方向を示す。
そして、この２つの表面波反射器３の間におい
て、放射電極２から励振放射された表面波の安在
波を起こして共振させ、Ｑの高い共振器として作
用させている。
しかしながらこのような構成の弾性表面波共振
器は、放射電極２が表面波の伝播方向５に沿つた
相互に等しい長さのくし形電極指４を交さして形
成され、その交さ長Ｌの一定な正規形電極構造の
ものが多かつた。
そのため第２図の共振レスポンス特性図に示す
ように、主共振Ｐのほかに、高次横モードスプリ
アスとよばれるスプリアス共振P1，P2が生じる
欠点がある。
この原因は主に次のように考えられる。
すなわち、放射電極２を第３図Ａに示すような
正規形電極とした場合、表面波の伝搬方向５と直
角な方向における表面波のエネルギー分布は、同
図Ｂに示すように、矩形波状６となり、これをフ
ーリエ級数展開すれが同図Ｃ〜Ｅに示すような複
数の正弦波状の等位相面を有する波７，８，９，
…に分解することができる。このうち、７が基本
モードと呼ばれ、８，９，…が高次横モードと呼
ばれる。
ここで基本モード７の位相速度に対し高次横モ
ード８，９，…のそれはわずかに早い。
又、伝搬方向についても第４図に示すように基
本モード７の伝搬方向５に対して、高次横モード
の伝搬方向１０は、ある角度をもつ。
そしてまた表面波反射器３の内側と外側とでは
質量付加効果、電界短絡効果等により表面波の伝
搬速度が異るため、高次横モードの波８の一部は
第５図の矢印１１で示すように表面波反射器３の
端部で順次反射され、表面波反射器３内に高次横
モードの波がとじこめられて基本モード７に比べ
て高い共振周波数を有する一種の共振モードを生
ずることになる。
これが高次横モードスプリアスと呼ばれるもの
で、第２図に示すようなスプリアスP1，P2を生
ずる原因となると考えられる。
以上の原因を考えると、第１図の表面波反射電
極２から放射される表面波の高次横モードの波が
表面波反射器３内にとじこめられても、共振モー
ドを生じない様にすれば、高次横モードスプリア
スを抑圧させることができると考えられる。
〔考案の目的〕
本考案は以上の点に鑑みてなされたもので、高
次横モードが原因となつて生ずる高次横モードス
プリアスを軽減させた弾性表面波共振器の提供を
目的とする。
〔考案の概要〕
本考案はこの目的を達成するために、圧電基板
上に配置され所定の間隔で略平行に配列されたス
リツプ列を電気的に短絡するブスバーより構成さ
れた表面波反射器と少なくとも２つ以上の表面波
反射器との間に配置された櫛形電極よりなる電気
−機械変換器より構成されている弾性表面波共振
器において、少なくとも一つのこのブスバーの辺
の形状が非直線であることを特徴とし、高次横モ
ードスプリアスを軽減させた弾性表面波共振器の
実現を図るものである。
〔考案の実施例〕
以下本考案の弾性表面波共振器の詳細を説明す
る。なお従来例と共通する部分には同一符号を付
す。弾性表面波共振器の概略構造は、第１図に示
すように表面波の伝播基板たる圧電基板１の一主
面上に、電気−機械変換器から構成される反射電
極２とこれを挾んで一対の表面波反射器３を伝播
路上に互いに所定間隔をおいて形成されてなるの
で、詳細な説明を省略する。
第６図は本考案の弾性表面波共振器における特
徴部分である表面波反射器３の一実施例を示した
ものである。
本考案の一実施例の表面波反射器３は、所定の
間隔３０１で平行に配列されたストリツプ３０２
列を挾み対向してブスバー３０３の相対向する側
の辺３０４の少なくとも一方の辺の形状が非直線
からなる。即ち基本モードの表面伝搬方向２１に
所定の間隔３０１をへてならんだたとえばアルミ
ニウムからなるストリツプ３０２列と、このスト
リツプ列３０２の両端を電気的に短絡させるため
接続しているブスバー３０３とから表面波反射器
３は構成されている。そして、ブスバー３０３の
内側の辺３０４即ちお互いに向きあつたブスバー
３０３の辺３０４は、表面波伝搬方向２１を基準
として、この基準に対して傾きをもつた直線の組
み合せの非直線となつている。
この表面波反射器３の構造により放射電極から
入射する波のうち高次横モードの波２２はブスバ
ー３０３で乱反射２２１するため、第１図の表面
波放射電極２から放射される表面波の高次横モー
ドの波が表面波反射器３にとじこめられても、共
振モードが生じにくくなる。従つて高次横モード
スプリアスを抑圧させることができる。
第７図は本考案の他の実施例を示すもので、第
６図の表面波反射器３のストリツプ３０２列の両
端を挾み対向してブスバー３０３の形状に加え、
ブスバー３０３の外側の辺３０５が基本モードの
表面波伝搬方向２１を基準として、この基準に対
して傾きをもつた直線の組合せたとえば三角波状
からなつている。
このように構成された表面波反射器３は、第６
図の放射電極から入射する波のうち高次横モード
の波２２に対してブスバー３０３の相対向する辺
（以下内側の辺と称する）３０４で乱反射２２１
を起こすことに加え再びブスバー３０４の外側の
辺３０５で乱反射２２２を起こす。即ち二重に乱
反射が生じる。このため、第１図の表面波放射電
極２から放射される表面波の高次横モードの波は
表面波反射器３内でさらに、共振モードを生じに
くくなり高次横モードスプリアスは第７図に示す
ものに比べさらに軽減される。
なお、ブスバー３０３の外側の辺３０５のみ
が、基本モールドの表面波伝播方向２１を基準と
して、この基準に対して傾きをもつた直線の組合
せから構成されていても所望の効果を得ることは
言うまでもない。
第８図は本考案の他の実施例を示すもので第７
図の表面波反射器３のブスバー３０３の内側の辺
３０４と外側の辺３０５との形状が微細な直線の
組み合せからなる非直線からなつたものである。
このように構成された表面波反射器３は放射電
極から入射する波のうち高次横モードの波２２に
対してブスバー３０３の内側の辺３０４と外側の
辺３０５とでさらに乱反射２２１，２２２を起こ
す。このため第１図の表面波放射電極２から放射
される表面波の高次横モードの波は表面波反射器
３内で、共振モードが生じにくくなる。従つて高
次横モードスプリアスは第７図に示すものに比べ
さらに軽減される。
なお、本考案の実施例では非直線を直線の組み
合せで説明したが、曲線でもかまわないことは言
うまでもない。また、本考案の実施例ではブスバ
ーの相対向する辺の両方の形状が両方とも非直線
からなつている場合について説明したが、これは
一方の辺が非直線となつているだけでもある程度
の所望の効果は得られる。さらに、本考案の弾性
表面波共振器の実施例においては、ストリツプ３
０２列を挾み対向した２本のブスバー３０３から
なる表面波反射器３を用いて説明したが、本考案
の弾性表面波共振器はこれに限られるものではな
く、例えばストリツプ３０２列の一方の側のみ電
気的に短絡したブスバー３０３を用いた表面波反
射器３を用いても良いし、ブスバー３０３は連続
な電気導体でなく途中で一部が欠落した不連続な
電気導体でも良いのは言うまでもない。
〔考案の効果〕
弾性表面波共振器において表面波反射器のブス
バーの辺の形状が非直線からなるので表面波反射
器側面での弾性表面波の伝搬速度の差によつて生
ずる反射が乱れる。これにより放射電極から放射
される表面波の高次横モードの波が表面波反射器
内で横モード共振が生じにくくなる。従つて高次
横モードスプリアスを抑圧することができる。 [Detailed Description of the Invention] [Technical Field of the Invention] The present invention relates to a surface acoustic wave resonator that reduces high-order transverse mode spurious. [Technical background of the invention and its problems] In general, surface acoustic wave resonators often have a configuration as shown in FIG. That is, two rows of strips 302 made of aluminum, for example, which are disposed on one main surface of the piezoelectric substrate 1 and arranged in parallel at a predetermined interval 301, are sandwiched and opposed to each other by bus bars 303 that electrically short-circuit the two rows of strips 301. A surface wave reflector 3 is configured. This surface wave reflector 3 and the surface wave reflector 3
A comb-shaped electrode 4 arranged between the
It consists of Further, the surface wave reflector 3 is arranged on the surface acoustic wave propagation path from the radiation electrode 2.
Reference numeral 5 indicates the propagation direction of the surface wave. Then, between the two surface wave reflectors 3 , a stable wave of the surface waves excited and radiated from the radiation electrode 2 is generated and resonated, thereby acting as a high-Q resonator. However, in a surface acoustic wave resonator having such a configuration, the radiation electrode 2 is formed by intersecting comb-shaped electrode fingers 4 of equal length along the surface wave propagation direction 5, and the intersecting length L is constant. Many of them had regular electrode structures. Therefore, as shown in the resonance response characteristic diagram of FIG. 2, there is a drawback that in addition to the main resonance P, spurious resonances P 1 and P 2 called high-order transverse mode spurious occur. The main reasons for this are considered to be as follows. That is, when the radiation electrode 2 is a normal electrode as shown in FIG. When expanded into a Fourier series, it becomes waves 7, 8, 9, which have multiple sinusoidal equiphase fronts as shown in C to E in the same figure.
It can be decomposed into... Of these, 7 is called a fundamental mode, and 8, 9, . . . are called higher-order transverse modes. Here, the phase velocity of the higher-order transverse modes 8, 9, . . . is slightly faster than that of the fundamental mode 7. Regarding the propagation direction, as shown in FIG. 4, the propagation direction 10 of the higher-order transverse mode has a certain angle with respect to the propagation direction 5 of the fundamental mode 7. Furthermore, since the propagation speed of the surface wave differs between the inside and outside of the surface wave reflector 3 due to the mass addition effect, electric field short circuit effect, etc., a part of the higher-order transverse mode wave 8 is shown by the arrow 11 in FIG. As shown, the waves are sequentially reflected at the ends of the surface wave reflector 3 , and high-order transverse mode waves are confined within the surface wave reflector 3 , producing a type of resonant mode having a higher resonant frequency than the fundamental mode 7. It turns out. This is called a high-order transverse mode spurious, and is considered to be the cause of the spurious P 1 and P 2 shown in FIG. 2. Considering the above causes, even if the higher-order transverse mode wave of the surface wave emitted from the surface wave reflecting electrode 2 shown in FIG. For example, it is thought that higher-order transverse mode spurious can be suppressed. [Purpose of the invention] The present invention has been made in view of the above points, and aims to provide a surface acoustic wave resonator that reduces high-order transverse mode spurious caused by high-order transverse modes. [Summary of the invention] In order to achieve this objective, the present invention uses a surface wave reflector and a bus bar that electrically short-circuits a row of slips placed on a piezoelectric substrate and arranged approximately parallel to each other at a predetermined interval. In a surface acoustic wave resonator comprising an electro-mechanical transducer comprising a comb-shaped electrode disposed between at least two surface wave reflectors, the shape of at least one side of the bus bar is non-linear. The present invention aims to realize a surface acoustic wave resonator which is characterized by certain features and which reduces high-order transverse mode spurious. [Embodiments of the invention] Details of the surface acoustic wave resonator of the invention will be described below. Note that parts common to the conventional example are given the same reference numerals. As shown in Fig. 1, the general structure of a surface acoustic wave resonator includes a piezoelectric substrate 1, which is a surface wave propagation substrate, on one main surface of which is sandwiched between a reflective electrode 2 consisting of an electro-mechanical transducer. Since a pair of surface wave reflectors 3 are formed on the propagation path at a predetermined distance from each other, detailed explanation will be omitted. FIG. 6 shows an embodiment of the surface acoustic wave reflector 3, which is a characteristic part of the surface acoustic wave resonator of the present invention. A surface wave reflector 3 according to an embodiment of the present invention includes strips 302 arranged in parallel at predetermined intervals 301.
At least one of the opposing sides 304 of the bus bar 303 across the rows has a non-linear shape. That is, a surface wave is generated from a row of strips 302 made of aluminum, for example, arranged at a predetermined interval 301 in the surface propagation direction 21 of the fundamental mode, and a bus bar 303 connected to electrically short-circuit both ends of the strip row 302. The reflector 3 is configured. The inner sides 304 of the busbars 303, that is, the sides 304 of the busbars 303 facing each other, are non-linear combinations of straight lines inclined with respect to the surface wave propagation direction 21 as a reference. . Due to the structure of the surface wave reflector 3 , the higher-order transverse mode wave 22 among the waves incident from the radiation electrode is diffusely reflected 221 by the bus bar 303, so that the height of the surface wave radiated from the surface wave radiation electrode 2 shown in FIG. Even if the next transverse mode wave is confined in the surface wave reflector 3 , a resonance mode is less likely to occur. Therefore, higher-order transverse mode spurious can be suppressed. FIG. 7 shows another embodiment of the present invention, in which both ends of the strips 302 of the surface wave reflector 3 shown in FIG.
The outer side 305 of the bus bar 303 is formed of a combination of straight lines having an inclination with respect to the basic mode surface wave propagation direction 21 as a reference, such as a triangular wave shape. The surface wave reflector 3 configured in this way has a sixth
Among the waves incident from the radiation electrode in the figure, a wave 22 in a higher-order transverse mode is diffusely reflected 221 by the opposite side (hereinafter referred to as the inner side) 304 of the bus bar 303.
In addition to causing this, diffuse reflection 222 is caused again on the outer side 305 of the bus bar 304. In other words, double diffused reflection occurs. Therefore, the higher-order transverse mode wave of the surface wave radiated from the surface-wave radiation electrode 2 shown in FIG. This is further reduced compared to that shown in . It goes without saying that the desired effect can be obtained even if only the outer side 305 of the bus bar 303 is composed of a combination of straight lines inclined with respect to the surface wave propagation direction 21 of the basic mold as a reference. stomach. FIG. 8 shows another embodiment of the present invention.
The shape of the inner side 304 and the outer side 305 of the bus bar 303 of the surface wave reflector 3 shown in the figure is a non-linear shape consisting of a combination of fine straight lines. The surface wave reflector 3 configured in this manner further diffuses reflections 221 and 222 on the inner side 304 and outer side 305 of the bus bar 303 for the higher-order transverse mode wave 22 of the waves incident from the radiation electrode. wake up Therefore, the higher-order transverse mode wave of the surface wave radiated from the surface wave radiation electrode 2 shown in FIG . 1 is less likely to generate a resonance mode within the surface wave reflector 3. Therefore, the high-order transverse mode spurious is further reduced compared to that shown in FIG. In addition, in the embodiment of the present invention, the non-straight line is explained using a combination of straight lines, but it goes without saying that a curved line may also be used. In addition, in the embodiment of the present invention, a case was explained in which the shapes of both opposite sides of the bus bar are both non-linear, but even if only one side is non-linear, there is a certain degree of desired The effect can be obtained. Furthermore, in the embodiment of the surface acoustic wave resonator of the present invention, the strip 3
Although the description has been made using the surface acoustic wave reflector 3 consisting of two busbars 303 facing each other with the 02 row in between, the surface acoustic wave resonator of the present invention is not limited to this. It goes without saying that a surface wave reflector 3 using a bus bar 303 that is electrically short-circuited only on one side may be used, and that the bus bar 303 may be a discontinuous electrical conductor with a part missing in the middle instead of a continuous electrical conductor. stomach. [Effect of the invention] In the surface acoustic wave resonator, the shape of the busbar side of the surface wave reflector is non-linear, so the reflection caused by the difference in the propagation speed of the surface acoustic wave on the side surface of the surface wave reflector is disturbed. This makes it difficult for higher-order transverse mode waves of the surface waves radiated from the radiation electrode to cause transverse mode resonance within the surface wave reflector. Therefore, high-order transverse mode spurious can be suppressed.
第１図は従来の弾性表面波共振器の平面図、第
２図はそのスプリアス特性図、第３図〜第５図は
第１図に示す弾性表面波共振器において横モード
スプリアスが発生する理由を説明する図、第６図
は本考案の弾性表面波共振器の一実施例の要部を
示す図、第７図および第８図は本考案の他の実施
例の要部を示す図である。
１……圧電基板、２……放射電極、３……表面
波反射器、４……櫛形電極、５，２１……表面波
伝搬方向、３０１……所定の間隔、３０２……ス
トリツプ、３０３……ブスバー、３０４……ブス
バーの相対向する側の辺、３０５……ブスバーの
外側の辺。
Figure 1 is a plan view of a conventional surface acoustic wave resonator, Figure 2 is its spurious characteristic diagram, and Figures 3 to 5 are the reasons why transverse mode spurious occurs in the surface acoustic wave resonator shown in Figure 1. FIG. 6 is a diagram showing a main part of one embodiment of the surface acoustic wave resonator of the present invention, and FIGS. 7 and 8 are diagrams showing main parts of other embodiments of the present invention. be. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Piezoelectric substrate, 2... Radiation electrode, 3 ... Surface wave reflector, 4... Comb-shaped electrode, 5, 21... Surface wave propagation direction, 301... Predetermined interval, 302... Strip, 303... ...Busbar, 304...Side on opposite side of busbar, 305...Outside side of busbar.
Claims (1)
配列されたストリツプ列とこのストリツプ列を
電気的に短絡するブスバーとで構成された複数
の表面波反射器と、前記表面波反射器の間に配
置された櫛形電極よりなる電気−機械変換器と
から構成されている弾性表面波共振器におい
て、少くとも一つの前記ブスバーの辺の形状が
非直線であることを特徴とする弾性表面波共振
器。 (2) 前記ブスバーは前記ストリツプ列を挾み対向
して前記ストリツプ列を電気的に短絡している
ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１
項記載の弾性表面波共振器。 (3) 前記ブスバーの内側の辺は異なる傾きをもつ
た直線の組み合せの非直線からなることを特徴
とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の弾
性表面波共振器。 (4) 前記ブスバーの外側の辺は異なる傾きをもつ
た直線の組み合せの非直線からなることを特徴
とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の弾
性表面波共振器。 (5) 前記ストリツプ列を挾み対向している前記ブ
スバーの相対向する側の辺の少なくとも一方の
辺の形状が非直線であることを特徴とする実用
新案登録請求の範囲第２項記載の弾性表面波共
振器。 (6) 前記ブスバーの内側の辺は微細な直線の組み
合せの非直線からなることを特徴とする実用新
案登録請求の範囲第３項記載の弾性表面波共振
器。 (7) 前記ブスバーの外側の辺は微細な直線の組み
合せの非直線からなることを特徴とする実用新
案登録請求の範囲第４項記載の弾性表面波共振
器。[Claims for Utility Model Registration] (1) A plurality of surface wave reflections composed of strip rows arranged on a piezoelectric substrate and arranged substantially in parallel at predetermined intervals, and busbars that electrically short-circuit the strip rows. and an electro-mechanical transducer comprising a comb-shaped electrode disposed between the surface wave reflector, wherein the shape of at least one side of the bus bar is non-linear. A surface acoustic wave resonator characterized by: (2) Utility model registration claim 1, characterized in that the busbars sandwich the strip rows and face each other to electrically short-circuit the strip rows.
The surface acoustic wave resonator described in . (3) The surface acoustic wave resonator according to claim 1, wherein the inner side of the bus bar is formed of a non-straight line that is a combination of straight lines with different inclinations. (4) The surface acoustic wave resonator according to claim 1, wherein the outer side of the bus bar is formed of a non-straight line that is a combination of straight lines with different inclinations. (5) A utility model according to claim 2, characterized in that the shape of at least one of the opposing sides of the busbars that sandwich the strip row is non-linear. Surface acoustic wave resonator. (6) The surface acoustic wave resonator according to claim 3, wherein the inner side of the bus bar is made of a non-linear combination of fine straight lines. (7) The surface acoustic wave resonator according to claim 4, wherein the outer side of the bus bar is formed of a non-linear combination of fine straight lines.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7494782U JPS58178731U (en) | 1982-05-24 | 1982-05-24 | surface acoustic wave resonator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7494782U JPS58178731U (en) | 1982-05-24 | 1982-05-24 | surface acoustic wave resonator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58178731U JPS58178731U (en) | 1983-11-30 |
| JPH0215389Y2 true JPH0215389Y2 (en) | 1990-04-25 |
Family
ID=30084336
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7494782U Granted JPS58178731U (en) | 1982-05-24 | 1982-05-24 | surface acoustic wave resonator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58178731U (en) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4933229A (en) * | 1972-07-28 | 1974-03-27 |
-
1982
- 1982-05-24 JP JP7494782U patent/JPS58178731U/en active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4933229A (en) * | 1972-07-28 | 1974-03-27 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58178731U (en) | 1983-11-30 |
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